JP6494067B2 - 距離測定装置、及び距離測定方法 - Google Patents
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Description
まず、以下に示す実施形態に係る距離測定装置1の概要を説明し、その後により詳細な実施形態を説明する。図1は、本実施形態に係る距離測定装置1の一例を示す構成図である。距離測定装置1は、波長掃引光源2から射出された入射光を干渉計3に入射する。そして、干渉計3は、入射された入射光を測定光と参照光に分波する。干渉計3は、分波された入射光のうち、測定光を測定対象Wに向けて照射する。測定対象Wに照射された測定光であって、測定対象Wで反射された測定光は、再び干渉計3に入射する。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図1に示したように、距離測定装置1は、例えば、波長掃引光源2と、干渉計3と、波長検出部4と、干渉光検出部5と、制御装置6と、光ファイバーF1と、光ファイバーF6と、光ファイバーF7とを備える。距離測定装置1では、波長掃引光源2と干渉計3とが光ファイバーF1により接続されており、干渉計3と干渉光検出部5とが光ファイバーF6により接続されており、干渉計3と波長検出部4とが光ファイバーF7により接続されている。また、波長掃引光源2と制御装置6、波長検出部4と制御装置6、干渉光検出部5と制御装置6はそれぞれ、電気ケーブル等によって通信可能に接続されている。
制御部43は、波長検出部4の全体を制御する。また、制御部43は、光検出器42から取得された電気信号に基づいて、波長検出部4に導光された第2参照光(すなわち、入射光の一部)の検出感度を検出する。そして、制御部43は、検出された検出感度に基づいて第2参照光の波長を検出する。制御部43は、検出された波長を示す情報を制御装置6に出力する。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であってもよい。
Claims (6)
- 波長を変化させながら光を入射光として射出する波長掃引光源と、
前記波長掃引光源から射出された入射光を、複数に分岐された光として、第1参照光と第2参照光と測定光に分岐させ、前記測定光を照射し、前記測定光の反射光と前記第1参照光とを干渉光として合波させる干渉計と、
前記干渉計により前記反射光と前記第1参照光が合波された干渉光を検出する干渉光検出部と、
光の一部を吸収する気体に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する波長検出部と、
前記干渉光検出部により検出された干渉光の信号をフーリエ変換し、フーリエ変換された前記干渉光の信号に基づく周波数スペクトルに応じたピーク周波数を検出し、検出された前記ピーク周波数と、前記波長検出部により検出された前記入射光の波長に応じた周波数とに基づいて、前記干渉計からの距離を導出する導出部と、
を備える距離測定装置。 - 請求項1に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、前記第2参照光を前記気体に照射し、前記気体に照射された前記第2参照光に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項2に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、前記気体に照射された前記第2参照光の吸収スペクトルを検出し、検出された前記吸収スペクトルに基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項3に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、検出された前記吸収スペクトルと、予め記憶された参照用スペクトルであって前記光の波長と、前記気体による前記光の吸収率とが対応付けられた前記参照用スペクトルとのパターンマッチングに基づいて、前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項1から4のうちいずれか一項に記載の距離測定装置であって、
前記気体は、波長基準となるガスである、
距離測定装置。 - 波長を変化させながら光を入射光として射出し、
射出された前記入射光を、複数に分岐された光として、第1参照光と第2参照光と測定光に分岐させ、前記測定光を照射し、前記測定光の反射光と前記第1参照光とを干渉計により干渉光として合波させ、
合波された前記干渉光を検出し、
光の一部を吸収する気体に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出し、
検出された前記干渉光の信号をフーリエ変換し、フーリエ変換された前記干渉光の信号に基づく周波数スペクトルに応じたピーク周波数を検出し、検出された前記ピーク周波数と、検出された前記入射光の波長とに基づいて、前記干渉計からの距離を導出する、
距離測定方法。
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