JP6525694B2 - 撮像装置、撮像システム、および、撮像装置の駆動方法 - Google Patents
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Description
2 保持部
4 第1の転送スイッチ
5 第2の転送スイッチ
8 出力線
10 増幅部
Claims (20)
- 入射光に基づいて電荷を生成し、かつ、前記電荷を蓄積する光電変換部と、前記電荷を保持する保持部と、前記電荷に基づく信号を出力する増幅部と、前記光電変換部から前記保持部へ前記電荷を転送する第1の転送スイッチと、前記保持部から前記増幅部へ前記電荷を転送する第2の転送スイッチと、をそれぞれが有する複数の画素と、
前記複数の画素からの複数の信号が出力される出力線と、を有する撮像装置の駆動方法であって、
前記複数の信号を前記出力線に出力するための動作を複数回行い、
複数回行われる前記動作のそれぞれにおいて、
前記第1の転送スイッチおよび前記第2の転送スイッチの両方がオンしている状態にすることにより、前記保持部を介して前記光電変換部の電荷を排出する排出動作を行い、
前記排出動作の後の第1の時刻において、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオンからオフに制御することで、前記複数の画素の前記光電変換部において前記電荷の蓄積を開始し、
前記第1の時刻よりも後に、前記状態においてオンしている前記複数の画素の前記第2の転送スイッチをオンからオフに制御し、
前記第1の時刻から第2の時刻まで、前記複数の画素の少なくとも1つの画素の前記第1の転送スイッチをオフに維持し、かつ、前記少なくとも1つの画素の前記光電変換部において前記第1の時刻から前記第2の時刻までの第1の期間に生じた電荷を蓄積し、
前記第2の時刻から第3の時刻まで、前記複数の画素の前記保持部において、前記第1の期間に生じた電荷、および、前記第2の時刻から前記第3の時刻までの第2の期間に生じた電荷を保持し、
前記第3の時刻に、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオンからオフに制御し、
前記第3の時刻から第4の時刻までの第3の期間に、前記複数の画素の前記第2の転送スイッチを順にオンし、かつ、前記複数の信号を前記出力線へ順に出力する出力動作を行い、
複数回行われる前記動作は、第1の動作および前記第1の動作の次に行われる第2の動作を含み、
前記第2の動作での前記排出動作は、前記第1の動作での前記出力動作が終わった後に行われる、
ことを特徴とする撮像装置の駆動方法。 - 前記第1の転送スイッチおよび前記第2の転送スイッチの両方がオンしている状態から、前記第1の時刻において前記第1の転送スイッチをオンからオフに制御した後に、前記第2の転送スイッチをオンからオフへ制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置の駆動方法。 - 複数回行われる前記動作を通して、前記出力動作が行われている前記第3の期間には前記排出動作を行わない、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の撮像装置の駆動方法。 - 複数回行われる前記動作を通して、前記第2の期間には前記排出動作を行わない、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記複数の画素のそれぞれが前記増幅部の入力ノードの電圧をリセットするリセットスイッチを含み、
前記排出動作において、前記第1の転送スイッチおよび前記第2の転送スイッチの両方がオンしているときに前記リセットスイッチがオンの状態である、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 遅くとも前記第2の時刻までに、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオンに制御し、
前記第2の期間の一部において、前記第1の転送スイッチをオフに制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記第2の期間において、前記第1の転送スイッチをオフからオンへ遷移させる制御を行い、
前記第2の期間において前記第1の転送スイッチがオフからオンへ遷移する回数が、前記光電変換部の飽和電荷量に対する前記保持部の飽和電荷量の比よりも大きい、
ことを特徴とする請求項6に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記第1の時刻から前記第2の時刻まで、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオフに維持され、かつ、前記複数の画素の前記光電変換部において前記第1の期間に生じた電荷を蓄積し、
前記第2の時刻に、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオフからオンへ制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記複数の画素のそれぞれが、前記光電変換部の電荷を排出する排出スイッチを有し、
前記第3の期間の少なくとも一部において、前記排出スイッチをオンの状態にする、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記排出スイッチは、前記第1の転送スイッチによる電荷の排出の経路とは別の経路で、前記光電変換部の電荷を排出する、
ことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記第2の期間が、前記第1の期間より長い、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記光電変換部の飽和電荷量A1、前記保持部の飽和電荷量A2、前記第1の期間P1、前記第2の期間P2が、次の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記光電変換部の飽和電荷量A1、前記保持部の飽和電荷量A2、前記第1の期間P1、前記第2の期間P2が、次の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 前記第1の時刻から第2の時刻まで、前記複数の画素の前記第2の転送スイッチをオフに維持する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の撮像装置の駆動方法。 - 入射光に基づいて電荷を生成し、かつ、前記電荷を蓄積する光電変換部と、前記電荷を保持する保持部と、前記電荷に基づく信号を出力する増幅部と、前記光電変換部から前記保持部へ前記電荷を転送する第1の転送スイッチと、前記保持部から前記増幅部へ前記電荷を転送する第2の転送スイッチと、をそれぞれが有する複数の画素と、
前記複数の画素からの複数の信号が出力される出力線と、を有する撮像装置であって、
前記複数の信号を前記出力線に出力するための動作を複数回行い、
複数回行われる前記動作のそれぞれにおいて、
前記第1の転送スイッチおよび前記第2の転送スイッチの両方がオンしている状態にすることにより、前記保持部を介して前記光電変換部の電荷を排出する排出動作を行い、
前記排出動作の後の第1の時刻において、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオンからオフに制御することで、前記複数の画素の前記光電変換部において前記電荷の蓄積を開始し、
前記第1の時刻よりも後に、前記状態においてオンしている前記複数の画素の前記第2の転送スイッチをオンからオフに制御し、
前記第1の時刻から第2の時刻まで、前記複数の画素の少なくとも1つの画素の前記第1の転送スイッチをオフに維持し、かつ、前記少なくとも1つの画素の前記光電変換部において前記第1の時刻から前記第2の時刻までの第1の期間に生じた電荷を蓄積し、
前記第2の時刻から第3の時刻まで、前記複数の画素の前記保持部において、前記第1の期間に生じた電荷、および、前記第2の時刻から前記第3の時刻までの第2の期間に生じた電荷を保持し、
前記第3の時刻に、前記複数の画素の前記第1の転送スイッチをオンからオフに制御し、
前記第3の時刻から第4の時刻までの第3の期間に、前記複数の画素の前記第2の転送スイッチを順にオンし、かつ、前記複数の信号を前記出力線へ順に出力する出力動作を行い、
複数回行われる前記動作は、第1の動作および前記第1の動作の次に行われる第2の動作を含み、
前記第2の動作での前記排出動作は、前記第1の動作での前記出力動作が終わった後に行われる、
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記保持部は、前記電荷を保持する第1導電型の第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域の上に配された第2導電型の第2の半導体領域とを含む、
ことを特徴とする請求項15に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部の上に配された導波路を有する、
ことを特徴とする請求項15または請求項16に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部および前記保持部が配された半導体基板を有し、
前記半導体基板の表面と平行な面への前記光電変換部の正射影の面積が、前記面への前記保持部の正射影の面積より小さい、
ことを特徴とする請求項15乃至請求項17のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部の飽和電荷量A1、前記保持部の飽和電荷量A2、前記第1の期間P1、前記第2の期間P2が、次の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項15乃至請求項18のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 請求項15乃至請求項19のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号を処理する信号処理装置と、を備える、
ことを特徴とする撮像システム。
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