JP6498564B2 - 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 - Google Patents
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Description
Pa(xa,ya)=xb・↑α+yb・↑γ+xb・yb・(↑β−↑α)・・・・数式(1)
2 基板保持部
3 移動機構
4 カメラ
5 プローブ
7 処理部
21 保持台
50a 検査対象基板
50b 基準基板
70 特定処理
L 位置ずれ量
M マーク
P0 基準点
P1 第1位置
P2 第2位置
P3 第3位置
P4 第4位置
↑α,↑β,↑γ ベクトル
Claims (5)
- 複数のマークが設けられると共に設計上の外形が長方形をなす検査対象基板を検査場所に配置した配置状態において当該検査対象基板の当該マークの位置を測定した第1位置と、前記検査対象基板を設計どおりに形成した基準基板を前記検査場所の基準位置に配置した基準状態における前記マークの位置である第2位置と、前記基準状態の前記基準基板における測定用プローブを接触させる接触位置である第3位置とに基づき、前記検査対象基板における前記第3位置に対応する第4位置を特定する処理を実行する処理部を備えた処理装置であって、
前記処理部は、前記検査対象基板の外形である四角形における連続する3つの辺に相当する3つのベクトルを含んで構成される数式であって3つの前記マークについての前記第1位置および前記第2位置を代入して当該各ベクトルを求めて作成した当該数式に前記第3位置を代入して第5位置を求め、前記3つのマークを除く他の1つの前記マークについての前記第1位置および前記第2位置に基づいて前記配置状態における前記検査対象基板の前記基準位置からの位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量で前記第5位置を補正して前記第4位置を特定する処理装置。 - 前記第1位置を測定する測定部を備えている請求項1記載の処理装置。
- 請求項1または2記載の処理装置と、前記測定用プローブを移動させる移動機構と、当該移動機構を制御して前記処理装置によって特定された前記第4位置に前記測定用プローブを接触させる制御部と、前記測定用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記検査対象基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
- 複数のマークが設けられると共に設計上の外形が長方形をなす検査対象基板を検査場所に配置した配置状態において当該検査対象基板の当該マークの位置を測定した第1位置と、前記検査対象基板を設計どおりに形成した基準基板を前記検査場所の基準位置に配置した基準状態における前記マークの位置である第2位置と、前記基準状態の前記基準基板における測定用プローブを接触させる接触位置である第3位置とに基づき、前記検査対象基板における前記第3位置に対応する第4位置を特定する処理を実行する処理方法であって、
前記検査対象基板の外形である四角形における連続する3つの辺に相当する3つのベクトルを含んで構成される数式であって3つの前記マークについての前記第1位置および前記第2位置を代入して当該各ベクトルを求めて作成した当該数式に前記第3位置を代入して第5位置を求め、前記3つのマークを除く他の1つの前記マークについての前記第1位置および前記第2位置に基づいて前記配置状態における前記検査対象基板の前記基準位置からの位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量で前記第5位置を補正して前記第4位置を特定する処理方法。 - 請求項4記載の処理方法によって特定した前記第4位置に前記測定用プローブを接触させ、前記測定用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記検査対象基板を検査する基板検査方法。
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