JP6552039B2 - 走査型顕微鏡、及び、画素データ生成方法 - Google Patents
走査型顕微鏡、及び、画素データ生成方法 Download PDFInfo
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Description
2、5 ミラー
3 ハーフミラー
4 二次元走査機構
4a、4b スキャナ
6、11 レンズ
7 レボルバ
8 対物レンズ
9 ステージ
10 顕微鏡本体
12 共焦点絞り
13 光検出器
14 走査駆動制御回路
15 クロック生成回路
16 A/D変換器
17 変位計
18 焦点移動機構
19 軌跡
20 コンピュータ
21 画素データ生成部
22 表示用データ生成部
30 表示装置
40 入力装置
51、59 位相比較器
52、60 ループフィルタ
53、57 VCO
54、58 カウンタ
55 メモリ
56 D/Aコンバータ
100 走査型顕微鏡
S 試料
Claims (12)
- 試料を光で非等速に走査する走査手段を含む、走査光学系と、
前記走査手段により走査された前記試料からの光を検出し、アナログ信号を出力する光検出器と、
一定の周波数でサンプリングクロックを生成するクロック生成手段と、
前記クロック生成手段で生成された前記サンプリングクロックに従って、前記光検出器から出力されたアナログ信号をオーバーサンプリングし、デジタル信号を出力するサンプリング手段と、
前記試料の各領域に対応する画素データを、前記サンプリング手段から出力された空間的に等間隔に並んだサンプル位置で取得した複数のデジタル信号に基づいて生成する画素データ生成手段と、を備える
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型顕微鏡において、
前記サンプリング手段は、前記アナログ信号を時間積分した積分値をオーバーサンプリングする
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1または請求項2に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、前記試料の異なる領域に対応する複数の画素データの各々を、前記サンプリング手段から出力された同数のデジタル信号に基づいて生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、前記画素データに含まれるノイズ成分の割合が前記複数のデジタル信号の各々に含まれるノイズ成分の割合よりも少なくなるように、前記複数のデジタル信号に基づいて前記画素データを生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項4に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、前記複数のデジタル信号を統計処理して、前記画素データを生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、前記画素データのダイナミックレンジが前記複数のデジタル信号の各々のダイナミックレンジよりも大きくなるように、前記複数のデジタル信号に基づいて前記画素データを生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項6に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、前記複数のデジタル信号を積算して、前記画素データを生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記走査手段は、共振スキャナである
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記画素データ生成手段は、1つ以上の前記画素データから1つの表示用の画素データを生成する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記サンプリング手段は、前記試料上のサンプリング位置が前記走査光学系の光学分解能よりも狭い間隔で移動するように、前記光検出器から出力されたアナログ信号をオーバーサンプリングする
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の走査型顕微鏡において、
前記サンプリング手段は、前記走査手段で行われるライン走査の1周期中に、1ラインの走査で得られた信号に基づいて前記画素データ生成手段で生成される前記画素データの数を上回る回数、前記アナログ信号をオーバーサンプリングする
ことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 非等速に走査する走査手段と光検出器を備える走査型顕微鏡の画素データ生成方法であって、
前記走査手段により走査された試料からの光を前記光検出器で検出し、
一定の周波数でサンプリングクロックを生成し、
前記サンプリングクロックに従って、前記光検出器から出力されたアナログ信号をオーバーサンプリングし、
前記試料の各領域に対応する画素データを、オーバーサンプリングで得られた空間的に等間隔に並んだサンプル位置で取得した複数のデジタル信号に基づいて生成する
ことを特徴とする画素データ生成方法。
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JP2015124180A JP6552039B2 (ja) | 2015-06-19 | 2015-06-19 | 走査型顕微鏡、及び、画素データ生成方法 |
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JP2015124180A JP6552039B2 (ja) | 2015-06-19 | 2015-06-19 | 走査型顕微鏡、及び、画素データ生成方法 |
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