JP6558045B2 - 吸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、吸着装置に係り、詳しくはシート状の絶縁体を吸着する吸着装置に関する。

シート状の物体を搬送する場合、吸着装置でシート状の物体を吸着して搬送する搬送装置がある。そして、吸着装置として複数の吸着部を用いて搬送対象物を吸着する吸着装置もある。また、搬送対象物が静電気を帯びることにより、搬送中に異物を吸着したり搬送対象物が静電気により悪影響を受けたりする場合がある。例えば、蓄電装置の製造過程において、電極を包んだセパレータを搬送する場合、吸着装置がセパレータを吸着した状態でセパレータに金属粉などの導電性異物が付着すると、電極群組み付け時に異物がセパレータを貫通し、電池として内部短絡を生じる。

特許文献１には、ポンプによる負圧で半導体パッケージを吸着する吸着部がパッケージと接触する部分に導電性の弾性部材を設けるとともに、弾性部材をアース線によって接地させることが開示されている。また、特許文献２には、ワークを一括して吸着保持する吸着ヘッドとして、複数のエア吸引管を介して吸着機構に接続された吸着ヘッド本体と、ワークを吸着保持する吸着面にマトリクス状に仕切り溝が形成され、該仕切り溝にワークに当接して密閉可能な弾性材よりなる仕切り部材が嵌め込まれたものが開示されている。そして、静電気により半導体チップを損傷しないようにするため、仕切り部材は、導電性ゴム材により形成されていることが開示されている。

特開平１０−１２６０９６号公報 特許第４３０９０８４号公報

しかしながら、複数の吸着部を用いて搬送対象物を吸着しようとする場合、搬送対象物に凹凸部が存在すると、複数の吸着部のうちの一部の吸着部の吸引力が搬送対象物に良好に作用しない状態となる場合がある。また、特許文献１及び特許文献２では、静電気を防止する導電部材を吸着部がパッケージと接触する部分に設けるため、導電性ゴムのような材料を用いる必要がある。そのため、導電部材としての静電防止性能は金属に比べて劣り、シール性も劣る。

本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、シート状の絶縁体を吸着するときに、絶縁体が均一な平面状態でなくとも吸引を良好に行うことができるとともに、絶縁体に帯電した静電気を吸着時に除去することができる吸着装置を提供することにある。

上記課題を解決する吸着装置は、シート状の絶縁体を吸着する吸着装置であって、吸引孔が形成された基体の吸着側面に、複数の弾性変形可能なリブが前記吸引孔の周りに沿って延びるように、かつ二重以上の環状に形成され、最も外側に形成されたリブは無端状に形成され、前記最も外側に形成されたリブより内側に形成されたリブは、前記吸引孔から前記基体の外周側に向かう方向において隣り合うリブ間及び前記最も外側に形成されたリブとの間に形成される溝部が連通するように形成されている。そして、前記基体には、前記溝部内に突出し、かつ前記リブの非変形状態では先端が前記リブの先端より前記基体側に位置し、前記絶縁体を吸着するときには前記絶縁体と接触可能に金属接触子が設けられている。ここで、「環状」とは、例えば、同心円のように内側の環状部と外側の環状部とが相似形の場合に限らず、渦巻き状（スクロール状）の場合も含む。

この構成によれば、複数の弾性変形可能なリブが吸引孔の周りに沿って延びるように、二重以上の環状に形成されているため、シート状の絶縁体を吸着するときに、絶縁体が均一な平面状態でなくとも、リブが弾性変形してリブの先端がシート状の絶縁体に接触した状態で吸引孔からの吸引力により吸引が良好に行われる。また、溝部内に突出している金属接触子が絶縁体に接触すると、絶縁体に帯電した静電気が金属接触子を介して除去される。したがって、シート状の絶縁体を吸着するときに、絶縁体が均一な平面状態でなくとも吸引を良好に行うことができるとともに、絶縁体に帯電した静電気を吸着時に除去することができる。

前記金属接触子は、先端側が曲がっていることが好ましい。ここで、「曲がっている」とは、湾曲に限らず屈曲している場合も含む。金属接触子が真っ直ぐに延びる状態に形成されていると、吸着装置がシート状の絶縁体を吸着したときに、金属接触子の先端で線接触する状態となる。しかし、金属接触子の先端側が曲がっていると、吸着装置がシート状の絶縁体を吸着したときに、金属接触子は先端付近が面接触する状態となり、静電気の除去が効率良く行われる。

前記金属接触子は、幅方向が前記溝部の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている。吸着装置によるセパレータの吸着時には、溝部に吸引孔に向かう空気の流れが生じている。そのため、金属接触子の幅方向が溝部の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている場合は、空気の流れによって金属接触子が絶縁体に押圧される状態となり、絶縁体に帯電した静電気の除去が効率良く行われる。

前記絶縁体は、蓄電装置の電極を包んだセパレータであることが好ましい。電極を包んだセパレータが帯電した状態で搬送されて、搬送中に金属類異物を吸着した状態で電極群の組み付けが行われると、導電性物質がセパレータを貫通し、電池として内部短絡を生じる。しかし、セパレータに帯電した静電気が、吸着装置によるセパレータの吸着時に、吸着装置が備えた金属接触子の作用により除去されるため、そのような問題が生じない。

本発明によれば、シート状の絶縁体を吸着するときに、絶縁体が均一な平面状態でなくとも吸引を良好に行うことができるとともに、絶縁体に帯電した静電気を吸着時に除去することができる。

（ａ）は第１の実施形態の吸着装置を模式的に示す底面図（下面図）、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線における模式断面図。 （ａ）は吸着側が下向きの状態の図１（ｃ）に対応する模式断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線における模式断面図。 搬送装置を模式的に示す正面図。 （ａ）〜（ｃ）は吸着装置の作用を示す模式断面図、（ｄ）は（ａ）のＤ−Ｄ線における模式断面図、（ｅ）は（ｂ）のＥ−Ｅ線における模式断面図、（ｆ）は（ｃ）のＦ−Ｆ線における模式断面図。 第２の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。 別の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。 別の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。 別の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。 別の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。 別の実施形態における吸着装置を模式的に示す底面図。

（第１の実施形態）
以下、本発明をシート状の絶縁体を搬送する搬送装置に装備される吸着装置に具体化した第１の実施形態を図１〜図４にしたがって説明する。

図１（ａ），（ｂ）に示すように、吸着装置１１は、円板状の基体１２を有し、基体１２の中心部に吸引孔１３が形成されている。図１（ｃ）に示すように、基体１２は、支持板１２ａと、支持板１２ａの吸着側面（図１（ｃ）における下側面）に一体に形成された吸着部１２ｂとで構成されている。吸着部１２ｂは、弾性変形可能な軟質な材料製である。軟質な材料としては、例えば、スチレン系、オレフィン系、塩化ビニル系、ウレタン系、及びアミド系の熱可塑性エラストマーや、シリコーンゴム、及び天然ゴムなどを採用できる。

基体１２の吸着側面、即ち吸着部１２ｂの表面には、複数の弾性変形可能なリブ１４ａ，１４ｂが吸引孔１３の周りに沿って延びるように、かつ二重以上の環状となるように吸着部１２ｂと一体に形成されている。即ち、吸引孔１３から基体１２の外周側に向かう方向において隣り合うリブ１４ｂ間及びリブ１４ａとその内側に隣接して形成されたリブ１４ｂとの間には溝部１５が形成されている。各リブ１４ａ，１４ｂは、吸着部１２ｂの表面からの突出量が同じに形成されている。

最も外側に形成されたリブ１４ａは円筒状、即ち無端状に形成されている。最も外側に形成されたリブ１４ａより内側に形成されたリブ１４ｂは、吸引孔１３から基体１２の外周側に向かう方向において隣り合うリブ１４ｂ間及び最も外側に形成されたリブ１４ａとの間に形成される溝部１５が連通するように形成されている。この実施形態では、各リブ１４ｂは、四半円弧状に形成され、周方向において隣り合うリブ１４ｂ間のスリット１６を介して溝部１５が連通されている。

図１（ｃ）に示すように、基体１２には、溝部１５内に突出し、かつリブ１４ａ，１４ｂの非変形状態では先端がリブ１４ａ，１４ｂの先端より基体１２側に位置するように金属接触子１７が設けられている。各金属接触子１７は、アース線１８により接地されている。金属接触子１７は、例えば、ゴムメタルと呼ばれるチタン系合金で形成されている。

図２（ａ），（ｂ）に示すように、金属接触子１７は、基端が吸着部１２ｂに固定され、かつ幅方向が溝部１５の長手方向と交差するように設けられている。図２（ｂ）に示すように、金属接触子１７は、先端側が曲がっている状態で設けられている。この実施形態では、金属接触子１７は全体が湾曲した状態に形成されている。金属接触子１７は、その湾曲方向が、図４（ｆ）に示すように、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている。なお、図２（ｂ）及び図４（ｄ）〜（ｆ）には金属接触子１７を便宜上２個図示しているが、２個の金属接触子１７の間隔はこのように近くはない。

次に吸着装置１１を、蓄電装置の製造過程において、電極を包んだセパレータ２０を搬送する搬送装置に適用した場合について説明する。
図３に示すように、搬送装置３０は、搬送対象物としてのセパレータ２０を載置するための第１載置部３１と、第１載置部３１に載置されているセパレータ２０を保持して搬送する搬送部４０と、搬送部４０を制御する制御部５０と、セパレータ２０を載置するための第２載置部３２と、を有する。搬送装置３０は、セパレータ２０を搬送元である第１載置部３１から搬送先である第２載置部３２へ搬送するための装置である。

第１載置部３１は、１つのセパレータ２０を載置、又は複数のセパレータ２０を積み重ねて載置できる載置面３１ａを有する。第２載置部３２は、１つのセパレータ２０を載置、又は複数のセパレータ２０を積み重ねて載置できる載置面３２ａを有する。

搬送部４０は、第１載置部３１及び第２載置部３２の上方において、所定方向に沿って延在しているレール４１と、レール４１に沿って移動可能となるように支持された保持ヘッド４２と、を有する。搬送部４０は、保持ヘッド４２をレール４１に沿って移動させる移動部としてのアクチュエータ４１ａを有する。アクチュエータ４１ａは、例えばエアシリンダやステッピングモータなどであり、所定の制御信号を入力して動作する。

保持ヘッド４２は、吸着装置１１を昇降できる昇降部４４を有する。吸着装置１１は、吸引孔１３に吸引作用を発生できる発生部４５を基体１２の反吸着側に有する。発生部４５は、所定の制御信号を入力して動作する電磁弁などである。発生部４５は、例えば、吸着装置１１や吸着装置１１とは別の場所に設置された吸引ポンプの吸引力を利用することによって、吸引孔１３から気体（空気）を吸引し、吸着装置１１に吸着力を発生させることができる。

昇降部４４は、例えば図示しないエアシリンダやステッピングモータなど、所定の制御信号を入力して動作するアクチュエータを備えている。昇降部４４は、このアクチュエータの動作によって、吸着装置１１を昇降させることができる。

制御部５０は、各種の演算処理を実行できる演算部と、演算部のプログラムや演算結果を記憶できる記憶部を備えている。制御部５０は、制御信号を出力できるように、アクチュエータ４１ａ、昇降部４４、及び発生部４５と接続されている。

次に、前記のように構成された吸着装置１１及び搬送装置３０の作用について説明する。なお、制御部５０は、以下に説明する動作が行われるように、制御信号を出力してアクチュエータ４１ａ、昇降部４４、及び発生部４５を制御する。

制御部５０は、図３に実線で示すように、保持ヘッド４２を第１載置部３１の上方へ移動させた状態で、第１載置部３１に載置されているセパレータ２０のうち、最上部にあるセパレータ２０へ向かって吸着装置１１を下降させる。

制御部５０は、吸着部１２ｂのリブ１４ａ，１４ｂの先端がセパレータ２０を押圧する位置で吸着装置１１を停止させる。図４（ａ），（ｄ）に示すように、吸着装置１１は、金属接触子１７の先端がリブ１４ｂの先端より基体１２側に位置する状態から下降し、吸着装置１１の下降途中で、図４（ｂ），（ｅ）に示すように、リブ１４ｂの先端がセパレータ２０と接触する状態になる。この時点で吸引孔１３に吸引力が作用する状態となる。

リブ１４ｂの先端が接触するセパレータ２０の表面が均一な平面であれば、吸着装置１１の下降の際に、各リブ１４ａ，１４ｂの先端は同時にセパレータ２０の表面に接触する。しかし、セパレータ２０は電極２１を包んでいるため、その表面は均一な平面ではなく、凹凸が存在する状態となっている。表面に凹凸が存在する状態のセパレータ２０に対して、各リブ１４ａ，１４ｂの先端が一平面上にある状態で吸着装置１１が下降移動すると、先ず凸部と対向するリブ１４ａ，１４ｂがセパレータ２０に接触した状態で、吸着装置１１の下降移動が継続される。そして、吸着装置１１が所定の下降位置まで移動されると、図４（ｃ），（ｆ）に示すように、各リブ１４ｂは、その先端がセパレータ２０と接触し、かつ弾性変形してセパレータ２０を押圧した状態になる。図示しないが、リブ１４ａも弾性変形した状態になる。

セパレータ２０の表面が均一な平面であれば、各リブ１４ａ，１４ｂは同じ状態で変形し、図４（ｂ），（ｅ）に示す状態から図４（ｃ），（ｆ）に示す状態までの間に、各リブ１４ａ，１４ｂの先端がセパレータ２０の表面に沿って移動することはない。しかし、セパレータ２０の表面に凹凸の状態があると、先にセパレータ２０の表面に接触したリブ１４ｂあるいはリブ１４ａは、吸着装置１１が下降移動を継続する際に、セパレータ２０との接触摩擦で静電気を発生し、セパレータ２０が静電気を帯びた状態になる。

また、セパレータ２０の表面が均一な平面であっても、吸着装置１１が最上部のセパレータ２０を吸着した状態で上昇する際に、最上部のセパレータ２０とその下のセパレータ２０との間の剥離帯電によりセパレータ２０が帯電する。

セパレータ２０が静電気を帯びた状態で搬送装置３０により搬送されると、装置部品の摺動磨耗粉などの導電性物質である金属類異物を吸着してしまい、電極群の組み付け時に導電性物質がセパレータ２０を貫通し、電池として内部短絡を生じる。

しかし、この実施形態では、吸着装置１１が表面に凹凸が存在する状態のセパレータ２０を吸着する際や、積層されたセパレータ２０のうちの最上部のセパレータ２０を吸着して上昇移動する際に、セパレータ２０に静電気が帯電しても、アース線１８を介して接地された金属接触子１７を介して静電気が除去される。その結果、吸着装置１１がセパレータ２０を吸着した状態で搬送装置３０がセパレータ２０を搬送しても、搬送中にセパレータ２０が装置部品の摺動磨耗粉などの導電性物質である金属類異物を吸着することが防止される。

この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）吸着装置１１は、シート状の絶縁体を吸着する吸着装置であって、吸引孔１３が形成された基体１２の吸着側面に、複数の弾性変形可能なリブ１４ａ，１４ｂが吸引孔１３の周りに沿って延びるように、かつ二重以上の環状に形成されている。最も外側に形成されたリブ１４ａは円筒状（無端状）に形成され、リブ１４ａより内側に形成されたリブ１４ｂは、吸引孔１３から基体１２の外周側に向かう方向において隣り合うリブ１４ｂ間及びリブ１４ｂとリブ１４ａとの間に形成される溝部１５が連通するように形成されている。基体１２には、溝部１５内に突出し、かつリブ１４ａ，１４ｂの非変形状態では先端がリブ１４ａ，１４ｂの先端より基体１２側に位置し、シート状の絶縁体を吸着するときにはシート状の絶縁体と接触可能に金属接触子１７が設けられている。したがって、シート状の絶縁体を吸着するときに、絶縁体が均一な平面状態でなくとも吸引を良好に行うことができるとともに、絶縁体に帯電した静電気を吸着時に除去することができる。

（２）シート状の絶縁体は、蓄電装置の電極２１を包んだセパレータ２０である。電極２１を包んだセパレータ２０が帯電した状態で搬送されて、搬送中に金属類異物を吸着した状態で電極群の組み付けが行われると、導電性物質がセパレータ２０を貫通し、電池として内部短絡を生じる。しかし、吸着装置１１が備えた金属接触子１７の作用により、セパレータ２０に帯電した静電気が除去されるため、そのような問題が生じない。

（３）金属接触子１７は、先端側が曲がっている。金属接触子１７が真っ直ぐに延びる状態に形成されていると、吸着装置１１がシート状の絶縁体を吸着したときに、金属接触子１７の先端で線接触する状態となる。しかし、金属接触子１７の先端側が曲がっていると、吸着装置１１がシート状の絶縁体を吸着したときに、金属接触子１７は先端付近が面接触する状態となり、静電気の除去が効率良く行われる。

（４）金属接触子１７は、幅方向が溝部１５の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている。吸着装置１１によるセパレータ２０の吸着時には、溝部１５に吸引孔１３に向かう空気の流れが生じている。そのため、金属接触子１７の幅方向が溝部１５の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている場合は、図４（ｆ）に示すように、空気の流れ（矢印で図示）によって金属接触子１７がセパレータ２０に押圧される状態となり、セパレータ２０に帯電した静電気の除去が効率良く行われる。

（５）金属接触子１７は、チタン合金系のゴムメタルで形成されている。したがって、金属接触子１７が繰り返し曲げ応力を受けても、他の金属製の場合に比べて耐久性が良くなる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態を図５にしたがって説明する。この実施形態では、基体１２の形状が円板状ではなく矩形状である点が第１の実施形態と大きく異なっている。第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。

図５に示すように、基体１２は、矩形状に形成されている。基体１２の幅方向中央には、基体１２の長手方向に沿って配置された複数個（この実施形態では３個）の吸引孔１３が形成されている。

基体１２の吸着側面に、複数のリブ１４ａ，１４ｂが、吸引孔１３を囲むように、大きさの異なる矩形枠状に配置されている。最も外側に形成されたリブ１４ａは、無端状の矩形枠状に形成されている。リブ１４ａの内側に形成されたリブ１４ｂは、基体１２の幅方向又は長手方向において隣接するリブ１４ｂ間、及びリブ１４ａとリブ１４ｂとの間に溝部１５が形成される状態に設けられている。

リブ１４ｂは、吸引孔１３から基体１２の外周側に向かう方向において隣り合うリブ１４ｂ間及び最も外側に形成されたリブ１４ａとの間に形成される溝部１５が連通するように形成されている。この実施形態では、各リブ１４ｂは、基体１２の長手方向に沿って延びる部分あるいは基体１２の幅方向に沿って延びる部分にそれぞれスリット１６が形成され、スリット１６を介して溝部１５が連通されている。

この実施形態では、基体１２が矩形状に形成されているため、矩形状のセパレータ２０の吸着を効率良く行うことができる。また、吸引孔１３が基体１２の幅方向中央において、基体１２の長手方向に沿って複数個配置されている。そのため、吸着装置１１は、セパレータ２０を吸着する際、電極の中央付近に対する吸引力で全体を把持可能となり、電極の端部（周縁部）に対応する箇所を強く吸引する必要がなく、電極の端部（周縁部）に対応する箇所を強く吸引して端部が曲がることがない。

実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○ この明細書で「環状」とは、第１の実施形態のように、リブ１４ａ，１４ｂが同心円状に配置された場合、あるいは第２の実施形態のように、矩形環状（四角環状）の内側の環状部と外側の環状部とが相似形の場合に限らず、渦巻き状（スクロール状）の場合も含む。例えば、図６に示すように、矩形環状のリブ１４ａの内側に、リブ１４ｂがスクロール状に配置されてもよい。この構成では、中央に形成された吸引孔１３に作用する吸引力は、スクロール状に配置されたリブ１４ｂに案内されて、リブ１４ａとリブ１４ｂとの間の溝部１５まで及ぶ。

○ 図７に示すように、スクロール状に形成されたリブ１４ｂにスリット１６を形成してもよい。この場合、スリット１６がバイパスとして機能し、吸引孔１３に作用する吸引力が、リブ１４ａとリブ１４ｂとの間の溝部１５に達するまでの吸引抵抗が低下する。

○ 図７に示すように、矩形環状のリブ１４ａの四隅にＲ凹部１９を設けてもよい。この場合、リブ１４ａの隅部にも吸引力が及び、電極の端部に対応するセパレータ２０の部分に対する吸引力を強くして、端部の剥がれを抑制する。

○ 金属接触子１７は規則的に配置される必要はない。例えば、基体１２が円板状の場合であっても、図８に示すように、できるだけ基体１２の全面に満遍なくランダムに設置してもよい。

○ 最も外側に形成されたリブ１４ａの内側に、環状となるように形成されたリブ１４ｂの他に、環状とならないように形成された弾性変形可能なリブを設けてもよい。例えば、図９に示すように、矩形状の基体１２の場合、基体１２の長手方向あるいは幅方向に延びるリブ１４ｂの端部と連続する状態で斜めに延びるリブ１４ｃを設けてもよい。図９に示す構成の場合、複数の吸引孔１３からの吸引が行われると、矢印Ｙ１で示すように、リブ１４ｂとリブ１４ｃとで囲まれた領域のうち、リブ１４ａと近い部分にある気体が吸引される。そのため、吸引孔１３に近くてもリブ１４ｂで隔てられた領域の吸引力が弱くなり、吸着装置１１全体としては、吸引孔１３に近い部分の吸引力が、周縁部の吸引力よりも強くなり過ぎることが抑制される。

○ 図１０に示すように、吸引孔１３を中央に１個設け、基体１２の長手方向あるいは幅方向に延びるリブ１４ｂの端部と連続する状態で斜めに延びるリブ１４ｃを設けた場合も、同様に吸着装置１１全体としては、吸引孔１３に近い部分の吸引力が、周縁部の吸引力よりも強くなり過ぎることが抑制される。なお、図示は省略しているが、金属接触子１７は、基体１２の長手方向と平行に延びる溝部１５内にも同様に突出する状態で適宜設けられている。

○ 金属接触子１７は、先端側が曲がっている形状として、湾曲している形状に限らず、先端が屈曲した形状であってもよい。
○ 金属接触子１７は、先端側が曲がった形状に限らず、真っ直ぐに延びる形状であってもよい。

○ 金属接触子１７を、その幅方向が溝部１５の長手方向と交差するように設ける場合、直交に近い方が真空吸着時に空気の流れによって金属接触子１７がセパレータ２０に押圧され易くなるため好ましい。

○ 金属接触子１７は、幅方向が溝部１５の長手方向と交差する状態に限らず、長手方向に沿って延びる状態に設けてもよい。
○ 蓄電装置の電極２１がセパレータ２０に包まれている構成としては、電極２１が袋状のセパレータ２０に収容された構成に限らない。例えば、セパレータ２０がシートを二つ折りにして形成され、かつシートの折り曲げ部と反対側の辺が接合されたものや、２枚のシートが対向する２辺で接合されたセパレータ２０に収容されていてもよい。

○ 金属接触子１７は、ゴムメタルに限らず、他の金属で形成されてもよい。
○ シート状の絶縁体は、電極２１を包んだセパレータ２０に限らず、例えば、電極以外の平板状の部材を包んだり収容したりした樹脂製の包装材や、単なる樹脂シートであってもよい。

○ 基体１２の吸着側面に環状に形成されたリブのうち、最も外側に形成された無端状のリブ１４ａの先端を、リブ１４ａの内側に設けられた他のリブ１４ｂの先端より突出した状態に形成してもよい。この場合、リブ１４ａのほうが、他のリブ１４ｂよりも、シート状の絶縁体と密着し易いことから、吸引孔１３から気体を吸引するときに、気体が漏れてしまうことを抑制できる。

○ 吸着装置１１が吸着するシート状の絶縁体の形状は、矩形状に限らず任意の形状であってもよい。
○ 基体１２の形状は平面円形や矩形に限らない。例えば、三角形や五角形、あるいは矩形以外の四角形などの多角形であってもよい。また、楕円形や他の曲線で囲まれた図形であってもよい。

○ 吸着装置１１の吸引孔１３が吸引を開始するタイミングは、リブ１４ａ，１４ｂの先端がシート状の絶縁体に接触した時点に限らず、リブ１４ａ，１４ｂの先端がシート状の絶縁体に接触する前、例えば、吸着装置１１の下降が開始される前であってもよい。

○ 搬送装置３０は、吸着装置１１を保持する保持ヘッド４２が、レール４１に沿って移動する構成に限らない。例えば、保持ヘッド４２がロボットアームに支持されていてもよい。

○ 基体１２が円板状の場合においても、リブ１４ｂは、複数の溝部１５の幅が全て一定となるように設けられる必要はなく、複数の溝部１５で幅が異なる溝部１５と幅が同じ溝部１５とが混在するように設けられてもよい。

○ 基体１２が円板状に形成された第１の実施形態あるいは図８に示す実施形態のように、複数のリブ１４ｂが同心円上に位置するように設け、同じ円上に位置するリブ１４ｂをスリット１６で複数に区画する構成において、同じ円上に位置するリブ１４ｂの数は４個に限らず、４個より少なくても４個より多くてもよい。

○ 基体１２が円板状に形成された第１の実施形態あるいは図８に示す実施形態のように、複数のリブ１４ｂが同心円上に位置するように設け、同じ円上に位置するリブ１４ｂをスリット１６で複数に区画する構成において、複数に区画されたリブ１４ｂは同じ長さに限らず、異なる長さであってもよい。

○ 隣り合う溝部１５が連通するようにリブ１４ｂに形成されたスリット１６は、リブ１４ｂの吸着部１２ｂからの突出長さより短くてもよい。
○ 隣り合う溝部１５が連通するようにスリット１６を設ける代わりに、リブ１４ｂに孔を形成してもよい。

○ リブ１４ａ，１４ｂは、直線状あるいは曲線状に限らず、直線部と曲線部とが混在する形状、あるいは波線状であってもよい。
○ 全てのリブ１４ａ，１４ｂが一定の幅で形成される代わりに、リブ１４ａとリブ１４ｂとを異なる幅で形成してもよい。また、複数のリブ１４ｂの中に幅が異なるリブ１４ｂを設けてもよい。

以下の技術的思想（発明）は前記実施形態から把握できる。
（１）請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の吸着装置を備えた搬送装置。

１１…吸着装置、１２…基体、１３…吸引孔、１４ａ，１４ｂ…リブ、１５…溝部、１７…金属接触子、２０…シート状の絶縁体としてのセパレータ、２１…電極。

Claims (4)

1. シート状の絶縁体を吸着する吸着装置であって、
   吸引孔が形成された基体の吸着側面に、複数の弾性変形可能なリブが前記吸引孔の周りに沿って延びるように、かつ二重以上の環状に形成され、
   最も外側に形成されたリブは無端状に形成され、
   前記最も外側に形成されたリブより内側に形成されたリブは、前記吸引孔から前記基体の外周側に向かう方向において隣り合うリブ間及び前記最も外側に形成されたリブとの間に形成される溝部が連通するように形成され、
   前記基体には、前記溝部内に突出し、かつ前記リブの非変形状態では先端が前記リブの先端より前記基体側に位置し、前記絶縁体を吸着するときには前記絶縁体と接触可能に金属接触子が設けられており、
   前記金属接触子は、先端側が曲がっていることを特徴とする吸着装置。
2. 前記金属接触子は、幅方向が前記溝部の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられている請求項１に記載の吸着装置。
3. 前記絶縁体は、蓄電装置の電極を包んだセパレータである請求項１又は請求項２に記載の吸着装置。
4. シート状の絶縁体を吸着する吸着装置であって、
   吸引孔が形成された基体の吸着側面に、複数の弾性変形可能なリブが前記吸引孔の周りに沿って延びるように、かつ二重以上の環状に形成され、
   最も外側に形成されたリブは無端状に形成され、
   前記最も外側に形成されたリブより内側に形成されたリブは、前記吸引孔から前記基体の外周側に向かう方向において隣り合うリブ間及び前記最も外側に形成されたリブとの間に形成される溝部が連通するように形成され、
   前記基体には、前記溝部内に突出し、かつ前記リブの非変形状態では先端が前記リブの先端より前記基体側に位置し、前記絶縁体を吸着するときには前記絶縁体と接触可能に金属接触子が設けられており、
   前記金属接触子は、幅方向が前記溝部の長手方向と交差し、真空吸着時における空気の流れの進行方向に向かって凸となるように設けられていることを特徴とする吸着装置。