JP6515051B2 - リソグラフィマスクの生産方法およびその生産システム - Google Patents
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Description
<生産方法>
図1は、第1実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す流れ図である。図2(a)〜図2(g)は、第1実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す模式断面図である。図3(a)〜図3(d)は、第1実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す模式平面図である。図2(a)〜図2(g)に示す断面は、図3(a)中のII-II線に沿った断面に対応する。
図1中のステップST1Aに示すように、ブランク基板を作製し、準備する。ブランク基板は、リソグラフィマスクの材料である。図2(a)にブランク基板100の模式断面を、図3(a)にブランク基板100の模式平面を示す。
図1中のステップST2に示すように、例えば、電子線描画装置を用いて、反射層2に形成する“パターン”を、レジスト層4に描画(=露光)する。次に、描画されたレジスト層4を現像する。これにより、図2(b)および図3(b)に示すように、レジストパターンが、キャッピング層3上に形成される。形成されるレジストパターンは、レジストパターン4aと、レジストパターン4bとを含む。ブランク基板100には、リソグラフィに使用される反射パターンが形成されるパターン領域5と、周辺領域6とが設定される。パターン領域5は、ブランク基板100の中央の部分に設定される。周辺領域6は、パターン領域5aの側に、例えば、枠状に設定される。
図1中のステップST3に示すように、レジストパターン4aおよび4bを、エッチングのマスクに用いて、キャッピング層3および反射層2をエッチングする。エッチングによって、図2(c)および図3(c)に示すように、レジストパターン4aおよび4bのパターンが、キャッピング層3および反射層2に転写される。キャッピング層3および反射層2をエッチングした後、レジストパターン4aおよび4bをアッシングし、除去する。
図1中のステップST4に示すように、反射率計を用いて、基準パターン2aの反射率Rrefと、反射パターン2bの反射率RLSとを計測する。反射率計は、例えば、EUV反射率計である。EUV反射率計は、図2(d)および図2(f)に示すように、測定光としてEUV光8を、測定スポット7aおよび7bに照射する。EUV光8の波長は、例えば、波長13.5nmである(本明細書では、波長13.5nmは、13.5nmと、その近傍の波長を含むものとする。波長は、例えば、おおむね13.5nmであればよい)。
図1中のステップST5に示すように、光学シミュレーションを行う。
RLS=f(Pls、Wml) …(1)
(1)式において、Plsは、パターンデータ上のL/Sパターンのピッチ、Wmlは、実効的な反射層2の幅である。図5に、パターンデータ上のピッチPlsを、視覚化して示す。図5には、パターンデータとしてハーフピッチ(Pls/2)のL/Sパターンが示されている。実効的な反射層2の幅Wmlは、例えば、図2(g)に示す。
Wml=(RLS/Rref)×Pls …(2)
図4に示すように、規格化した反射率は“RLS/Rref”である。
図1中のステップST6に示すように、反射パターン2bの寸法を判定する。ステップ6においては、ステップST5において予測された、反射パターン2bの実効的な反射層2の幅が、設計許容範囲内に収まっているか否かが判定される。実効的な反射層2の幅が、設計許容範囲内に収まっていない場合(NG)、例えば、ステップ1Aに戻り、リソグラフィマスクを、例えば、再作製する。実効的な反射層2の幅が、許容範囲内に収まっている場合(OK)、リソグラフィマスクを、次工程へと進める。
図7は、リソグラフィマスクの生産システムの第1例を示す模式ブロック図である。
図7に示すように、リソグラフィマスクの生産システム200aは、処理部201と、操作部202と、記憶部203と、制御装置204とを含む。
<生産方法>
図8は、第2実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す流れ図である。図9(a)〜図9(d)は、第2実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す模式断面図である。
RLS=f(Pls,Wml、Wsc) …(3)
(3)式において、Plsは、パターンデータ上のL/Sパターンのピッチ、Wmlは、実効的な反射層2の幅、Wscは、側壁保護膜9の幅である。側壁保護膜9の幅Wscは、図9(d)に示す。
Wlp=Wml+Wsc×2 …(4)
である。(4)式に示すように、CD−SEMは、反射層2の幅を、側壁保護膜9を含んで測定してしまう。
図10は、リソグラフィマスクの生産システムの第2例を示す模式ブロック図である。 図10に示すように、第2例の生産システム200bが、図7に示した第1例の生産システム200aと異なるところは、処理部201が、保護膜形成装置211を含むことである。
<生産方法>
図11は、第3実施形態のリソグラフィマスクの生産方法の一例を示す流れ図である。図12は、反射パターンの各サイズを示す模式断面図である。
側壁保護膜9の幅Wscは、例えば、CD−SEMのみでは、求めることが困難である。しかし、第3実施形態のように、実効的な反射層2の幅Wmlと、反射層2の幅Wlpとを計測すると、(5)式から、側壁保護膜9の幅Wscを、新たに求めることが可能となる。
図13は、リソグラフィマスクの生産システムの第3例を示す模式ブロック図である。 図13に示すように、第3例の生産システム200cが、図10に示した第2例の生産システム200bと異なるところは、処理部201が、CD−SEM212を含むことである。
<反射率計測>
図14は、第4実施形態の反射率計測の一例を示す模式断面図である。
第1〜第3実施形態では、測定光8を、基準パターン2aおよび反射パターン2bに対して垂直に照射して、基準パターン2aの反射率と、反射パターン2bの反射率とを計測した。測定光8は、基準パターン2aおよび反射パターン2bに対して垂直に照射すること、だけに限られるものではない。
Claims (8)
- (a) 反射率計測の基準となる基準パターンと、リソグラフィに使用される反射パターンとを、ブランク基板の反射層に形成する工程と、
(b) 前記基準パターンに含まれた反射層の反射率Rrefと、前記反射パターンに含まれた反射層の反射率R1とを計測し、前記反射率Rrefと、前記反射率R1とに基づいて、前記反射パターンに含まれた反射層の幅を求める工程と、
を備えた、リソグラフィマスクの生産方法。 - 前記(a)工程と、前記(b)工程との間に、
(c) 側壁保護膜を、少なくとも前記反射パターンに含まれた反射層の側壁上に形成する工程、
を備え、
前記(b)工程において求められる前記反射層の幅は、
前記側壁保護膜の幅を除いた前記反射層の実効的な幅である、請求項1記載のリソグラフィマスクの生産方法。 - 前記基準パターンおよび前記反射パターンは、予め作成したパターンデータに基づいて前記反射層に形成され、
前記反射パターンに含まれた反射層の幅W1は、
W1=(R1/Rref)×P1 …(1)
(1)式において、P1は、前記パターンデータ上の反射パターンのピッチ
の関係に基づいて求める、請求項1または2に記載のリソグラフィマスクの生産方法。 - 前記基準パターンおよび前記反射パターンは、予め作成したパターンデータに基づいて、前記反射層に形成され、
前記反射パターンに含まれた反射層の幅W1は、
W1=(R1/Rref)×P1 …(2)
(2)式において、P1は、前記パターンデータ上の反射パターンのピッチ
の関係に基づいて求め、
前記(b)工程において、前記側壁保護膜を含む前記反射層の幅W2を計測し、前記側壁保護膜の幅W3を、
W3=(W2−W1)/2
の関係に基づいて求める、請求項2記載のリソグラフィマスクの生産方法。 - 前記(b)工程の後、
(d) (b)工程において求められた前記反射層の幅が、設計許容範囲内に収まっているか否かを判定する工程、
を備え、
前記(d)工程における判定結果を、前記(a)工程にフィードフォワードし、
次以降に生産されるリソグラフィマスクに対する前記(a)工程の処理条件を変更する、請求項1〜4のいずれか1つに記載のリソグラフィマスクの生産方法。 - パターンデータを格納する記憶部と、
反射層を有するブランク基板が搬入され、反射率計測の基準となる基準パターンと、リソグラフィに使用される反射パターンとを、前記パターンデータに基づいて、前記反射層に形成する第1加工部と、
前記基準パターンに含まれた反射層の反射率Rrefと、前記反射パターンに含まれた反射層の反射率R1とを計測する第1計測部と、
前記記憶部、前記第1加工部、および前記第1計測部を制御し、前記反射率Rrefと、前記反射率R1とに基づいて、前記反射パターンに含まれた反射層の幅を求める制御部と、
を備えた、リソグラフィマスクの生産システム。 - 側壁保護膜を、少なくとも前記反射パターンの側壁上に形成する第2加工部を、さらに備え、
前記制御部は、前記第2加工部を、さらに制御する、請求項6記載のリソグラフィマスクの生産システム。 - 前記側壁絶縁膜を含む前記反射パターンの幅を計測する第2計測部を、さらに備え、
前記制御部は、前記第2計測部を、さらに制御する、請求項7記載のリソグラフィマスクの生産システム。
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