JP6519192B2 - 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6519192B2 JP6519192B2 JP2015008177A JP2015008177A JP6519192B2 JP 6519192 B2 JP6519192 B2 JP 6519192B2 JP 2015008177 A JP2015008177 A JP 2015008177A JP 2015008177 A JP2015008177 A JP 2015008177A JP 6519192 B2 JP6519192 B2 JP 6519192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibrating
- virtual straight
- axis
- straight line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
本適用例の振動素子は、厚み滑り振動で振動する振動部と、
前記振動部の周囲に位置し、前記振動部よりも厚みが薄い薄肉部と、
前記振動部の主面に配置された電極と、を有し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記振動部の長さをL1、前記電極の長さをL2としたとき、
L1>L2の関係を満足し、
前記厚み滑り振動の振動方向の一方側における前記電極および前記振動部の境界部にある第1段差と前記振動部および前記薄肉部の境界部にある第2段差との間に、屈曲振動の隣り合う第1腹および第2腹が位置し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記第1腹と前記第1段差との距離をd1、前記第2腹と前記第2段差との距離をd2とし、
屈曲振動の波長をλとしたとき、
L1/2=(n/2)λ+d2(ただし、nは整数である)なる関係を満足し、
0<d1≦λ/8および0<d2≦λ/8の関係をそれぞれ満足することを特徴とする。
これにより、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することのできる振動素子を提供することができる。
本適用例の振動素子では、(L1−L2)/2=λ/2+d1+d2なる関係を満足することが好ましい。
これにより、より効果的に、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することができる。
本適用例の振動素子は、厚み滑り振動で振動する振動部と、
前記振動部の周囲に位置し、前記振動部よりも厚みが薄い薄肉部と、
前記振動部の主面と前記薄肉部の主面とに跨って配置された電極と、を有し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記振動部の長さをL1、前記電極の長さをL2としたとき、
L1<L2の関係を満足し、
前記厚み滑り振動の振動方向の一方側における前記電極および前記振動部の境界部にある第1段差と前記振動部および前記薄肉部の境界部にある第2段差との間に、屈曲振動の隣り合う第1腹および第2腹が位置し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記第1腹と前記第1段差との距離をd1、前記第2腹と前記第2段差との距離をd2とし、
屈曲振動の波長をλとしたとき、
L1/2=(n/2)λ−d1(ただし、nは整数である)なる関係を満足し、
0<d1≦λ/8および0<d2≦λ/8の関係をそれぞれ満足することを特徴とする。
これにより、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することのできる振動素子を提供することができる。
本適用例の振動素子では、(L2−L1)/2=λ/2+d1+d2の関係を満足することが好ましい。
これにより、より効果的に、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することができる。
本適用例の振動素子では、前記振動部は、第1領域と、前記第1領域の前記厚み滑り振動の振動方向の両側に位置し、前記第1領域よりも厚みの薄い第2領域と、を有していることが好ましい。
これにより、より効果的に、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することができる。
本適用例の振動素子では、前記振動部の周囲には、前記振動部の前記厚み滑り振動の振動方向と交差する外縁に沿う凸部が配置されていることが好ましい。
これにより、より効果的に、不要振動モードである屈曲振動に起因したスプリアスを低減することができる。
本適用例の振動子は、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子が収容されているパッケージと、を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い振動子が得られる。
本適用例の発振器は、上記適用例の振動素子と、
回路と、を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い発振器が得られる。
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
本適用例の移動体は、上記適用例の振動素子を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
まず、本発明の振動素子について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる振動素子の上面図および下面図である。図2は、図1中のA−A線断面図である。図3は、段差と屈曲振動の波形の位置関係を示す図である。図4は、ウェットエッチングで形成した水晶基板を示す断面図である。
水晶基板2は、板状の水晶基板である。ここで、水晶基板2の材料である水晶は、三方晶系に属しており、互いに直交する結晶軸X、Y、Zを有している。X軸、Y軸、Z軸は、それぞれ、電気軸、機械軸、光学軸と呼称される。本実施形態の水晶基板2は、XZ面をX軸の回りに所定の角度θ回転させた平面に沿って切り出された「回転Yカット水晶基板」であり、たとえばθ=35°15’だけ回転させた平面に沿って切り出された場合の基板は「ATカット水晶基板」という。このような水晶基板を用いることにより優れた温度特性を有する振動素子1となる。ただし、水晶基板2としては、厚みすべり振動を励振することができれば、ATカットの水晶基板に限定されず、例えば、BTカットの水晶基板を用いてもよい。
次に、本発明の振動素子の第2実施形態について説明する。
次に、本発明の振動素子の第3実施形態について説明する。
次に、本発明の振動素子の第4実施形態について説明する。
次に、本発明の振動素子の第5実施形態について説明する。
次に、本発明の振動素子の第6実施形態について説明する。
次に、前述した振動素子1を適用した振動子について説明する。
図25は、本発明の振動子の一例を示す断面図である。
次に、振動子の変形例について説明する。
図26は、本発明の振動子の変形例を示す上面図および断面図である。
次に、本発明の振動子を適用した発振器(本発明の発振器)について説明する。
図27は、本発明の発振器の好適な実施形態を示す断面図である。
次に、本発明の振動子を適用した電子機器(本発明の電子機器)について説明する。
次に、本発明の振動子を適用した移動体(本発明の移動体)について説明する。
10……振動子
11……厚肉部
12……中肉部
121……第1中肉部
122……第2中肉部
13……薄肉部
100……発振器
110……ICチップ
120……内部端子
2……水晶基板
21……振動部
211……第1領域
212……第2領域
22……薄肉部
221……凸部
221a……第1凸部
221b……第2凸部
222……凸部
3……電極
311、321……励振電極
312、322……パッド電極
313、323……引出電極
4……パッケージ
41……ベース
411……凹部
42……リッド
421……凹部
451、461……接続電極
452、462……外部実装端子
51、52……導電性接着材
60……振動素子含有層
61……枠部
62……連結部
1100……パーソナルコンピューター
1102……キーボード
1104……本体部
1106……表示ユニット
1108……表示部
1200……携帯電話機
1202……操作ボタン
1204……受話口
1206……送話口
1208……表示部
1300……ディジタルスチルカメラ
1302……ケース
1304……受光ユニット
1306……シャッターボタン
1308……メモリー
1310……表示部
1312……ビデオ信号出力端子
1314……入出力端子
1430……テレビモニター
1440……パーソナルコンピューター
1500……自動車
B……波形
C11〜C18、C21〜C28、C31〜C38、C41〜C48、C51〜C58、C61〜C68……仮想直線
P1〜P8……頂点
S……収容空間
V1(V1’、V1”)〜V15(V15’、V15”)……段差
Claims (10)
- 厚み滑り振動で振動する振動部と、
前記振動部の周囲に位置し、前記振動部よりも厚みが薄い薄肉部と、
前記振動部の主面に配置された電極と、を有し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記振動部の長さをL1、前記電極の長さをL2としたとき、
L1>L2の関係を満足し、
前記厚み滑り振動の振動方向の一方側における前記電極および前記振動部の境界部にある第1段差と前記振動部および前記薄肉部の境界部にある第2段差との間に、屈曲振動の隣り合う第1腹および第2腹が位置し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記第1腹と前記第1段差との距離をd1、前記第2腹と前記第2段差との距離をd2とし、
屈曲振動の波長をλとしたとき、
L1/2=(n/2)λ+d2(ただし、nは整数である)なる関係を満足し、
0<d1≦λ/8および0<d2≦λ/8の関係をそれぞれ満足することを特徴とする振動素子。 - (L1−L2)/2=λ/2+d1+d2なる関係を満足する請求項1に記載の振動素子。
- 厚み滑り振動で振動する振動部と、
前記振動部の周囲に位置し、前記振動部よりも厚みが薄い薄肉部と、
前記振動部の主面と前記薄肉部の主面とに跨って配置された電極と、を有し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記振動部の長さをL1、前記電極の長さをL2としたとき、
L1<L2の関係を満足し、
前記厚み滑り振動の振動方向の一方側における前記電極および前記振動部の境界部にある第1段差と前記振動部および前記薄肉部の境界部にある第2段差との間に、屈曲振動の隣り合う第1腹および第2腹が位置し、
前記厚み滑り振動の振動方向における前記第1腹と前記第1段差との距離をd1、前記第2腹と前記第2段差との距離をd2とし、
屈曲振動の波長をλとしたとき、
L1/2=(n/2)λ−d1(ただし、nは整数である)なる関係を満足し、
0<d1≦λ/8および0<d2≦λ/8の関係をそれぞれ満足することを特徴とする振動素子。 - (L2−L1)/2=λ/2+d1+d2の関係を満足する請求項3に記載の振動素子。
- 前記振動部は、第1領域と、前記第1領域の前記厚み滑り振動の振動方向の両側に位置し、前記第1領域よりも厚みの薄い第2領域と、を有している請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記振動部の周囲には、前記振動部の前記厚み滑り振動の振動方向と交差する外縁に沿う凸部が配置されている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収容されているパッケージと、を有することを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子と、
回路と、を有することを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子を有することを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子を有することを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015008177A JP6519192B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
US14/991,602 US9503045B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-01-08 | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
CN201610029197.0A CN105811915B (zh) | 2015-01-19 | 2016-01-15 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015008177A JP6519192B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016134760A JP2016134760A (ja) | 2016-07-25 |
JP6519192B2 true JP6519192B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=56434678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015008177A Active JP6519192B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6519192B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4341583B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-10-07 | エプソントヨコム株式会社 | メサ型水晶振動子 |
JP2008263387A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動片 |
JP5088686B2 (ja) * | 2007-11-21 | 2012-12-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動デバイス |
JP5168464B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2013-03-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、及び発振器 |
JP5168003B2 (ja) * | 2008-07-23 | 2013-03-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP5982898B2 (ja) * | 2012-03-14 | 2016-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
JP5967354B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-08-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片およびその製造方法、振動素子、振動子、電子デバイス、並びに電子機器 |
JP5991464B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片およびその製造方法、振動素子、振動子、電子デバイス、並びに電子機器 |
-
2015
- 2015-01-19 JP JP2015008177A patent/JP6519192B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016134760A (ja) | 2016-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105811915B (zh) | 振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体 | |
JP6051885B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6107330B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6435606B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
CN105987690B (zh) | 振动片、振子、振动装置、振荡器、电子设备以及移动体 | |
US9070863B2 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6179104B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US9712138B2 (en) | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP2016174202A (ja) | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 | |
JP6311231B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6531399B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6287208B2 (ja) | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 | |
JP6515546B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6179131B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP7077539B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP6519192B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US9337801B2 (en) | Vibration element, vibrator, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP2016025408A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体 | |
JP6578708B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2014171152A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2014171150A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2019009618A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2015097360A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2016197783A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190326 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6519192 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |