JP6556525B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、基板処理方法であって、a)純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面に供給する工程と、b)前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する工程とを備え、前記a)工程よりも前に、前記電解質の水溶液と加熱された純水とをリンス液タンクにおいて混合することにより、加熱された前記リンス液が生成され、前記リンス液タンクに循環ラインの両端がそれぞれ接続され、前記循環ラインを流れるリンス液が、ヒータにより一定の温度に加熱されている。
請求項10に記載の発明は、基板処理装置であって、純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面に供給するリンス液供給部と、前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する手段とを備え、前記リンス液供給部が、前記電解質の水溶液と加熱された純水とをリンス液タンクにおいて混合することにより、加熱された前記リンス液を生成し、前記リンス液タンクに循環ラインの両端がそれぞれ接続され、前記循環ラインを流れるリンス液が、ヒータにより一定の温度に加熱されている。
4,4a リンス液供給部
9 基板
21 スピンモータ
91 上面
S11〜S15 ステップ
Claims (10)
- 基板処理方法であって、
a)純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面にリンス液ノズルから供給する工程と、
b)前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する工程と、
を備え、
前記a)工程において、前記リンス液ノズルからの吐出直前に、前記電解質の水溶液と加熱された純水とを混合することにより、加熱された前記リンス液が生成されることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理方法であって、
a)純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面に供給する工程と、
b)前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する工程と、
を備え、
前記a)工程よりも前に、前記電解質の水溶液と加熱された純水とをリンス液タンクにおいて混合することにより、加熱された前記リンス液が生成され、
前記リンス液タンクに循環ラインの両端がそれぞれ接続され、前記循環ラインを流れるリンス液が、ヒータにより一定の温度に加熱されていることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理方法であって、
加熱された前記リンス液における前記電解質の濃度が、1000ppm以下であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記電解質が、非金属元素のみから構成されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記電解質が、アンモニアを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記アンモニアの濃度が、250ppm以上かつ500ppm以下であることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記電解質が、塩酸を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項7に記載の基板処理方法であって、
前記塩酸の濃度が、2ppm以上かつ5ppm以下であることを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理装置であって、
純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面にリンス液ノズルから供給するリンス液供給部と、
前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する手段と、
を備え、
前記リンス液供給部が、前記リンス液ノズルからの吐出直前に、前記電解質の水溶液と加熱された純水とを混合することにより、加熱された前記リンス液を生成することを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
純水を溶媒とし、所定の電解質を溶質として、電気抵抗率が0.2MΩ・cm以下となるように生成されるとともに、40℃以上に加熱されたリンス液を、処理液が付着した基板の主面に供給するリンス液供給部と、
前記リンス液が付着した前記主面を乾燥する手段と、
を備え、
前記リンス液供給部が、前記電解質の水溶液と加熱された純水とをリンス液タンクにおいて混合することにより、加熱された前記リンス液を生成し、
前記リンス液タンクに循環ラインの両端がそれぞれ接続され、前記循環ラインを流れるリンス液が、ヒータにより一定の温度に加熱されていることを特徴とする基板処理装置。
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