JP6550802B2 - 半導体素子 - Google Patents
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[特許文献]
[特許文献1] 特開2002−319676号公報
[特許文献2] 特開2009−123914号公報
[特許文献3] 特開平11−154748号公報
Claims (13)
- 半導体基板に逆耐圧構造を有する半導体素子であって、
前記半導体基板のドリフト層に接して設けられ、前記半導体素子に逆バイアスが印加された場合に前記ドリフト層に発生する電子を通すことができるダイオード
を備え、
前記半導体基板は、SiCおよびGaNのいずれかで形成され、
RB‐MOSFETである、半導体素子。 - 前記ダイオードは、前記半導体基板の表面側の前記ドリフト層と前記ドリフト層に接する金属層とのショットキー接合により形成される、ショットキーバリアダイオードである
請求項1に記載の半導体素子。 - 前記半導体基板の表面側において1以上の第1導電型ウェルをさらに有し、
前記ドリフト層の表面側に設けられ、前記第1導電型ウェルよりも不純物濃度が高い第1導電型コンタクト層をさらに備え、
前記第1導電型ウェルは、前記第1導電型コンタクト層を囲んで設けられる、
請求項2に記載の半導体素子。 - 前記第1導電型ウェルよりも表面側に設けられたエミッタ電極をさらに備え、
前記金属層は、隣接する2つの前記エミッタ電極の間に設けられる、
請求項3に記載の半導体素子。 - 前記金属層と前記エミッタ電極との間において、前記第1導電型ウェルの一部が前記半導体基板の表面に露出している、請求項4に記載の半導体素子。
- 前記ドリフト層の表面に設けられた凹部をさらに備え、
前記金属層は、前記凹部に設けられ、
前記凹部は、前記第1導電型ウェルと接しない、
請求項3から5のいずれか一項に記載の半導体素子。 - 前記第1導電型ウェルと第2導電型の前記ドリフト層とにより形成される寄生ダイオードの内蔵電位は、前記ショットキーバリアダイオードの内蔵電位よりも大きい
請求項3から6のいずれか一項に記載の半導体素子。 - 前記ショットキーバリアダイオードの逆耐圧は、前記寄生ダイオードの逆耐圧以上である
請求項7に記載の半導体素子。 - 前記ショットキーバリアダイオードは、隣接する2つの前記第1導電型ウェルの間に位置する
請求項3から8のいずれか一項に記載の半導体素子。 - 前記ショットキーバリアダイオードを構成する前記ドリフト層の表面側端部の位置は、前記第1導電型ウェルの表面側端部よりも裏面側に位置する
請求項3から9のいずれか一項に記載の半導体素子。 - 前記ショットキーバリアダイオードを構成する前記ドリフト層の表面側端部の位置は、前記第1導電型ウェルの裏面側端部よりも表面側に位置する
請求項10に記載の半導体素子。 - 前記ドリフト層よりも表面側に設けられたゲート電極と、
前記半導体基板の前記ドリフト層に接して設けられた、1以上の前記ショットキーバリアダイオードと
をさらに備え、
前記半導体基板を表面から見た場合に、複数の前記ショットキーバリアダイオードは、前記ゲート電極が設けられる活性領域部において均等に配置される
請求項2から11のいずれか一項に記載の半導体素子。 - 前記ドリフト層よりも表面側に設けられたゲート電極をさらに備え、
前記半導体基板を表面から見た場合に、前記ショットキーバリアダイオードは、少なくとも一つの前記ゲート電極を囲んで設けられる
請求項2から11のいずれか一項に記載の半導体素子。
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