JP6495854B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6495854B2 JP6495854B2 JP2016052770A JP2016052770A JP6495854B2 JP 6495854 B2 JP6495854 B2 JP 6495854B2 JP 2016052770 A JP2016052770 A JP 2016052770A JP 2016052770 A JP2016052770 A JP 2016052770A JP 6495854 B2 JP6495854 B2 JP 6495854B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor device
- manufacturing
- frequency
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31144—Etching the insulating layers by chemical or physical means using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0331—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers for lift-off processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
- H01L21/31122—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching of layers not containing Si, e.g. PZT, Al2O3
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
- H01L21/32137—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas of silicon-containing layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下、実施形態に係る製造方法の概要について説明する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
図2は、第1実施形態に係る半導体装置の製造方法に用いられる処理装置を例示する模式図である。
以下、このような処理装置210を用いて、上記のステップ110〜150を実施する例について説明する。
図3(a)、図3(c)、図3(e)、図4(a)、図4(c)、図4(e)及び図4(g)は、半導体装置の製造方法を例示する工程順断面図である。
図3(b)、図3(d)、図3(f)、図4(b)、図4(d)、図4(f)及び図4(h)は、それぞれ、図3(a)、図3(c)、図3(e)、図4(a)、図4(c)、図4(e)及び図4(g)に示す製造工程におけるチャンバの状態を例示する。
図3(d)に示すように、ガス供給口61sからエッチングガスをチャンバ内に導入して、第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。例えば、エッチングガスとしてフルオロカーボン系のエッチングガスが用いられる。これにより、チャンバ61内に第2プラズマP2(例えば、フルオロカーボンプラズマ)が発生する。第2プラズマP2に含まれる活性種によって被加工物MLがエッチングされる。このとき、この例では、第3マスクパターンMP3は除去され、さらに、第2マスクパターンMP2の一部も除去される。第2マスクパターンMP2の一部は残っている。このエッチングによって、ホールMHが形成される。ホールMHは、Z方向(第1方向)に延びる。
図3(c)に示すように、このようなホールMHの深い部分(下側部分)は、テーパー状である。例えば、ホールMHの下側部分(深い部分)の第2側壁MHs2とZ方向との間の角度は、ホールMHの上側部分(浅い部分)の第1側壁MHs1とZ方向との角度よりも大きい。
例えば、図3(f)に示すように、チャンバ61内に酸素ガスを供給する。第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、チャンバ61内に第3プラズマP3(酸素プラズマ)が発生する。この第3プラズマP3に含まれる活性種によって、第2マスクパターンMP2は除去される。
図4(b)に示すように、ガス供給口61sから、炭化水素(例えばメタン)を含むガスをチャンバ61内に導入する。第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、チャンバ61内に第4プラズマP4(メタンプラズマ)が発生する。この第4プラズマP4に含まれる活性種によって第1膜71が形成される。メタンガスから生じる活性種は、被加工物MLへの付着確率が高い。このため、活性種は、ホールMHの深い部分に到達する前に、ホールMHの第1側壁MHs1(浅い部分)に付着する。これにより、被加工物MLの上面MLuの上(この例では、第1マスクパターンMP1の上)及びホールMHの第1側壁MHs1(浅い部分)に、第1膜71が形成される。この第1膜71は、例えば、炭素膜を含む。このとき、チャンバ61の内壁61wの少なくとも一部に、第1膜71の一部が形成される。
図4(d)に示すように、ガス供給口61sから、金属元素を含むガス(例えば、六フッ化タングステンガス)と酸素ガスとの混合ガスをチャンバ61内に導入する。第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、チャンバ61内に第5プラズマP5(混合ガスプラズマ)が発生する。この第5プラズマP5に含まれる活性種によって、第2膜72が形成される。このとき、チャンバ61の内壁61wに形成された第1膜71の表面の少なくとも一部に、第2膜72の一部が形成される。例えば、金属元素を含むガスとして、WF6(六フッ化タングステン)、MoF6(六フッ化モリブデン)、ReF6(六フッ化レニウム)、IrF6(六フッ化イリジウム)、PtF6(六フッ化プラチナ)、TiCl4(四塩化チタン)、RuO4(四酸化ルテニウム)及び(CH3)3Al(トリメチルアルミニウム)からなる群より選択された少なくとも1つを用いてもよい。
図4(f)に示すように、例えば、酸素ガスをガス供給口61sからチャンバ61内に導入する。第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、第6プラズマP6(酸素プラズマ)が発生する。チャンバ61内の圧力を適切に制御する。被加工物ML上に形成された第1膜71及びその表面に形成された第2膜72に、第6プラズマP6に含まれる活性種(例えば、酸素イオン及びラジカル)が照射される。例えば、チャンバ61内の圧力は、例えば、10mTorr以上、1Torr以下である。チャンバ61内の圧力は、例えば、排出口61vからのチャンバ61内の気体の排出量を調整することにより制御される。
例えば、図4(h)に示すように、ガス供給口61sから例えばフルオロカーボン系のエッチングガスをチャンバ61内に導入する。第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、チャンバ61内に第7プラズマP7(フルオロカーボンプラズマ)が発生する。第7プラズマP7に含まれる活性種(第2エッチャント)によって、ホールMH内において第1膜71及び第2膜72から露出した被加工物MLの一部が除去される。
本実施形態では、処理装置に複数の電源が設けられ、複数の電源から周波数が互いに異なる電力が供給される。
図5(a)、図5(c)、図5(e)及び図5(g)は、半導体装置の製造方法を例示する工程順断面図である。図5(b)、図5(d)、図5(f)及び図5(h)は、それぞれ図5(a)、図5(c)、図5(e)及び図5(g)に示す工程におけるチャンバを例示する。
図5(d)に示すように、ガス供給口61sから、金属元素(例えば六フッ化タングステンなど)を含むガス、及び、酸素ガスをチャンバ61内に導入する。第1電源RF1及び第2電源RF2からステージ62Lに電力を供給する。
図5(h)に示すように、ガス供給口61sから例えばフルオロカーボン系のエッチングガスをチャンバ61内に導入して、第1電源RF1からステージ62Lに電力を供給する。これにより、チャンバ61内に第7プラズマP7(フルオロカーボンプラズマ)が発生する。第7プラズマP7に含まれる活性種(第2エッチャント)によって、ホールMH内において第1膜71及び第2膜72から露出した被加工物MLの一部が除去される。ホールMHの第1側壁MHs2(深い部分)の一部が除去されて、この部分のホール径が大きくなる。ホールMHの径が、均一化される。均一で高アスペクト比のホールが形成できる(図5(g)参照)。
図6(a)及び図6(b)は、半導体装置を例示する模式図である。図6(a)は、模式的斜視図である。図6(b)は、図6(a)に示すA1−A2線断面図である。
Claims (20)
- 第1層、前記第1層の第1方向に積層された第2層、前記第2層の前記第1方向に積層された他の第1層、及び、前記他の第1層の前記第1方向に積層された他の第2層を含む被加工物に前記第1方向に延びるホールを形成し、
前記被加工物上と、前記ホールの側壁のうちの浅い部分と、に第1膜を形成し、
前記第1膜の表面に第2膜を形成し、
前記被加工物上に形成された前記第1膜及び前記第2膜を、第1エッチャントを用いて除去して、前記浅い部分に形成された前記第1膜の少なくとも一部、及び、前記第1膜の前記少なくとも一部の前記表面に形成された前記第2膜の少なくとも一部を残し、
前記残された前記第1膜の前記少なくとも一部と、前記残された前記第2膜の前記少なくとも一部と、から前記ホール内において露出する前記被加工物の深い部分の少なくとも一部を第2エッチャントを用いて除去する半導体装置の製造方法であって、
前記第1膜の前記第1エッチャントに対するエッチングレートは、前記第2膜の前記第1エッチャントに対するエッチングレートよりも高い半導体装置の製造方法。 - 前記第1層は、シリコン酸化物を含み、
前記第2層は、シリコン窒化物を含む請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1膜の前記形成は、前記第1膜を炭化水素を含むガスを用いて形成することを含む、請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1膜の前記形成は、前記第1膜をメタンを含むガスを用いて形成することを含む、請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2膜の前記形成は、前記第2膜を、六フッ化タングステン、六フッ化モリブデン、六フッ化レニウム、六フッ化イリジウム、六フッ化プラチナ、四塩化チタン、四酸化ルテニウム及びトリメチルアンモニウムからなる群より選択された少なくとも1つと、酸素ガスと、を含むガスを用いて形成する、請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1膜は、炭素膜を含み、
前記第2膜は、酸化金属膜を含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記酸化金属膜に含まれる金属元素は、タングステン、モリブデン、チタン、アルミニウム、レニウム、イリジウム、プラチナ及びルテニウムからなる群より選択された少なくとも1つ以上を含む、請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2膜の前記形成は、前記第1膜の前記形成が行われるチャンバで実施される、請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1エッチャントを用いた前記除去は、前記チャンバで実施される、請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1膜の前記形成において、前記チャンバの内壁の少なくとも一部に前記第1膜の一部が形成され、
前記第2膜の前記形成において、前記チャンバの前記内壁の前記少なくとも一部に形成された前記第1膜の前記一部の表面の少なくとも一部に、前記第2膜の一部が形成される請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1エッチャントを用いた前記除去は、
前記チャンバの前記内壁の前記少なくとも一部に形成された前記第1膜の前記一部の少なくとも一部、及び、
前記チャンバの前記内壁の前記少なくとも一部に形成された前記第1膜の前記一部の前記表面の少なくとも一部に形成された前記第2膜の前記一部の少なくとも一部を除去することを含む、請求項10記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2エッチャントを用いた前記除去は、前記チャンバ内で実施される、請求項8〜11のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ホールの前記形成は、前記チャンバで実施される、請求項8〜12のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1膜の前記形成は、前記被加工物が配置されたステージに、第1電源から出力される第1電力を供給することを含み、
前記第2膜の前記形成は、前記ステージに、前記第1電源から出力される第3電力、及び、第2電源から出力される第4電力を供給し、電極に第3電源から出力される第5電力を供給することを含み、前記ステージと前記電極との間に前記被加工物が配置され、前記第3電力の第3周波数は前記第4電力の第4周波数とは異なり、前記第5電力の第5周波数は、前記第3周波数及び前記第4周波数の少なくともいずれかよりも低い、請求項8〜13のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第5周波数は、前記第3周波数及び前記第4周波数のいずれかと同じ、請求項14記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1エッチャントを用いた前記除去は、前記ステージに、前記第1電源から供給される第6電力及び前記第2電源から供給される第7電力を供給し、前記電極に前記第3電源から第8電力を供給することを含み、前記第6電力の第6周波数は、前記第7電力の第7周波数とは異なり、前記第8電力の第8周波数は、前記第6周波数及び前記第7周波数の少なくともいずれかよりも低い、請求項14または15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第8周波数は、前記第6周波数及び前記第7周波数のいずれかと同じ、請求項16記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第8周波数は、前記第3周波数及び前記第4周波数のいずれかと同じ、請求項16または17に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1エッチャントは、酸素イオン及び水素イオンの少なくともいずれかを含む請求項1〜18のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2エッチャントは、フッ素及び炭素を含む請求項1〜19のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016052770A JP6495854B2 (ja) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 半導体装置の製造方法 |
US15/253,827 US10026622B2 (en) | 2016-03-16 | 2016-08-31 | Method for manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016052770A JP6495854B2 (ja) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017168645A JP2017168645A (ja) | 2017-09-21 |
JP6495854B2 true JP6495854B2 (ja) | 2019-04-03 |
Family
ID=59847219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016052770A Active JP6495854B2 (ja) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10026622B2 (ja) |
JP (1) | JP6495854B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017216937A1 (de) * | 2017-09-25 | 2019-03-28 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Herstellen zumindest einer Durchkontaktierung in einem Wafer |
JP2022191787A (ja) * | 2021-06-16 | 2022-12-28 | キオクシア株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US20230058831A1 (en) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | Applied Materials, Inc. | Molecular layer deposition liner for 3d nand |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0950984A (ja) * | 1995-08-07 | 1997-02-18 | Hitachi Ltd | 表面処理方法 |
JPH11186236A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Mitsubishi Electric Corp | エッチング方法 |
JP3389112B2 (ja) * | 1998-09-09 | 2003-03-24 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2000114522A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4360065B2 (ja) | 2002-07-02 | 2009-11-11 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理方法 |
JP4416595B2 (ja) | 2004-07-27 | 2010-02-17 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | エッチング方法及び絶縁膜のパターニング方法 |
JP2007180493A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP5968130B2 (ja) | 2012-07-10 | 2016-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP6267953B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2018-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US9570460B2 (en) * | 2014-07-29 | 2017-02-14 | Sandisk Technologies Llc | Spacer passivation for high-aspect ratio opening film removal and cleaning |
-
2016
- 2016-03-16 JP JP2016052770A patent/JP6495854B2/ja active Active
- 2016-08-31 US US15/253,827 patent/US10026622B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10026622B2 (en) | 2018-07-17 |
JP2017168645A (ja) | 2017-09-21 |
US20170271170A1 (en) | 2017-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6882469B2 (ja) | 高アスペクト比の構造体のための除去方法 | |
US9230824B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US10062579B2 (en) | Selective SiN lateral recess | |
US9786512B2 (en) | Etching method | |
US10541246B2 (en) | 3D flash memory cells which discourage cross-cell electrical tunneling | |
US9099285B2 (en) | Plasma processing method and plasma processing apparatus | |
CN101911263B (zh) | 蚀刻高纵横比接触的方法 | |
US9779961B2 (en) | Etching method | |
US9257301B2 (en) | Method of etching silicon oxide film | |
JP2016225437A (ja) | エッチング方法 | |
US9390935B2 (en) | Etching method | |
JP6339961B2 (ja) | エッチング方法 | |
TW201403704A (zh) | 半導體結構的形成方法 | |
TW201810429A (zh) | 蝕刻處理方法 | |
CN103390581A (zh) | 硅通孔刻蚀方法 | |
JP6495854B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN105914144A (zh) | 蚀刻方法 | |
JP2015220251A (ja) | 被エッチング層をエッチングする方法 | |
US11658043B2 (en) | Selective anisotropic metal etch | |
JP2014003085A (ja) | プラズマエッチング方法及びプラズマ処理装置 | |
US10283324B1 (en) | Oxygen treatment for nitride etching | |
JP2016201476A (ja) | プラズマエッチング方法、パターン形成方法及びクリーニング方法 | |
CN110034021B (zh) | 蚀刻方法和蚀刻装置 | |
US10128086B1 (en) | Silicon pretreatment for nitride removal | |
CN116097407A (zh) | 各向同性氮化硅移除 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170620 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180205 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20180905 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190307 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6495854 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |