JP2010048681A - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数種類のプローブ21aが交換可能に装着される検査ヘッド4,5と、検査ヘッド4,5を移動させる移動機構と、移動機構を制御して検査ヘッド4,5を移動させることにより、検査ヘッド4,5にプローブ6,7として装着されたプローブ21aの針先33を基板に予め規定された検査ポイントに接触させる処理部とを備えた回路基板検査装置であって、プローブ6,7は、検査ヘッド4,5に装着された状態において針先33の位置が種類毎に異なるように予め規定された領域A〜D内に位置するように構成され、処理部は、検査ヘッド4,5にプローブ6,7として装着されているプローブ21aの針先33が位置している領域を検出すると共に、検出した領域に基づいて、プローブ21aの種類を判別する。
【選択図】図3
Description
2 テーブル
2a 表面
4,5 検査ヘッド
6,7 プローブ
8 移動機構
13 処理部
14 基板
21a〜21d プローブ
33 針先
CP 検査ポイント
MP 計測位置
RP 基準位置
Claims (2)
- 複数種類のプローブが交換可能に装着される検査ヘッドと、
前記検査ヘッドを移動させる移動機構と、
前記移動機構を制御して前記検査ヘッドを移動させることにより、当該検査ヘッドに装着された前記プローブの針先を検査対象基板に予め規定された検査ポイントに接触させる処理部とを備えた回路基板検査装置であって、
前記プローブは、前記検査ヘッドに装着された状態において当該プローブの前記針先の位置が前記種類毎に異なるように予め規定された所定領域内に位置するように構成され、
前記処理部は、前記検査ヘッドに装着されている前記プローブの前記針先が位置している前記所定領域を検出すると共に、当該検出した所定領域に基づいて、当該プローブの種類を判別する回路基板検査装置。 - 前記処理部は、前記移動機構を制御して前記検査ヘッドを計測位置に移動させると共に当該検査ヘッドについて予め規定された基準位置に対する前記プローブの前記針先の相対的位置を示す相対位置データを取得し、かつ前記検査ポイントの位置データを前記相対位置データに基づいて補正する補正処理を当該プローブの交換時に実行可能に構成され、
当該処理部は、前記補正処理において取得した前記相対位置データに基づいて、前記検査ヘッドに装着されている当該プローブの前記針先が位置している前記所定領域を検出する請求項1記載の回路基板検査装置。
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