JP6956918B2 - 光距離測定装置 - Google Patents

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Description

この発明は、光距離測定装置に関するものである。
光源が出射した光を用いて、パルス伝播方式、三角測距方式、共焦点方式、白色干渉方式、又は波長走査干渉方式等の方式により、光源から対象物までの距離を測定する光測距方法がある。これらの方式のうち、白色干渉方式、又は波長走査干渉方式等は、光の干渉現象を用いる干渉方式である。
干渉方式は、光源が出射した光を測定光と参照光とに分岐し、測定光が対象物上で反射した光である反射光と参照光とを干渉させ、反射光と参照光とが強め合う条件に基づいて、光源から対象物までの距離を測定するものである。
例えば、スペクトラムドメイン方式等の白色干渉方式は、広帯域の光を出射する光源を用いる。白色干渉方式は、光源が出射した広帯域の光を測定光と参照光とに分岐する。白色干渉方式は、分光器により空間的にスペクトル分光し、スペクトル分光した反射光と、スペクトル分光した参照光との干渉条件に基づいて、光源から対象物までの距離を測定する。
また、例えば、波長走査干渉方式は、光源から出射された光を波長掃引する。波長走査干渉方式は、波長掃引した光を測定光と参照光とに分岐する。波長走査干渉方式は、波長掃引した光を分岐した測定光が対象物上で反射した光である反射光と、波長掃引した光を分岐した参照光とを干渉させる。波長走査干渉方式は、反射光の周波数と、参照光の周波数とを測定することにより、光源から対象物までの距離を測定する。
例えば、非特許文献1には、波長走査干渉方式による光距離測定装置を医療用途に適用した波長掃引型光干渉断層計(SS−OCT:Swept Source − Optical Coherence Tomography)が開示されている。
春名正光、"光コヒーレンストモグラフィ―(OCT)"、[online]、平成22年、MEDICAL PHOTONICS、[平成31年2月4日検索]、インターネット〈URL:http://www.medicalphotonics.jp/pdf/mp0001/0001_029.pdf〉
しかしながら、従来の光距離測定装置は、一度の測定により測定可能な光源から対象物までの距離の範囲が、測定光を対象物に照射するための光学系が有する焦点距離の範囲に限定されてしまうという課題があった。
この発明は、上述の課題を解決するためのもので、対象物までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる光距離測定装置を提供することを目的とする。
この発明の光距離測定装置は、入力された連続波であるレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する分岐部と、分岐部が出力する測定光を分岐して、分岐後の測定光を第1測定光及び第2測定光として出力する測定光分岐部と、分岐部が出力する参照光を分岐して、分岐後の参照光を第1参照光及び第2参照光として出力する参照光分岐部と、第1レイリー長を有し、第1測定光を対象物に照射するための第1光学系と、第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有し、且つ、第1光学系が有する焦点距離と等しい焦点距離を有し、第2測定光を対象物に照射するための第2光学系と、を有する送信部と、第1参照光、及び、第1測定光が対象物で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する第1受信部と、第2参照光、及び、第2測定光が対象物で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する第2受信部と、を備えた。
この発明によれば、対象物までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる。
図1は、実施の形態1に係る光距離測定装置の要部の構成の一例を示すブロック図である。 図2は、実施の形態1に係る光距離測定装置が適用された加工装置の一例を示す図である。 図3は、実施の形態1に係る光距離測定装置が適用された加工装置の一例を示す図である。 図4Aは、実施の形態1に係る送信部と対象物との間の距離の一例を示す図である。図4Bは、実施の形態1に係る送信部と対象物との間の距離がX2である場合の第1光干渉部に入力される第1参照光と第1反射光との関係の一例を示す図である。図4Cは、図4Bに示すある時点T1における第1受信信号に基づいて、周波数測定部が測定した第1干渉光の周波数スペクトルを示す図である。図4Dは、図4Aに示す対象物の位置における、ある時点の第1受信信号に基づいて周波数測定部が測定した第1干渉光の周波数スペクトルを示す図である。 図5Aは、光学系が有するレイリー長と、実施の形態1に係る距離算出部が送信部から対象物までの距離を算出可能な範囲との関係の一例を示す図である。図5Bは、実施の形態1に係る送信部から対象物までの距離が一定である場合における、光学系が有するレイリー長と、反射波の強度との関係の一例を示す図である。図5Cは、反射波の強度と、実施の形態1に係る距離算出部が算出する送信部から対象物までの距離に含まれる誤差との関係の一例を示す図である。 図6は、実施の形態1に係る第1測定光及び第2測定光、並びに、第1測定光及び第2測定光が対象物で反射した反射光である第1反射光及び第2反射光の経路の一例を示す図である。 図7は、実施の形態2に係る光距離測定装置の要部の構成の一例を示すブロック図である。
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る光距離測定装置100の要部の構成の一例を示すブロック図である。
光距離測定装置100は、レーザ光源101、掃引部102、分岐部103、測定光分岐部104、参照光分岐部105、遅延調整部106、第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、第2光学系132、第1光干渉部151、第2光干渉部152、第1光電変換部161、第2光電変換部162、第1デジタル変換部171、第2デジタル変換部172、周波数測定部181、距離算出部182、及び情報送信部190を備える。
レーザ光源101は、連続光であるレーザ光を出射する。実施の形態1において、レーザ光源101は、ガスレーザ又は半導体レーザ等の所定の周波数のレーザ光を出射する光源である。
レーザ光源101は、実施の形態1に係る光距離測定装置100において、必須な構成ではない。例えば、光距離測定装置100は、レーザ光源101を有する外部のレーザ光発生装置が出射したレーザ光を受けて、動作するものであっても良い。
掃引部102は、レーザ光源101が出射したレーザ光が入力される。掃引部102は、入力されたレーザ光を波長掃引して、掃引後のレーザ光を掃引光として出力する。掃引部102が出力する掃引光は、連続波のレーザ光である。
分岐部103は、光カプラ等により構成され、入力された連続波のレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する。より具体的には、分岐部103は、掃引部102が出射したレーザ光である掃引光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する。
測定光分岐部104は、分岐部103が出力する測定光を分岐して、分岐後の測定光を第1測定光及び第2測定光として出力する。具体的には、測定光分岐部104は、PBS(Polarizing Beam Splitter)等により構成され、測定光分岐部104は、分岐部103が出力する測定光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の測定光を、第1測定光である第1偏波測定光、及び第2測定光である第2偏波測定光として出力する。第1偏波測定光と第2偏波測定光とは、例えば、互いに振動方向が異なる直線偏波光である。
第1光サーキュレータ121は、例えば、3ポート光サーキュレータにより構成され、測定光分岐部104が出力した第1測定光を第1光学系131に導く。具体的には、第1光サーキュレータ121は、測定光分岐部104が出力した第1測定光である第1偏波測定光を第1光学系131に導く。
第1光学系131は、第1測定光を対象物20に照射する。具体的には、例えば、第1光学系131は、1個以上の透過レンズ、又は1個以上の反射レンズ等のレンズにより構成され、第1光学系131は、第1光サーキュレータ121が第1光学系131に導いた第1偏波測定光の光束径を広げ、光束径を広げた第1偏波測定光を対象物20に照射する。
第1光学系131は、第1レイリー長を有する。なお、レイリー長とは、レーザ光における光学系の集光特性を示す値の1つであり、光学系により集光されたレーザ光の径が、十分に小さいとみなせる、当該光学系から焦点に向かう方向の長さの範囲を示す値である。
第1光学系131は、対象物20に照射された第1偏波測定光が対象物20上で反射した光である第1反射光を第1光サーキュレータ121に導く。
第1光サーキュレータ121は、第1反射光を第1光干渉部151に導く。
第2光サーキュレータ122は、例えば、3ポート光サーキュレータにより構成され、測定光分岐部104が出力した第2測定光を第2光学系132に導く。具体的には、第2光サーキュレータ122は、測定光分岐部104が出力した第2測定光である第2偏波測定光を第2光学系132に導く。
第2光学系132は、第2測定光を対象物20に照射する。具体的には、例えば、第2光学系132は、1個以上の透過レンズ、又は1個以上の反射レンズ等のレンズにより構成され、第2光学系132は、第2光サーキュレータ122が第1光学系131に導いた第2偏波測定光の光束径を広げ、光束径を広げた第2偏波測定光を対象物20に照射する。
第2光学系132は、第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有する。
第2光学系132は、第1光学系131が有する焦点距離と等しい焦点距離を有する。なお、等しい焦点距離は、正確に等しい焦点距離であることに限定されるものではなく、略等しい焦点距離を含むものである。
第2光学系132は、対象物20に照射された第2偏波測定光が対象物20上で反射した光である第2反射光を第2光サーキュレータ122に導く。
第2光サーキュレータ122は、第2反射光を第2光干渉部152に導く。
参照光分岐部105は、分岐部103が出力する参照光を分岐して、分岐後の参照光を第1参照光及び第2参照光として出力する。具体的には、参照光分岐部105は、PBS等により構成され、参照光分岐部105は、分岐部103が出力する参照光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の参照光を、第1参照光である第1偏波参照光、及び第2参照光である第2偏波参照光として出力する。第1偏波参照光と第2偏波参照光とは、例えば、互いに振動方向が異なる直線偏波光である。
以下の説明において、第1偏波測定光の振動方向と、第1偏波参照光の振動方向とは同一であり、第2偏波測定光の振動方向と、第2偏波参照光の振動方向とは同一であるものとして説明する。
参照光分岐部105が出力した第1参照光は、第1光干渉部151に導かれる。
参照光分岐部105が出力した第2参照光は、第2光干渉部152に導かれる。
遅延調整部106は、分岐部103が出力した測定光と参照光との経路差を調整する。
実施の形態1に係る光距離測定装置100は、レーザ光源101、掃引部102、分岐部103、測定光分岐部104、参照光分岐部105、遅延調整部106、第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、及び第2光学系132により、送信部110が構成されている。
第1光干渉部151は、第1参照光と第1反射光とを干渉させて、第1参照光と第1反射光とを干渉させた後の干渉光を第1干渉光として出力する。具体的には、第1光干渉部151は、例えば、90度光ハイブリッドにより構成され、第1参照光と第1反射光とを合成することにより、第1干渉光を出力する。
第1光電変換部161は、第1光干渉部151が出力した第1干渉光を光電変換して、第1干渉光を示す第1アナログ信号を出力する。
第1デジタル変換部171は、第1アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第1アナログ信号をデジタル信号である第1受信信号として出力する。
実施の形態1に係る光距離測定装置100は、第1光干渉部151、第1光電変換部161、及び第1デジタル変換部171により、第1受信部141が構成されている。
すなわち、第1受信部141は、第1参照光、及び、第1測定光が対象物20で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する。
第2光干渉部152は、第2参照光と第2反射光とを干渉させて、第2参照光と第2反射光とを干渉させた後の干渉光を第2干渉光として出力する。具体的には、第2光干渉部152は、例えば、90度光ハイブリッドにより構成され、第2参照光と第2反射光とを合成することにより、第2干渉光を出力する。
第2光電変換部162は、第2光干渉部152が出力した第2干渉光を光電変換して、第2干渉光を示す第2アナログ信号を出力する。
第2デジタル変換部172は、第2アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第2アナログ信号をデジタル信号である第2受信信号として出力する。
実施の形態1に係る光距離測定装置100は、第2光干渉部152、第2光電変換部162、及び第2デジタル変換部172により、第2受信部142が構成されている。
すなわち、第2受信部142は、第2参照光、及び、第2測定光が対象物20で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する。
周波数測定部181は、第1受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定する。また、周波数測定部181は、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力する。
更に、周波数測定部181は、第2受信信号に基づいて、第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を測定する。また、周波数測定部181は、測定した第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を示す第2信号情報を出力する。
より具体的には、例えば、周波数測定部181は、第1受信信号をフーリエ変換することにより、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定する。また、周波数測定部181は、第2受信信号をフーリエ変換することにより、第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を測定する。
距離算出部182は、周波数測定部181が出力した、第1信号情報又は第2信号情報に基づいて、送信部110から対象物20までの距離を算出する。また、距離算出部182は、距離算出部182が算出した送信部110から対象物20までの距離を示す距離情報を出力する。送信部110から対象物20までの距離とは、例えば、第1光学系131又は第2光学系132から対象物20までの距離である。送信部110から対象物20までの距離は、第1光学系131又は第2光学系132から対象物20までの距離に限定されるものではなく、送信部110における基準となる構成から対象物20までの距離であれば良い。
具体的には、例えば、距離算出部182は、偏波ダイバーシティ方式により、周波数測定部181が出力した第1信号情報又は第2信号情報に基づいて、送信部110から対象物20までの距離を算出する。また、距離算出部182は、距離算出部182が算出した送信部110から対象物20までの距離を示す距離情報を出力する。
距離算出部182は、周波数測定部181が出力した第1信号情報及び第2信号情報に基づいて、送信部110から対象物20までの距離を算出しても良い。
距離算出部182が算出する送信部110から対象物20までの距離は、例えば、第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、又は、第2光学系132から対象物20までの距離である。
例えば、距離算出部182が算出する送信部110から対象物20までの距離が第1光サーキュレータ121から対象物20までの距離である場合、遅延調整部106は、測定光が分岐部103から出力されてから、測定光分岐部104を介して第1測定光ととなり、第1測定光が第1光サーキュレータ121を介して第1光学系131に向かって出力されるまでの経路長、及び、第1反射光が第1光サーキュレータ121に入力されてから第1光干渉部151に入力されるまで経路長の和と、参照光が分岐部103から出力されてから、第1光干渉部151に入力されるまで経路長との経路差を調整するものである。
情報送信部190は、距離算出部182が出力した、送信部110と対象物20と間の距離を示す距離情報を、外部に送信するための制御を行う。
なお、レーザ光源101と掃引部102との間、掃引部102と分岐部103との間、分岐部103と測定光分岐部104との間、分岐部103と遅延調整部106との間、及び、遅延調整部106と測定光分岐部104との間は、例えば、光ファイバにより接続され、レーザ光は、当該光ファイバを介して導かれる。また、測定光分岐部104と第1光サーキュレータ121との間、第1光サーキュレータ121と第1光干渉部151との間、測定光分岐部104と第2光サーキュレータ122との間、第2光サーキュレータ122と第2光干渉部152との間、測定光分岐部104と第1光干渉部151との間、及び、測定光分岐部104と第2光干渉部152との間は、例えば、偏波の振幅方向が保持される偏波保持ファイバである光ファイバにより接続され、偏波光であるレーザ光は、当該光ファイバを介して導かれる。
図2及び図3を参照して実施の形態1に係る光距離測定装置100の適用例を説明する。
図2及び図3は、実施の形態1に係る光距離測定装置100が適用された加工装置10の一例を示す図である。
図2に示す加工装置10は、チャック12、加工ヘッド11、ヘッド移動制御部13、及びヘッド移動機構14を備える。
対象物20は、加工装置10が加工しようとする物体である。
チャック12は、対象物20を固定するための台座である。
加工ヘッド11は、対象物20を加工するための部位である。加工ヘッド11は、対象物20を加工する際に、対象物20に接触して加工するものであっても、対象物20に非接触の状態で加工するものであっても良い。
ヘッド移動制御部13は、光距離測定装置100が出力する距離情報を取得し、当該距離情報に基づいて、チャック12に対して加工ヘッド11を移動するための制御信号を生成する。ヘッド移動制御部13は、生成した制御信号をヘッド移動機構14に出力する。
ヘッド移動機構14は、ヘッド移動制御部13が出力する制御信号を受信し、当該制御信号に基づいて、チャック12に対して加工ヘッド11を移動させる。
図3に示す加工装置10は、チャック12、加工ヘッド11、チャック移動制御部15、及びチャック移動機構16を備える。
チャック12及び加工ヘッド11は、図2に示すチャック12及び加工ヘッド11と同様であるため、説明を省略する。
チャック移動制御部15は、光距離測定装置100が出力する距離情報を取得し、当該距離情報に基づいて、加工ヘッド11に対してチャック12を移動するための制御信号を生成する。チャック移動制御部15は、生成した制御信号をチャック移動機構16に出力する。
チャック移動機構16は、チャック移動制御部15が出力する制御信号を受信し、当該制御信号に基づいて、加工ヘッド11に対してチャック12を移動させる。
図2及び図3において、光距離測定装置100における第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、及び第2光学系132は、加工ヘッド11に固定されている。第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、及び第2光学系132が、加工ヘッド11に固定された位置は、既知であるものとする。すなわち、光距離測定装置100が出力する距離情報が示す送信部110から対象物20までの距離に基づいて、ヘッド移動制御部13又はチャック移動制御部15は、加工ヘッド11と対象物20との間の距離を算出することが可能となる。
図4を参照して、実施の形態1に係る距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出する方法について説明する。
図4Aは、実施の形態1に係る送信部110と対象物20との間の距離の一例を示す図である。
図4Aは、一例として、対象物20が、実施の形態1に係る送信部110からX1,X2,及びX3だけ離れた位置にあることを示している。
図4Bは、実施の形態1に係る送信部110と対象物20との間の距離がX2である場合の第1光干渉部151に入力される第1参照光と第1反射光との関係の一例を示す図である。図4Bにおいて、横軸は経過時間を、縦軸は周波数を示している。
分岐部103に入力されるレーザ光が掃引光であるため、分岐部103から出力される参照光及び測定光、並びに、測定光が対象物20で反射した光である反射光は、掃引された光となる。すなわち、第1光干渉部151に入力される第1参照光及び第1反射光は、時間経過に対応して掃引光と同様に周波数が変化する。実施の形態1では、掃引光における単位時間当たりの周波数変化の値は既知であるものとする。
第1反射光は、第1光干渉部151において、送信部110と対象物20との間の距離に応じて、第1参照光に対して遅延する。そのため、図4Bにおいて、第1反射光は、第1参照光に対して、時間ΔT2だけ右側にずれた状態で示されている。
周波数測定部181は、ある時点T1における第1干渉光に基づいて、第1干渉光の周波数成分毎の強度を測定する。
図4Cは、図4Bに示すある時点T1における第1受信信号に基づいて周波数測定部181が測定した第1干渉光の周波数スペクトルを示す図である。図4Cにおいて、横軸は周波数を、縦軸は第1干渉光の強度を示している。
図4Cにおいて、2個の周波数帯において第1干渉光の強度が強くなっている。図4Cにおいて、第1干渉光の強度が高くなっている2個の周波数帯のうち、高い周波数である周波数がFrの光が第1参照光であり、低い周波数帯である周波数がF2の光が第1反射光である。
周波数測定部181は、第1参照光の周波数がFrであり、第1反射光の周波数がF2であることを示す第1信号情報を生成して、当該第1信号情報を出力する。
距離算出部182は、周波数測定部181が出力した第1信号情報と、既知の掃引光における単位時間当たりの周波数変化の値に基づいて、第1反射光が第1参照光に対して遅延した時間ΔT2を算出する。
距離算出部182は、算出した時間ΔT2に既知の光速を乗じて、更に1/2を乗ずることにより、送信部110から対象物20までの距離であるX2を算出する。
図4Dは、図4Aに示す対象物20の位置における、ある時点の第1受信信号に基づいて周波数測定部181が測定した第1干渉光の周波数スペクトルを示す図である。
例えば、図4Aに示すように、送信部110と対象物20との間の距離が、X2より短いX1である場合、図4Dに示すように、第1参照光の周波数と第1反射光の周波数との差が小さくなる。この場合、距離算出部182が算出することより求められる、第1反射光が第1参照光に対して遅延する時間は、送信部110と対象物20との間の距離がX2における時間ΔT2より短くなる。
また、例えば、図4Aに示すように、送信部110と対象物20との間の距離が、X2より長いX3である場合、図4Dに示すように、第1参照光の周波数と第1反射光の周波数との差が大きくなる。この場合、距離算出部182が算出することより求められる、第1反射光が第1参照光に対して遅延する時間は、送信部110と対象物20との間の距離がX2における時間ΔT2より長くなる。
なお、これまで、実施の形態1に係る距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出する方法について、第1光干渉部151に入力される第1参照光と第1反射光とを一例として説明したが、距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出する方法は、第2光干渉部152に入力される第2参照光と第2反射光とにおいても同様であるため、説明を省略する。
距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出可能な距離は、第1光学系131及び第2光学系132が有する焦点距離を含む当該焦点距離の近傍である。上述のとおり、第1光学系131と第2光学系132とは、互いに等しい焦点距離を有するものである。
図5を参照して、第1光学系131又は第2光学系132を用いた際の距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出可能な範囲について説明する。
以下、一例として、第2光学系132が有する第2レイリー長が、第1光学系131が有する第1レイリー長より長いものとして説明する。
図5Aは、光学系が有するレイリー長と、距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出可能な範囲との関係の一例を示す図である。
図5Aのとおり、距離算出部182が送信部110から対象物20までの距離を算出可能な範囲は、光学系が有するレイリー長が長くなるほど、広くなることが分かる。
すなわち、第2光学系132が有する第2レイリー長が、第1光学系131が有する第1レイリー長より長いため、距離算出部182が、第2受信部142が出力する第2受信信号に基づいて算出できる送信部110から対象物20までの距離の範囲は、第1受信部141が出力する第1受信信号に基づいて算出できる送信部110から対象物20までの距離の範囲と比較して広くなる。
図5Bは、送信部110から対象物20までの距離が一定である場合における、光学系が有するレイリー長と、反射波の強度との関係の一例を示す図である。
レイリー長が長いほどスポット径は小さい。一般に、対象物20は、表面に表面粗さを有するため、測定光が対象物20で反射した反射光は、正反射成分だけではなく乱反射成分を有する。したがって、光学系に戻る反射光は、乱反射成分の比率が大きいほど減衰する。反射光の減衰量は、スポット径が大きいほど大きくなり、スポット径が小さいほど小さくなる。すなわち、反射波の強度は、レイリー長が長いほど弱くなり、レイリー長が短いほど強くなる。
図5Bのとおり、送信部110から対象物20までの距離が一定である場合、反射波の強度は、光学系が有するレイリー長が長くなるほど、弱くなることが分かる。
すなわち、第2光学系132が有する第2レイリー長が、第1光学系131が有する第1レイリー長より長いため、距離算出部182が、第2受信部142が出力する第2受信信号に含まれる第2反射波の強度は、第1受信部141が出力する第1受信信号に含まれる第1反射波の強度と比較して弱くなる。
図5Cは、反射波の強度と、距離算出部182が算出する送信部110から対象物20までの距離に含まれる誤差との関係の一例を示す図である。
図5Cのとおり、送信部110から対象物20までの距離が一定である場合、距離算出部182が算出する送信部110から対象物20までの距離に含まれる誤差は、反射波の強度が強くなるほど、小さくなることが分かる。
すなわち、第2受信部142が出力する第2受信信号に含まれる第2反射波の強度は、第1受信部141が出力する第1受信信号に含まれる第1反射波の強度と比較して弱いため、距離算出部182が、第2受信部142が出力する第2受信信号に基づいて算出する送信部110から対象物20までの距離に含まれる誤差は、第1受信部141が出力する第1受信信号に基づいて算出する送信部110から対象物20までの距離に含まれる誤差と比較して大きくなる。
上述のとおり、第1光学系131を用いて送信部110から対象物20までの距離を測定した場合、第2光学系132を用いて送信部110から対象物20までの距離を測定した場合と比較して、測定範囲が狭いが、測定誤差が小さいものとなる。
例えば、まず、第1ステップとして、光距離測定装置100は、送信部110から物体までの距離が未知である対象物20について、第2受信部142が出力した第2受信信号に基づいて、大まかな送信部110から対象物20までの距離を測定する。
次に、第2ステップとして、加工装置10は、光距離測定装置100から取得した大まかな送信部110から対象物20までの距離を示す距離情報に基づいて、加工ヘッド11又はチャック12を移動させて、大まかな位置合わせを行う。
次に、第3ステップとして、光距離測定装置100は、第1受信部141が出力した第1受信信号に基づいて、正確な送信部110から対象物20までの距離を算出する。
図6を参照して、光距離測定装置100が第1偏波測定光及び第2偏波測定光、並びに、第1偏波参照光及び第2偏波参照光を用いて、送信部110から対象物20までの距離を測定する効果を説明する。
図6は、第1測定光及び第2測定光、並びに、第1測定光及び第2測定光が対象物20で反射した反射光である第1反射光及び第2反射光の経路の一例を示す図である。
対象物20における第1測定光及び第2測定光が照射される表面は、表面粗さを有する。
そのため、図6に示すように、第1測定光及び第2測定光が当該表面で反射した第1反射光及び第2反射光は、第1測定光及び第2測定光と同一経路に向かって反射する正反射成分だけでなく、広い角度に一様に広がって反射する乱反射成分を有する。したがって、第1光学系131に入射する反射光は、第1反射光による成分と、第2反射光のうち当該表面での乱反射した迷光による成分を有する。また、第2光学系132に入射する反射光は、第2反射光による成分と、第1反射光のうち当該表面での乱反射した迷光による成分を有する。
一方、実施の形態1に係る光距離測定装置100は、上述のとおり、測定光分岐部104が測定光を偏波分離することにより分岐した第1偏波測定光及び第2偏波測定光、並びに、参照光分岐部105が参照光を偏波分離することにより分岐した第1偏波参照光及び第2偏波参照光を用いて、送信部110から対象物20までの距離を測定するものである。
振動方向が異なる2つの偏波は、干渉しない。そのため、第1光学系131に入射した第2反射光のうち当該表面での乱反射した迷光による成分は、第1光干渉部151において第1反射光による成分と干渉しない。したがって、周波数測定部181は、第1反射光による成分に基づいて、正確に第1受信信号における第1測定光の周波数を測定することができる。また、同様に、第2光学系132に入射した第1反射光のうち当該表面での乱反射した迷光による成分は、第2光干渉部152において第2反射光による成分と干渉しない。したがって、周波数測定部181は、第2反射光による成分に基づいて、正確に第2受信信号における第2測定光の周波数を測定することができる。
上述の第3ステップにおいて、光距離測定装置100が送信部110から対象物20までの距離を測定する際に、第1受信部141が出力した第1受信信号と、第2受信部142が出力した第2受信信号とに基づいて、正確な送信部110から対象物20までの距離を算出しても良い。
より具体的には、例えば、周波数測定部181は、第1受信信号と第2受信信号とを合成した信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力しても良い。距離算出部182は、周波数測定部181が出力した第1信号情報に基づいて、送信部110から対象物20までの距離を算出する。
このように構成することで、第3ステップにおいて、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離をより正確に算出することができる。
また、例えば、第3ステップにおいて、周波数測定部181は、偏波ダイバーシティ方式により、第1受信信号又は第2受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力しても良い。
例えば、第1偏波測定光と第2偏波測定光との間の偏波比率は、光距離測定装置100内の環境温度、光ファイバ内伝搬している際に生じる外乱、対象物20の材質、及び対象物20の表面の状態等により変動する。周波数測定部181が、一方の偏波のみにより生成した第1受信信号のみを用いて周波数を測定する場合、偏波比率が変動すると、振動方向が異なる2つの偏波は干渉しないため、第1受信部141における第1反射波の受信感度が低下する場合がある。
一方、2つの偏波の強度の合計は一定であるため、一方の偏波の強度が低下したとしても、もう一方の偏波の強度は、当該低下した分だけ上昇する。
したがって、周波数測定部181は、偏波ダイバーシティ方式により、2つの偏波によりそれぞれ生成された第1受信信号又は第2受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力する。
このように構成することで、第3ステップにおいて、光距離測定装置100は、第1偏波測定光と第2偏波測定光との間の偏波比率の変動に対する耐力が増し、偏波比率が変動した場合においても、送信部110から対象物20までの距離をより正確に算出することができる。
以上のように、光距離測定装置100は、入力された連続波のレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する分岐部103と、分岐部103が出力する測定光を分岐して、分岐後の測定光を第1測定光及び第2測定光として出力する測定光分岐部104と、分岐部103が出力する参照光を分岐して、分岐後の参照光を第1参照光及び第2参照光として出力する参照光分岐部105と、第1レイリー長を有し、第1測定光を対象物20に照射するための第1光学系131と、第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有し、且つ、第1光学系131が有する焦点距離と等しい焦点距離を有し、第2測定光を対象物20に照射するための第2光学系132と、を有する送信部110と、第1参照光、及び、第1測定光が対象物20で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する第1受信部141と、第2参照光、及び、第2測定光が対象物20で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する第2受信部142と、を備えた。
このように構成することで、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる。
また、光距離測定装置100は、上述の構成に加えて、第1受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定し、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力し、且つ、第2受信信号に基づいて、第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を示す第2信号情報を出力する周波数測定部181と、周波数測定部181が出力した、第1信号情報又は第2信号情報に基づいて、送信部110から対象物20までの距離を算出し、算出した送信部110から対象物20までの距離を示す距離情報を出力する距離算出部182と、を備えた。
このように構成することで、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる。
更に、周波数測定部181が、第1受信信号と第2受信信号とを合成した信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力するように構成した。
このように構成することで、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離を更に高精度に測定できる。
また、更に、光距離測定装置100は、上述の構成において、測定光分岐部104が、分岐部103が出力する測定光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の測定光を、第1測定光である第1偏波測定光、及び第2測定光である第2偏波測定光として出力し、参照光分岐部105が、分岐部103が出力する参照光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の参照光を、第1参照光である第1偏波参照光、及び第2参照光である第2偏波参照光として出力するように構成した。
このように構成することで、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離測定の範囲を広くしつつ、更に高精度に当該距離を測定できる。
また、更に、光距離測定装置100は、上述の構成において、周波数測定部181は、偏波ダイバーシティ方式により、第1受信信号又は第2受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力するように構成した。
このように構成することで、光距離測定装置100は、第1偏波測定光と第2偏波測定光との間の偏波比率の変動に対する耐力が増し、偏波比率が変動した場合においても、送信部110から対象物20までの距離を更に高精度に測定できる。
また、更に、光距離測定装置100は、上述の構成において、送信部110が、入力されたレーザ光を波長掃引して、掃引後のレーザ光を掃引光として出力する掃引部102を有し、分岐部103が、掃引部102が出力する掃引光を分岐して、分岐後の掃引光を測定光及び参照光として出力し、第1受信部141が、第1参照光と第1反射光とを干渉させて、第1参照光と第1反射光とを干渉させた後の干渉光を第1干渉光として出力する第1光干渉部151と、第1光干渉部151が出力した第1干渉光を光電変換して、第1干渉光を示す第1アナログ信号を出力する第1光電変換部161と、第1アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第1アナログ信号をデジタル信号である第1受信信号として出力する第1デジタル変換部171と、を有し、第2受信部142が、第2参照光と第2反射光とを干渉させて、第2参照光と第2反射光とを干渉させた後の干渉光を第2干渉光として出力する第2光干渉部152と、第2光干渉部152が出力した第2干渉光を光電変換して、第2干渉光を示す第2アナログ信号を出力する第2光電変換部162と、第2アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第2アナログ信号をデジタル信号である第2受信信号として出力する第2デジタル変換部172と、を有するように構成した。
このように構成することで、光距離測定装置100は、送信部110から対象物20までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる。
実施の形態2.
図7を参照して、実施の形態2に係る光距離測定装置100aについて説明する。
光距離測定装置100aは、実施の形態1に係る光距離測定装置100におけるレーザ光源101と掃引部102とを、レーザ光源101aに置き換えたものである。また、光距離測定装置100aは、実施の形態1に係る光距離測定装置100における送信部110、第1受信部141、第2受信部142、周波数測定部181、及び距離算出部182を送信部110a、第1受信部141a、第2受信部142a、周波数測定部181a、及び距離算出部182aに置き換えたものである。
図7は、実施の形態2に係る光距離測定装置100aの要部の構成の一例を示すブロック図である。
光距離測定装置100aは、レーザ光源101a、分岐部103a、測定光分岐部104、参照光分岐部105、遅延調整部106、第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、第2光学系132、第1合成部153、第2合成部154、第1分光部155、第2分光部156、第1光電変換部161a、第2光電変換部162a、第1デジタル変換部171a、第2デジタル変換部172a、周波数測定部181a、距離算出部182a、及び情報送信部190を備える。
光距離測定装置100aの構成において、光距離測定装置100と同様の構成については、同じ符号を付して重複した説明を省略する。すなわち、図1に記載した符号と同じ符号を付した図7の構成については、説明を省略する。
レーザ光源101aは、連続光であるレーザ光を出射する。実施の形態2において、レーザ光源101aは、ASE(Amplified Spontaneous Emission)光源等により構成された複数の周波数を有するレーザ光を出射する光源である。
レーザ光源101aは、実施の形態2に係る光距離測定装置100aにおいて、必須な構成ではない。例えば、光距離測定装置100aは、レーザ光源101aを有する外部のレーザ光発生装置が出射したレーザ光を受けて、動作するものであっても良い。
分岐部103aは、光カプラ等により構成され、入力された連続波のレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する。より具体的には、分岐部103aは、レーザ光源101aが出射した複数の周波数を有するレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する。
実施の形態2に係る光距離測定装置100aは、レーザ光源101a、分岐部103a、測定光分岐部104、参照光分岐部105、遅延調整部106、第1光サーキュレータ121、第2光サーキュレータ122、第1光学系131、及び第2光学系132により、送信部110aが構成されている。
第1合成部153は、光カプラ等により構成され、第1参照光及び第1反射光を合成して、合成後の第1参照光及び第1反射光を第1合成光として出力する。
第1分光部155は、回折格子等により構成され、第1合成部153が出力した第1合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の第1合成光を第1スペクトル分光光として照射する。
第1光電変換部161aは、アレイ状に並べられた光電素子を有し、第1分光部155から照射された第1スペクトル分光光を受けて、第1合成光の強度を示す情報をアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けた第1アナログ信号を出力する。
第1デジタル変換部171aは、第1アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第1アナログ信号をデジタル信号である第1受信信号として出力する。
実施の形態2に係る光距離測定装置100aは、第1合成部153、第1分光部155、第1光電変換部161a、及び第1デジタル変換部171aにより、第1受信部141aが構成されている。
すなわち、第1受信部141aは、第1参照光、及び、第1測定光が対象物20で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する。
第2合成部154は、光カプラ等により構成され、第2参照光及び第2反射光を合成して、合成後の第2参照光及び第2反射光を第2合成光として出力する。
第2分光部156は、回折格子等により構成され、第2合成部154が出力した第2合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の第2合成光を第2スペクトル分光光として照射する。
第2光電変換部162aは、アレイ状に並べられた光電素子を有し、第2分光部156から照射された第2スペクトル分光光を受けて、第2合成光の強度を示す情報をアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けた第2アナログ信号を出力する。
第2デジタル変換部172aは、第2アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の第2アナログ信号をデジタル信号である第2受信信号として出力する。
実施の形態2に係る光距離測定装置100aは、第2合成部154、第2分光部156、第2光電変換部162a、及び第2デジタル変換部172aにより、第2受信部142aが構成されている。
すなわち、第2受信部142aは、第2参照光、及び、第2測定光が対象物20で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する。
周波数測定部181aは、第1受信信号に基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定する。また、周波数測定部181aは、測定した第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力する。
更に、周波数測定部181aは、第2受信信号に基づいて、第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を測定する。また、周波数測定部181aは、測定した第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を示す第2信号情報を出力する。
より具体的には、例えば、周波数測定部181aは、周波数と、第1光電変換部161aにおけるアレイ状に並べられた光電素子毎の位置とを対応付けた情報と、第1受信信号におけるアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けられた第1合成光の強度を示す情報とに基づいて、第1参照光及び第1反射光の周波数成分毎の強度を測定する。なお、第1光電変換部161aにおける周波数とアレイ状に並べられた光電素子毎の位置とを対応付けた情報は、既知であるものとする。また、同様に、周波数測定部181aは、周波数と、第2光電変換部162aにおけるアレイ状に並べられた光電素子毎の位置とを対応付けた情報と、第2受信信号におけるアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けられた第2合成光の強度を示す情報とに基づいて、第2参照光及び第2反射光の周波数成分毎の強度を測定する。なお、第2光電変換部162aにおける周波数とアレイ状に並べられた光電素子毎の位置とを対応付けた情報は、既知であるものとする。
距離算出部182aは、周波数測定部181aが出力した、第1信号情報又は第2信号情報に基づいて、送信部110aから対象物20までの距離を算出する。また、距離算出部182aは、算出した送信部110aから対象物20までの距離を示す距離情報を出力する。
より具体的には、距離算出部182aは、周知技術であるスペクトラムドメイン方式による光干渉断層計と同様の方法により、第1信号情報又は第2信号情報に基づいて、送信部110aから対象物20までの距離を算出する。スペクトラムドメイン方式による光干渉断層計による距離計測方法は公知であるため、説明を省略する。
以上のように、光距離測定装置100aは、入力された複数の周波数を有する連続波のレーザ光を分岐して、分岐後のレーザ光を測定光及び参照光として出力する分岐部103aと、分岐部103aが出力する測定光を分岐して、分岐後の測定光を第1測定光及び第2測定光として出力する測定光分岐部104と、分岐部103aが出力する参照光を分岐して、分岐後の参照光を第1参照光及び第2参照光として出力する参照光分岐部105と、第1レイリー長を有し、第1測定光を対象物20に照射するための第1光学系131と、第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有し、且つ、第1光学系131が有する焦点距離と等しい焦点距離を有し、第2測定光を対象物20に照射するための第2光学系132と、を有する送信部110aと、第1参照光、及び、第1測定光が対象物20で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する第1受信部141aと、第2参照光、及び、第2測定光が対象物20で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する第2受信部142aと、を備え、第1受信部141aが、第1参照光及び第1反射光を合成して、合成後の第1参照光及び第1反射光を第1合成光として出力する第1合成部153と、第1合成部153が出力した第1合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の第1合成光を第1スペクトル分光光として照射する第1分光部155と、アレイ状に並べられた光電素子を有し、第1分光部155から照射された第1スペクトル分光光を受けて、第1合成光の強度を示す情報をアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けて第1受信信号として出力する第1光電変換部161aと、を有し、第2受信部142aが、第2参照光及び第2反射光を合成して、合成後の第2参照光及び第2反射光を第2合成光として出力する第2合成部154と、第2合成部154が出力した第2合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の第2合成光を第2スペクトル分光光として照射する第2分光部156と、アレイ状に並べられた光電素子を有し、第2分光部156から照射された第2スペクトル分光光を受けて、第2合成光の強度を示す情報をアレイ状に並べられた光電素子毎の位置に対応付けて第2受信信号として出力する第2光電変換部162aと、を有するように構成した。
このように構成することで、光距離測定装置100aは、送信部110aから対象物20までの距離測定の範囲を広くしつつ、高精度に当該距離を測定できる。
なお、この発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
この発明に係る光距離測定装置は、加工装置に適用することができる。
10 加工装置、11 チャック、12 加工ヘッド、13 加工ヘッド移動制御部、14 加工ヘッド移動機構、15 チャック移動制御部、16 チャック移動機構、20 対象物、100,100a 光距離測定装置、101 レーザ光源、101a 広帯域レーザ光源、102 掃引部、103,103a 分岐部、104 測定光分岐部、105 参照光分岐部、106 遅延調整部、110,110a 送信部、121 第1光サーキュレータ、122 第2光サーキュレータ、131 第1光学系、132 第2光学系、141,141a 第1受信部、142,142a 第2受信部、151 第1光干渉部、152 第2光干渉部、153 第1合成部、154 第2合成部、155 第1分光部、156 第2分光部、161,161a 第1光電変換部、162,162a 第2光電変換部、171,171a 第1デジタル変換部、172,172a 第2デジタル変換部、181,181a 周波数測定部、182,182a 距離算出部、190 情報送信部。

Claims (7)

  1. 入力された連続波のレーザ光を分岐して、分岐後の前記レーザ光を測定光及び参照光として出力する分岐部と、
    前記分岐部が出力する前記測定光を分岐して、分岐後の前記測定光を第1測定光及び第2測定光として出力する測定光分岐部と、
    前記分岐部が出力する前記参照光を分岐して、分岐後の前記参照光を第1参照光及び第2参照光として出力する参照光分岐部と、
    第1レイリー長を有し、前記第1測定光を対象物に照射するための第1光学系と、
    前記第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有し、且つ、前記第1光学系が有する焦点距離と等しい焦点距離を有し、前記第2測定光を前記対象物に照射するための第2光学系と、
    を有する送信部と、
    前記第1参照光、及び、前記第1測定光が前記対象物で反射した光である第1反射光を受けて、前記第1参照光及び前記第1反射光を示す第1受信信号を出力する第1受信部と、
    前記第2参照光、及び、前記第2測定光が前記対象物で反射した光である第2反射光を受けて、前記第2参照光及び前記第2反射光を示す第2受信信号を出力する第2受信部と、
    を備えたこと
    を特徴とする光距離測定装置。
  2. 前記第1受信信号に基づいて、前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を測定し、測定した前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力し、且つ、前記第2受信信号に基づいて、前記第2参照光及び前記第2反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した前記第2参照光及び前記第2反射光の周波数成分毎の強度を示す第2信号情報を出力する周波数測定部と、
    前記周波数測定部が出力した、前記第1信号情報又は前記第2信号情報に基づいて、前記送信部から前記対象物までの距離を算出し、算出した前記送信部から前記対象物までの距離を示す距離情報を出力する距離算出部と、
    を有すること
    を特徴とする請求項1記載の光距離測定装置。
  3. 前記周波数測定部は、前記第1受信信号と前記第2受信信号とを合成した信号に基づいて、前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力すること
    を特徴とする請求項2記載の光距離測定装置。
  4. 前記測定光分岐部は、前記分岐部が出力する前記測定光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の前記測定光を、前記第1測定光である第1偏波測定光、及び前記第2測定光である第2偏波測定光として出力し、
    前記参照光分岐部は、前記分岐部が出力する前記参照光を偏波分離することにより分岐して、分岐後の前記参照光を、前記第1参照光である第1偏波参照光、及び前記第2参照光である第2偏波参照光として出力すること
    を特徴とする請求項2記載の光距離測定装置。
  5. 前記周波数測定部は、偏波ダイバーシティ方式により、前記第1受信信号又は前記第2受信信号に基づいて、前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を測定して、測定した前記第1参照光及び前記第1反射光の周波数成分毎の強度を示す第1信号情報を出力すること
    を特徴とする請求項4記載の光距離測定装置。
  6. 前記送信部は、
    入力された前記レーザ光を波長掃引して、掃引後の前記レーザ光を掃引光として出力する掃引部を有し、
    前記分岐部は、前記掃引部が出力する前記掃引光を分岐して、分岐後の前記掃引光を前記測定光及び前記参照光として出力し、
    前記第1受信部は、
    前記第1参照光と前記第1反射光とを干渉させて、前記第1参照光と前記第1反射光とを干渉させた後の干渉光を第1干渉光として出力する第1光干渉部と、
    前記第1光干渉部が出力した前記第1干渉光を光電変換して、前記第1干渉光を示す第1アナログ信号を出力する第1光電変換部と、
    前記第1アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の前記第1アナログ信号をデジタル信号である前記第1受信信号として出力する第1デジタル変換部と、
    を有し、
    前記第2受信部は、
    前記第2参照光と前記第2反射光とを干渉させて、前記第2参照光と前記第2反射光とを干渉させた後の干渉光を第2干渉光として出力する第2光干渉部と、
    前記第2光干渉部が出力した前記第2干渉光を光電変換して、前記第2干渉光を示す第2アナログ信号を出力する第2光電変換部と、
    前記第2アナログ信号をA/D変換して、A/D変換後の前記第2アナログ信号をデジタル信号である前記第2受信信号として出力する第2デジタル変換部と、
    を有すること
    を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項記載の光距離測定装置。
  7. 前記分岐部が分岐する前記レーザ光は、複数の周波数を有する前記レーザ光であって、
    前記第1受信部は、
    前記第1参照光及び前記第1反射光を合成して、合成後の前記第1参照光及び前記第1反射光を第1合成光として出力する第1合成部と、
    前記第1合成部が出力した前記第1合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の前記第1合成光を第1スペクトル分光光として照射する第1分光部と、
    アレイ状に並べられた光電素子を有し、前記第1分光部から照射された前記第1スペクトル分光光を受けて、前記第1合成光の強度を示す情報を前記アレイ状に並べられた前記光電素子毎の位置に対応付けて前記第1受信信号として出力する第1光電変換部と、
    を有し、
    前記第2受信部は、
    前記第2参照光及び前記第2反射光を合成して、合成後の前記第2参照光及び前記第2反射光を第2合成光として出力する第2合成部と、
    前記第2合成部が出力した前記第2合成光を空間的にスペクトル分光して、スペクトル分光後の前記第2合成光を第2スペクトル分光光として照射する第2分光部と、
    アレイ状に並べられた光電素子を有し、前記第2分光部から照射された前記第2スペクトル分光光を受けて、前記第2合成光の強度を示す情報を前記アレイ状に並べられた前記光電素子毎の位置に対応付けて前記第2受信信号として出力する第2光電変換部と、
    を有すること
    を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項記載の光距離測定装置。
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