JP6483518B2 - 導電性ポリマー複合体及び基板 - Google Patents
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Description
しかし、このような従来の導電性ポリマーは合成直後では分散液中で粒子が凝集しており、さらに塗布材料として高導電化剤となる有機溶剤を加えるとさらに凝集が促進され、濾過性が悪化する。濾過をせずにスピンコートを行うと、粒子凝集体の影響により平坦な膜が得られず、結果として塗布不良が引き起こされるという問題がある。
(A)π共役系ポリマー、及び
(B)下記一般式(1)で示される繰り返し単位aを含み、重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲のものであるドーパントポリマー、
を含む導電性ポリマー複合体を提供する。
このように、本発明の導電性ポリマー複合体は基板等に塗布・成膜することで導電膜とすることができる。
また、このような導電性ポリマー複合体によって形成された導電膜は、導電性、透明性等に優れるため、透明電極層として機能するものとすることができる。
(A)π共役系ポリマー、及び
(B)下記一般式(1)で示される繰り返し単位aを含み、重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲のものであるドーパントポリマー、
を含む導電性ポリマー複合体である。
本発明の導電性ポリマー複合体は、(A)成分としてπ共役系ポリマーを含む。この(A)成分は、π共役系連鎖(単結合と二重結合が交互に連続した構造)を形成する前駆体モノマー(有機モノマー分子)が重合したものであればよい。
このような前駆体モノマーとしては、例えば、ピロール類、チオフェン類、チオフェンビニレン類、セレノフェン類、テルロフェン類、フェニレン類、フェニレンビニレン類、アニリン類等の単環式芳香族類;アセン類等の多環式芳香族類;アセチレン類等が挙げられ、これらのモノマーの単一重合体又は共重合体を(A)成分として用いることができる。
上記モノマーの中でも、重合の容易さ、空気中での安定性の点から、ピロール、チオフェン、セレノフェン、テルロフェン、アニリン、多環式芳香族化合物、及びこれらの誘導体が好ましく、ピロール、チオフェン、アニリン、及びこれらの誘導体が特に好ましいが、これらに限定されない。
また、(A)成分の分子量としては、130〜5,000程度が好ましい。
本発明の導電性ポリマー複合体は、(B)成分としてドーパントポリマーを含む。この(B)成分のドーパントポリマーは、下記一般式(1)で示される繰り返し単位aを含むα位がフッ素化されたスルホン酸を含む超強酸性ポリアニオンである。
R2は単結合、エステル基、あるいはエーテル基、エステル基のいずれか又はこれらの両方を有していてもよい炭素数1〜12の直鎖状、分岐状、環状の炭化水素基のいずれかであり、炭化水素基としては、例えばアルキレン基、アリーレン基、アルケニレン基等が挙げられる。
Zはフェニレン基、ナフチレン基、エステル基のいずれかである。
aは0<a≦1.0であり、好ましくは0.2≦a≦1.0である。
このような(B)成分であれば、(A)成分と複合体を形成させた際その分散液は濾過性が良好でスピンコートでの成膜性が良く、膜形成した際には透明性が高く平坦性が良好な導電膜を形成することができる。
また、繰り返し単位bを含む場合、導電性向上の観点から、0.3≦b<1.0であることが好ましく、0.3≦b≦0.8であることがより好ましい。
更に、繰り返し単位aと繰り返し単位bの割合は、0.2≦a≦0.7かつ0.3≦b≦0.8であることが好ましく、0.3≦a≦0.6かつ0.4≦b≦0.7であることがより好ましい。
また、繰り返し単位aを与えるモノマーを2種類以上用いる場合は、それぞれのモノマーはランダムに共重合されていてもよいし、ブロックで共重合されていてもよい。ブロック共重合ポリマー(ブロックコポリマー)とした場合は、2種類以上の繰り返し単位aからなる繰り返し部分同士が凝集して海島構造を形成することによってドーパントポリマー周辺に特異な構造が発生し、導電率が向上するメリットが期待される。
なお、(B)成分のドーパントポリマーにおいては、分子量分布(Mw/Mn)は1.0〜2.0、特に1.0〜1.5と狭分散であることが好ましい。狭分散であれば、これを用いた導電性ポリマー複合体によって形成した導電膜の透過率が低くなるのを防ぐことができる。
本発明の導電性ポリマー複合体は、上述の(A)成分であるπ共役系ポリマーと(B)成分であるドーパントポリマーを含むものであり、(B)成分のドーパントポリマーは、(A)成分のπ共役系ポリマーにイオン結合することで、複合体を形成する。
(A)成分と(B)成分の複合体は、例えば、(B)成分の水溶液又は(B)成分の水・有機溶媒混合溶液中に、(A)成分の原料となるモノマー(好ましくは、ピロール、チオフェン、アニリン、又はこれらの誘導体モノマー)を加え、酸化剤及び場合により酸化触媒を添加し、酸化重合を行うことで得ることができる。
フェノール類としては、クレゾール、フェノール、キシレノール等のフェノール類が挙げられる。
細粒化には、高い剪断力を付与できる混合分散機を用いることが好ましい。混合分散機としては、例えば、ホモジナイザ、高圧ホモジナイザ、ビーズミル等が挙げられ、中でも高圧ホモジナイザが好ましい。
高圧ホモジナイザを用いた分散処理としては、例えば、分散処理を施す前の複合体溶液を高圧で対向衝突させる処理、オリフィスやスリットに高圧で通す処理等が挙げられる。
(界面活性剤)
本発明では、基板等の被加工体への濡れ性を上げるため、界面活性剤を添加してもよい。このような界面活性剤としては、ノニオン系、カチオン系、アニオン系の各種界面活性剤が挙げられる。具体的には例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンカルボン酸エステル、ソルビタンエステル、ポリオキシエチレンソルビタンエステル等のノニオン系界面活性剤、アルキルトリメチルアンモニウムクロライド、アルキルベンジルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤、アルキル又はアルキルアリル硫酸塩、アルキル又はアルキルアリルスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩等のアニオン系界面活性剤、アミノ酸型、ベタイン型等の両性イオン型界面活性剤等を挙げることができる。
本発明では、導電性ポリマー複合体の導電率向上及び基板等への塗布・成膜性向上を目的として、主溶剤とは別に有機溶剤を含んでいてもよい。具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−プロパンジオール、ジプロピレングリコール、1,3−ブチレングリコール、1,4−ブチレングリコール、D−グルコース、D−グルシトール、イソプレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、1,2−ペンタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,2−ヘキサンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,9−ノナンジオール、1,3,5−アダマンタントリオール、1,2,3−ブタントリオール、1,2,4−ブタントリオール、1,2,3−シクロヘキサントリオール、1,3,5−シクロヘキサントリオール、ネオペンチルグリコール、ポリエチレングリコール等の多価脂肪族アルコール類、ジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテル、エチレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールジアルキルエーテル、ポリエチレングリコールジアルキルエーテル、ポリプロピレングリコールジアルキルエーテル等の鎖状エーテル類、ジオキサン、テトラヒドロフラン等の環状エーテル化合物、シクロヘキサノン、メチルアミルケトン、酢酸エチル、ブタンジオールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ブタンジオールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ピルビン酸エチル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸tert−ブチル、プロピオン酸t−ブチル、プロピレングリコールモノt−ブチルエーテルアセテート、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、N,N’−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N,N’−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ヘキサメチレンホスホルトリアミド等の極性溶媒、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート化合物、3−メチル−2−オキサゾリジノン等の複素環化合物、アセトニトリル、グルタロニトリル、メトキシアセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリル等のニトリル化合物及びこれらの混合物等を挙げることができる。含有量は1.0〜50.0質量%、特に3.0〜40.0質量%であることが好ましい。これら溶剤は導電性ポリマー複合体の重合前に添加されていてもよく、重合後に添加してもよい。
上述のようにして得られた導電性ポリマー複合体(溶液)は、基板等の被加工体に塗布することにより導電膜を形成できる。導電性ポリマー複合体(溶液)の塗布方法としては、例えば、スピンコーター等による塗布、バーコーター、浸漬、コンマコート、スプレーコート、ロールコート、スクリーン印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷等が挙げられる。塗布後、熱風循環炉、ホットプレート等による加熱処理、IR、UV照射等を行って導電膜を形成することができる。
また、本発明では上述の本発明の導電性ポリマー複合体によって導電膜が形成された基板を提供する。
基板としては、ガラス基板、石英基板、フォトマスクブランク基板、樹脂基板、シリコンウエハー、ガリウム砒素ウエハー、インジウムリンウエハー等の化合物半導体ウエハー、フレキシブル基板等が挙げられる。また、フォトレジスト膜上に塗布して帯電防止トップコートとして使用することも可能である。
また、このような導電性ポリマー複合体によって形成された導電膜は、導電性、透明性等に優れるため、透明電極層として機能するものとすることができる。
モノマー2:ベンジルトリメチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(メタクリロイルオキシ)プロパン−1−スルホネート
モノマー3:ベンジルトリメチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(3−メタクリロイルオキシ−アダマンタン−1−カルボニルオキシ)−プロパン−1−スルホネート
モノマー4:ベンジルトリメチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(4−アクリロイルオキシ−ベンゼン−1−カルボニルオキシ)−プロパン−1−スルホネート
モノマー5:テトラブチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(アクリロイルオキシ)プロパン−1−スルホネート
モノマー6:ベンジルトリメチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(4−メタクリロイルオキシ−4−メチルアダマンタン−1−カルボニルオキシ)−プロパン−1−スルホネート
モノマー7:ベンジルトリメチルアンモニウム 1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(4−メタクリロイルオキシ−4−メチルシクロヘキサン−1−カルボニルオキシ)−プロパン−1−スルホネート
(合成例1)
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー1の30.9gとスチレンスルホン酸19.1gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル4.77gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体42.5gを得た。
得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー1:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=29,900
分子量分布(Mw/Mn)=1.91
この高分子化合物を(ドーパントポリマー1)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー3の38.3gとスチレンスルホン酸リチウム11.7gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル2.82gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体46.8gを得た。
得られた白色重合体をメタノール421gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー3:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=43,000
分子量分布(Mw/Mn)=1.77
この高分子化合物を(ドーパントポリマー2)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー4の37.5gとスチレンスルホン酸リチウム12.5gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル3.04gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体47.1gを得た。
得られた白色重合体をメタノール424gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー4:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=39,000
分子量分布(Mw/Mn)=1.81
この高分子化合物を(ドーパントポリマー3)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー4の54.5gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル4.19gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体43.6gを得た。
得られた白色重合体をメタノール396gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
重量平均分子量(Mw)=24,400
分子量分布(Mw/Mn)=1.94
この高分子化合物を(ドーパントポリマー4)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー2の20.4gとスチレンスルホン酸リチウム17.3gと4−(1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−プロパノール)スチレン12.3g及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル4.19gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体44.0gを得た。
得られた白色重合体をメタノール396gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー2:スチレンスルホン酸:4−(1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−プロパノール)スチレン=1:2:1
重量平均分子量(Mw)=29,900
分子量分布(Mw/Mn)=1.91
この高分子化合物を(ドーパントポリマー5)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー5の25.3gとスチレンスルホン酸リチウム19.1gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル3.34gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体39.6gを得た。
得られた白色重合体をメタノール414gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー5:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=28,700
分子量分布(Mw/Mn)=1.58
この高分子化合物を(ドーパントポリマー6)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー6の32.0gとスチレンスルホン酸リチウム19.1gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル3.34gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体46.9gを得た。
得られた白色重合体をメタノール414gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー6:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=45,100
分子量分布(Mw/Mn)=1.93
この高分子化合物を(ドーパントポリマー7)とする。
窒素雰囲気下、64℃で撹拌したメタノール37.5gに、モノマー7の29.4gとスチレンスルホン酸リチウム19.1gと2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル3.34gをメタノール112.5gに溶かした溶液を4時間かけて滴下した。さらに64℃で4時間撹拌した。室温まで冷却した後、1,000gの酢酸エチルに激しく撹拌しながら滴下した。生じた固形物を濾過して取り、50℃で15時間真空乾燥して、白色重合体44.1gを得た。
得られた白色重合体をメタノール414gに溶解し、イオン交換樹脂を用いてアンモニウム塩とリチウム塩をスルホ基に変換した。得られた重合体を19F,1H−NMR、及びGPC測定したところ、以下の分析結果となった。
共重合組成比(モル比) モノマー7:スチレンスルホン酸=1:1
重量平均分子量(Mw)=48,300
分子量分布(Mw/Mn)=1.98
この高分子化合物を(ドーパントポリマー8)とする。
(調製例1)
3.82gの3,4−エチレンジオキシチオフェンと、15.0gのドーパントポリマー1を1,000mLの超純水に溶かした溶液とを30℃で混合した。
これにより得られた混合溶液を30℃に保ち、撹拌しながら、100mLの超純水に溶かした8.40gの過硫酸ナトリウムと2.3gの硫酸第二鉄の酸化触媒溶液とをゆっくり添加し、4時間撹拌して反応させた。
得られた反応液に1,000mLの超純水を添加し、限外濾過法を用いて約1,000mL溶液を除去した。この操作を3回繰り返した。
そして、上記濾過処理が行われた処理液に200mLの10質量%に希釈した硫酸と2,000mLのイオン交換水を加え、限外濾過法を用いて約2,000mLの処理液を除去し、これに2,000mLのイオン交換水を加え、限外濾過法を用いて約2,000mLの液を除去した。この操作を3回繰り返した。
得られた処理液を陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂で精製した後、さらに2,000mLのイオン交換水を加え、限外濾過法を用いて約2,000mLの処理液を除去した。この操作を5回繰り返し、1.3質量%の青色の導電性ポリマー複合体分散液1を得た。
限外濾過膜の分画分子量:30K
クロスフロー式
供給液流量:3,000mL/分
膜分圧:0.12Pa
なお、他の調製例でも同様の条件で限外濾過を行った。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー2に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を2.73g、過硫酸ナトリウムの配合量を6.01g、硫酸第二鉄の配合量を1.64gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液2を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー3に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を3.38g、過硫酸ナトリウムの配合量を7.44g、硫酸第二鉄の配合量を2.03gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液3を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー4に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を2.56g、過硫酸ナトリウムの配合量を5.63g、硫酸第二鉄の配合量を1.53gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液4を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー5に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を4.77g、過硫酸ナトリウムの配合量を10.49g、硫酸第二鉄の配合量を2.86gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液5を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー6に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を3.93g、過硫酸ナトリウムの配合量を8.65g、硫酸第二鉄の配合量を2.36gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液6を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー7に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を2.73g、過硫酸ナトリウムの配合量を6.01g、硫酸第二鉄の配合量を1.64gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液7を得た。
調製例1のドーパントポリマー1をドーパントポリマー8に変更し、3,4−エチレンジオキシチオフェンの配合量を2.96g、過硫酸ナトリウムの配合量を6.51g、硫酸第二鉄の配合量を1.78gに変更する以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体分散液8を得た。
(調製例9)
27.3gの2−メトキシアニリンと、53.4gのドーパントポリマー1を1,000mLの超純水に溶かした溶液を25℃で混合した。
混合溶液を0℃に保ち、撹拌しながら200mLの超純水に溶かした45.8gの過硫酸アンモニウムをゆっくり添加し反応させた。
得られた反応液を濃縮後にアセトン4,000mLに滴下し、緑色粉末を得た。この緑色粉末を再度1,000mLの超純水に分散させ、アセトン4,000mLに滴下することで緑色粉末を精製、再晶出させた。この操作を3回繰り返し、得られた緑色粉末を2,000mLの超純水に再分散させ、限外濾過法を用いて約1,000mLの水を除去した(1回目)。これに超純水を加えて2,000mLとしたものから、2回目の限外濾過により約1,000mLの水を除去した。この操作を10回繰り返し、導電性ポリマー複合体分散液を得た。この分散液をアセトン4,000mLに滴下することで精製された緑色粉末(導電性ポリマー複合体9)を得た。
調製例9のドーパントポリマー1を74.7gのドーパントポリマー2に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体10を得た。
調製例9のドーパントポリマー1を60.3gのドーパントポリマー3に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体11を得た。
調製例9のドーパントポリマー1を79.8gのドーパントポリマー4に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体12を得た。
調製例9のドーパントポリマー1を42.8gのドーパントポリマー5に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体13を得た。
調製例9の5ドーパントポリマー1を51.9gのドーパントポリマー6に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体14を得た。
調製例9の5ドーパントポリマー1を74.7gのドーパントポリマー7に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体15を得た。
調製例9の5ドーパントポリマー1を68.9gのドーパントポリマー8に変更する以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体16を得た。
(比較調製例1)
5.0gの3,4−エチレンジオキシチオフェンと、83.3gのポリスチレンスルホン酸水溶液(Aldrich製18.0質量%)を250mLのイオン交換水で希釈した溶液とを30℃で混合した。それ以外は調製例1と同様の方法で調製を行い、1.3質量%の青色の導電性ポリマー複合体分散液17(PEDOT−PSS分散液)を得た。
27.3gの2−メトキシアニリンと、226gのポリスチレンスルホン酸水溶液(Aldrich製18.0質量%)を400mLのイオン交換水に溶かした溶液とを0℃で混合した。それ以外は調製例9と同様の方法で調製を行い、導電性ポリマー複合体18を得た。
調製例1〜8で得た1.3質量%の導電性ポリマー複合体分散液1〜8を20g、5質量%のジメチルスルホキシド、及び0.3質量%のフルオロアルキルノニオン系界面活性剤FS−31(DuPont社製)を混合し、その後、孔径0.45μmの再生セルロースフィルター(ADVANTEC社製)を用いて濾過して導電性ポリマー組成物を調製し、それぞれ実施例1〜8とした。また、調製例9〜16で得た導電性ポリマー複合体(粉末)9〜16を2.8質量%の分散液とし、そこへ0.3質量%のフルオロアルキルノニオン系界面活性剤FS−31(DuPont社製)を混合した。その後、孔径0.45μmの再生セルロースフィルター(ADVANTEC社製)を用いて濾過して導電性ポリマー組成物を調製し、それぞれ実施例9〜16とした。
比較調製例1で得た導電性ポリマー複合体分散液17は実施例1〜8と同様に、比較調製例2で得た導電性ポリマー複合体18は実施例9〜16と同様にして導電性ポリマー組成物を調製し、それぞれ比較例1、2とした。
(濾過性)
上記の実施例および比較例の導電性ポリマー組成物の調製において、孔径0.45μmの再生セルロースフィルターを用いて濾過を行った際に、濾過できたものを○、フィルターが目詰まりを起こし濾過できなかったものを×として表1及び表2に示す。
まず、導電性ポリマー組成物を、1H−360S SPINCOATER(MIKASA製)を用いて膜厚が100±5nmとなるように、Siウエハー上に回転塗布(スピンコート)した。次に、精密恒温機にて120℃、5分間ベークを行い、溶媒を除去することにより導電膜を得た。この導電膜に対して、入射角度可変の分光エリプソメーター VASE(J.A.ウーラム社製)で波長636nmにおける屈折率(n,k)を求めた。均一膜を形成できたものを○、屈折率の測定はできたが膜にパーティクル由来の欠陥や部分的にストリエーションが発生したものを×として表1及び表2に示す。
入射角度可変の分光エリプソメーター(VASE)によって測定された消光係数(k値)より、FT=200nmにおける波長550nmの光線に対する透過率を算出した。その結果を表1及び表2に示す。
まず、直径4インチ(100mm)のSiO2ウエハー上に、導電性ポリマー組成物1.0mLを滴下後、10秒後にスピンナーを用いて全体に回転塗布した。回転塗布条件は膜厚が100±5nmとなるよう調節した。精密恒温機にて120℃、5分間ベークを行い、溶媒を除去することにより導電膜を得た。
得られた導電膜の導電率(S/cm)は、Hiresta−UP MCP−HT450、Loresta−GP MCP−T610(いずれも三菱化学社製)を用いて測定した表面抵抗率(Ω/□)と膜厚の実測値から求めた。その結果を表1及び表2に示す。
導電率の評価方法と同様にして、直径4インチ(100mm)のSiO2ウエハー上に導電膜を得た。NX10(Parks Systems社製)により、Ra値(平均粗さ)を測定した。その結果を表1及び表2に示す。
導電性ポリマー組成物の固形分含有量を、実施例1〜8及び比較例1は1.3wt%、実施例9〜16及び比較例2は2.8wt%とし、液温度が25℃になるように調節した。音叉型振動式粘度計 SV−10(エー・アンド・デイ社製)の付属専用測定セルに35mLを計りとり、調製直後の粘度を測定した。その結果を表1及び表2に示す。
Claims (8)
- 前記(B)成分が、ブロックコポリマーであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の導電性ポリマー複合体。
- 前記(A)成分は、ピロール、チオフェン、セレノフェン、テルロフェン、アニリン、多環式芳香族化合物、及びこれらの誘導体からなる群から選択される1種以上の前駆体モノマーが重合したものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の導電性ポリマー複合体。
- 前記導電性ポリマー複合体は、水又は有機溶剤に分散性をもつものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の導電性ポリマー複合体。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の導電性ポリマー複合体によって導電膜が形成されたものであることを特徴とする基板。
- 前記導電膜が、透明電極層として機能するものであることを特徴とする請求項7に記載の基板。
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