JP6501680B2 - 露光方法、露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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- マスクと基板とを走査方向に走査しながら走査露光を行う露光方法であって、
露光装置を用いて、前記走査方向に直交する第1方向に隣接し、互いに重なり合うつなぎ領域を含む第1領域及び第2領域に前記走査露光を行う工程を有し、
前記露光装置は、光源からの光を整形するための開口を形成する開口部材と、前記開口部材の複数の箇所に設けられた複数の駆動部と、前記開口の一部を遮蔽することで前記つなぎ領域に入射する光の前記第1方向における積算照度分布を漸減させる遮蔽板と、を備え、
前記工程は、
前記遮蔽板が前記開口を遮蔽していない状態において、前記開口を通過して前記基板に入射する光によって前記基板上に形成される前記第1方向における積算照度分布がフラットになるように前記複数の駆動部を駆動したときの前記開口の形状を求める第1工程と、
前記開口の予め設定された遮蔽位置に前記遮蔽板を配置したときに、前記第1工程で求められた前記開口の形状に基づいて、前記第1領域及び前記第2領域の全体の領域の前記第1方向における積算照度分布をフラットにするための、前記複数の駆動部、前記遮蔽板及び前記開口部材の前記開口の少なくとも一つの駆動情報を求める第2工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 前記工程は、前記第2工程で求められた前記駆動情報に基づいて、前記複数の駆動部、前記遮蔽板及び前記開口部材の前記開口の少なくとも一つを駆動する第3工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記第2工程では、前記第1工程で求められた前記開口の形状に基づいて、前記遮蔽位置に前記遮蔽板を配置したときの前記第1領域のつなぎ領域の前記第1方向の第1幅と前記第2領域のつなぎ領域の前記第1方向の第2幅とを特定し、前記第1幅と前記第2幅とを等しくするための前記駆動情報を求めることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記第2工程では、前記遮蔽位置に前記遮蔽板を配置し、且つ、前記複数の駆動部により前記開口の形状を調整した状態において、前記開口を通過する光の積算照度を計測することにより、前記第1幅及び前記第2幅を特定することを特徴とする請求項3に記載の露光方法。
- 前記第2工程では、前記開口を通過して前記開口部材の共役面の前記第1方向に沿った各位置に入射する光の積算照度を計測して前記各位置に対する積算照度の変化率を求め、前記変化率に基づいて、前記第1幅及び前記第2幅を特定することを特徴とする請求項4に記載の露光方法。
- 前記第2工程では、前記各位置のうち、前記つなぎ領域に含まれる位置での積算照度を線形近似して近似直線を求め、前記近似直線に基づいて、前記第1幅及び前記第2幅を特定することを特徴とする請求項5に記載の露光方法。
- 前記第3工程では、前記駆動情報に基づいて、前記複数の駆動部を前記走査方向に駆動することを特徴とする請求項2に記載の露光方法。
- 前記第3工程では、前記駆動情報に基づいて、前記遮蔽位置に前記遮蔽板を配置したときの前記遮蔽板と前記開口との交点の1つを中心として前記遮蔽板を回転駆動することを特徴とする請求項2に記載の露光方法。
- 前記第3工程では、前記駆動情報に基づいて、前記遮蔽板を前記走査方向及び前記第1方向で規定される面内で駆動することを特徴とする請求項2に記載の露光方法。
- マスクと基板とを走査方向に走査しながら走査露光を行う露光装置であって、
前記走査方向に直交する第1方向に隣接し、互いに重なり合うつなぎ領域を含む第1領域及び第2領域に前記走査露光を行う制御部と、
光源からの光を整形するための開口を形成する開口部材と、
前記開口部材の複数の箇所に設けられた複数の駆動部と、
前記開口の一部を遮蔽することで前記つなぎ領域に入射する光の前記第1方向における積算照度分布を漸減させる遮蔽板と、を有し、
前記制御部は、前記走査露光を行う際に、
前記遮蔽板が前記開口を遮蔽していない状態において、前記開口を通過して前記基板に入射する光によって前記基板上に形成される前記第1方向における積算照度分布がフラットになるように前記複数の駆動部を駆動したときの前記開口の形状を求め、
前記開口の予め設定された遮蔽位置に前記遮蔽板を配置したときに、求められた前記開口の形状に基づいて、前記第1領域及び前記第2領域の全体の領域の前記第1方向における積算照度分布をフラットするための、前記複数の駆動部、前記遮蔽板及び前記開口部材の前記開口の少なくとも一つの駆動情報を求める、
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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JP2015171180A JP6501680B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | 露光方法、露光装置及び物品の製造方法 |
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JP2017049358A JP2017049358A (ja) | 2017-03-09 |
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