JP6227292B2 - データ生成装置および基板検査装置 - Google Patents
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Description
2 基板保持部
3 測定部
4a〜4d 移動機構
5a〜5d 検査用プローブ
6 カメラ
7 操作部
8 表示部
9 処理部
10 記憶部
20 検査対象基板
21 基板本体
22a,22b・・ ランド
23a,23b・・ 電子部品
Aa,Ab・・ 接触範囲
D0 検査用基準データ
D1 撮像データ
D2 プロービング位置補正用データ
D3 測定値データ
D4 検査結果データ
Da ガーバーデータ
Db 部品データ
Dc マウンタデータ
Dd プローブデータ
Dp プロービング位置データ
P1a〜P1d,P2a〜P2d プロービング位置
P1a0〜P1d0,P1b1,P1d1,P2a0〜P2d0,P2b1,P2b2,P2d1,Px 候補位置
Claims (2)
- 複数の電子部品が基板本体上に実装された検査対象基板の検査時にプロービング装置によって検査用プローブをプロービングさせる当該検査対象基板上のプロービング位置を特定可能なプロービング位置データを生成するデータ生成装置であって、
前記各電子部品の外形をそれぞれ特定可能な部品データ、前記基板本体上における前記各電子部品の実装位置および実装姿勢をそれぞれ特定可能な実装データ、前記基板本体に形成された各ランドの平面視形状および形成位置をそれぞれ特定可能なランドデータ、並びに、前記検査用プローブの外形、当該検査用プローブの前記プロービング装置に対する取付け姿勢および当該プロービング装置によるプロービング動作時における当該検査用プローブの移動方向を特定可能なプローブデータを記憶する記憶部と、
前記部品データ、前記実装データおよび前記プローブデータに基づき、前記プロービング動作時に前記検査用プローブが前記電子部品に接触する前記プロービング位置の範囲を接触範囲として特定する第1処理、前記部品データ、前記実装データおよび前記ランドデータに基づき、予め規定された手順に従ってプロービングの候補位置を規定する第2処理、並びに前記候補位置が前記接触範囲に含まれるか否かを判別する第3処理を実行し、当該第3処理において前記候補位置が前記接触範囲に含まれないと判別したときに当該候補位置を検査時の前記プロービング位置として前記プロービング位置データを生成する処理部と、
前記検査対象基板を撮像して撮像データを出力可能なカメラとを備え、
前記処理部は、前記第3処理において前記候補位置が前記接触範囲に含まれると判別したときに、当該候補位置に対するプロービングができない旨を利用者に対して報知すると共に、前記カメラを制御して前記検査対象基板を撮像させて当該カメラから出力される前記撮像データの画像に当該候補位置を示すマークおよび当該接触範囲を示す表示を重ねて表示させて当該候補位置に代わる新たな前記候補位置の指定を当該利用者に対して要求する第4処理を実行し、当該新たな候補位置が指定されたときに、当該指定された候補位置を対象として前記第3処理を再び実行するデータ生成装置。 - 請求項1記載のデータ生成装置と、前記プロービング装置および前記検査用プローブとを備え、前記プロービング位置データに従って前記プロービング装置によって前記検査用プローブを前記プロービング位置にプロービングさせて前記検査対象基板を電気的に検査可能に構成されている基板検査装置。
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JP6227292B2 true JP6227292B2 (ja) | 2017-11-08 |
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2013
- 2013-06-19 JP JP2013128040A patent/JP6227292B2/ja active Active
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