JP2016173927A - 搬送装置、及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電極を有するシート状の搬送対象物に付着している異物の量を低減できる搬送装置、及び搬送方法を提供すること。【解決手段】搬送装置であって、開口部３６を有する箱状であり、シート状の搬送対象物１１を搬送できるように保持する保持部３０と、搬送対象物１１が保持部３０の開口部３６を覆うように保持されている状態において、搬送対象物１１に接触した状態で保持部３０内を移動する回転ブラシ５０と、該回転ブラシ５０によって除去された異物を保持部３０内から搬出する吸引装置６０と、を備える。【選択図】図３

Description

この発明は、搬送装置、及び搬送方法に関する。

従来から、ＥＶ（Electric Vehicle）やＰＨＶ（Plug in Hybrid Vehicle）などの車両には、例えばモータなどへの供給電力を蓄える蓄電装置として、リチウムイオン二次電池やニッケル水素二次電池などが搭載されている。これらの蓄電装置には、シート状に加工された電極を有しているものがある。このため、このような蓄電装置の製造工程は、搬送対象物である電極を搬送する工程を含んでいる。

そして、例えば特許文献１には、積み重ねられたシート状の搬送対象物（シリコン基板）を吸着ヘッドで吸着して保持するとともに、搬送対象物を所定位置へ搬送する搬送装置が開示されている。

特開２００９−１６６９５５号公報

しかしながら、特許文献１に記載されている搬送装置では、例えば、吸着ヘッドや吸着ヘッドの周囲に設けられているアームから発生した異物など、環境中に浮遊している異物が搬送対象物に付着してしまう虞がある。

この発明は、上述のような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、電極を有するシート状の搬送対象物に付着している異物の量を低減できる搬送装置、及び搬送方法を提供することにある。

上記課題を解決する搬送装置は、開口部を有する箱状であり、電極を有するシート状の搬送対象物を搬送できるように保持する保持部と、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、前記搬送対象物に接触した状態で前記保持部内を移動するブラシと、前記ブラシによって除去された異物を前記保持部内から搬出する搬出部と、を備えたことを要旨とする。

これによれば、搬送対象物に付着している異物は、搬送対象物が保持部により保持されている状態において、ブラシが搬送対象物に接触した状態で移動することにより除去される。さらに、除去された異物は、保持部内から搬出される。したがって、電極を有するシート状の搬送対象物に付着している異物の量を低減できる。

上記搬送装置について、前記搬出部は、前記保持部内の気体を吸引することにより前記異物を搬出するようになっており、前記保持部は、前記搬出部が気体を吸引することにより生じる負圧により前記搬送対象物を吸着して保持することが好ましい。

これによれば、異物の搬出と、搬送対象物の保持とが、搬出部による気体の吸引によって行われる。このため、搬送装置の構成が簡略化される。
上記搬送装置について、前記ブラシは除電ブラシであることが好ましい。これによれば、ブラシは、静電気を除去しつつ異物を除去できる。したがって、異物が静電気力によって搬送対象物に付着している場合に、普通のブラシを用いるときと比較して、異物が効率よく除去される。

また、上記搬送装置について、前記ブラシは回転ブラシであることが好ましい。これによれば、回転しないブラシを用いる場合と比較して、異物が効率よく除去される。
また、上記課題を解決する搬送方法は、開口部を有する箱状の保持部により、電極を有するシート状の搬送対象物を搬送できるように保持し、ブラシを、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、前記搬送対象物に接触させた状態で前記保持部内を移動させ、搬出部により、前記ブラシによって除去された異物を前記保持部内から搬出することを要旨とする。

これによれば、搬送対象物に付着している異物は、搬送対象物が保持部により保持されている状態において、ブラシを搬送対象物に接触させた状態で移動させることにより除去される。さらに、除去された異物は、保持部内から搬出される。したがって、電極を有するシート状の搬送対象物に付着している異物の量を低減できる。

本発明によれば、電極を有するシート状の搬送対象物に付着している異物の量を低減できる。

搬送装置の模式図。 搬送対象物である電極の模式図。 搬送装置を模式的に示す斜視図。 図３に示す４−４線断面を模式的に示す断面図。 （ａ）及び（ｂ）は、図３に示す５−５線断面を模式的に示す断面図。 （ａ）及び（ｂ）は、第２の実施形態の搬送装置を模式的に示す断面図。 別の実施形態の搬送装置を模式的に示す斜視図。 別の実施形態のブラシを模式的に示す斜視図。 別の実施形態のブラシを模式的に示す斜視図。 別の実施形態の搬送装置を模式的に示す断面図。

（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態の搬送装置及び搬送方法を図１〜図５にしたがって説明する。
図１に示すように、本実施形態の搬送装置１０は、略四角形状のシート状の搬送対象物１１を、搬送元となる第１載置部１２から、搬送先となる第２載置部１３へ搬送するための装置である。なお、本実施形態において「シート状」は、面方向に沿った長さと比較して、厚さ方向の長さが短いことを意味している。まず、搬送対象物１１について説明する。

図２に示すように、搬送対象物１１は、電極２０と、該電極２０を覆っている袋状のセパレータ２３と、を有する。電極２０は、例えば、リチウムイオン二次電池やニッケル水素二次電池、及び電気二重コンデンサ等の蓄電装置用の電極であって、正極電極及び負極電極の何れであってもよい。電極２０は、略四角形状の金属箔と、該金属箔の両面に設けられた活物質層と、を有する。電極２０の縁部のうち１つの縁部には、タブ２１が電極２０の面方向に沿って突出している。以下の説明では、電極２０のうちタブ２１を除いた部分を本体部２２と示す。

また、電極２０は、タブ２１が突出している状態で、多孔質な絶縁体である袋状のセパレータ２３に収容されている。セパレータ２３は、電極２０の本体部２２よりも大きい２枚の四角形状のセパレータの縁部を相互に接合して形成されている。なお、タブ２１が突出している部分では、２枚のセパレータが相互に接合されていない。

図１に示すように、搬送装置１０は、第１載置部１２及び第２載置部１３の上方に配設されたガイドレール１４と、該ガイドレール１４に沿って移動可能な吸着装置１５と、を有する。吸着装置１５は、搬送対象物１１を搬送できるように保持する保持部３０を有する。

また、吸着装置１５は、保持部３０を昇降させるシリンダ４０を有する。シリンダ４０のロッド４１の先端は保持部３０に連結されているとともに、ロッド４１の基端は図示しないピストンに連結されている。ピストンはシリンダ４０のシリンダチューブ４２内で移動可能に収容され、ピストンの移動に伴いロッド４１がシリンダチューブ４２に対し保持部３０側に出没する。そして、シリンダ４０への空気の給排を制御することにより、シリンダチューブ４２に対するロッド４１の出没が制御され、保持部３０が昇降する。

図３及び図４に示すように、保持部３０は、四角形状の上板３１と、該上板３１の四方の縁部から下方に向かってそれぞれ延設された四角形状の側壁３２〜３５とを有する。即ち、保持部３０は、その下方に開口部３６を有する箱状である。開口部３６は、搬送対象物１１のうち電極２０の本体部２２よりも僅かに小さい。また、互いに対向する側壁３２，３４のうち、側壁３２は開口部３６に沿って延びる貫通孔３７を有する。同様に、側壁３４は、開口部３６に沿って延びる貫通孔３８を有する。

また、図３に示すように、保持部３０は、円柱状のベース部５１を回転軸として回転可能なブラシとしての回転ブラシ５０を有する。ベース部５１の外周面の全体には、複数の導電性繊維５２が均一に植設されている。本実施形態において、導電性繊維５２は搬送対象物１１の表面を傷つけない程度の柔らかさを有する繊維である。導電性繊維５２は、例えば炭素繊維である。なお、導電性繊維５２は、炭素繊維でなくてもよく、例えば、金属製、導電アクリル製、又は他の複合材料製であってもよい。

ベース部５１の第１端は、ベアリング５３を介して貫通孔３７に支持されている一方で、第１端とは反対側の第２端は、ベアリング５４を介して貫通孔３８に支持されている。また、回転ブラシ５０は、導電性繊維５２の一部が保持部３０の開口部３６よりも下方に突出する位置に支持されている。回転ブラシ５０のベース部５１は、例えばモータなどの図示しない駆動装置に接続されている。そして、回転ブラシ５０は、駆動装置の駆動により回転及び移動可能に構成されている。なお、回転ブラシ５０の移動方向は、貫通孔３７，３８が延びる方向となる。また、回転ブラシ５０のベース部５１は、接地されている。したがって、本実施形態の回転ブラシ５０は、静電気を除去する除電ブラシである。

図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、保持部３０は、保持部３０内において側壁３２，３３，３５の内面に沿って摺動可能に支持されている四角帯状の隔壁５６を有する。隔壁５６は、ベアリング５３に連結されている。また、保持部３０は、保持部３０内において側壁３３〜３５の内面に沿って摺動可能に支持されている四角帯状の隔壁５７を有する。隔壁５７は、ベアリング５４に連結されている。隔壁５６，５７は、回転ブラシ５０の移動に伴って、貫通孔３７，３８をそれぞれに覆った状態でスライド可能に構成されている。

図４に示すように、保持部３０は、吸引ポンプ６１を有する吸引装置６０を備えている。吸引ポンプ６１は、保持部３０の内部に開口している吸引孔６２を介して、保持部３０の内部の気体を吸引できるように構成されている。

また、図１に示すように、搬送装置１０は、シリンダ４０、回転ブラシ５０の駆動装置、及び吸引装置６０を制御する制御装置７０を有する。制御装置７０は、各種の演算処理を実行できる演算部と、演算部のプログラムや演算結果を記憶できる記憶部とを備えている。制御装置７０と、シリンダ４０、回転ブラシ５０の駆動装置、及び吸引装置６０とは、信号接続されている。

次に、搬送装置１０による搬送方法について、その作用とともに説明する。本実施形態の搬送方法は、以下に説明する保持工程、除去工程、及び搬出工程を含む。なお、制御装置７０は、以下に説明する手順で、シリンダ４０、回転ブラシ５０の駆動装置、及び吸引装置６０が動作されるように、それぞれに対して制御信号を出力する。

図１に示すように、保持工程では、吸着装置１５を第１載置部１２上に移動させ、ロッド４１をシリンダチューブ４２から突出させて保持部３０を下降させる。そして、保持部３０が搬送対象物１１に接触すると、吸引装置６０の吸引ポンプ６１を作動させて保持部３０内の気体を吸引し、保持部３０内を負圧にする。このようにして、保持工程では、保持部３０により、第１載置部１２の最上層の搬送対象物１１を搬送できるように吸着して保持する。また、前述のように、開口部３６は搬送対象物１１のうち電極２０の本体部２２よりも僅かに小さいため、搬送対象物１１は、開口部３６を覆うように保持される。さらに、導電性繊維５２の一部は、開口部３６よりも下方に突出しているため、開口部３６を覆うように搬送対象物１１を保持している状態において、搬送対象物１１の表面に接触する。

次に、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、除去工程では、図示しない駆動装置を駆動させることにより、導電性繊維５２が搬送対象物１１の表面に接触している状態で、回転ブラシ５０をベース部５１の軸線まわりで回転させつつ貫通孔３７，３８の延びる方向に沿って、移動させる（例えば一往復）。そして、回転ブラシ５０の回転及び移動によって、搬送対象物１１の表面に付着している異物を除去する。また、前述のように、回転ブラシ５０は除電ブラシである。このため、除去工程では、搬送対象物１１の表面に蓄積している静電気を除去することにより、搬送対象物１１の表面に静電気力によって付着している異物を容易に除去できる。また、除去工程では、回転ブラシ５０の移動に伴って、隔壁５６，５７が貫通孔３７，３８をそれぞれに覆った状態で摺動する。

次に、図４に示すように、搬出工程では、除去工程において回転ブラシ５０によって除去された異物を、吸引装置６０の吸引ポンプ６１の作動によって吸引孔６２を介して吸引することにより保持部３０内から搬出する。このように、本実施形態において、吸引装置６０は搬出部に相当する。

その後、図１に示すように、駆動装置を停止させて回転ブラシ５０の回転及び移動を停止させた後、ロッド４１をシリンダチューブ４２に没入させて保持部３０を上昇させ、そのまま吸着装置１５をガイドレール１４に沿って第２載置部１３上まで移動させる（図１において二点鎖線で示す）。そして、ロッド４１をシリンダチューブ４２から突出させて保持部３０を第２載置部１３に向けて下降させる。その後、吸引ポンプ６１の作動を停止させて保持部３０内の負圧を解除することにより第２載置部１３に搬送対象物１１を載置する（落下させる）。

また、保持部３０から搬送対象物１１を落下させると、シリンダ４０によって保持部３０を上昇させる。そして、吸着装置１５を第２載置部１３上から第１載置部１２上へ移動させる。その後、第１載置部１２から第２載置部１３へ搬送対象物１１の搬送が繰り返し行われる。

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）搬送対象物１１の表面に付着している異物は、搬送対象物１１が保持部３０により保持されている状態において、回転ブラシ５０が搬送対象物１１に接触した状態で移動することにより除去される。さらに、除去された異物は、保持部３０内から搬出される。したがって、搬送対象物１１に付着している異物の量を低減できる。

（２）異物の搬出と、搬送対象物１１の保持とが、吸引ポンプ６１による気体の吸引によって行われる。このため、搬送装置１０の構成が簡略化される。
（３）回転ブラシ５０は除電ブラシである。このため、回転ブラシ５０は、静電気を除去しつつ異物を除去できる。したがって、異物が静電気力によって搬送対象物１１の表面に付着している場合に、普通のブラシを用いるときと比較して、異物が効率よく除去される。

（４）特に、本実施形態のような除電効果のある回転ブラシ５０では、例えば、導電性且つ非磁性の異物が静電気力により搬送対象物１１の表面に付着している場合に、除電効果を有さないブラシや磁力により異物を除去するときと比較して、効率よく異物を除去できる。

（５）回転ブラシ５０は、回転しつつ移動することにより異物を除去できる。このため、回転しないブラシにより異物を除去するときと比較して効率よく異物を除去できる。
（６）回転ブラシ５０を移動させる際、該回転ブラシ５０の移動に伴って隔壁５６，５７が貫通孔３７，３８をそれぞれに覆った状態で摺動するため、貫通孔３７，３８からの気体の流入を抑制し、保持部３０内を負圧に保つことができる。このため、搬送対象物１１を吸着する吸着力及び回転ブラシ５０により除去された異物を吸引する吸引力が低下することを抑制できる。

（７）回転ブラシ５０の回転及び移動を停止させた後に、吸着装置１５を移動させる。この場合、回転ブラシ５０を回転及び移動させつつ吸着装置１５を移動させるときと比較して、吸着装置１５の移動中に該吸着装置１５の重心が移動することを抑制できるため、吸着装置１５の駆動部分が摩耗することを抑制できる。

（８）回転ブラシ５０を用いた異物の除去と、除去された異物の搬出（回収）とが、保持部３０と搬送対象物１１とによって囲われることで閉鎖された空間内で行われる。したがって、搬送対象物１１に付着していた異物が、環境中に飛散することが抑制される。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態の搬送装置及び搬送方法を図６にしたがって説明する。なお、以下の説明では、既に説明した実施形態と同一の構成について同一の符号を付すなどし、その重複する説明を省略又は簡略する。

図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、保持部３０は、搬送対象物１１を吸着するときに、搬送対象物１１を支持するための吸着シート８０を有する。吸着シート８０は、柔軟性を有する材料（例えばシリコンゴムなどのゴム材料、又は樹脂材料）製のシート状の部材である。回転ブラシ５０が延びる方向において、吸着シート８０の長さは、開口部３６と同一又は略同一の長さである。また、回転ブラシ５０の移動方向において、吸着シート８０の長さは、開口部３６よりも長い。吸着シート８０は、回転ブラシ５０と上板３１との間を通過させた状態で、側壁３３，３５の先端部にそれぞれ固定されている。

また、吸着シート８０は、回転ブラシ５０によって除去された異物が通過可能な通過部８３を有する。通過部８３は、厚さ方向に貫通しており、異物が通過可能な大きさの複数の貫通孔である。

そして、保持工程では、保持部３０のうち開口部３６まわりの先端部が搬送対象物１１に接触した状態において、吸引装置６０の吸引ポンプ６１を作動させて保持部３０内の気体を吸引し、保持部３０内を負圧にする。保持部３０内が負圧にされる結果、搬送対象物１１と吸着シート８０との間に存在する気体は、通過部８３を介して吸引される。このため、柔軟性を有する吸着シート８０は、搬送対象物１１に沿って密着するとともに、搬送対象物１１を支持する。即ち、本実施形態において、吸着シート８０は、搬送対象物１１を支持する支持部に相当する。

保持部３０により、搬送対象物１１が開口部３６を覆うように保持されている状態において、吸着シート８０には、搬送対象物１１と密着している密着部８１と、回転ブラシ５０の上方を迂回し、搬送対象物１１と離間している離間部８２と、が形成される。即ち、回転ブラシ５０は、吸着シート８０の離間部８２と、搬送対象物１１との間に収容される。

除去工程において、吸着シート８０は、回転ブラシ５０を移動させると、該回転ブラシ５０の移動に伴って離間部８２が移動するように変形する。また、搬出工程では、除去工程において回転ブラシ５０によって除去された異物を、通過部８３を介して吸引し、さらに吸引孔６２を介して吸引することにより、保持部３０内から搬出する。

したがって、第２の実施形態によれば、第１の実施形態の効果（１）〜（８）の効果に加えて、以下に示す効果を得ることができる。
（９）搬送対象物１１を吸着して保持する際、吸着シート８０により搬送対象物１１が支持されるため、吸着による搬送対象物１１の変形を抑制できる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 図７に示すように、保持部３０は、搬送対象物１１を支持する支持部としての支持部材８４を備えてもよい。支持部材８４は、例えば十字状であってもよい。これによれば、搬送対象物１１を吸着して保持するときに、搬送対象物１１が吸着力によって変形することが抑制される。なお、支持部材８４は、搬送対象物１１のうち、回転ブラシ５０と接触できる領域を広くする観点から、細く且つ薄いことが好ましい。

○ 図８に示すように、回転ブラシ５０は、ベース部５１の外周面から直径方向へ突出する複数の繊維列５２を備えてもよい。この場合、複数の繊維列５２は、ベース部５１の長さ方向における中央から、ベース部５１の両端部に向かって、それぞれ面対称となるように、回転ブラシ５０の回転方向（図中、矢印Ｙ１に示す）に傾く螺旋状に延在していてもよい。また、回転ブラシ５０は、繊維列５２と平行に延在しているリブを有していてもよい。

○ 図９及び図１０に示すように、回転ブラシ５０は、搬送対象物１１が保持部３０により保持されている状態において、搬送対象物１１の上面と直交する方向に延びる回転軸まわりで回転可能であってもよい。この場合、回転ブラシ５０は、上板３１の面方向に沿って広がる円盤状のベース部９１と、該ベース部９１の下面全体に植設された複数の導電性繊維９２とを有するとよい。そして、除去工程では、導電性繊維９２が搬送対象物１１の表面に接触している状態で、回転ブラシ５０を円周方向に回転させながら搬送対象物１１の表面に沿って移動させることにより、搬送対象物１１の表面に付着した異物を除去するとよい。

○ 第２の実施形態において、吸着シート８０の形状は適宜変更してもよい。例えば、回転ブラシ５０が延びる方向において開口部３６よりも短い部材としてもよい。また、通過部８３の形状を変更してもよい。

○ 回転ブラシ５０に代えて、回転しないブラシを用いてもよい。この場合、ブラシの移動のみにより搬送対象物１１の表面に付着した異物を除去する。
○ 回転ブラシ５０は、除電ブラシでなくてもよい。この場合、回転ブラシ５０は接地されていなくてもよいし、非導電性の繊維が植設されていてもよい。またこの場合、保持部３０の内部には、回転ブラシ５０とは別体で、搬送対象物１１の表面の静電気を除去するイオナイザを設けてもよい。

○ 保持部３０は、複数の回転ブラシ５０を有していてもよい。これによれば、異物の除去に要する時間が短縮される。
○ 回転ブラシ５０は、保持部３０の側壁３２，３４の内面にそれぞれ設けられた溝や突条などの案内部に対して、移動可能に支持されていてもよい。これによれば、回転ブラシ５０の全体が、保持部３０の内部に収容されることから、保持部３０による搬送対象物１１の吸着が効率よくできるようになる。この場合、貫通孔３７，３８は省略できる。

○ 吸引装置６０は、吸着装置１５とは別体であってもよい。この場合、例えば、保持部３０と吸引ポンプ６１とを配管で接続するとよい。
○ 搬送対象物１１を保持するための構成は、適宜変更してもよい。例えば、吸引装置６０によって生じる負圧によって搬送対象物１１を保持する構成に代えて、各側壁３２〜３５のうち少なくとも１つの縁部に搬送対象物１１を挟持可能な挟持部材を設け、該挟持部材により搬送対象物１１を保持する構成を採用してもよい。即ち、保持部３０は、開口部３６を覆うように搬送対象物１１を保持可能であればよい。

○ 開口部３６の大きさは、適宜変更してもよい。開口部３６の大きさは、セパレータ２３よりも小さいとよい。
○ 吸着装置１５は、シリンダ４０ではなく、モータでロッドを駆動させるものでもよい。

○ 吸着装置１５は、ロボットアームに支持されていてもよい。
○ 搬送装置１０は、複数の吸着装置１５を備えていてもよい。
○ 搬送装置１０は、面方向が水平となるように載置された搬送対象物１１に代えて、面方向が垂直となるように配置された搬送対象物１１を搬送可能な構成であってもよい。

○ 搬送対象物１１は、セパレータ２３に収容されていなくてもよい。
○ 搬送対象物１１の形状を変更してもよい。例えば、搬送対象物１１を略長方形状としてもよい。このとき、回転ブラシ５０は、搬送対象物１１の短辺方向に沿って延びるように構成してもよい。この場合、搬送対象物１１の長辺方向に沿って延びるように構成したときと比較して、回転ブラシ５０を小型化できる。また、回転ブラシ５０は、搬送対象物１１の長辺方向に沿って延びるように構成してもよい。この場合、搬送対象物１１の短辺方向に沿って延びるように構成したときと同一の速度で回転ブラシ５０を移動させた際に、短辺方向に沿って延びるように構成したときと比較して、短時間で異物を除去できる。

○ 保持工程、除去工程、及び搬出工程のうち、一部又は全ての工程を並行して行ってもよい。また、各工程の順序を変更してもよい。例えば、吸引ポンプ６１による吸引と同時に回転ブラシ５０の回転及び移動を行ってもよいし、保持工程において、吸引ポンプ６１による吸引を行いつつ保持部３０の下降を開始させてもよい。また、除去工程及び搬出工程は、吸着装置１５の移動中、即ち、搬送対象物１１の搬送中に行ってもよい。この場合、１枚の搬送対象物１１の搬送に要する時間を短縮できる。

○ 蓄電装置の製造装置において、上述した搬送装置１０を備えていてもよい。また、蓄電装置の製造方法であって、上述した搬送対象物１１の搬送方法を含んでいてもよい。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。

（イ）前記ブラシは、円柱状のブラシであり、円柱の中心軸を回転軸として回転することが好ましい。
（ロ）前記保持部には、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、前記搬送対象物に接触して支持する支持部が備えられていることが好ましい。

（ハ）前記支持部は、前記ブラシによって除去された異物が通過可能な通過部を有するシート状であって、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、保持されている搬送対象物と接触する接触部と、保持されている搬送対象物と離間する離間部と、を備え、前記ブラシは、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、該搬送対象物と前記支持部の離間部との間に収容されるように構成されており、前記支持部の離間部は、前記ブラシの移動に伴って移動可能であることが好ましい。

１０…搬送装置、１１…搬送対象物、２０…電極、３０…保持部、３６…開口部、５０…回転ブラシ（ブラシ）、６０…吸引装置（搬出部）、８０…吸着シート（支持部）、８１…接触部、８２…離間部、８４…支持部材（支持部）。

Claims (5)

1. 開口部を有する箱状であり、電極を有するシート状の搬送対象物を搬送できるように保持する保持部と、
   前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、前記搬送対象物に接触した状態で前記保持部内を移動するブラシと、
   前記ブラシによって除去された異物を前記保持部内から搬出する搬出部と、を備えた搬送装置。
2. 前記搬出部は、前記保持部内を吸引することにより前記異物を搬出するようになっており、
   前記保持部は、前記搬出部が気体を吸引することにより生じる負圧により前記搬送対象物を吸着して保持する請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記ブラシは除電ブラシである請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記ブラシは回転ブラシである請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 開口部を有する箱状の保持部により、電極を有するシート状の搬送対象物を搬送できるように保持し、
   ブラシを、前記搬送対象物が前記保持部の開口部を覆うように保持されている状態において、前記搬送対象物に接触させた状態で前記保持部内を移動させ、
   搬出部により、前記ブラシによって除去された異物を前記保持部内から搬出することを特徴とする搬送方法。