JP2794117B2 - 除電装置 - Google Patents
除電装置Info
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- JP2794117B2 JP2794117B2 JP10548089A JP10548089A JP2794117B2 JP 2794117 B2 JP2794117 B2 JP 2794117B2 JP 10548089 A JP10548089 A JP 10548089A JP 10548089 A JP10548089 A JP 10548089A JP 2794117 B2 JP2794117 B2 JP 2794117B2
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- corona electrode
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- power supply
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体素子の製造工場等のような所謂クリ
ーンルームにおける壁、各種器物及び人体の被服等に帯
電する静電気を除電するための装置に関するものであ
る。
ーンルームにおける壁、各種器物及び人体の被服等に帯
電する静電気を除電するための装置に関するものであ
る。
［従来の技術］ 従来のこの種の除電装置は金属ロッドの外周に絶縁物
を介して金属円筒を同心的に設け、その間に高周波電圧
電源を接続し、またその金属円筒を金属フレームで支持
し、該金属円筒の外周に針電極を突設して、前記金属フ
レームと針電極を空間を隔てて対向せしめ、その間の交
流コロナ放電によって正負のイオンを発生せしめ、それ
をそこを流動する空気と共にクリーンルーム内に供給し
て前記静電気を除電するものである。
を介して金属円筒を同心的に設け、その間に高周波電圧
電源を接続し、またその金属円筒を金属フレームで支持
し、該金属円筒の外周に針電極を突設して、前記金属フ
レームと針電極を空間を隔てて対向せしめ、その間の交
流コロナ放電によって正負のイオンを発生せしめ、それ
をそこを流動する空気と共にクリーンルーム内に供給し
て前記静電気を除電するものである。
また他の従来例は二つの円筒状電極を空間を隔てて同
心的に設け、その間に高周波高圧電源を接続し、またそ
の円筒状電極の間の交流コロナ放電によってそこに正負
のイオンを発生せしめ、それを流動中の空気と共にクリ
ーンルーム内に供給して前記静電気を除電するものであ
る。
心的に設け、その間に高周波高圧電源を接続し、またそ
の円筒状電極の間の交流コロナ放電によってそこに正負
のイオンを発生せしめ、それを流動中の空気と共にクリ
ーンルーム内に供給して前記静電気を除電するものであ
る。
［解決しようとする発明の課題］ 上記従来の除電装置は何れもそのコロナ放電によって
そこにオゾンが発生して、これがそこを流動する空気と
共に前記クリーンルームに流入してそこに存在するもの
を酸化して損傷するおそれがある。
そこにオゾンが発生して、これがそこを流動する空気と
共に前記クリーンルームに流入してそこに存在するもの
を酸化して損傷するおそれがある。
また特に上記コロナ放電によってその電極にイオンが
衝突してそれを傷め、その際に生ずる微細金属例えばN
a,K等の不純物の粒子が前記クリーンルーム内に入り込
み、これが半導体素子等の電子部品の精度に重大な支障
を及ぼすのでこの種の装置として致命的な欠点になる。
衝突してそれを傷め、その際に生ずる微細金属例えばN
a,K等の不純物の粒子が前記クリーンルーム内に入り込
み、これが半導体素子等の電子部品の精度に重大な支障
を及ぼすのでこの種の装置として致命的な欠点になる。
この発明の目的は前記従来の除電装置の問題点すなわ
ち、オゾンの発生を防止すると共にコロナ放電の際に生
ずるイオンによる電極のスパッタ現象を防止して、不純
物がクリーンルーム内に入り込むことがないようにする
ことである。また、もう一つの目的は、クリーンルーム
内にバランスの調整された正負イオンを供給することで
除電効果を高めることにある。
ち、オゾンの発生を防止すると共にコロナ放電の際に生
ずるイオンによる電極のスパッタ現象を防止して、不純
物がクリーンルーム内に入り込むことがないようにする
ことである。また、もう一つの目的は、クリーンルーム
内にバランスの調整された正負イオンを供給することで
除電効果を高めることにある。
［課題を解決するための手段］ この発明の除電装置は空気の通路内に、アルミナ磁器
製誘電体を介してコロナ電極と誘電電極を形成し、該コ
ロナ電極を高純度アルミナ磁器層で被覆した電界装置
に、加熱電源と接続された発熱体を設け、前記コロナ電
極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続した上、該電
界装置が空気通路内にコロナ電極側が空気通路内に接す
るように配置し、コロナ電極側に該空気通路を介してパ
イアス電極を配置し、このバイアス電極に直流電源の正
負各端子と択一的に断続して、前記コロナ放電部分にお
ける正負イオンのバランスを調整する切り替えスイッチ
を接続するものである。
製誘電体を介してコロナ電極と誘電電極を形成し、該コ
ロナ電極を高純度アルミナ磁器層で被覆した電界装置
に、加熱電源と接続された発熱体を設け、前記コロナ電
極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続した上、該電
界装置が空気通路内にコロナ電極側が空気通路内に接す
るように配置し、コロナ電極側に該空気通路を介してパ
イアス電極を配置し、このバイアス電極に直流電源の正
負各端子と択一的に断続して、前記コロナ放電部分にお
ける正負イオンのバランスを調整する切り替えスイッチ
を接続するものである。
［作用］ 空気通路の入り口から空気をその空気通路内に送り込
みながら、高周波高圧電源によって前記コロナ電極と誘
導電極の間における誘電体の表面に沿面放電を発生し、
その際に生ずる正負のイオンを前記空気通路内を流動す
る空気と共にクリーンルーム内に供給して、その内部の
静電気を除電するものである。
みながら、高周波高圧電源によって前記コロナ電極と誘
導電極の間における誘電体の表面に沿面放電を発生し、
その際に生ずる正負のイオンを前記空気通路内を流動す
る空気と共にクリーンルーム内に供給して、その内部の
静電気を除電するものである。
この際コロナ放電によって誘電体の表面に不可避的に
生ずるオゾンは、加熱電源と接続されている加熱体によ
って前記誘電体を介して加熱されて熱分解される。
生ずるオゾンは、加熱電源と接続されている加熱体によ
って前記誘電体を介して加熱されて熱分解される。
また前記コロナ放電極は高純度アルミナ磁器の層で被
覆されているので、そのコロナ放電の際に生ずるイオン
の衝突によってその部分の損傷するおそれがない。
覆されているので、そのコロナ放電の際に生ずるイオン
の衝突によってその部分の損傷するおそれがない。
［実施例］ この発明の実施例を添付図面によって説明すると、空
気１の通路２内に、アルミナ磁器製の誘電体層３を介し
てコロナ電極４と誘電電極５を形成し、コロナ電極４を
例えば92〜100％の高純度アルミナ磁器層８で被覆した
電界装置６を配置しその電界装置６のコロナ電極４側を
前記空気通路２内に位置するようにして設け、前記コロ
ナ電極４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７の両端子
7a,7bを接続し、前記電界装置６に加熱電源９接続され
た発熱体10を設け、さらに前記電界装置６のコロナ電極
４側に該空気通路２を介してバイアス電極11を配設し、
このバイアス電極11に直流電源12の正負各端子12a,12b
と択一的に断続して、前記コロナ放電極４の部分におけ
る正負イオンのバランスを調整する切り替えスイッチ15
を接続するものである。この除電装置を使用してクリー
ンルーム中の静電気を除電する際は、コロナ電極４と誘
導電極５との間に高周波高圧電源７によって高周波高電
圧を印加して高純度アルミナ磁器層８の表面に沿面放電
を発生させてるとともに、その表面部分を加熱電源９か
らの電力で加熱される発熱体10で大体350℃位に加熱し
ておき、その状態で図示されていないクリーンルーム内
の塵埃等の帯電粒子を含む空気をブロア16、ペーパフィ
ルタ17および空気ダクト18を経て、空気通路２の入り口
19からそ前記沿面放電部分20に供給して、そこで正負の
イオンを発生し、それを空気通路２の出口21から図示し
てないクリーンルームに送り込むものである。
気１の通路２内に、アルミナ磁器製の誘電体層３を介し
てコロナ電極４と誘電電極５を形成し、コロナ電極４を
例えば92〜100％の高純度アルミナ磁器層８で被覆した
電界装置６を配置しその電界装置６のコロナ電極４側を
前記空気通路２内に位置するようにして設け、前記コロ
ナ電極４と誘導電極５の間に高周波高圧電源７の両端子
7a,7bを接続し、前記電界装置６に加熱電源９接続され
た発熱体10を設け、さらに前記電界装置６のコロナ電極
４側に該空気通路２を介してバイアス電極11を配設し、
このバイアス電極11に直流電源12の正負各端子12a,12b
と択一的に断続して、前記コロナ放電極４の部分におけ
る正負イオンのバランスを調整する切り替えスイッチ15
を接続するものである。この除電装置を使用してクリー
ンルーム中の静電気を除電する際は、コロナ電極４と誘
導電極５との間に高周波高圧電源７によって高周波高電
圧を印加して高純度アルミナ磁器層８の表面に沿面放電
を発生させてるとともに、その表面部分を加熱電源９か
らの電力で加熱される発熱体10で大体350℃位に加熱し
ておき、その状態で図示されていないクリーンルーム内
の塵埃等の帯電粒子を含む空気をブロア16、ペーパフィ
ルタ17および空気ダクト18を経て、空気通路２の入り口
19からそ前記沿面放電部分20に供給して、そこで正負の
イオンを発生し、それを空気通路２の出口21から図示し
てないクリーンルームに送り込むものである。
この際前記沿面放電部分20は発熱体10で誘電体聡３お
よび高純度アルミナ磁器層８を介して加熱されているの
で、沿面放電によってそこに生じたイオンは直ちに熱分
解され、オゾンがそのままクリーンルーム中に入り込む
ことによる前記支障を未然に防止することができる。
よび高純度アルミナ磁器層８を介して加熱されているの
で、沿面放電によってそこに生じたイオンは直ちに熱分
解され、オゾンがそのままクリーンルーム中に入り込む
ことによる前記支障を未然に防止することができる。
またその際切り替えスイッチ15を操作して図示のごと
く直流電源12の正端子12a或は接手された負端子12bに接
続することによって、沿面放電部分20に生ずる正負のイ
オンの量のバランスを自由に調整して、それを前記クリ
ーンルームに供給することができる。
く直流電源12の正端子12a或は接手された負端子12bに接
続することによって、沿面放電部分20に生ずる正負のイ
オンの量のバランスを自由に調整して、それを前記クリ
ーンルームに供給することができる。
またこの除電装置はコロナ電極４を高純度アルミナ磁
器層８で被覆されているので、上記コロナ放電の際のイ
オンによって電極がスパッタ現象で、そこからNa,K等の
金属不純物の微粒子が分離してクリーンルーム内に入り
込むことを防止することができる。
器層８で被覆されているので、上記コロナ放電の際のイ
オンによって電極がスパッタ現象で、そこからNa,K等の
金属不純物の微粒子が分離してクリーンルーム内に入り
込むことを防止することができる。
第４図に示す実施例は空気通路２内に複数の電界装置
６を互いに間隔を隔てて配置し、該各電界装置６を一枚
の誘導電極５の両側にそれぞれ誘電体層３を介してコロ
ナ電極4,4を設け、かつ該誘導電極５を第１図の発熱体
と兼用している点において第１図と相違しており、其の
他の構造はそれと同一である。また同図中の図面符号で
第１図のそれと同一の部分はその機能もまた同一であ
る。
６を互いに間隔を隔てて配置し、該各電界装置６を一枚
の誘導電極５の両側にそれぞれ誘電体層３を介してコロ
ナ電極4,4を設け、かつ該誘導電極５を第１図の発熱体
と兼用している点において第１図と相違しており、其の
他の構造はそれと同一である。また同図中の図面符号で
第１図のそれと同一の部分はその機能もまた同一であ
る。
第５図および第６図の実施例は円筒形の誘電体層３を
介してその内側に形成するコロナ電極４とその外側に形
成する誘導電極５を形成し、コロナ電極４を高純度アル
ミナ磁器層８で被覆した電界装置を空気通路２内に同心
的に配置し、その電界装置６のコロナ電極４側を空気通
路２の内側に向けて設け、前記コロナ電極４と誘導電極
５の間に高周波高圧電源７を接続し、前記電界装置に加
熱電源９と接続された発熱体10を設けたものである。
介してその内側に形成するコロナ電極４とその外側に形
成する誘導電極５を形成し、コロナ電極４を高純度アル
ミナ磁器層８で被覆した電界装置を空気通路２内に同心
的に配置し、その電界装置６のコロナ電極４側を空気通
路２の内側に向けて設け、前記コロナ電極４と誘導電極
５の間に高周波高圧電源７を接続し、前記電界装置に加
熱電源９と接続された発熱体10を設けたものである。
第７図および第８図の実施例は円筒形の誘電体層５を
介してその外側に形成するコロナ電極４と、その内側に
形成する誘導電極５を形成し、コロナ電極４を高純度ア
ルミナ磁器層８で被覆した電界装置６を空気通路２内に
同心的に配置し、その電界装置６のコロナ電極４側を空
気通路２の外側に向けて設け、前記コロナ電極４と誘導
電極６の間に高周波高圧電源７を接続し、前記電界装置
６に加熱電源９と接続された発熱体10を設けてなる除電
装置である。
介してその外側に形成するコロナ電極４と、その内側に
形成する誘導電極５を形成し、コロナ電極４を高純度ア
ルミナ磁器層８で被覆した電界装置６を空気通路２内に
同心的に配置し、その電界装置６のコロナ電極４側を空
気通路２の外側に向けて設け、前記コロナ電極４と誘導
電極６の間に高周波高圧電源７を接続し、前記電界装置
６に加熱電源９と接続された発熱体10を設けてなる除電
装置である。
第９図の実施例は第７図および第８図の実施例の誘導
電極３が線状電極をジグザグ状の折り曲げて形成されて
いる面状電極兼面状発熱体23で形成されている場合を示
すものである。
電極３が線状電極をジグザグ状の折り曲げて形成されて
いる面状電極兼面状発熱体23で形成されている場合を示
すものである。
なお第５図ないし第９図中の図面符号で第１図のそれ
と同一の部分はその機能もまた同一である。
と同一の部分はその機能もまた同一である。
以上本発明の実施例を添付図面によって説明したが、
本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要
旨内において部分的変更及び部分的付加を行うことがで
きる。例えば発熱体10の代わりに赤外線加熱装置を用い
ることも可能である。
本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要
旨内において部分的変更及び部分的付加を行うことがで
きる。例えば発熱体10の代わりに赤外線加熱装置を用い
ることも可能である。
［発明の効果］ この発明は上述の通りであるので、コロナ放電を利用
するこの種の除電装置として不可避的に生ずるオゾンの
発生を未然に防止して、そのオゾンがそこを流動する空
気と共に前記クリーンルームに流入して、そこに存在す
るものを酸化して損傷するおそれをなくすることができ
るものである。
するこの種の除電装置として不可避的に生ずるオゾンの
発生を未然に防止して、そのオゾンがそこを流動する空
気と共に前記クリーンルームに流入して、そこに存在す
るものを酸化して損傷するおそれをなくすることができ
るものである。
また特にこの発明はコロナ電極を高純度アルミナ磁器
層で被覆してあるので、上記コロナ放電の際のイオンに
よる電極のスパッタ現象を防止して、その際に生ずる微
細金属、例えばNa,K等の不純物の粒子が前記クリーンル
ーム内に入り込み、これが半導体素子等の電子部品の精
度に重大な支障を及ぼすようなおそれをなくすることが
できる。また、バイアス用直流電源の切り替えスイッチ
を操作することで、クリーンルーム内にバランスの調整
された正負イオンを供給することが可能となる。
層で被覆してあるので、上記コロナ放電の際のイオンに
よる電極のスパッタ現象を防止して、その際に生ずる微
細金属、例えばNa,K等の不純物の粒子が前記クリーンル
ーム内に入り込み、これが半導体素子等の電子部品の精
度に重大な支障を及ぼすようなおそれをなくすることが
できる。また、バイアス用直流電源の切り替えスイッチ
を操作することで、クリーンルーム内にバランスの調整
された正負イオンを供給することが可能となる。
第１図はこの発明の実施例の一部部分を切断した正面
図、第２図はその一部分を切断した状態の平面図、第３
図は第２図のIII-III線部の一部分を切断した状態の底
面図、第４図は他の実施例の一部部分を切断した正面
図、第５図はさらに他の実施例の一部分の縦断面図、第
６図は第５図のVI-VI線部の断面図、第７図は更にまた
他の実施例の縦断面図、第８図は第７図のVIII-VIII線
部の断面図、第９図は第７図および第８図の一部分の展
開図である。 １……空気 ２……空気通路 ３……誘電体層 ４……コロナ電極 ５……誘導電極 ６……電界装置 ７……高周波高圧電源 ８……高純度アルミナ磁器層 ９……加熱電源 10……加熱体 11……バイアス電極 12……直流電源
図、第２図はその一部分を切断した状態の平面図、第３
図は第２図のIII-III線部の一部分を切断した状態の底
面図、第４図は他の実施例の一部部分を切断した正面
図、第５図はさらに他の実施例の一部分の縦断面図、第
６図は第５図のVI-VI線部の断面図、第７図は更にまた
他の実施例の縦断面図、第８図は第７図のVIII-VIII線
部の断面図、第９図は第７図および第８図の一部分の展
開図である。 １……空気 ２……空気通路 ３……誘電体層 ４……コロナ電極 ５……誘導電極 ６……電界装置 ７……高周波高圧電源 ８……高純度アルミナ磁器層 ９……加熱電源 10……加熱体 11……バイアス電極 12……直流電源
Claims (3)
- 【請求項１】アルミナ磁器製誘電体を介してコロナ電極
と誘電電極を形成し、該コロナ電極を高純度アルミナ磁
器層で被覆した電界装置に、加熱電源と接続された発熱
体を設け、前記コロナ電極と誘導電極の間に高周波高圧
電源を接続した上、該電界装置が空気通路内にコロナ電
極側が空気通路内に接するように配置し、コロナ電極側
に該空気通路を介してパイアス電極を配置し、該バイア
ス電極に直流電源を接続した除電装置において、該直流
電源の正負各端子と択一的に断続する正負イオン量のバ
ランス調整用切り替えスイッチを接続することを特徴と
する除電装置。 - 【請求項２】円筒形アルミナ磁器製誘電体を介してその
内側にコロナ電極とその外側に誘電電極を形成し、該コ
ロナ電極を高純度アルミナ磁器層で被覆した電界装置
に、加熱電源と接続された発熱体を設け、前記コロナ電
極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続した上、該電
界装置を空気通路内にそのコロナ電極側を空気通路の内
側に向けて同心的に配置したことを特徴とする除電装
置。 - 【請求項３】円筒形アルミナ磁器製誘電体を介してその
外側にコロナ電極とその内側に誘電電極を形成し、該コ
ロナ電極を高純度アルミナ磁器層で被覆した電界装置
に、加熱電源と接続された発熱体を設け、前記コロナ電
極と誘導電極の間に高周波高圧電源を接続した上、該電
界装置を空気通路内にそのコロナ電極側を空気通路の外
側に向けて同心的に配置したことを特徴とする除電装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548089A JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548089A JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284396A JPH02284396A (ja) | 1990-11-21 |
| JP2794117B2 true JP2794117B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=14408753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10548089A Expired - Lifetime JP2794117B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 除電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2794117B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002117956A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Sharp Corp | イオン発生装置及びそれを備えた空気清浄機並びに空気調和機 |
| WO2002089278A1 (fr) * | 2001-04-20 | 2002-11-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Generateur d'ions et conditionneur d'air |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2893158B2 (ja) * | 1992-04-23 | 1999-05-17 | 株式会社荏原製作所 | 放電反応装置 |
| JP4691691B2 (ja) * | 2005-01-13 | 2011-06-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 微細電極イオン発生素子を有する除電装置 |
| JP4754911B2 (ja) * | 2005-09-14 | 2011-08-24 | フィーサ株式会社 | 微細電極体を用いたイオン発生器及び除電器 |
| JP4873461B2 (ja) * | 2006-07-03 | 2012-02-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 管型イオン供給機構 |
| JP4623099B2 (ja) * | 2008-02-04 | 2011-02-02 | 日産自動車株式会社 | イオン発生装置付き車両用空調装置 |
| JP4838876B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-12-14 | 株式会社テクノ菱和 | チャンバ型イオン搬送式イオン化装置 |
| JP6139451B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-05-31 | フィーサ株式会社 | 除電装置、及び、それを備えた搬送装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS576385A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | Movement structure of digital watch |
| JPS6127570A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-07 | Canon Inc | 放電装置 |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP10548089A patent/JP2794117B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002117956A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Sharp Corp | イオン発生装置及びそれを備えた空気清浄機並びに空気調和機 |
| WO2002089278A1 (fr) * | 2001-04-20 | 2002-11-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Generateur d'ions et conditionneur d'air |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02284396A (ja) | 1990-11-21 |
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