CN108205124B - 一种基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统，该装置包括激光发射单元、微机电振镜、微机电振镜控制单元、扩角放大单元和光学接收单元；经所述的激光发射单元发射的激光光束入射至所述微机电振镜，经所述微机电振镜出射的激光光束入射到扩角放大单元；激光光束经扩角后对被测物进行扫描；经被测物反射的反射光束经所述的扩角放大单元反射至所述的光学接收单元。相比于采用多线激光机械式扫描激光雷达光学装置，该装置中微机电振镜的使用提高了扫描激光雷达光学装置的稳定性，延长了使用寿命，减小了原器件数量，降低了成本，缩小了尺寸。
Description
技术领域
本发明属于激光雷达领域，尤其是涉及一种基于微机电振镜的激光雷达光学装置和激光雷达系统。
背景技术
随着激光雷达在民用领域的不断发展，高精度、小体积、低成本的激光雷达的需求不断增加，对光学系统设计领域和相关配合领域提出了新的要求和挑战。激光雷达对其核心光学系统的稳定性、空间尺寸、核心光电器件成本提出了更严格的要求，系统稳定性的高低会严重影响激光雷达的测量精度和使用寿命，体积过大不易于进行系统与其他设备的集成使用，成本过高也不利于激光雷达的普及推广。提高系统稳定性、减小空间尺寸及光电器件数量在一定程度上能够提高激光雷达使用寿命及稳定性，小型化激光雷达的同时能够降低系统成本。
然而，日前常用的机械式扫描多线激光雷达光学系统结构较为复杂，光电器件繁多，这些因素会导致系统稳定性、使用寿命降低，成本增加的同时增加了空间尺寸。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明目要解决的技术问题是如何提高扫描激光雷达光学装置的系统稳定性、简化结构、延长使用寿命、降低成本。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本发明的提供了一种基于微机电振镜的光学装置，包括激光发射单元、微机电振镜、微机电振镜控制单元、扩角放大单元和光学接收单元；
所述激光发射单元发射激光光束至所述微机电振镜；
所述微机电振镜将激光光束偏转后反射至扩角放大单元；
所述扩角放大单元将激光光束扩大扫描角度后对被测物进行扫描；
所述扩角放大单元将被测物反射的激光光束反射至所述光学接收单元；
其中，所述微机电振镜控制单元用于调整所述微机电振镜的偏转角，使其在互相垂直的两个方向上振动。
其中，所述激光发射单元包括激光发生器和光学准直镜组；
所述激光发生器与所述光学准直镜组的主光轴重合。
其中，所述激光发生器包括激光调制部件和激光发射部件，所述激光调制部件用于调制所述的激光发光部件产生调制激光光束。
其中，所述光学准直镜组包括至少一片自由曲面透镜或至少两片球面镜，用于对入射的激光光束进行准直。
其中，其特征在于，所述光学准直镜组由对近红外光有高透过率的材料加工而成。
其中，所述的扩角放大单元包括反射镜和扩角镜，其通过反射原理扩大出射光束的扫描角度。
其中，所述光学接收单元包括接收光学镜组和光电探测器；
所述反射镜、所述接收光学镜组和所述光电探测器主轴重合。
其中，所述接收光学镜组包括至少2组镜片，用于将从被测物反射的激光光束经所述反射镜反射后汇聚到所述光电探测器上。
其中，所述反射镜在接收光学单元光轴方向上的投影面积不小于所述接收光学镜组的有效孔径。
其中，所述接收光学镜组由对近红外光有高透过率的材料加工而成。
本发明还提供了一种激光雷达系统，包括上述的基于微机电振镜的光学装置。
(三)有益效果
本发明所提供的基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统的有益效果是，通过微机电振镜控制单元改变微机电振镜的偏移角度，从而改变了入射至反射镜上的激光光束的角度，经反射镜反射的光束进入扩角放大单元，扩角放大单元上反射面与水平方向成渐变角度进而扩大了激光光束在垂直方向的扫描范围。相比于采用多线激光机械式扫描激光雷达光学装置，该装置中微机电振镜的使用提高了扫描激光雷达光学装置的稳定性，延长了使用寿命，减小了原器件数量，降低了成本，缩小了尺寸。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明基于微机电振镜的光学装置的结构示意图；
图2是本发明基于微机电振镜的光学装置的激光发射单元的结构示意图；
图3是本发明基于微机电振镜的光学装置的光学接收单元的结构示意图；
附图标记：101-激光发射单元、102-微机电振镜、103-微机电振镜控制单元、104-反射镜、105-扩角放大单元、106-被测物、107-光学接收单元、108-调制激光光束、1011-激光调制部件、1012-激光发射部件、1013-光束准直镜组、1071-接收光学镜组、1072-光电探测器。
具体实施方式
下面结合说明书附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
图1是本实施例提供的一种基于微机电振镜激光雷达光学装置的结构示意图。参见图1，该基于微机电振镜激光雷达光学装置，包括激光发射单元101、微机电振镜102、微机电振镜控制单元103、反射镜104、扩角放大单元105、光学接收单元107。
经激光发射单元101发射的激光入射至微机电振镜102，经微机电振镜102偏转后的激光光束经由反射镜104反射后入射到扩角放大单元105，扩角放大单元105对被测物106进行水平、垂直方向扫描。
扩角放大单元105包括反射镜104和扩角镜；所述扩角放大单元105又形成光回路接收被测物106上发生漫反射的激光，并将反射光束反射至光学接收单元107。
微机电振镜控制单元103用于调整微机电振镜102的偏转角度，使其在互相垂直的两个方向上振动。
其中，微机电振镜是指能够通过微电子机械系统驱动偏转方向的镜面。微机电振镜采用静电驱动和电容反馈，微机电振镜由镜面、可动框架和外框架构成，每个机构均分布了垂直梳齿驱动器。微机电振镜可以在外加驱动信号下进行简弦振动，例如，MEMS振镜可以通过两个垂直方向上的简谐振动合成为李萨如图形，即激光束扫描的路径遵循李萨如图形。
需要说明的是，现有的多线激光雷达光学装置多采用电机驱动的方式实现对被测物水平方向的扫描，利用多组发射/接收对的组合来完成对被测物垂直方向的扫描。由于电机在使用过程中容易受外界因素影响，例如，外部冲击载荷，且电机使用寿命较短，需经常更换，因此使得传统的以电机为基础的机械式扫描多线激光雷达稳定性差，寿命短。另一方面，使用了多组发射/接收对，导致系统器件数量大结构复杂，不利于减小系统体积降低系统成本。
本实施例提供的一种基于微机电振镜激光雷达光学装置通过微机电振镜控制单元改变微机电振镜的偏移角度，从而对入射至微机电振镜上的激光光束进行偏转角度的调节。同时，通过特殊设计的扩角放大单元的反射扩大了激光光束的垂直扫描视场，同时完成了水平方向的扫描。相比与基于电机驱动的机械扫描式多线激光雷达，微机电振镜提高了激光雷达光学装置的稳定性，延长了使用寿命。此外，由于使用单组发射/接收就能实现垂直方向的扫描，减少了系统光电器件的使用，降低了系统成本减小了系统体积。
如图2所示，所述激光发射单元包括激光发生器和光束准直镜组1013；其中激光发生器与光束准直镜组1013主光轴重合。
所述激光发生器包括激光调制部件1011和激光发射部件1012，激光调制部件1011产生调制信号，用于调制从所述激光发射部件1012出射的激光。经过调制的激光经过光束准直镜组1013整形后经过所述微机电振镜102进行角度偏转，经反射镜104反射后入射到扩角放大单元105，经由扩角放大单元105扩大垂直方向扫描角度后对被测物106进行水平、垂直方向扫描。
所述光束准直镜组1013至少由一片自由曲面透镜或至少两片球面镜组成，用于对入射的激光光束进行准直。
所述扩角放大单元105是可对光进行反射的旋转对称体，上反射面角度渐变，用于扩大入射激光光束垂直方向扫描角度。
如图3所示，所述光学接收单元107包括接收光学镜组1071和光电探测器1072。
所述反射镜104、所述接收光学镜组1071和所述光电探测器1072的主光轴重合。
其中，光电探测器1072位于接收光学镜组1071焦平面上。
所述光学接收系统1071至少由两组镜片组成，用于将从所述的反射镜104反射的光汇聚到所述的光电探测器1072上。
其中，所述反射镜104在所述光学接收系统1071主光轴方向上的投影面积不小于所述接收光学镜组1071的有效孔径。所述接收光学镜组用于将所述的反射镜104反射的光线汇聚到光电探测器上。
进一步地，所述光束准直镜组1013、所述接收光学镜组1071均由对近红外光有高透过率的材料形成，所述扩角放大单元105用于扩大调制激光光束108的垂直方向扫描视场角，并接收被测物106反射的激光。
综上所述，结合图1、图2和图3可知，激光调制部件对激光发射部件1012进行调制，激光发射部件1012发出调制激光光束108。调制激光光束108经过光束准直镜组1013后被准直整形。准直后的调制激光光束108以一定角度入射到微机电振镜102。在微机电振镜控制单元的驱动下微机电振镜102发生偏转，调制激光光束108随微机电振镜102偏转并通过反射镜104入射到扩角放大单元105。调制激光光束108经由反射镜104入射到扩角放大单元105后，经扩角放大单元105内部反射后扩大了调制激光光束108垂直方向的扫描角度，对被测物106进行垂直、水平方向的扫描。
不同角度的漫反射光束再经由扩角放大单元105、反射镜104反射进入接收光学镜组1071，接收光学镜组1071将漫反射光束汇聚到光电探测器1072。
在上述激光雷达光学装置的基础上，本发明还提供了一种激光雷达系统，包括以上实施例中所述的基于微机电振镜的激光雷达光学装置。
本发明提供的激光雷达系统，包括了以上实施例中的基于微机电振镜的激光雷达光学装置，该装置通过微机电振镜控制单元改变微机电振镜的偏移角度，从而对入射至微机电振镜上的激光进行角度的偏移，通过扩角放大单元扩大光束垂直方向扫描视场角。同时，在通过扩角放大单元、反射镜及接收光学镜组将反射光汇聚于光电探测器，从而使用单组发射/接收对完成被测物垂直、水平方向的扫描。相比于传统电机驱动的利用多组发射/接收对完成垂直方向扫描的机械式扫描激光雷达简化了系统结构，减少了光电器件的数量，提高了系统的稳定性及使用寿命，减小了系统尺寸降低了成本。
以上实施方式仅用于说明本发明，而非对本发明的限制。尽管参照实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本发明的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (8)
1.一种基于微机电振镜的光学装置，其特征在于，包括激光发射单元、微机电振镜、微机电振镜控制单元、扩角放大单元和光学接收单元；
所述激光发射单元发射激光光束至所述微机电振镜;
所述微机电振镜将激光光束偏转后反射至扩角放大单元；
所述扩角放大单元将激光光束扩大扫描角度后对被测物进行扫描；
所述扩角放大单元将被测物反射的激光光束反射至所述光学接收单元；
其中，所述微机电振镜控制单元用于调整所述微机电振镜的偏转角，使其在互相垂直的两个方向上振动；
所述激光发射单元包括光学准直镜组，所述光学准直镜组包括至少一片自由曲面透镜或至少两片球面镜，用于对入射的激光光束进行准直；
所述的扩角放大单元包括反射镜和扩角镜，其通过反射原理扩大出射光束的扫描角度；所述扩角镜是可对光进行反射的旋转对称体，上反射面角度渐变，用于扩大入射激光光束垂直方向扫描角度；
所述反射镜在光学接收单元光轴方向上的投影面积不小于所述接收光学镜组的有效孔径。
2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述激光发射单元还包括激光发生器；
所述激光发生器与所述光学准直镜组的主光轴重合。
3.根据权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述激光发生器包括激光调制部件和激光发射部件，所述激光调制部件用于调制所述的激光发光部件产生调制激光光束。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的光学装置，其特征在于，所述光学准直镜组由对近红外光有高透过率的材料加工而成。
5.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述光学接收单元包括接收光学镜组和光电探测器；
所述反射镜、所述接收光学镜组和所述光电探测器主轴重合。
6.根据权利要求5所述的光学装置，其特征在于，所述接收光学镜组包括至少2组镜片，用于将从被测物反射的激光光束经所述反射镜反射后汇聚到所述光电探测器上。
7.根据权利要求1、5或6任意一项所述的光学装置，其特征在于，所述接收光学镜组由对近红外光有高透过率的材料加工而成。
8.一种激光雷达系统，其特征在于，包括权利要求1至7中任意一项所述的基于微机电振镜的光学装置。
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Families Citing this family (12)
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|---|---|---|---|---|
| CN109343032A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-15 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种基于衍射分束元件的激光雷发射系统 |
| CN109343034A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-15 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种基于mems振镜的激光雷达发射系统 |
| CN109343033A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-15 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种基于衍射分束元件的时间复用激光雷达发射系统 |
| CN111090081A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-05-01 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 激光雷达扫描系统及其角度扩束装置和应用 |
| CN109471122B (zh) * | 2018-11-01 | 2020-09-22 | 百度在线网络技术（北京）有限公司 | 基于激光雷达的扫描控制方法、装置、设备及激光雷达 |
| CN109828259A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-05-31 | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 | 一种激光雷达及组合扫描装置 |
| WO2020228256A1 (zh) * | 2019-05-15 | 2020-11-19 | 北醒（北京）光子科技有限公司 | 一种雷达和角度调整装置 |
| WO2021138774A1 (zh) * | 2020-01-06 | 2021-07-15 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 多线激光器模块、激光雷达及可移动平台 |
| CN113219438B (zh) * | 2020-01-21 | 2023-03-31 | 苏州一径科技有限公司 | 一种高精度mems激光雷达发射装置和方法 |
| CN115825917B (zh) * | 2021-12-03 | 2023-08-15 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 一种光学接收装置及光学传感装置 |
| CN114397666A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-04-26 | 陈伟红 | 一种单线激光雷达探头及激光雷达 |
| CN115291245B (zh) * | 2022-09-28 | 2022-12-16 | 北醒（北京）光子科技有限公司 | 激光雷达和汽车 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1847881A (zh) * | 2006-05-11 | 2006-10-18 | 哈尔滨工业大学（威海） | 一维扫描激光雷达汽车防撞系统 |
| WO2008018955A2 (en) * | 2006-06-27 | 2008-02-14 | Arete' Associates | Camera-style lidar setup |
| CN101299066A (zh) * | 2007-04-30 | 2008-11-05 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 激光雷达透射式同轴发射与接收装置 |
| CN103038664A (zh) * | 2010-07-29 | 2013-04-10 | Iee国际电子工程股份公司 | 主动照明扫描成像器 |
| CN104914445A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-16 | 长春理工大学 | 用于激光雷达的复合式扫描系统 |
| CN204903760U (zh) * | 2015-07-31 | 2015-12-23 | 上海朗尚科贸有限公司 | 一种基于mems镜原理的激光探测及测距装置 |
| CN206515462U (zh) * | 2016-12-19 | 2017-09-22 | 北京万集科技股份有限公司 | 一种基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1847881A (zh) * | 2006-05-11 | 2006-10-18 | 哈尔滨工业大学（威海） | 一维扫描激光雷达汽车防撞系统 |
| WO2008018955A2 (en) * | 2006-06-27 | 2008-02-14 | Arete' Associates | Camera-style lidar setup |
| CN101299066A (zh) * | 2007-04-30 | 2008-11-05 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 激光雷达透射式同轴发射与接收装置 |
| CN103038664A (zh) * | 2010-07-29 | 2013-04-10 | Iee国际电子工程股份公司 | 主动照明扫描成像器 |
| CN104914445A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-16 | 长春理工大学 | 用于激光雷达的复合式扫描系统 |
| CN204903760U (zh) * | 2015-07-31 | 2015-12-23 | 上海朗尚科贸有限公司 | 一种基于mems镜原理的激光探测及测距装置 |
| CN206515462U (zh) * | 2016-12-19 | 2017-09-22 | 北京万集科技股份有限公司 | 一种基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统 |
Non-Patent Citations (1)
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| 扩角镜的光学设计问题;王书泽,李元康;光学学报(第02期);全文 * |
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