JP6550472B2 - パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 - Google Patents
パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6550472B2 JP6550472B2 JP2017557997A JP2017557997A JP6550472B2 JP 6550472 B2 JP6550472 B2 JP 6550472B2 JP 2017557997 A JP2017557997 A JP 2017557997A JP 2017557997 A JP2017557997 A JP 2017557997A JP 6550472 B2 JP6550472 B2 JP 6550472B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- pulsed light
- spectral
- output
- control system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims description 163
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 39
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 93
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 33
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 16
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 13
- 238000005316 response function Methods 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 53
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 29
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VZPPHXVFMVZRTE-UHFFFAOYSA-N [Kr]F Chemical compound [Kr]F VZPPHXVFMVZRTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008713 feedback mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J11/00—Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Lasers (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
SEST=[A1×P1+A2×P2+・・・An×Pn]/n
上式でnは感知領域173の数である。
Claims (14)
- パルス光ビームのスペクトルフィーチャを測定するための計測システムであって、前記スペクトルフィーチャは前記パルス光ビームの光スペクトルの態様であり、
前記パルス光ビームの経路内にあり、前記パルス光ビームと相互作用するように、且つ、前記パルス光ビームのスペクトル成分に対応する同心リングのセットの形状で干渉パターンを出力するように、構成された単一のエタロンであって、互いに対向する平行な反射表面の単一ペアを含み、一定の距離だけ分離される、単一のエタロンと、
前記干渉パターンを受け取るとともに感知する複数のセンサであって、前記複数のうちの各センサは、別個の感知軸に沿って複数の前記リングにわたって延在するように配列され、また前記干渉パターンの一部のみと相互作用する、複数のセンサと、
各センサの出力に接続される制御システムであって、
1つ以上のパルスについての前記エタロンからの前記出力空間成分のプロパティを各センサ出力について測定するように、
前記パルス光ビームの前記スペクトルフィーチャの推定を計算するために、前記測定されたプロパティを平均化することを含む、前記測定されたプロパティを分析するように、及び、
前記パルス光ビームの前記推定スペクトルフィーチャがスペクトルフィーチャの値の許容レンジ内にあるかどうかを判別するように、
構成される制御システムと、
を備える、計測システム。 - 前記光ビームの前記経路内にビームスプリッタを更に備え、
前記ビームスプリッタは、
第1の割合の前記光ビームを前記エタロンに向けて誘導するとともに、
第2の割合の前記光ビームを前記光ビームの前記経路に沿って誘導する、請求項1に記載のシステム。 - 各センサは、前記複数のうちの他のセンサと同じ性能パラメータを有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記スペクトルフィーチャは、前記パルス光ビームの帯域幅である、請求項1に記載のシステム。
- 光学的に前記パルス光ビームに接続されるスペクトルフィーチャ選択システムを更に備え、
前記制御システムは、前記スペクトルフィーチャ選択システムに接続され、
前記制御システムは、前記パルス光ビームの前記推定されたスペクトルフィーチャが前記許容レンジ外にあるものと決定した場合、前記パルス光ビームの前記スペクトルフィーチャを修正するために、調整信号を前記スペクトルフィーチャ選択システムに送信するように構成される、請求項1に記載のシステム。 - 前記測定されたプロパティを平均化することは、いずれの測定されたプロパティが前記スペクトルフィーチャの最も正確な表現であるかを決定することを含み、
前記パルス光ビームの前記スペクトルフィーチャを計算することは、前記スペクトルフィーチャを最も正確に表す前記測定されたプロパティを選択することを含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記制御システムは、いずれの前記測定されたプロパティが値のターゲットレンジ内に入るかを決定するように構成され、
前記制御システムは、前記値のターゲットレンジ内に入る測定されたプロパティのみを平均化することによって、推定を計算するために、前記測定されたプロパティを平均化する、請求項1に記載のシステム。 - パルス光ビームを生成する少なくとも1つの利得媒体を含む光源と、
前記パルス光ビームの第1の部分を計測経路に沿って誘導し、前記パルス光ビームの第2の部分をリソグラフィ経路に沿って誘導する、ビームスプリッタと、
前記計測経路内の計測システムであって、
前記パルス光ビームのスペクトル情報を、同心リングのセットの形状で干渉パターンに変換するための手段であって、前記パルス光ビームの前記経路内にあり、前記パルス光ビームと相互作用するように構成された変換手段と、
前記干渉パターンを受け取るとともに感知する複数のセンサであって、各センサは前記干渉パターンの一部のみと相互作用するように配列される、複数のセンサと、
前記複数のうちの各センサの出力に接続された制御システムであって、
前記パルス光ビームの1つ以上のパルスについての前記出力空間成分のプロパティを各センサ出力について測定するように、
前記パルス光ビームの帯域幅の推定を計算するために、前記測定されたプロパティを平均化するように、
前記パルス光ビームの前記推定帯域幅が帯域幅の値の許容レンジ内にあるかどうかを判別するように、
構成された制御システムと、
前記光源から前記パルス光ビームを受け取り、前記パルス光ビームの態様を修正する、前記リソグラフィ経路内の光学要素のセットと、
を備える計測システムと、
を備える、光学システム。 - 前記光源は、深紫外線レンジ内の波長を有するパルス光ビームを生成する少なくとも1つの利得媒体を含む、請求項8に記載のシステム。
- パルス光ビームの帯域幅を測定するための計測システムであって、前記帯域幅は前記パルス光ビームの光スペクトルの態様であり、
前記パルス光ビームの経路内にあり、前記パルス光ビームと相互作用するように、且つ、前記パルス光ビームのスペクトル成分に対応する複数の空間成分を出力するように、構成された複数のエタロンの配列と、
前記パルス光ビームを複数のパルス光ビームに分割するビームスプリッタであって、前記分割されたパルス光ビームはそれぞれのエタロンに誘導される、ビームスプリッタと、
前記出力空間成分を受け取るとともに感知する複数のセンサと、
各センサの出力に接続される制御システムであって、
1つ以上のパルスについての前記空間成分のプロパティを各センサ出力について測定するように、
前記パルス光ビームの帯域幅を推定するために、前記測定されたプロパティを平均化することを含む、前記測定されたプロパティを分析するように、及び、
前記パルス光ビームの前記推定帯域幅が帯域幅の値の許容レンジ内にあるかどうかを判別するように、
構成される制御システムと、
を備える、計測システム。 - 前記複数のセンサのうちの各センサは、前記エタロンのうちの1つの前記出力に配置される別個の検出器として形成される、請求項10に記載のシステム。
- 各エタロンは、他のエタロンの応答機能と同じ応答機能を有する、請求項10に記載のシステム。
- 光学的に前記パルス光ビームに結合されるスペクトルフィーチャ選択システムを更に備え、
前記制御システムは、前記スペクトルフィーチャ選択システムに接続され、
前記制御システムは、前記パルス光ビームの前記推定された帯域幅が前記許容レンジ外にあるものと決定した場合、前記パルス光ビームの前記帯域幅を修正するために、調整信号を前記スペクトルフィーチャ選択システムに送信するように構成される、請求項10に記載のシステム。 - 前記複数のうちの各センサは、単一の2次元検出器の一部であるか、又は、
前記複数のセンサのうちの各センサは、前記配列における前記エタロンのうちの1つの前記出力に配置される別個の検出器として形成される、請求項10に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/720,207 | 2015-05-22 | ||
US14/720,207 US9778108B2 (en) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | Metrology system and method having a plurality of sensors for estimating a spectral feature of a pulsed light beam |
PCT/US2016/032214 WO2016191114A1 (en) | 2015-05-22 | 2016-05-12 | Spectral feature metrology of a pulsed light beam |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019123268A Division JP7053536B2 (ja) | 2015-05-22 | 2019-07-01 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018517131A JP2018517131A (ja) | 2018-06-28 |
JP6550472B2 true JP6550472B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=57326071
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017557997A Active JP6550472B2 (ja) | 2015-05-22 | 2016-05-12 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 |
JP2019123268A Active JP7053536B2 (ja) | 2015-05-22 | 2019-07-01 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019123268A Active JP7053536B2 (ja) | 2015-05-22 | 2019-07-01 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9778108B2 (ja) |
JP (2) | JP6550472B2 (ja) |
KR (1) | KR102058492B1 (ja) |
CN (2) | CN107615020B (ja) |
TW (1) | TWI629458B (ja) |
WO (1) | WO2016191114A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10012544B2 (en) * | 2016-11-29 | 2018-07-03 | Cymer, Llc | Homogenization of light beam for spectral feature metrology |
US10288483B2 (en) * | 2017-04-09 | 2019-05-14 | Cymer, Llc | Recovering spectral shape from spatial output |
KR102366148B1 (ko) | 2017-09-25 | 2022-02-23 | 사이머 엘엘씨 | 가스 방전 광원에서의 불소 검출 방법 |
CN113474731A (zh) | 2019-02-25 | 2021-10-01 | Asml荷兰有限公司 | 辐射测量系统 |
WO2020236648A1 (en) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | Cymer, Llc | Control system for a plurality of deep ultraviolet optical oscillators |
US20220224069A1 (en) * | 2019-06-20 | 2022-07-14 | Cymer, Llc | Output light beam formation apparatus |
US11803126B2 (en) | 2019-07-23 | 2023-10-31 | Cymer, Llc | Method of compensating wavelength error induced by repetition rate deviation |
WO2021091675A1 (en) * | 2019-11-07 | 2021-05-14 | Cymer, Llc | Controlling a spectral property of an output light beam produced by an optical source |
JP2023553244A (ja) * | 2020-12-10 | 2023-12-21 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 波長間隔が広い多焦点イメージング |
US11892382B2 (en) * | 2021-08-27 | 2024-02-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Method for detecting environmental parameter in semiconductor fabrication facility |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4170416A (en) * | 1977-01-17 | 1979-10-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Apparatus for analyzing coherent radiation |
US4536089A (en) * | 1977-01-17 | 1985-08-20 | The Perkin-Elmer Corporation | Analyzer for coherent radiation |
US4309108A (en) * | 1977-01-17 | 1982-01-05 | The Perkin-Elmer Corporation | Analyzer for coherent radiation |
US4822998A (en) * | 1986-05-15 | 1989-04-18 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Spectral sensor with interference filter |
JP2537970B2 (ja) * | 1988-06-09 | 1996-09-25 | 松下電器産業株式会社 | 波長可変レ―ザ装置 |
JPH02153583A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 波長安定化制御装置 |
US5025445A (en) | 1989-11-22 | 1991-06-18 | Cymer Laser Technologies | System for, and method of, regulating the wavelength of a light beam |
US5151585A (en) * | 1991-08-12 | 1992-09-29 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Coherent radiation detector |
US5550373A (en) * | 1994-12-30 | 1996-08-27 | Honeywell Inc. | Fabry-Perot micro filter-detector |
JP3600883B2 (ja) * | 1995-12-25 | 2004-12-15 | 株式会社ニコン | 露光方法 |
US6137821A (en) * | 1997-06-04 | 2000-10-24 | Cymer, Inc. | Durable etalon based output coupler |
US6757316B2 (en) * | 1999-12-27 | 2004-06-29 | Cymer, Inc. | Four KHz gas discharge laser |
JPH11204856A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Komatsu Ltd | 波長検出制御装置 |
JP3417323B2 (ja) * | 1998-02-03 | 2003-06-16 | 松下電器産業株式会社 | エタロン評価方法及びエタロン評価装置並びにレーザ発振器 |
US6539046B2 (en) | 1998-10-02 | 2003-03-25 | Cymer, Inc. | Wavemeter for gas discharge laser |
JP2001007007A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Ushio Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk | 半導体露光用エキシマレーザ光のための波長モニタ装置 |
US6542243B2 (en) * | 2000-01-27 | 2003-04-01 | Lambda Physik Ag | Resonator optics monitoring method |
EP1099943B1 (en) | 2000-08-16 | 2003-01-08 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Wavemeter comprising coarse and fine measuring units |
JP2002148122A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-22 | Ushio Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk | レーザ光の波長モニタ用光学装置 |
US6750972B2 (en) | 2000-11-17 | 2004-06-15 | Cymer, Inc. | Gas discharge ultraviolet wavemeter with enhanced illumination |
US6621580B2 (en) * | 2001-05-08 | 2003-09-16 | Precision Photonics Corporation | Single etalon wavelength locker |
JP4629910B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-02-09 | ギガフォトン株式会社 | 光スペクトル検出方法、及び、それを用いた光スペクトル検出プログラム、光スペクトル検出装置、分光装置、レーザ装置 |
JP3600806B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2004-12-15 | 株式会社小松製作所 | 波長検出装置 |
US7088758B2 (en) | 2001-07-27 | 2006-08-08 | Cymer, Inc. | Relax gas discharge laser lithography light source |
US7038782B2 (en) * | 2001-12-11 | 2006-05-02 | Adc Telecommunications, Inc. | Robust wavelength locker for control of laser wavelength |
CN1267709C (zh) * | 2001-12-27 | 2006-08-02 | 中国科学院光电技术研究所 | 环形偏心式哈特曼夏克波前传感器 |
JP4094307B2 (ja) * | 2002-02-21 | 2008-06-04 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置 |
US20040141182A1 (en) * | 2002-12-16 | 2004-07-22 | Thomas Schroder | Monitoring of spectral purity and advanced spectral characteristics of a narrow bandwidth excimer laser |
JP4325846B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2009-09-02 | ギガフォトン株式会社 | 分光器およびこの分光器を備えたレーザ装置 |
US7256893B2 (en) * | 2003-06-26 | 2007-08-14 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for measuring bandwidth of an optical spectrum output of a very small wavelength very narrow bandwidth high power laser |
US7304748B2 (en) | 2003-06-26 | 2007-12-04 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for bandwidth measurement and bandwidth parameter calculation for laser light |
US6952267B2 (en) | 2003-07-07 | 2005-10-04 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for measuring bandwidth of a laser output |
US20050286599A1 (en) | 2004-06-29 | 2005-12-29 | Rafac Robert J | Method and apparatus for gas discharge laser output light coherency reduction |
US20090073451A1 (en) * | 2004-06-30 | 2009-03-19 | Tekolste Robert D | Spectrally diverse, spatially sensitive apparatus and associated methods |
US7733494B2 (en) * | 2006-03-31 | 2010-06-08 | Cymer, Inc. | Bandwidth measuring device for high pulse repetition rate pulsed laser |
US7659529B2 (en) | 2007-04-13 | 2010-02-09 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for vibration reduction in laser system line narrowing unit wavelength selection optical element |
JP5141359B2 (ja) | 2008-04-25 | 2013-02-13 | 株式会社ニコン | スペクトル幅計測器の校正方法、スペクトル幅計測器の校正装置、狭帯域化レーザ装置、露光装置及び電子デバイスの製造方法 |
US8351473B1 (en) * | 2008-11-27 | 2013-01-08 | Uvic Industry Partnerships Inc. | System and method for laser wavelength control |
CN202158903U (zh) | 2011-05-11 | 2012-03-07 | 桂林优西科学仪器有限责任公司 | 基于Etalon的波长计 |
US9207119B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-12-08 | Cymer, Llc | Active spectral control during spectrum synthesis |
WO2014030645A1 (ja) * | 2012-08-23 | 2014-02-27 | ギガフォトン株式会社 | 光源装置及びデータ処理方法 |
CN102937481B (zh) * | 2012-08-30 | 2014-08-06 | 中国科学技术大学 | 飞秒激光脉冲完全重建系统和方法 |
CN103776530B (zh) * | 2012-10-28 | 2016-03-09 | 天津奇谱光电技术有限公司 | 一种使用可调谐法布里-珀罗滤波器的光谱分析设备 |
-
2015
- 2015-05-22 US US14/720,207 patent/US9778108B2/en active Active
-
2016
- 2016-05-10 TW TW105114464A patent/TWI629458B/zh active
- 2016-05-12 JP JP2017557997A patent/JP6550472B2/ja active Active
- 2016-05-12 WO PCT/US2016/032214 patent/WO2016191114A1/en active Application Filing
- 2016-05-12 CN CN201680029516.6A patent/CN107615020B/zh active Active
- 2016-05-12 CN CN202011072270.5A patent/CN112179493A/zh active Pending
- 2016-05-12 KR KR1020177035969A patent/KR102058492B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-07-01 JP JP2019123268A patent/JP7053536B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018517131A (ja) | 2018-06-28 |
US20160341602A1 (en) | 2016-11-24 |
JP7053536B2 (ja) | 2022-04-12 |
JP2019179934A (ja) | 2019-10-17 |
US9778108B2 (en) | 2017-10-03 |
KR20180006621A (ko) | 2018-01-18 |
CN107615020B (zh) | 2020-10-30 |
TW201706579A (zh) | 2017-02-16 |
CN107615020A (zh) | 2018-01-19 |
TWI629458B (zh) | 2018-07-11 |
WO2016191114A1 (en) | 2016-12-01 |
CN112179493A (zh) | 2021-01-05 |
KR102058492B1 (ko) | 2019-12-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6550472B2 (ja) | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 | |
JP6409076B2 (ja) | パルス光ビームのスペクトル特徴推定 | |
JP5395269B2 (ja) | 光源の能動スペクトル制御 | |
JP6874137B2 (ja) | エキシマ光源におけるスペックルの低減 | |
JP6890177B2 (ja) | スペクトル特徴計測のための光ビームの均質化 | |
KR20190057397A (ko) | 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성의 제어 기술 | |
JP7021243B2 (ja) | 空間出力からスペクトル形状を回復する装置及び方法 | |
JP6886525B2 (ja) | パルス光ビームのスペクトル特徴制御 | |
JP7419570B2 (ja) | エタロンでの測定誤差の決定 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171227 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181022 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190701 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6550472 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |