JP6504317B2 - オゾン発生装置 - Google Patents

Description

本発明は、電界印加によってオゾンを発生するオゾン発生装置、特に、ヒータ付きのオゾン発生装置に関する。

従来、各種のオゾン発生装置が考案、実用化されている。例えば、特許文献１に記載のオゾン発生装置は、基板、絶縁層、誘導電極、放電用電極、チップ抵抗を備える。誘電電極は、基板の表面に配置されている。絶縁層は、基板の表面に、誘電電極を覆って配置されている。絶縁層の表面（基板と反対側の面）には、放電用電極が配置されている。この構成によって、放電用電極と誘電電極とが絶縁層を介して対向する構成が実現される。放電用電極と誘電電極とは、高圧高周波電源に接続されている。高圧高周波電源から放電用の電圧を印加することによって、放電用電極と誘電電極との間で放電が生じ、オゾンが発生する。

基板の裏面には、チップ抵抗が配置されている。チップ抵抗は、ヒータ電源に接続されている。チップ抵抗は、ヒータ電源からヒータ用電圧が印加されることによって、発熱する。この熱によって、放電用電極および誘電電極は、加熱される。

特開平８−２１７４１１号公報

しかしながら、上述の構成では、オゾン発生用の電源（高圧高周波電源）と加熱用の電源（ヒータ電源）とを個別に設けなければならない。このため、オゾン発生装置は、大型化してしまう。

したがって、本発明の目的は、オゾンの発生と、オゾンを発生する電極の加熱とを行える小型のオゾン発生装置を提供することにある。

本発明の一態様におけるオゾン発生装置は、放電によってオゾンを発生させる第１放電用電極および第２放電用電極と、ヒータ電極とを備える。ヒータ電極の第１端は、第１放電用電極に接続され、ヒータ電極の第２端は、第２放電用電極に接続されている。第１放電用電極と第２放電用電極とを介して第１端と第２端とを接続する電流経路を第１経路とし、第１経路の電流に対する電圧の比を第１抵抗値とする。ヒータ電極を介して第１端と第２端を接続する電流経路を第２経路とし、第２経路の電流に対する電圧の比を第２抵抗値とする。第１放電用電極と第２放電用電極との間で放電が生じる放電開始電圧より高い電圧範囲において、第２抵抗値は、第１抵抗値よりも高い。なお、本明細書等において、接続とは、電気的に接続される場合を含むものとする。

この構成では、放電が生じている状態において、ヒータ電極の電流よりも、第１放電用電極および第２放電用電極の電流が高くなる。したがって、１つの電源から放電開始電圧以上の高電圧を第１放電用電極および第２放電用電極とヒータ電極とに印加して、放電と加熱とを安定して同時に行える。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生装置では、放電開始電圧よりも低い電圧範囲において、第２抵抗値は、第１抵抗値よりも低いことが好ましい。

この構成では、放電が生じていない状態において、ヒータ電極に効率的に電流供給ができ、ヒータ電極による加熱が効率的に行われる。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生装置では、次の構成であることが好ましい。第１放電用電極と第２放電用電極とは、それぞれに複数の電極指を備える。第１放電用電極の複数の電極指と、第２放電用電極の複数の電極指とは、所定方向に沿って、交互に且つ互いに対向して、配置されている。

この構成では、第１放電用電極と第２放電用電極との対向面積を大きくでき、放電開始電圧が低下する。これにより、ヒータ電極の低抵抗化が可能になり、ヒータ電極の形成が容易になる。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生装置では、次の構成であることが好ましい。オゾン発生装置は、筐体と誘電体層とを備える。筐体は、第１放電用電極、第２放電用電極、および、ヒータ電極が形成されており、絶縁性である。誘電体層は、筐体の表面に配置されている。第１放電用電極および第２放電用電極は、筐体の表面に、誘電体層に覆われる形状で配置されている。

この構成では、誘電体層の誘電率を適宜選択することによって、放電開始電圧の低下等の放電開始電圧の制御が可能になる。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生措置では、ヒータ電極は、正特性サーミスタによって構成されていることが好ましい。

この構成では、放電開始電圧よりも高い電圧範囲において抵抗値を高くし、放電開始電圧よりも低い電圧範囲において抵抗値を低くすることが容易になる。また、放電開始電圧よりも高い電圧範囲における抵抗値と、放電開始電圧よりも低い電圧範囲における抵抗値との差を大きくし易い。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生措置では、ヒータ電極は、複数の屈曲部を有することが好ましい。

この構成では、ヒータ電極の厚みを薄くすることなく、抵抗値を高くできる。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生装置では、次の構成であることが好ましい。オゾン発生装置は、第１端と第２端との間に電圧を印加する１つの電源、を備える。電源は、放電開始電圧よりも高い電圧を印加する。

この構成では、電源が１つであり、電源を含むオゾン発生装置が小型化される。

また、本発明の一態様におけるオゾン発生装置は、次の構成であることが好ましい。電源は、放電開始電圧よりも高い電圧を印加する第１期間と、放電開始電圧よりも低い電圧を印加する第２期間と、を交互に有する。

この構成では、放電の必要な期間は、放電と加熱とを同時に行い、放電の必要でない期間は、加熱のみを効率的に行える。

この発明によれば、オゾンの発生と、オゾンを発生する電極の加熱とを行えるオゾン発生装置を小型に実現できる。

（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の表面図であり、（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の裏面図である。 （Ａ）は、図１（Ａ）における本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置のＡ−Ａ断面の図であり、（Ｂ）は、図１（Ａ）における本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置のＢ−Ｂ断面の図である。 本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の各構成要素の電流電圧特性、すなわち、抵抗値の特性を表すグラフである。 本発明の第２の実施形態に係るオゾン発生装置の機能ブロック図である。 （Ａ）は、本発明の第３の実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａの表面図であり、（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａの側面断面図である。

図１（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の表面図であり、図１（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の裏面図である。図１（Ａ）は、絶縁体層および誘電体層を省略した状態での表面図である。図２（Ａ）は、図１（Ａ）における本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置のＡ−Ａ断面の図である。図２（Ｂ）は、図１（Ａ）における本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置のＢ−Ｂ断面の図である。

図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２（Ａ）、および、図２（Ｂ）に示すように、オゾン発生装置１０は、絶縁性の筐体２０、第１放電用電極３０、第２放電用電極４０、ヒータ電極５０、外部接続電極６１、６２、誘電体層７０、層間接続電極８１、８２を備える。

筐体２０は、略直方体形状である。筐体２０は、複数の絶縁体層２０１、２０２、２０３、２０４を積層してなる。筐体２０は、例えば、低温焼結セラミック等からなる。

第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とは、筐体２０の表面に形成されている。第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とは、導電性の高い材料（例えば、ＲｕＯ_２、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ等）からなる。

第１放電用電極３０は、複数の電極指３１と複数の引き回し電極３２とを備える。複数の電極指３１は、筐体２０の表面における第１方向および第２方向の中央領域に配置されている。

電極指３１は、所定幅を有する電極パターンである。電極指３１は、第１方向に延びる第１部分電極と、第２方向に延びる第２部分電極とを有する。第１部分電極は、２つであり、第２方向において間隔を空けて配置されている。２つの第１部分電極の一方の端部は、第２部分電極によって接続されている。すなわち、第１放電用電極３０は、延びる方向の途中に複数の屈曲部を有する。複数の電極指３１は、第２方向に沿って間隔を空けて配置されている。複数の電極指３１は、第２方向に延びる電極によって接続されている。この際、複数の電極指３１は、一本の線として繋がるように接続されている。この構成により、複数の電極指３１は、平面視して、全体として略ミアンダ形状となるように接続される。

複数の引き回し電極３２のそれぞれは、複数の電極指３１における第２方向の両端の電極指３１にそれぞれ個別に接続されている。引き回し電極３２は、筐体２０の表面を平面視して、第１方向において複数の電極指３１の形成領域よりも一方端側に配置されている。

第２放電用電極４０は、複数の電極指４１と複数の引き回し電極４２とを備える。複数の電極指４１は、筐体２０の表面における第１方向および第２方向の中央領域に配置されている。すなわち、筐体２０の表面の第１方向および第２方向において、複数の電極指４１の形成領域と、複数の電極指３１の形成領域とは、部分的に重なっている。

電極指４１は、所定幅を有する電極パターンである。電極指４１は、電極指３１と同じ幅で同じ厚みであることが好ましい。電極指４１は、第１方向に延びる第３部分電極と、第２方向に延びる第４部分電極とを有する。第３部分電極は、２つであり、第２方向において間隔を空けて配置されている。２つの第３部分電極の一方の端部は、第４部分電極によって接続されている。すなわち、第２放電用電極４０は、延びる方向の途中に複数の屈曲部を有する。複数の電極指４１は、第２方向に沿って間隔を空けて配置されている。複数の電極指４１は、第２方向に延びる電極によって接続されている。この際、複数の電極指４１は、一本の線として繋がるように接続されている。この構成により、複数の電極指４１は、平面視して、全体として略ミアンダ形状となるように接続される。

複数の引き回し電極４２のそれぞれは、複数の電極指４１における第２方向の両端の電極指４１にそれぞれ個別に接続されている。引き回し電極４２は、筐体２０の表面を平面視して、第１方向において複数の電極指４１の形成領域よりも他方端側に配置されている。

ここで、複数の電極指４１と複数の電極指３１とは、第２方向（本発明の「所定方向」に対応する。）に沿って、交互に配置されている。これにより、複数の電極指４１と複数の電極指３１とは、第１方向に沿って所定の長さを有する対向部を、第２方向に沿って複数備える。これにより、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とによる放電開始電圧を低くできる。

ヒータ電極５０は、筐体２０の裏面に形成されている。ヒータ電極５０は、所望の抵抗率を有する材料（例えば、ニクロム、Ｗ、ＲｕＯ_２等）からなる。ヒータ電極５０に電流が流れることによって、ヒータ電極５０が発熱し、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とを加熱する。これにより、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との腐食を抑制できる。

オゾン発生装置１０（筐体２０）を平面視して、ヒータ電極５０の形成領域は、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との形成領域に重なっている。なお、ヒータ電極５０の形成領域は、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との形成領域に重なっていることが好ましいが、この限りではない。ヒータ電極５０の形成領域が第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との形成領域に重なっていることによって、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とをヒータ電極５０によって効率的に加熱できる。

ヒータ電極５０は、延びる方向の途中位置で複数回屈曲する形状である。例えば、ヒータ電極５０は、ミアンダ形状である。この構成によって、ヒータ電極５０を長くでき、ヒータ電極５０の大型化を抑制しながら、抵抗値を高くできる。

ヒータ電極５０の延びる方向の第１端は、層間接続電極８１を介して、第１放電用電極３０の引き回し電極３２に接続されている。ヒータ電極５０の延びる方向の第２端は、層間接続電極８２を介して、第２放電用電極４０の引き回し電極４２に接続されている。なお、層間接続電極８１、８２は、所定の導電率を有する材料からなり、例えば、銀を含む導電ペーストを固化してなる。

誘電体層７０は、所定の比誘電率を有する。誘電体層７０は、筐体２０の表面を覆っている。この際、誘電体層７０は、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０の形成領域（筐体２０の第２方向の中央領域）を少なくとも覆うように形成されている。このような誘電体層７０を備えることによって、放電開始電圧をさらに低下できる。

外部接続電極６１、６２は、筐体２０の裏面に形成されており、平面視して矩形の電極である。外部接続電極６１は、筐体２０の第１方向の一方端付近に形成されている。外部接続電極６１は、ヒータ電極５０の第１端に接続されている。外部接続電極６２は、筐体２０の第１方向の他方端付近に形成されている。外部接続電極６２は、ヒータ電極５０の第２端に接続されている。

このように、外部接続電極６１と外部接続電極６２とは、第１放電用電極３０および第２放電用電極４０を介する電流経路（第１経路）と、ヒータ電極５０を介する電流経路（第２経路）との共通の端部である。

外部接続電極６１と外部接続電極６２とは、後述する電源９０（図４参照）が接続される。すなわち、電源９０は、第１放電用電極３０および第２放電用電極４０を介する電流経路（第１経路）と、ヒータ電極５０を介する電流経路（第２経路）とに対するただ１つ電源（共通の電源）である。

このような構成とすることによって、放電用電源と加熱用電源とを個別に用意しなくてもよい。したがって、オゾンの発生とオゾンを発生する電極の加熱とを行えるオゾン発生装置を小型化できる。

図３は、本発明の第１の実施形態に係るオゾン発生装置の各構成要素の電流電圧特性、すなわち、抵抗値の特性を表すグラフである。図３において、横軸は電流Ｉであり、縦軸は電圧Ｖである。図３において、破線は第１経路（第１放電用電極３０および第２放電用電極４０側）の電流に対する電圧の比（第１抵抗値）を示し、一点鎖線は第２経路（ヒータ電極５０側）の電流に対する電圧の比（第２抵抗値）を示し、実線は、第１経路と第２経路の並列接続経路（オゾン発生装置１０の構成そのもの）の電流に対する電圧の比（第３抵抗値）を示す。

図３に示すように、第１経路のみにおける放電開始電圧Ｖｄｃｈ１よりも高い電圧領域において、第２抵抗値は、第１抵抗値よりも高い。このような構成とすることによって、第１経路と第２経路との同じ電圧を印加した場合に、放電開始電圧Ｖｄｃｈ１よりも高い電圧領域では、第２経路よりも第１経路に電流が流れ易い。したがって、第１経路と第２経路とに１つの電源９０から電圧を供給しても、放電を安定して継続的に実現できる。さらに、第２経路にも所定の電流を流すことができ、第１経路と第２経路とに１つの電源９０から電圧を供給しても、ヒータ電極５０による加熱も確実に実現できる。

なお、第１経路のみにおける放電開始電圧Ｖｄｃｈ１と第１経路と第２経路の並列接続経路における放電開始電圧Ｖｄｃｈ０とは、若干の差があるが略同じである。したがって、放電開始電圧Ｖｄｃｈ１よりも高い電圧領域において、第２抵抗値を、第１抵抗値よりも高く設定してもよい。

また、図３に示すように、放電開始電圧Ｖｄｃｈ１よりも低い電圧領域において、第２抵抗値は、第１抵抗値よりも低いことが好ましい。これにより、放電を行っていない時に、ヒータ電極５０に効率的に電流を供給でき、ヒータ電極５０よる加熱が効率的になる。

また、ヒータ電極５０による加熱を継続的に行うことによって、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との腐食を効果的に抑制できる。この際、ヒータ電極５０の加熱が効率的に行えることによって、効率的な腐食の抑制を実現できる。

さらに、上述のように、オゾン発生装置１０の構成では、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との対向配置形状と、誘電体層７０の配置とによって放電開始電圧が低くなっている。したがって、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０とに印加する電圧を低く設定できる。これにより、ヒータ電極５０を大幅に高い抵抗値にする必要が無い。一方で、ヒータ電極５０が上述の形状であることによって、チップ抵抗等と比較して、耐電圧が高く、高抵抗を容易に実現できる。

したがって、本実施形態に係るオゾン発生装置１０の構成を用いることによって、上述のように１つの電源９０を用いる態様であっても、放電と加熱とを安定的に実現させ、高い信頼性を実現できる。

なお、ヒータ電極５０は、筐体２０の裏面以外に、筐体２０の厚み方向、すなわち、複数の絶縁体層２０１、２０２、２０３、２０４の積層方向の途中位置に配置することもできる。

次に、第２の実施形態に係るオゾン発生装置について、図を参照して説明する。図４は、本発明の第２の実施形態に係るオゾン発生装置の機能ブロック図である。

図４に示すように、オゾン発生装置１００は、第１の実施形態に係るオゾン発生装置１０に対して、電源９０を追加した点で異なる。図４において、第１の実施形態に係るオゾン発生装置１０と同じ箇所には同じ記号を付している。

オゾン発生装置１００のオゾン発生部分（加熱部を含む）は、第１の実施形態に係るオゾン発生装置１０の構造を採用している。

電源９０は、ＤＣ電源９０１、電圧切替回路９０２、基準電圧生成回路９０３、比較回路９０４、発振回路９０５、発振用トランジスタ９０６、トランス９０７、直流定電圧電源９０８、および、出力電圧検出回路９０９を備える。

ＤＣ電源９０１は、所定の直流電源電圧（例えば１２Ｖ）を電圧切替回路９０２に供給する。電圧切替回路９０２は、直流電源電圧の電圧変換を行って、第１直流電圧と第２の直流電圧とのいずれかを出力する。第１直流電圧は、第２直流電圧よりも高電圧であり、例えば、第１直流電圧は５Ｖ、第２直流電圧は３Ｖである。電圧切替回路９０２は、第１直流電圧または第２直流電圧を基準電圧生成回路９０３に出力する。基準電圧生成回路９０３は、第１直流電圧または第２直流電圧に応じた基準電圧を発生し、比較回路９０４に出力する。

トランス９０７の検出用コイル９７３は、出力電圧に比例する電圧を発生し、出力電圧検出回路９０９は、この電圧を検出する。出力電圧検出回路９０９は、この検出電圧を、比較回路９０４に出力する。

比較回路９０４は、出力電圧検出回路９０９の検出電圧と基準電圧とを比較して、発振回路９０５に出力する。比較回路９０４の基準電圧を高く設定すれば、出力電圧（トランス９０７の二次側コイル９７２に発生する電圧）を低く調整でき、比較回路９０４の基準電圧を低く設定すれば、出力電圧（トランス９０７の二次側コイル９７２に発生する電圧）を高く調整できる。これにより、安定した出力電圧が得られる。

発振回路９０５は、比較結果に応じたベース電圧を、発振用トランジスタ９０６に出力する。

発振用トランジスタ９０６のコレクタは、一次側コイル９７１の一方端に接続されている。発振用トランジスタのエミッタは、グランドに接続されており、グランドには、直流定電圧電源９０８を介して一次側コイル９７１の他方端が接続されている。発振用トランジスタ９０６は、このベース電圧に応じて、トランス９０７の一次側コイル９７１に電流を供給する。すなわち、この発振は、トランス９０７のインダクタンスと、トランスの分布キャパシタンスおよびオゾン発生部分の構造（第１の実施形態に係るオゾン発生装置１０の構造）に起因するキャパシタンスによるＬＣ発振を利用している。そして、発振回路９０５から発振用トランジスタ９０６に与えられるベース電圧によって、出力電圧の電圧値を制御している。

トランス９０７の二次側コイル９７２は、オゾン発生部分（第１の実施形態に係る構造のオゾン発生装置１０）の外部接続電極６１、６２に接続されている。外部接続電極６２は、グランドに接続されている。

このような構成において、放電を行う期間には、電圧切替回路９０２は、第１直流電圧を出力する。これにより、トランス９０７の二次側コイル９７２には、放電開始電圧よりも高い電圧（図３のＶ１）が出力され、外部接続電極６１、６２に印加される。これにより、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との間で放電が生じるとともに、ヒータ電極５０による加熱が行われる。一方、放電を行わない期間には、電圧切替回路９０２は、第２直流電圧を出力する。これにより、トランス９０７の二次側コイル９７２には、放電開始電圧よりも低い電圧（図３のＶ２）が出力され、外部接続電極６１、６２に印加される。これにより、第１放電用電極３０と第２放電用電極４０との間で放電が生じず、ヒータ電極５０による加熱のみが行われる。

このように、本実施形態に係るオゾン発生装置１００の構成を用いることによって、必要な期間だけ放電を行い、放電の有無に関係なく加熱を継続的に行うことができる。また、オゾン発生装置１００は、放電を行う期間と放電を行わない期間とを交互に実行でき、この切り替えを容易に実現できる。このように、オゾン発生装置１００は、状況に応じて効率的な放電および加熱を実現できる。

なお、上述の説明では、基準電圧を切り替える態様を示したが、出力電圧検出回路９０９の出力電圧の検出感度を切り替えてもよい。

次に、第３の実施形態に係るオゾン発生装置について、図を参照して説明する。図５（Ａ）は、本発明の第３の実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａの表面図であり、図５（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａの側面断面図である。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＣ−Ｃ断面を示している。

図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａは、第１の実施形態に係るオゾン発生装置１０に対して、第１放電用電極３０Ａと第２放電用電極４０Ａの形状および配置において異なる。オゾン発生装置１０Ａの他の構成は、オゾン発生装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第１放電用電極３０Ａは、筐体２０Ａの表面に形成されている。第１放電用電極３０Ａは、主電極３１Ａと引き回し電極３２Ａとを備える。主電極３１Ａは、平面視して、Ｕ字形状である。引き回し電極３２Ａは、第１方向において、主電極３１Ａの筐体２０Ａの一方端側に配置されており、主電極３１Ａに接続されている。引き回し電極３２Ａは、図示していない層間接続電極を介して、外部接続電極６１に接続されている。

第２放電用電極４０Ａは、筐体２０Ａの内部に形成されている。より具体的には、第２放電用電極４０Ａは、筐体２０Ａを構成する絶縁体層（筐体２０Ａの表面を形成する絶縁体層）２０１と、これに当接する絶縁体層２０２との界面に形成されている。第２放電用電極４０Ａは、主電極４１Ａと引き回し電極４２Ａとを備える。主電極４１Ａは、平面視して、Ｕ字形状である。主電極４１Ａは、平面視して、主電極３１Ａに重なる部分と重ならない部分とを有する。引き回し電極４２Ａは、第１方向において、主電極４１Ａの筐体２０Ａの他方端側に配置されており、主電極４１Ａに接続されている。引き回し電極４２Ａは、図示していない層間接続電極を介して、外部接続電極６２に接続されている。

このような構成であっても、第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。また、この実施形態に係るオゾン発生装置１０Ａに対しても、第２の実施形態に係る電源９０を利用でき、第２の実施形態と同様の作用効果が得られる。

なお、上述の各実施形態において、ヒータ電極５０を正特性サーミスタで構成してもよい。これにより、放電開始電圧よりも高い電圧範囲で第２抵抗値を第１抵抗値よりも高くし易く、放電開始電圧よりも低い電圧範囲で第２抵抗値を第１抵抗値よりも低くし易い。さらに、必要以上の加熱を抑制できる。

１０、１０Ａ：オゾン発生装置
２０、２０Ａ：筐体
３０、３０Ａ：第１放電用電極
３１：電極指
３１Ａ：主電極
３２：引き回し電極
３２Ａ：電極
４０、４０Ａ：第２放電用電極
４１：電極指
４１Ａ：主電極
４２：引き回し電極
５０：ヒータ電極
６１：外部接続電極
６２：外部接続電極
７０：誘電体層
８１、８２：層間接続電極
９０：電源
１００：オゾン発生装置
２０１−２０４：絶縁体層
９０１：ＤＣ電源
９０２：電圧切替回路
９０３：基準電圧生成回路
９０４：比較回路
９０５：発振回路
９０６：発振用トランジスタ
９０７：トランス
９０８：直流定電圧電源
９０９：出力電圧検出回路
９７１：一次側コイル
９７２：二次側コイル
９７３：検出用コイル
Ｖｄｃｈ０：放電開始電圧
Ｖｄｃｈ１：放電開始電圧

Claims (8)

1. 放電によってオゾンを発生させる第１放電用電極および第２放電用電極と、
   第１端が前記第１放電用電極に接続され、第２端が前記第２放電用電極に接続されたヒータ電極と、を備え、
   前記第１放電用電極と前記第２放電用電極とを介して前記第１端と前記第２端を接続する電流経路を第１経路とし、前記第１経路の電流に対する電圧の比を第１抵抗値として、
   前記ヒータ電極を介して前記第１端と前記第２端を接続する電流経路を第２経路とし、前記第２経路の電流に対する電圧の比を第２抵抗値として、
   前記第１放電用電極と前記第２放電用電極との間で放電が生じる放電開始電圧より高い電圧範囲において、前記第２抵抗値は、前記第１抵抗値よりも高い、
   オゾン発生装置。
2. 前記放電開始電圧よりも低い電圧範囲において、前記第２抵抗値は、前記第１抵抗値よりも低い、
   請求項１に記載のオゾン発生装置。
3. 前記第１放電用電極と前記第２放電用電極とは、それぞれに複数の電極指を備え、
   前記第１放電用電極の複数の電極指と、前記第２放電用電極の複数の電極指とは、所定方向に沿って、交互に且つ互いに対向して、配置されている、
   請求項１または請求項２に記載のオゾン発生装置。
4. 前記第１放電用電極、前記第２放電用電極、および、前記ヒータ電極が形成される絶縁性の筐体と、
   該筐体の表面に配置された誘電体層と、を備え、
   前記第１放電用電極および前記第２放電用電極は、前記筐体の表面に、前記誘電体層に覆われる形状で配置されている、
   請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のオゾン発生装置。
5. 前記ヒータ電極は、正特性サーミスタによって構成されている、
   請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のオゾン発生装置。
6. 前記ヒータ電極は、複数の屈曲部を有する、
   請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のオゾン発生装置。
7. 前記第１端と前記第２端との間に電圧を印加する１つの電源と、を備え、
   前記電源は、前記放電開始電圧よりも高い電圧を印加する、
   請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のオゾン発生装置。
8. 前記電源は、
   前記放電開始電圧よりも高い電圧を印加する第１期間と、
   前記放電開始電圧よりも低い電圧を印加する第２期間と、
   を交互に有する、
   請求項７に記載のオゾン発生装置。

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