JPH04198004A - ヒーター内蔵オゾン発生体 - Google Patents
ヒーター内蔵オゾン発生体Info
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- JPH04198004A JPH04198004A JP33526490A JP33526490A JPH04198004A JP H04198004 A JPH04198004 A JP H04198004A JP 33526490 A JP33526490 A JP 33526490A JP 33526490 A JP33526490 A JP 33526490A JP H04198004 A JPH04198004 A JP H04198004A
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- electrode
- heater
- ozone
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- induction electrode
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- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、悪臭や防菌用にオゾンを沿面放電により発
生させるオゾン発生器に用いるヒーター内蔵オゾン発生
体に関する。
生させるオゾン発生器に用いるヒーター内蔵オゾン発生
体に関する。
［従来技術］
沿面放電方式のオシの発生器は、オゾンの出発原料とな
る周辺空気が高湿度の場合、表面のリーク電流が過多と
なり放電効率が低下し、オゾンの発生量の安定を欠くこ
とになる。そのため、特開平１−１６４７０２号には、
オゾン発生器に熱線および熱線の発熱用の電源供給手段
からなるヒーター装置を具備する方式が開示されている
。
る周辺空気が高湿度の場合、表面のリーク電流が過多と
なり放電効率が低下し、オゾンの発生量の安定を欠くこ
とになる。そのため、特開平１−１６４７０２号には、
オゾン発生器に熱線および熱線の発熱用の電源供給手段
からなるヒーター装置を具備する方式が開示されている
。
［発明が解決しようとする課題〕
本発明は、ヒーター内蔵させて、効率的なオゾンの発生
、製造コストの低減等を図ったヒーター内蔵オゾン発生
体の提供を目的とする。
、製造コストの低減等を図ったヒーター内蔵オゾン発生
体の提供を目的とする。
［課題を解決するための手段］
上述の課題を解決するため、本発明は誘電体を介して放
電電極および誘導電極を備え、前記２つの電極に高電圧
を印加して沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発
生体において、前記誘導電極がオゾン発生用電極および
ヒーターであることを特徴とするヒーター内蔵オゾン発
生体である。
電電極および誘導電極を備え、前記２つの電極に高電圧
を印加して沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発
生体において、前記誘導電極がオゾン発生用電極および
ヒーターであることを特徴とするヒーター内蔵オゾン発
生体である。
［作用］
第１図は、本発明のオゾン発生体９の中央部断面図を示
す、セラミック材料からなる誘電体１の−主面に放電ｆ
ｉ＆２を備え、必要に応じて前記放電電ｆｆ１２を保護
するオーバーコート４で覆われている。
す、セラミック材料からなる誘電体１の−主面に放電ｆ
ｉ＆２を備え、必要に応じて前記放電電ｆｆ１２を保護
するオーバーコート４で覆われている。
誘電体層の内部に誘導電極兼ヒーター３を備えている。
オゾン発生体の他の主面には表面電極６．７および８を
備え、それぞれのスルーホールに充填されたスルーホー
ル導体５を介して、放電電極２は表面電極８と接続し、
誘導電極兼ヒーター３は表面電極６および７と接続して
いる。
備え、それぞれのスルーホールに充填されたスルーホー
ル導体５を介して、放電電極２は表面電極８と接続し、
誘導電極兼ヒーター３は表面電極６および７と接続して
いる。
第２図はオゾン発生およびヒーターとして作用するとき
の説明図である。
の説明図である。
同図のように、電源供給手段により、表面電極６と７の
間に直流（たとえば１０ｖ）を通して周辺空気を加熱し
、一方、表面電極６と８の間に交流（たとえば５ＫＶ
）を印加することでオゾンを発生させる。これらを同時
に機能させて効率的にオゾンを発生させることができる
。
間に直流（たとえば１０ｖ）を通して周辺空気を加熱し
、一方、表面電極６と８の間に交流（たとえば５ＫＶ
）を印加することでオゾンを発生させる。これらを同時
に機能させて効率的にオゾンを発生させることができる
。
また、製造コストも誘導電極およびヒーターを兼ねるの
で、別途ヒーターを付与させる工程の必要がなく安価で
ある。
で、別途ヒーターを付与させる工程の必要がなく安価で
ある。
［実施例］
丸ｌ漣り
以下実施例について、図面を参照して説明する。
誘電体として、ＣａＯ−Ａ１２０３−８ｉ０２−Ｂ２０
ｓ系ガラス６０重量％とアルミナ４０重量％とからなる
材料を用いる。この材料は１０００°Ｃ以下の焼成温度
で焼結する。
ｓ系ガラス６０重量％とアルミナ４０重量％とからなる
材料を用いる。この材料は１０００°Ｃ以下の焼成温度
で焼結する。
放電電極はオゾン発生体９の一生面に位置し、誘電体上
にＡｇ−Ａ４−Ｐｄ 、 ＲＩＪＯ２−カラス抵抗体、
Ａｕ等で形成させている。
にＡｇ−Ａ４−Ｐｄ 、 ＲＩＪＯ２−カラス抵抗体、
Ａｕ等で形成させている。
誘導電極はオゾン発生体の内部、すなわち誘電体の内部
にＲｕＯ２−ガラス抵抗体で形成されている。
にＲｕＯ２−ガラス抵抗体で形成されている。
表面電極は、オゾン発生体９の他の主面に配置し、３箇
所設けられ、スルーホールに充填されたＡｇ−Ｐｄ導体
を介して表面電極８は放電電極と、表面を極６および７
は誘導電極兼ヒーターと接続されている。
所設けられ、スルーホールに充填されたＡｇ−Ｐｄ導体
を介して表面電極８は放電電極と、表面を極６および７
は誘導電極兼ヒーターと接続されている。
以上の製造方法について、第３図（ａ） 、 （ｂ）の
焼成前のオゾン発生体の各部の構成を示す分解斜視図で
説明する。第３図（ａ）は印刷法等で放電電極１２を誘
電体グリーンシート１１上に形成し、スルーホール部に
導体が充填される。第３図（ｂ）は印刷法等で誘導電極
１３を誘電体グリーンシート１１上に形成し、スルーホ
ール部１５に導体が充填される。
焼成前のオゾン発生体の各部の構成を示す分解斜視図で
説明する。第３図（ａ）は印刷法等で放電電極１２を誘
電体グリーンシート１１上に形成し、スルーホール部に
導体が充填される。第３図（ｂ）は印刷法等で誘導電極
１３を誘電体グリーンシート１１上に形成し、スルーホ
ール部１５に導体が充填される。
なお、第１図（ａ＞に示した表面電極６と７の間の抵抗
が約１００Ωとなるようにした。第４図は誘導電極を形
成した他の面に形成した３箇所の表面電１１６，１．７
．１８を示す平面図ある。
が約１００Ωとなるようにした。第４図は誘導電極を形
成した他の面に形成した３箇所の表面電１１６，１．７
．１８を示す平面図ある。
誘電体グリーンシートの寸法は、タテ４０×ヨコ１０×
厚み０．３ｍｇ＋とし、それぞれの電極の厚みは１０〜
２０μｍとした。これらは、一実施例であり、この寸法
に限定するものではないのは当然である。
厚み０．３ｍｇ＋とし、それぞれの電極の厚みは１０〜
２０μｍとした。これらは、一実施例であり、この寸法
に限定するものではないのは当然である。
第３図の（ａ）と（ｂ）を熱圧着して積層した後、約９
００℃で同時焼成して一体化することよりオゾン発生体
とした。
００℃で同時焼成して一体化することよりオゾン発生体
とした。
Ｋ１匠え
実施例１との相違点についてのみ説明する。
誘電体はアルミナ磁器を用い、スルーホール導体、放電
電極および表面電極は、タングステン導体で形成する。
電極および表面電極は、タングステン導体で形成する。
誘導電極はタングステン−アルミナ（またはガラス等）
混合物、Ｐｔ、 ＭｏＳｉ２等を用いる。熱圧着して、
ｍＮ後の焼成温度は還元雲間囲気で約１５５０°Ｃであ
る。
混合物、Ｐｔ、 ＭｏＳｉ２等を用いる。熱圧着して、
ｍＮ後の焼成温度は還元雲間囲気で約１５５０°Ｃであ
る。
［発明の効果］
本発明は、以上の説明のように、オゾン発生器用のオゾ
ン発生体は、誘導電極がヒーターを兼ね備えて内蔵され
ているので、オゾン発生効率に優れている。また、製造
コストも安価である。
ン発生体は、誘導電極がヒーターを兼ね備えて内蔵され
ているので、オゾン発生効率に優れている。また、製造
コストも安価である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の中央部断面図である。
第２図は、本発明のオゾン発生およびヒーターとしての
作用を説明する説明図である。 第３図の（ａ）および（ｂ）は、本発明の部品構成の各
部の斜視図である。 第４図は、本発明の表面電極を示す平面図である。 １・・・誘電体、２・・・放電電極、３・・・誘導電極
兼ヒータ、４・・・オーバーコート、５・・・スルーホ
ール導体、６．７および８・・・表面電極、９・・・オ
ゾン発生体。
作用を説明する説明図である。 第３図の（ａ）および（ｂ）は、本発明の部品構成の各
部の斜視図である。 第４図は、本発明の表面電極を示す平面図である。 １・・・誘電体、２・・・放電電極、３・・・誘導電極
兼ヒータ、４・・・オーバーコート、５・・・スルーホ
ール導体、６．７および８・・・表面電極、９・・・オ
ゾン発生体。
Claims (1)
- （１） 誘電体を介して放電電極および誘導電極を備え
、前記２つの電極に高電圧を印加して沿面放電によりオ
ゾンを発生させるオゾン発生体において、前記誘導電極
がオゾン発生用電極およびヒーターであることを特徴と
するヒーター内蔵オゾン発生体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33526490A JPH04198004A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ヒーター内蔵オゾン発生体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33526490A JPH04198004A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ヒーター内蔵オゾン発生体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04198004A true JPH04198004A (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=18286580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33526490A Pending JPH04198004A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ヒーター内蔵オゾン発生体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04198004A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013123676A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Sharp Corp | オゾン水生成装置およびそれを備えた衛生器具用洗浄装置、並びに、オゾン水生成方法 |
| CN109415206A (zh) * | 2016-07-14 | 2019-03-01 | 株式会社村田制作所 | 臭氧产生装置 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP33526490A patent/JPH04198004A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013123676A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Sharp Corp | オゾン水生成装置およびそれを備えた衛生器具用洗浄装置、並びに、オゾン水生成方法 |
| CN109415206A (zh) * | 2016-07-14 | 2019-03-01 | 株式会社村田制作所 | 臭氧产生装置 |
| CN109415206B (zh) * | 2016-07-14 | 2022-03-11 | 株式会社村田制作所 | 臭氧产生装置 |
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