JPH02284396A - 除電装置 - Google Patents
除電装置Info
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- JPH02284396A JPH02284396A JP1105480A JP10548089A JPH02284396A JP H02284396 A JPH02284396 A JP H02284396A JP 1105480 A JP1105480 A JP 1105480A JP 10548089 A JP10548089 A JP 10548089A JP H02284396 A JPH02284396 A JP H02284396A
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
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Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は半導体素子の製造工場等のような所謂クリー
ンルームにおける壁、各種器物及び人体の被服等に帯電
する静電気を除電するための装置に関するものである。
ンルームにおける壁、各種器物及び人体の被服等に帯電
する静電気を除電するための装置に関するものである。
［従来の技術］
従来のこの種の除電装置は金属ロッドの外周に絶縁物を
介して金属円筒を同心的に設け、その間に高周波高圧電
源を接続し、またその金属円筒を金属フレームで支持し
、該金属円筒の外周に針電極を突設して、前記金属フレ
ームと針電極を空間を隔てて対向せしめ、その間の交流
コロナ放電によって正負のイオンを発生せしめ、それを
そこを流動する空気と共にクリーンルーム内に供給して
前記静電気を除電するものである。
介して金属円筒を同心的に設け、その間に高周波高圧電
源を接続し、またその金属円筒を金属フレームで支持し
、該金属円筒の外周に針電極を突設して、前記金属フレ
ームと針電極を空間を隔てて対向せしめ、その間の交流
コロナ放電によって正負のイオンを発生せしめ、それを
そこを流動する空気と共にクリーンルーム内に供給して
前記静電気を除電するものである。
また池の従来例は二つの円筒状電極を空間を隔てて同心
的に設け、その間に高周波高圧電源を接続し、またその
円筒状電極の間の交流コロナ放電によってそこに正負の
イオンを発生せしめ、それを流動中の空気と共にクリー
ンルーム内に供給して前記静電気を除電するものである
。
的に設け、その間に高周波高圧電源を接続し、またその
円筒状電極の間の交流コロナ放電によってそこに正負の
イオンを発生せしめ、それを流動中の空気と共にクリー
ンルーム内に供給して前記静電気を除電するものである
。
［解決しようとする発明の課題］
上記従来の除電装置は何れもそのコロナ放電によってそ
こにオゾンが発生して、これがそこを流動する空気と共
に前記クリーンルームに流入してそこに存在するものを
酸１ヒして損傷するおそれがある。
こにオゾンが発生して、これがそこを流動する空気と共
に前記クリーンルームに流入してそこに存在するものを
酸１ヒして損傷するおそれがある。
また特に上記コロナ放電によってその電極にイオンが衝
突してそれを傷め、その際に生ずる微細金属例えばＮ、
、 Ｋ等の不純物の粒子が前記クリーンルーム内に入り
込み、これが半導体素子等の電子部品の精度に重大な支
障を及ぼすのでこの種の装置として致命的な欠点になる
。
突してそれを傷め、その際に生ずる微細金属例えばＮ、
、 Ｋ等の不純物の粒子が前記クリーンルーム内に入り
込み、これが半導体素子等の電子部品の精度に重大な支
障を及ぼすのでこの種の装置として致命的な欠点になる
。
この発明の目的は前記従来の除電装置の問題点すなわち
、オゾンの発生を防止すると共にコロナ放電の際に生ず
るイオンによる電極のスパッタ現象を防止して、不純物
がクリーンルーム内に入り込むことがないようにするこ
とである。
、オゾンの発生を防止すると共にコロナ放電の際に生ず
るイオンによる電極のスパッタ現象を防止して、不純物
がクリーンルーム内に入り込むことがないようにするこ
とである。
［課組を解決するための手段］
この発明の除電装置は空気の通路内に、アルミナ磁器等
の誘電体層を介してコロナ電極と誘導電極を一体的に設
けてなる電界装置を配置し、その電界装置のコロナ電極
側を前記空気通路内に位置するようにして設け、前記コ
ロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧電源の両端子を接
続し、また該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミナ
磁器層で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源と接
続された発熱体を設け、さらに前記電界装置のコロナ電
極側に該空気通路を介してバイアス電極を配設し、この
バイアス電極に直流電源の正負各端子と択一的に断続し
て、前記コロナ放電部分における正負イオンのバランス
を調整する切り替えスイッチを接続するものである。
の誘電体層を介してコロナ電極と誘導電極を一体的に設
けてなる電界装置を配置し、その電界装置のコロナ電極
側を前記空気通路内に位置するようにして設け、前記コ
ロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧電源の両端子を接
続し、また該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミナ
磁器層で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源と接
続された発熱体を設け、さらに前記電界装置のコロナ電
極側に該空気通路を介してバイアス電極を配設し、この
バイアス電極に直流電源の正負各端子と択一的に断続し
て、前記コロナ放電部分における正負イオンのバランス
を調整する切り替えスイッチを接続するものである。
［作用］
空気通路の入り口から空気をその空気通路内に送り込み
ながら、高周波高圧電源によって前記コロナ電極と誘導
電極の間における誘１を木の表面に沿面放電を発生し、
その際に生ずる正負のイオンを前記空気通路内を流動す
る空気と共にクリーンルーム内に供給して、その内部の
静電気を除電するものである。
ながら、高周波高圧電源によって前記コロナ電極と誘導
電極の間における誘１を木の表面に沿面放電を発生し、
その際に生ずる正負のイオンを前記空気通路内を流動す
る空気と共にクリーンルーム内に供給して、その内部の
静電気を除電するものである。
この際コロナ放電によって誘電体の表面に不可避的に生
ずるオゾンは、加熱電源と接続されている加熱体によっ
て前記誘電体を介して加熱されて熱分解される。
ずるオゾンは、加熱電源と接続されている加熱体によっ
て前記誘電体を介して加熱されて熱分解される。
また前記コロナ放電極は高純度アルミナ磁器の層で被覆
されているので、そのコロナ放電の際に生ずるイオンの
衝突によってその部分の損傷するおそれがない。
されているので、そのコロナ放電の際に生ずるイオンの
衝突によってその部分の損傷するおそれがない。
［実施例］
この発明の実施例を添付図面によって説明すると、空気
１の通路２内に、アルミナ磁器等の誘電体層３を介して
コロナ環ｆＩ４と誘導電極５を一体的に設けてなる電界
装置６を配置し、その電界装置６のコロナ電ｗ１４側を
前記空気通路２内に位置するようにして設け、前記コロ
ナ環ｇｌｉ４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７の両
端子７ａ、 ７１Ｊを接続し、また該電界装置６のコロ
ナ環ｔｆＩ４を例えば９２〜１１）ｌ）％の高純度のア
ルミナ磁器層８で被覆すると共に、前記電界装置６に加
熱電源９接続された発熱体１（）を設け、さらに前記電
界装置６のコロナｔｊｌｌ！４（ＩＩＩに該空気通路２
を介してバイアス電Ｉｌｌを配設し、このバイアスＴ４
４１１１に直流電源１２の正負各端子１２ａ 。
１の通路２内に、アルミナ磁器等の誘電体層３を介して
コロナ環ｆＩ４と誘導電極５を一体的に設けてなる電界
装置６を配置し、その電界装置６のコロナ電ｗ１４側を
前記空気通路２内に位置するようにして設け、前記コロ
ナ環ｇｌｉ４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７の両
端子７ａ、 ７１Ｊを接続し、また該電界装置６のコロ
ナ環ｔｆＩ４を例えば９２〜１１）ｌ）％の高純度のア
ルミナ磁器層８で被覆すると共に、前記電界装置６に加
熱電源９接続された発熱体１（）を設け、さらに前記電
界装置６のコロナｔｊｌｌ！４（ＩＩＩに該空気通路２
を介してバイアス電Ｉｌｌを配設し、このバイアスＴ４
４１１１に直流電源１２の正負各端子１２ａ 。
１２ｂと択一的に断続して、前記コロナ放電極４の部分
における正負イオンのバランスを調整する切り替えスイ
ッチ１５を接続するものである。
における正負イオンのバランスを調整する切り替えスイ
ッチ１５を接続するものである。
この除電装置を使用してクリーンルーム中の静電気を除
電する際は、コロナ電極４と誘導電極５との間に高周波
高圧電源７によって高周波高電圧を印加して高純度アル
ミナ磁器＋１８の表面に沿面放電を発生させてるととも
に、その表面部分を加熱電源９からの電力で加熱される
発熱体ＩＯで大体３５１）’Ｃ位に加熱しておき、その
状態で図示されていないクリーンルーム内の塵埃等の帯
電粒子を含む空気をブロア１６、ペーパフィルタ１７お
よび空気ダクト１８を経て、空気通路２の入り口１９か
らそ前記沿面放電部分２０に供給して、そこで正負のイ
オンを発生し、それを空気通路２の出口２１から図示し
てないクリーンルームに送り込むものである。
電する際は、コロナ電極４と誘導電極５との間に高周波
高圧電源７によって高周波高電圧を印加して高純度アル
ミナ磁器＋１８の表面に沿面放電を発生させてるととも
に、その表面部分を加熱電源９からの電力で加熱される
発熱体ＩＯで大体３５１）’Ｃ位に加熱しておき、その
状態で図示されていないクリーンルーム内の塵埃等の帯
電粒子を含む空気をブロア１６、ペーパフィルタ１７お
よび空気ダクト１８を経て、空気通路２の入り口１９か
らそ前記沿面放電部分２０に供給して、そこで正負のイ
オンを発生し、それを空気通路２の出口２１から図示し
てないクリーンルームに送り込むものである。
この際前記沿面放電部分２０は発熱体１０で誘電体層３
および高純度アルミナ磁器層８を介して加熱されている
ので、沿面放電によってそこに生じたオゾンは直ちに熱
分解され、オゾンがそのままクリーンルーム中に入り込
むことによる前記支障を未然に防止することができる。
および高純度アルミナ磁器層８を介して加熱されている
ので、沿面放電によってそこに生じたオゾンは直ちに熱
分解され、オゾンがそのままクリーンルーム中に入り込
むことによる前記支障を未然に防止することができる。
またその際切り替えスイッチ１５を操作して図示のごと
く直流電源１２の正端子１２ａ或は接手された負端子１
２ｂに接続することによって、沿面放電部分２０に生ず
る正負のイオンの量のバランスを自由に調整して、それ
を前記クリーンルームに供給することができる。
く直流電源１２の正端子１２ａ或は接手された負端子１
２ｂに接続することによって、沿面放電部分２０に生ず
る正負のイオンの量のバランスを自由に調整して、それ
を前記クリーンルームに供給することができる。
またこの除電装置はコロナ電極４を高純度アルミナ磁器
層８で被覆されているので、上記コロナ放電の際のイオ
ンによってｔｉがスパッタ現象で、そこからＮ□に等の
金属不純物の微粒子が分離してクリーンルーム内に入り
込むことを防止することができる。
層８で被覆されているので、上記コロナ放電の際のイオ
ンによってｔｉがスパッタ現象で、そこからＮ□に等の
金属不純物の微粒子が分離してクリーンルーム内に入り
込むことを防止することができる。
第４図に示す実施例は空気通路２内に複数の電界装置６
を互いに間隔を隔てて配置し、該各電界装置６を一枚の
誘導電極５の両側にそれぞれ誘電体層３を介してコロナ
電極４．４を設け、かつ該誘導電極５を第１図の発熱体
と兼用している点において第１図と相違しており、其の
池の構造はそれと同一である。また同図中の図面符号で
第１図のそれと同一の部分はその機能もまた同一である
。
を互いに間隔を隔てて配置し、該各電界装置６を一枚の
誘導電極５の両側にそれぞれ誘電体層３を介してコロナ
電極４．４を設け、かつ該誘導電極５を第１図の発熱体
と兼用している点において第１図と相違しており、其の
池の構造はそれと同一である。また同図中の図面符号で
第１図のそれと同一の部分はその機能もまた同一である
。
第５図および第６図の実施例は円筒形の誘電体層３を介
してその内側に形成するコロナ電極４とその外側に形成
する誘導電極５を一体的に設けてなる電界装置を空気通
路２内に同心的に配置し、その電界装置６のコロナ電極
４側を空気通路２の内側に向けて設け、前記コロナ電極
４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７を接続し、また
該電界装置６のコロナ電極４を高純度のアルミナ磁器層
８で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源９と接続
されｆＳ発発熱１０を設けたものである。
してその内側に形成するコロナ電極４とその外側に形成
する誘導電極５を一体的に設けてなる電界装置を空気通
路２内に同心的に配置し、その電界装置６のコロナ電極
４側を空気通路２の内側に向けて設け、前記コロナ電極
４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７を接続し、また
該電界装置６のコロナ電極４を高純度のアルミナ磁器層
８で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源９と接続
されｆＳ発発熱１０を設けたものである。
第７図および第８図の実施例は円筒形の誘電体層５を介
してその外側に形成するコロナ電極４と、その内側に形
成する誘導電極６を一体的に設けてなる電界装置６を空
気通路２内に同心的に配置し、その電界装置６のコロナ
ｔｆｌｉＪ側を空気通路２の外側に向けて設け、前記コ
ロナ電極４と誘導電極６の間に高周波高圧電源７を接続
し、また該電界装置６のコロナ電極４を高純度のアルミ
ナ磁器層８で被覆すると共に、前記電界装置６に加熱電
源９と接続された発熱体ｌＯを設けてなる除電装置であ
る。
してその外側に形成するコロナ電極４と、その内側に形
成する誘導電極６を一体的に設けてなる電界装置６を空
気通路２内に同心的に配置し、その電界装置６のコロナ
ｔｆｌｉＪ側を空気通路２の外側に向けて設け、前記コ
ロナ電極４と誘導電極６の間に高周波高圧電源７を接続
し、また該電界装置６のコロナ電極４を高純度のアルミ
ナ磁器層８で被覆すると共に、前記電界装置６に加熱電
源９と接続された発熱体ｌＯを設けてなる除電装置であ
る。
第９図の実施例は第７図および第８図の実施例の誘導電
ｉ３が線状電極をジグザグ状に折り曲げて形成されてい
る面状電極兼面状発熱体２３で形成されている場合を示
すものである。
ｉ３が線状電極をジグザグ状に折り曲げて形成されてい
る面状電極兼面状発熱体２３で形成されている場合を示
すものである。
なお第５図ないし第９図中の図面符号で第１図のそれと
同一の部分はその機能もまた同一である。
同一の部分はその機能もまた同一である。
以上本発明の実施例を添ｊ寸図面によって説明したが１
本発明はこれらに限定されるものではなく１本発明の要
旨内において部分的変更及び部分的１１加を行うことが
できる０例えば発熱＋４１０の代わりに赤外線加熱装置
を用いることも可能である。
本発明はこれらに限定されるものではなく１本発明の要
旨内において部分的変更及び部分的１１加を行うことが
できる０例えば発熱＋４１０の代わりに赤外線加熱装置
を用いることも可能である。
［発明の効果１
この発明は上述の通りであるので、コロナ放電を利用す
るこの種の除電装置として不可避的に生ずるオゾンの発
生を未然に防止して、そのオゾンがそこを流動する空気
と共に前記クリーンルームに流入して、そこに存在する
ものを酸化して損傷するおそれをなくすることができる
ものである。
るこの種の除電装置として不可避的に生ずるオゾンの発
生を未然に防止して、そのオゾンがそこを流動する空気
と共に前記クリーンルームに流入して、そこに存在する
ものを酸化して損傷するおそれをなくすることができる
ものである。
また特にこの発明はコロナ電極を高純度アルミナ磁器層
で′ｆＩ１．覆しであるので、上記コロナ放電の際のイ
オンによる電極のスパッタ現象を防止して、その際に生
ずる微細金属、例えばＮ１゜Ｋ等の不純物の粒子が前記
クリーンルーム内に入り込み、これが半導体素子等の電
子部品の精度に重大な支障を及ぼすようなおそれをなく
することができる。
で′ｆＩ１．覆しであるので、上記コロナ放電の際のイ
オンによる電極のスパッタ現象を防止して、その際に生
ずる微細金属、例えばＮ１゜Ｋ等の不純物の粒子が前記
クリーンルーム内に入り込み、これが半導体素子等の電
子部品の精度に重大な支障を及ぼすようなおそれをなく
することができる。
第１図はこの発明の実施例の一部部分を切断した正面図
、第２図はその一部分を切断した状態の平面図、第３図
は第２図の■−■線部の一部分を切断した状態の底面図
、第４図は他の実施例の一部部分を切断した正面図、第
５図はさらに池の実施例の一部分の縦断面図、第６図は
第５図のＶｌ−Ｖｌ線部の断面図、第７図は更にまた池
の実施例の１１断面図、第８図は第７図の■−■線部の
断面図、第９図は第７図および第８図の一部分の展開図
である。 ｌ・・・空気 ２・・・空気通路 ３・・・誘電体層 ４・・・コロナ電極 ５・・・誘導電極 ６・・・電界装置 ７・・・高周波高圧電源 ８・・・高純度アルミナ磁器層 ９・・・加熱電源 １０・・・加熱体 １１・・・バイアス電極 １２・・・直流電源
、第２図はその一部分を切断した状態の平面図、第３図
は第２図の■−■線部の一部分を切断した状態の底面図
、第４図は他の実施例の一部部分を切断した正面図、第
５図はさらに池の実施例の一部分の縦断面図、第６図は
第５図のＶｌ−Ｖｌ線部の断面図、第７図は更にまた池
の実施例の１１断面図、第８図は第７図の■−■線部の
断面図、第９図は第７図および第８図の一部分の展開図
である。 ｌ・・・空気 ２・・・空気通路 ３・・・誘電体層 ４・・・コロナ電極 ５・・・誘導電極 ６・・・電界装置 ７・・・高周波高圧電源 ８・・・高純度アルミナ磁器層 ９・・・加熱電源 １０・・・加熱体 １１・・・バイアス電極 １２・・・直流電源
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、誘電体層を介してコロナ電極と誘導電極を一体的に
設けてなる電界装置を空気通路内に配置し、その電界装
置のコロナ電極側を空気通路内に位置するようにして設
け、該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミナ磁器層
で被覆すると共に、前記電界装置を加熱するための加熱
装置を具備することを特徴とする除電装置 ２、誘電体層を介してコロナ電極と誘導電極を一体的に
設けてなる電界装置を空気通路内に配置し、その電界装
置のコロナ電極側を空気通路内に位置するようにして設
け、前記コロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧電源を
接続し、また該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミ
ナ磁器層で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源と
接続された発熱体を設け、さらに前記電界装置のコロナ
電極側に該空気通路を介してバイアス電極を配設し、こ
のバイアス電極に直流電源の正負各端子と択一的に断続
する切り替えスイッチを接続することを特徴とする除電
装置 ３、加熱電源と接続された発熱体が誘電体層に埋設され
た電熱線であることを特徴とする請求項２記載の除電装
置 ４、加熱電源と接続された発熱体が電界装置の一部分を
構成する誘導電極と兼用されていることを特徴とする請
求項２記載の除電装置 ５、誘電体層を介してコロナ電極と誘導電極を一体的に
設けてなる電界装置を空気通路内に複数個空間を隔てて
配置し、それらの各電界装置のコロナ電極側を空気通路
内に位置するようにして設けることを特徴とする請求項
２記載の除電装置 ６、円筒形の誘電体層を介してその内側に形成するコロ
ナ電極とその外側に形成する誘導電極を一体的に設けて
なる電界装置を空気通路内に同心的に配置し、その電界
装置のコロナ電極側を空気通路の内側に向けて設け、前
記コロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続し
、また該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミナ磁器
層で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源と接続さ
れた発熱体を設けることを特徴とする除電装置 ７、円筒形の誘電体層を介してその外側に形成するコロ
ナ電極と、その内側に形成する誘導電極を一体的に設け
てなる電界装置を空気通路内に同心的に配置し、その電
界装置のコロナ電極側を空気通路の外側に向けて設け、
前記コロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続
し、また該電界装置のコロナ電極を高純度のアルミナ磁
器層で被覆すると共に、前記電界装置に加熱電源と接続
された発熱体を設けることを特徴とする除電装置 ８、電界装置の誘導電極が線状の導体をジグザグ状に折
り曲げて形成されている面状電極兼面状発熱体であるこ
とを特徴とする請求項６または７に記載された除電装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548089A JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548089A JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284396A true JPH02284396A (ja) | 1990-11-21 |
| JP2794117B2 JP2794117B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=14408753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10548089A Expired - Lifetime JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2794117B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06126156A (ja) * | 1992-04-23 | 1994-05-10 | Ebara Corp | 放電反応装置 |
| JP2006196291A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 微細電極イオン発生素子を有する除電装置 |
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