JP6518038B2 - 光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態は、材料の性質(弾性係数、硬度、耐酸性など)が異なる複数のガラス材料(コアガラス、クラッドガラス、吸収体ガラス)から形成されたFOP基板表面の平坦化処理方法を用いた光電変換素子の製造方法に関する。また、平坦化されたFOP表面に光導電膜(特に非晶質セレン:a-Se)を形成した高感度の光電変換素子に関する。
フエルト布製の研磨シートがウレタン板上に形成された研磨盤で、研磨液として超純水を利用してFOP基板10(Φ17.6 mm、3.0 mm厚)に対して機械的な研磨を施した後、さらにドライイオンエッチング装置によりFOP基板10の表面の平坦化処理を施した。ドライエッチングの条件としては、窒素ガス圧力 1.0 Pa、RF電力60 W、エッチング時間7〜120分とした。なお、窒素ガスの代わりにアルゴンガスを用いてもよい。
10 FOP基板
20 透明信号電極
30 正孔注入阻止強化層
40 光電変換膜
50 電子注入阻止強化層
Claims (3)
- FOP基板の表面に機械的研磨を行う工程と、
前記機械的研磨を行った前記FOP基板の表面にイオンエッチング法による平坦化処理を行う工程と、
前記イオンエッチング法による平坦化処理を行った表面にHARP膜を形成する工程と
を含み、
前記機械的研磨の工程と前記イオンエッチング法による平坦化処理とにより、前記FOP基板のコアガラス部分の平坦度を0.5 nm以下にし、
前記イオンエッチング法により、前記FOP基板のコアガラス部の高さからクラッドガラス部の高さを引いて得る段差を5.5nmまで増大させる、光電変換素子の製造方法。 - 前記イオンエッチング法をさらに行うことにより、前記段差を23nmまで増大させる、請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記機械的研磨の工程は、前記FOP基板に超純水を含浸させて、平板部材に貼り付けたフエルト布製の研磨シートで前記FOP基板の表面を研磨する工程であり、
前記イオンエッチング法による平坦化処理は、窒素ガスを用いたドライイオンエッチングである、請求項1又は2記載の光電変換素子の製造方法。
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