CN111090083B - 一种扫描振镜和激光雷达 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种扫描振镜和激光雷达，该扫描振镜包括：固定座；振镜驱动架，连接于所述固定座中，所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架；所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧，所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧，所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间；反射镜片，分别安装在所述第一快轴框和所述第二快轴框中；其中，所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动，所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动，所述第一方向与所述第二方向垂直。如此，可以提高扫描振镜的视觉范围。

Description

一种扫描振镜和激光雷达

技术领域

本发明实施例涉及激光雷达技术领域，尤其涉及一种扫描振镜和激光雷达。

背景技术

激光雷达是以发射激光束探测目标物体的位置、速度等特征量的雷达系统。随着激光雷达的发展，将微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)振镜(本文中也简称为“振镜”)应用于激光雷达中，研发固态激光雷达成为近年来激光雷达的发展新趋势。MEMS振镜，是采用MEMS工艺制作的一种微镜，其工作模式多为谐振模式，具有尺寸小、震荡频率高、无旋转部件等优势。

MEMS扫描振镜包括一维振镜和二维振镜，采用二维振镜的激光雷达能够实现二维扫描，相较于采用一维振镜的应用范围更广。现有技术中采用二维振镜的激光雷达中，扫描的视觉范围很有限。

发明内容

本发明实施例提供一种扫描振镜和激光雷达，以提高扫描振镜的视觉范围。

第一方面，本发明实施例提出一种扫描振镜，该扫描振镜包括：

固定座；

振镜驱动架，连接于所述固定座中，所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架；所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧，所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧，所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间；

反射镜片，包括第一反射镜片和第二反射镜片，所述第一反射镜片安装在所述第一快轴框中，所述第二反射镜片安装在所述第二快轴框中；

其中，所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动，所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动，所述第一方向与所述第二方向垂直。

在一实施例中，所述振镜驱动架还包括两对快轴扭力梁，沿所述第一方向，其中所述第一快轴框通过一对快轴扭力梁固定连接于所述第一快轴支架中，所述第二快轴框通过另一对快轴扭力梁固定连接于所述第二快轴支架中；

所述两对快轴扭力梁扭动带动所述第一快轴框和所述第二快轴框扭动及复位。

在一实施例中，还包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、第四磁铁以及第一线圈和第二线圈；

沿所述第二方向，所述第一磁铁和所述第二磁铁设置于所述第一快轴框的相对两侧，所述第一线圈设置于所述第一快轴框上；所述第三磁铁和所述第四磁铁设置于所述第二快轴框的相对两侧，所述第二线圈设置于所述第二快轴框上。

在一实施例中，还包括第一检测激光发射器、第一角度传感器、第二检测激光发射器和第二角度传感器；

所述第一检测激光发射器用于向所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光，所述第一角度传感器用于接收从所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定所述第一快轴框和所述第一反射镜片在第一方向的旋转角度；

所述第二检测激光发射器用于向所述第二反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光，所述第二角度传感器用于接收从所述第二反射镜片中靠近所述固定座的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定所述第二快轴框和所述第二反射镜片在第一方向的旋转角度。

在一实施例中，所述第一角度传感器和所述第二角度传感器包括PSD、CMOS或者硅光电池。

在一实施例中，还包括第三线圈、第五磁铁、第六磁铁、两个轴承以及两个轴承座；

所述慢轴支架的第一端与所述第一快轴支架的第一端固定连接，所述慢轴支架的第二端与所述第二快轴支架的第一端固定连接，所述第一快轴支架远离所述慢轴支架的第二端与所述固定座旋转连接，所述第二快轴支架远离所述慢轴支架的第二端与所述固定座旋转连接；

所述固定座上沿所述第二方向的两端分别设置一所述轴承座，所述第一快轴支架的第二端套入一所述轴承座中的所述轴承，所述第二快轴支架的第二端套入另一所述轴承座中的所述轴承；

沿所述第一方向，所述第五磁铁和所述第六磁铁设置于所述慢轴支架的相对两侧，所述第三线圈设置于所述慢轴支架上。

在一实施例中，还包括第三角度传感器和角度磁铁；

所述角度磁铁固定于所述第一快轴支架的第二端，所述第三角度传感器设置于所述角度磁铁远离所述第一快轴支架的一侧；所述第三角度传感器用于感应所述角度磁铁的方向和大小以确定所述慢轴支架在第二方向的旋转角度。

在一实施例中，还包括磁性结构件，所述磁性结构件设置于所述慢轴支架靠近所述第五磁铁的一侧，以及设置于所述慢轴支架靠近所述第六磁铁的一侧；

所述磁性结构件用于在磁力作用下使所述慢轴支架在围绕所述第二方向扭动时受力平衡以实现自动复位。

在一实施例中，所述第一快轴支架、第一快轴框背向所述慢轴支架的一侧倾斜安装；所述第二快轴支架、第二快轴框背向所述慢轴支架的另一侧倾斜安装。

第二方面，本发明实施例还提出一种激光雷达，该激光雷达包括第一方面提供的任一种扫描振镜。

本发明实施例提供的扫描振镜，设置至少两个快轴支架，这样可以在每个快轴支架的快轴框中安装一个反射镜片，慢轴支架旋转时可以同时带动两个快轴支架旋转，相当于有两个反射镜片可以用于反射探测光束形成不同的探测视场，从而增加了扫描振镜扫描的视觉范围。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一实施例提供的扫描振镜的立体结构第一示意图；

图2是本发明一实施例提供的扫描振镜的立体结构第二示意图；

图3是图1所示实施例提供的扫描振镜的平面结构示意图；

图4是沿图3中A-A的剖面结构示意图；

图5是沿图3中B-B的剖面结构示意图；

图6是是本发明另一实施例提供的扫描振镜的立体结构示意图；

图7是图6所示实施例提供的扫描振镜的平面结构示意图；

图8是沿图7中A-A的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

本发明实施例的改进点在于：(1)针对扫描振镜扫描的视场范围小的问题，采用一个慢轴支架带动两个以上快轴支架转动；(2)针对电磁式振镜低频准静态扫描寿命短，易损坏的缺点，慢轴采用轴承支撑来实现整体旋转的方式来取代传统克服扭力梁刚度进行旋转的方式；(3)使用磁性结构件产生线性的回复力和阻尼运动，这样不但可以增大转角范围还可以避免振动冲击造成的材料损坏并延长使用寿命。轴承的使用保证了慢轴旋转中心与快轴旋转中心重合，从而有利于实现对反射镜片的精确控制；(4)针对扫描角度不能精确控制的问题，本发明顺着慢轴的方向还分别设置了角度传感器，这样可以精确测得慢轴支架旋转的角度，以便更好地控制扫描振镜的扫描精度。

下面结合图1-图7，对本发明实施例提供的扫描振镜以及激光雷达进行示例性说明。

参考图1-图5，该扫描振镜10包括：固定座100、振镜驱动架110以及反射镜片120。振镜驱动架110连接于固定座100中，振镜驱动架110包括第一快轴支架111、第一快轴框112、慢轴支架113、第二快轴支架114和第二快轴框115。第一快轴框112连接于第一快轴支架111的内侧，第二快轴框115连接于第二快轴支架114的内侧，慢轴支架113固定连接于第一快轴支架111和第二快轴支架114之间。

反射镜片120包括第一反射镜片121和第二反射镜片122。第一反射镜片121安装在第一快轴框112中，第二反射镜片122安装在第二快轴框115中。其中，第一快轴框112和第二快轴框115围绕第一方向X扭动，整个振镜驱动架110又围绕第二方向Y扭动，即第一快轴支架111、第一快轴框112、慢轴支架113、第二快轴支架114以及第二快轴框115围绕第二方向Y扭动，第一方向X与第二方向Y垂直。

在本实施例中，单独的反射镜片120(石英玻璃或者蓝宝石)与振镜驱动架110组装。第一快轴框112和第二快轴框115可同时围绕相互垂直的两个方向(即第一方向X和第二方向Y)扭动(也可称为“转动”或“旋转”)，从而实现反射镜片120在两个维度的转动。

在其他实施方式中，反射镜片120还可安装在慢轴支架113中，可根据扫描振镜10的实际需求设置，本发明实施例对此不作限定。

在本实施例中，第一快轴框112和第二快轴框115采用谐振频率工作，振镜驱动架110还包括两对快轴扭力梁，沿第一方向X，其中第一快轴框112通过一对快轴扭力梁116固定连接于第一快轴支架111中，第二快轴框115通过另一对快轴扭力梁117固定连接于第二快轴支架114中。第一快轴框112通过快轴扭力梁116产生弹性变形的方式围绕第一方向X扭动，第二快框115通过快轴扭力梁117产生弹性变形的方式围绕第一方向X扭动。

可以理解，在其他实施例中，第一快轴支架111和第二快轴支架114还可以分别旋转连接于振镜驱动架110中，这样可以避免通过克服扭力梁刚度进行扭动。

在本实施例中，振镜驱动架110旋转连接于固定座100中，第一快轴支架111、第一快轴框112、慢轴支架113、第二快轴支架114以及第二快轴框115围绕第二方向Y相对于固定座100整体扭动。

在一实施例中，该扫描振镜10还包括第一磁铁210、第二磁铁220、第一线圈230、第三磁铁240、第四磁铁250以及第二线圈260；沿第二方向Y，第一磁铁210和第二磁铁220设置于第一快轴框112的相对两侧，第一线圈230设置于第一快轴框112上；第三磁铁240和第四磁铁250设置于第二快轴框115的相对两侧，第二线圈260设置于第二快轴框115上。

在一个实施例中，第一快轴框112和快轴扭力梁116为一体成型结构，第一磁铁210和第二磁铁220相对第一快轴框112和快轴扭力梁116、以平行于第一方向X的一直线为对称轴对称设置，第一快轴框112的边缘设置有第一线圈230。当第一线圈230通电时，其在第一磁铁210和第二磁铁220形成的磁场中会产生洛伦磁力，洛伦磁力在低频下克服快轴扭力梁116的刚度使之产生弹性变形，从而使得第一反射镜片121绕快轴扭力梁116的旋转轴旋转，从而实现第一反射镜片121一个维度的扫描。同理，第二反射镜片122也可绕快轴扭力梁117的旋转轴旋转，从而实现第二反射镜片122一个维度的扫描。

需要说明的是，第一快轴框112和快轴扭力梁116、第二快轴框115和快轴扭力梁117均为一体成型结构，能够简化扫描振镜系统的制备工艺，并简化扫描振镜系统的结构。可以理解的是，在本实施例的其他实施方式中，第一快轴框112和快轴扭力梁116、第二快轴框115和快轴扭力梁117也可以为独立结构，两者通过连接结构进行连接，本实施例不对此进行限定。

示例性的，反射镜片120的形状可以为圆形、矩阵或椭圆形。需要说明的是，本实施例对反射镜片120的形状不作具体限定，凡是平整平滑的表面结构均在本实施例的保护范围内，作业人员能够根据实际应用场景的不同针对性进行合理设置。

在一实施例中，该扫描振镜10还包括检测激光发射器272和第一角度传感器282、第二检测激光发射器274和第二角度传感器284；第一检测激光发射器272用于向第一反射镜片121中靠近固定座100一侧的镜面发射激光，第一角度传感器282用于接收从第一反射镜片121中靠近固定座100一侧的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定第一快轴框112和第一反射镜片121在第一方向的旋转角度。第二检测激光发射器274用于向第二反射镜片122中靠近固定座100一侧的镜面发射激光，第二角度传感器284用于接收从第二反射镜片122中靠近固定座100一侧的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定第二快轴框115和第二反射镜片122在第一方向的旋转角度。

具体的，第一检测激光发射器272发出的激光照射于第一反射镜片121中靠近固定座100一侧的镜面上，反射光随第一反射镜片121的转动而转动，反射光投射在第一角度传感器282上，第一角度传感器282利用镜面与第一角度传感器282之间的位置关系转换为镜面角度信号，实现对第一反射镜片121转动角度的检测。同理，对第二反射镜片122转动角度的检测可以参照上述原理，这里不再赘述。

需要说明的是，上述方案能够在扫描振镜系统正常扫描过程中实现实时检测，对扫描振镜系统的正常工作无影响。采用光角度检测方式进行扭动角度检测，相较于压阻式角度检测方式、电容式角度检测方式以及电感式角度检测方式，光角度检测方式的检测精度更高，检测速度更快，实时性更强，且不受工作环境影响。

可以理解的是，在本实施例的其他实时方式中，也可以通过其他结构实现对反射镜片120在第一方向旋转角度的检测，凡是能够精确有效的检测出反射镜扭动角度的结构均在本实施例的保护范围内。

示例性的，第一角度传感器282和第二角度传感器284包括PSD、CMOS或者硅光电池。需要说明的是，本实施例对第一角度传感器282和第二角度传感器284的具体结构不做限定，不限于上述示例，作业人员能够根据实际需要进行合理设置。

本领域技术人员可理解，本文中的“旋转角度”既可包括旋转方向，例如，顺时针或逆时针；也可包括旋转大小，例如5°或8°。

在一实施例中，该扫描振镜10还包括第三线圈310、第五磁铁320、第六磁铁330、两个轴承340以及两个轴承座350；慢轴支架113的第一端与第一快轴支架111的第一端固定连接，慢轴支架113的第二端与第二快轴支架114的第一端固定连接，第一快轴支架111远离慢轴支架113的第二端与固定座100旋转连接，第二快轴支架114远离慢轴支架113的第二端与固定座100旋转连接；固定座100上沿第二方向Y的两端分别设置一轴承座350，第一快轴支架111的第二端套入一轴承座350中的轴承340，第二快轴支架114的第二端套入另一轴承座350中的轴承340；沿第一方向X，第五磁铁320和第六磁铁330设置于慢轴支架113的相对两侧，第三线圈310设置于慢轴支架113上。

其中，第一快轴支架111的第二端作为起振板直接套入一轴承座350中的轴承340，第二快轴支架114的第二端作为起振板直接套入另一轴承座350中的轴承340。慢轴支架113的两侧设置有第五磁铁320和第六磁铁330，第五磁铁320和第六磁铁330相对慢轴支架113、其以平行于第二方向Y的一直线为对称轴对称设置；慢轴支架113上设置有第三线圈310。当第三线圈310通电时，其在第五磁铁320和第六磁铁330形成的磁场中会产生洛伦磁力，从而使得起振板通过轴承340支撑带动整个振镜驱动架110整体旋转，使得反射镜片120绕第二方向Y旋转，从而实现反射镜片120另一个维度的扫描。

如此，慢轴可避免扭力梁设置，即慢轴支架113旋转时都无需克服扭力梁的刚度，反射镜片120的旋转不受振动影响，可以延长扫描振镜10的使用寿命。

在一实施例中，该扫描振镜10还包括第三角度传感器360和角度磁铁370；角度磁铁370固定于第一快轴支架111的第二端，第三角度传感器360设置于角度磁铁370背离第一快轴支架111的一侧；第三角度传感器360用于感应角度磁铁370的方向和大小以确定慢轴支架113在第二方向Y的旋转角度。

如此，通过在第一快轴支架111的末端设置第三角度传感器360和角度磁铁370，可使角度磁铁370与慢轴支架113同步转动，从而可通过第三角度传感器360感应角度磁铁370的方向和大小，以确定慢轴支架113的旋转角度，进而确定与其慢轴支架113联动的反射镜片120在第二方向Y的旋转角度。

上述设置，还可简化扫描振镜10的整体体积，有利于其小型化设计。另外，可以避免快轴方向和慢轴方向的相互影响，从而能更准确地测量快轴方向和慢轴方向的各自的旋转角度。

在一实施例中，该扫描振镜10还可以包括第一轴承盖和第二轴承盖(图中未示出)，所述第一轴承盖和所述第二轴承盖分别套合于两个轴承340外侧；还可以包括两个轴套(图中未示出)，所述两个轴套分别用于固定轴承340与第一快轴支架111的第二端，以及用于固定轴承340与第二快轴支架114的第二端；还可以包括辅助轴套(图中未示出)，所述辅助轴套用于穿过所述第一轴承盖，且固定连接第一快轴支架111与角度磁铁370。

如此，可利用轴承盖实现对轴承的保护。同时，慢轴方向相关的上述各结构部件连接关系稳固，有利于使扫描振镜10的整体结构稳定，从而有利于延长扫描振镜10的使用寿命。

在一实施例中，该扫描振镜10还包括磁性结构件380，磁性结构件380设置于慢轴支架113靠近第五磁铁320的一侧，以及设置于慢轴支架113靠近第六磁铁330的一侧；磁性结构件380用于在磁力作用下使反射镜片120在围绕第二方向Y扭动时受力平衡以实现自动复位。

其中，磁性结构件380可以产生磁性作用，使得反射镜片120在围绕第二方向Y旋转时受力平衡从而实现自动复位，同时还可以通过调节磁性结构件380的性能，控制这种磁性作用的大小调节振动阻尼的大小。

其中，磁性结构件380的复位原理为：慢轴支架113偏转角度时，由于电压的变化，使得通电电流方向发生改变，在电流方向发生改变的过程中电流值有一个零值的过度，相当于慢轴支架113上的第三线圈310不通电，从而洛伦磁力消失，而磁性结构件380与第五磁铁320和第六磁铁330之间的受力方向为水平向左向右，绕着轴承340转到水平位置时，力平衡而使慢轴支架113带动反射镜片120复位。

本发明实施例提供的扫描振镜中，固定座100的两端设置有轴承340，第一快轴支架111远离慢轴支架113的一端设有第三角度传感器360和角度磁铁370；第三角度传感器360通过感应角度磁铁370的方向和大小分别确定慢轴方向的旋转角度，从而确定反射镜片120在第二方向Y上的旋转角度。其中，通过第一快轴框112上的第一线圈240与两侧磁铁(即第一磁铁220和第二磁铁230)之间的电磁力使得第一快轴框112绕快轴扭力梁116的旋转轴方向旋转，从而实现第一反射镜片121一个维度的扫描；通过第二快轴框115上的第二线圈260与两侧磁铁(即第三磁铁240和第四磁铁250)之间的电磁力使得第二快轴框115绕快轴扭力梁117的旋转轴方向旋转，从而实现第二反射镜片122一个维度的扫描；通过慢轴支架113上的第三线圈310与两侧磁铁(即第五磁铁320和第六磁铁330)之间的电磁力使得慢轴支架113绕与快轴扭力梁(116、117)垂直的方向旋转，从而实现第一反射镜片121和第二反射镜片122另一个维度的扫描；两维度的延伸方向相互垂直。

可以理解，为了进一步增加扫描振镜扫描的视觉范围，在另一个实施例中，还可以改变第一快轴支架和第二快轴支架安装的角度。具体地，如图6～图8所示，扫描振镜40中，第一快轴支架411、第一快轴框412背向慢轴支架413的一侧倾斜安装；第二快轴支架414、第二快轴框415背向慢轴支架413的另一侧倾斜安装。当扫描振镜没有工作时，即第一反射镜片421和第二反射镜片422处在平衡位置时，二者所在的平面为相交的关系，而非平行的关系。

在上述实施方式的基础上，本发明实施例还提供了一种激光雷达。该激光雷达可包括上述实施方式提供的任一种扫描振镜，因此，该激光雷达也具有上述实施方式中的扫描振镜所具有的有益效果，相同之处可参照上文中对扫描振镜的解释说明进行理解，在此不再赘述。

在其他实施方式中，激光雷达除包括扫描振镜之外，还可包括本领域技术人员可知的其他结构部件，本发明实施例对此不赘述也不作限定。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种扫描振镜，其特征在于，包括：

固定座；

振镜驱动架，连接于所述固定座中，所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架；所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧，所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧，所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间；

反射镜片，包括第一反射镜片和第二反射镜片，所述第一反射镜片安装在所述第一快轴框中，所述第二反射镜片安装在所述第二快轴框中；

其中，所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动，所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动，所述第一方向与所述第二方向垂直；

还包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、第四磁铁以及第一线圈和第二线圈；

沿所述第二方向，所述第一磁铁和所述第二磁铁设置于所述第一快轴框的相对两侧，所述第一线圈设置于所述第一快轴框上；所述第三磁铁和所述第四磁铁设置于所述第二快轴框的相对两侧，所述第二线圈设置于所述第二快轴框上；

还包括磁性结构件，沿第一方向分别设置于所述慢轴支架的两侧，所述磁性结构件用于在磁力作用下使所述慢轴支架在围绕所述第二方向扭动时受力平衡以实现自动复位以及对反射镜产生阻尼运动。

2.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，所述振镜驱动架还包括两对快轴扭力梁，沿所述第一方向，其中所述第一快轴框通过一对快轴扭力梁固定连接于所述第一快轴支架中，所述第二快轴框通过另一对快轴扭力梁固定连接于所述第二快轴支架中；

所述两对快轴扭力梁扭动带动所述第一快轴框和所述第二快轴框扭动及复位。

3.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，还包括第一检测激光发射器、第一角度传感器、第二检测激光发射器和第二角度传感器；

所述第一检测激光发射器用于向所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光，所述第一角度传感器用于接收从所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定所述第一快轴框和所述第一反射镜片在第一方向的旋转角度；

所述第二检测激光发射器用于向所述第二反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光，所述第二角度传感器用于接收从所述第二反射镜片中靠近所述固定座的镜面反射的激光，并根据接收到的激光确定所述第二快轴框和所述第二反射镜片在第一方向的旋转角度。

4.根据权利要求3所述的扫描振镜，其特征在于，所述第一角度传感器和所述第二角度传感器包括PSD、CMOS或者硅光电池。

5.根据权利要求1所述的扫描振镜，其特征在于，还包括第三线圈、第五磁铁、第六磁铁、两个轴承以及两个轴承座；

所述慢轴支架的第一端与所述第一快轴支架的第一端固定连接，所述慢轴支架的第二端与所述第二快轴支架的第一端固定连接，所述第一快轴支架远离所述慢轴支架的第二端与所述固定座旋转连接，所述第二快轴支架远离所述慢轴支架的第二端与所述固定座旋转连接；

所述固定座上沿所述第二方向的两端分别设置一所述轴承座，所述第一快轴支架的第二端套入一所述轴承座中的所述轴承，所述第二快轴支架的第二端套入另一所述轴承座中的所述轴承；

沿所述第一方向，所述第五磁铁和所述第六磁铁设置于所述慢轴支架的相对两侧，所述第三线圈设置于所述慢轴支架上。

6.根据权利要求5所述的扫描振镜，其特征在于，还包括第三角度传感器和角度磁铁；

所述角度磁铁固定于所述第一快轴支架的第二端，所述第三角度传感器设置于所述角度磁铁远离所述第一快轴支架的一侧；所述第三角度传感器用于感应所述角度磁铁的方向和大小以确定所述慢轴支架在第二方向的旋转角度。

7.根据权利要求5所述的扫描振镜，其特征在于，所述磁性结构件设置于所述慢轴支架靠近所述第五磁铁的一侧，以及设置于所述慢轴支架靠近所述第六磁铁的一侧。

8.根据权利要求1-7任一项所述的扫描振镜，其特征在于，所述第一快轴支架、第一快轴框背向所述慢轴支架的一侧倾斜安装；所述第二快轴支架、第二快轴框背向所述慢轴支架的另一侧倾斜安装。

9.一种激光雷达，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的扫描振镜。

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