JP6481983B2 - 表面被覆工具 - Google Patents
表面被覆工具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6481983B2 JP6481983B2 JP2016500420A JP2016500420A JP6481983B2 JP 6481983 B2 JP6481983 B2 JP 6481983B2 JP 2016500420 A JP2016500420 A JP 2016500420A JP 2016500420 A JP2016500420 A JP 2016500420A JP 6481983 B2 JP6481983 B2 JP 6481983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- base material
- substrate
- coating
- adhesion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 115
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 115
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 145
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 117
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 94
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 79
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 56
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 33
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 29
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 436
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 description 53
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 52
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 49
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 38
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 17
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 16
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 10
- 229910009043 WC-Co Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 4
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 4
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021476 group 6 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008482 TiSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N isoniazide Chemical compound NNC(=O)C1=CC=NC=C1 QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000000550 scanning electron microscopy energy dispersive X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004841 transmission electron microscopy energy-dispersive X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
- B23B27/148—Composition of the cutting inserts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
- B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B51/00—Tools for drilling machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C5/00—Milling-cutters
- B23C5/16—Milling-cutters characterised by physical features other than shape
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0635—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23B2228/10—Coatings
- B23B2228/105—Coatings with specified thickness
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
- B23C2228/10—Coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。下記〔1〕〜〔4〕によれば、主に上記第1の目的が達成される。下記〔5〕〜〔13〕によれば、主に上記第2の目的が達成される。
以下、本発明の実施形態(以下「本実施形態」とも記す)について詳細に説明するが、本実施形態はこれらに限定されるものではない。以下では図面を参照しながら説明するが、本明細書および図面では、同一または対応する要素に同一の符号を付すものとし、それらについて同じ説明は繰り返さない。
第1の実施形態によれば、主に上記第1の目的が達成される。
図1は本実施形態の表面被覆工具の構成の一例を示す模式的な部分断面図である。図1を参照して表面被覆工具100は、基材101と、基材101上に形成された被膜110とを備えている。被膜110は、A層112aとB層112bとが交互にそれぞれ1層以上積層された交互層112を含んでいる。さらに被膜110は、交互層112と基材101との間に密着層111を含んでいる。
基材101は、たとえば超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体等から構成される。これらのうち超硬合金は、耐摩耗性ならびに被膜との密着性の観点から特に好ましい。すなわち基材101は、WCを含有する硬質粒子と、Coを含有し該硬質粒子同士を互いに結合する結合相とを含むことが好ましい。こうしたWC−Co系超硬合金基材はWCとCoとを含む限り、これらの他に任意の成分を含むことができる。たとえばWCとCoの他にTi、Ta(タンタル)、Nb等の炭窒化物等が添加されていてもよいし、製造時に不可避的に混入する不純物を含んでいてもよい。さらに組織中に遊離炭素もしくは「η層」と呼ばれる異常層が含まれていても構わない。基材101は、その表面が改質されたものであってもよい。たとえば基材101の表面に脱β層等が形成されていてもよい。
被膜110は、A層112aとB層112bとが交互にそれぞれ1層以上積層された交互層112を含む。さらに被膜110は交互層112と基材101との間に密着層111を含んでいる。ここで被膜110は少なくとも切れ刃部分に設けられていればよく、必ずしも基材101の全面を一様に被覆するものでなくてもよい。すなわち、基材101において部分的に被膜が形成されていない態様、あるいは部分的に被膜の積層構造が異なっている態様も本実施形態に包含される。被膜110は交互層112および密着層111の他に、さらに別の層を含むこともあり得る。たとえば被膜110は、最表面にTiN等から構成される色付け層を含むこともある。
交互層112は、A層112aとB層112bとが交互にそれぞれ1層以上積層されてなる。A層112aおよびB層112bは、ともにTi、AlおよびSiの窒化物であるが、少なくともTiおよびAlの組成比が異なっており、これによりA層とB層との境界に僅かな歪みが生じて亀裂の伝播を阻止する作用が発現する。さらにA層112aとB層112bとでは、構成元素が共通することから層間の密着性も高い。
A層112aの平均組成は、TiaAlbSicN(ただし、0.5<a<0.8、0.2<b<0.4、0.01<c<0.1、a+b+c=1)で表される。このようにTiがAlに比べて多い組成を採用する点において、本実施形態は従来技術と思想を異にしている。なぜなら従来、TiAlN系の被膜ではAlの組成比が高い方が、硬度が高まり工具寿命を長くできるとされてきたからである。しかし本発明者が、難削材(ステンレス鋼、インコネル等)の切削加工における刃先の損傷形態を詳細に解析したところ、Tiの組成比を高めることによりクレータ摩耗に対する耐性が向上し、工具寿命はむしろ長くなることが見出された。ここで本発明者の研究によれば、Tiの組成比は0.55≦a≦0.65を満たし、Alの組成比は0.25≦b<0.40を満たすことがより好ましい。工具寿命がいっそう長くなるからである。
B層112bの平均組成は、TidAleSifN(ただし、0.4<d<0.6、0.3<e<0.7、0.01<f<0.1、d+e+f=1)で表される。A層112aとB層112bとが同一元素から構成されることにより、これらの化学的親和性が高まり、両者の密着性が確保される。さらに本実施形態では、上記のA層112aの組成との間で、0.05<a−d≦0.2かつ0.05<e−b≦0.2となる関係が満たされている。こうした差異を設けることにより、A層112aとB層112bとの境界において、転位(欠陥)に至らないまでの歪みが生じて、亀裂の伝播を阻止することができる。「a−d」および「e−b」が0.05以下になると、A層112aとB層112bの組成が近づき過ぎて、従来の単一組成を有する被膜の如く、亀裂の伝播が抑えられなくなる。他方「a−d」および「e−b」が0.2を超えると、組成が離れすぎてA層112aとB層112bとの密着性が低下することとなる。本発明者の研究によれば、「a−d」および「e−b」は、0.05<a−d≦0.1かつ0.05<e−b≦0.1となる関係を満たすことがより好ましい。亀裂伝播の抑制作用ならびに層間の密着性がよりいっそう向上するからである。
A層112aおよびB層112bの厚さは、それぞれ2nm以上100nm以下である。厚さが2nmよりも薄いと、隣り合うA層とB層とが混ざり合って、A層とB層との間で亀裂の伝播を阻止する作用が弱まり、厚さが100nmよりも厚いとA層とB層との密着性が低下するからである。各層の厚さが2nm以上100nm以下であれば、被膜110の表面で発生した亀裂の伝播を抑制し、かつ各層間の密着性を高めることができる。各層の厚さは、より好ましくは2nm以上80nm以下であり、さらに好ましくは2nm以上50nm以下であり、特に好ましくは2nm以上30nm以下であり、最も好ましくは5nm以上20nm以下である。各層の厚さを上記範囲に規制することにより、結晶粒が微細になって粒界面積が増加し、粒界において塑性変形および亀裂の進展を阻止する作用が高められるからである。
(交互層全体としてのTiの組成比)=(a×λA+d×λB)/(λA+λB)
によって算出するものとする。
(交互層全体としてのAlの組成比)=(b×λA+e×λB)/(λA+λB)
によって算出するものとする。
被膜110は、基材101と接する部分に密着層111をさらに含むことができる。被膜110が密着層111を含むことにより、被膜110の剥離が防止され、工具寿命がいっそう安定化する。密着層111は、交互層112および基材101の双方と化学的親和性を有することが望ましい。したがって密着層111は、基材101を構成する元素(超硬合金の場合はW、C等)と、交互層112を構成する元素(Al、Si、N)とを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物であることが望ましい。さらに本発明者が行った実験から、こうした炭化物、窒化物もしくは炭窒化物がCr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素を含むことにより、密着性が顕著に向上することが見出されている。
〔a〕Ti、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWTiC、WTiN、WTiCN等)
〔b〕Cr、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWCrC、WCrN、WCrCN等)
〔c〕Ti、Cr、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWCrTiC、WCrTiN、WCrTiCN等)
〔d〕Ti、Al、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWTiAlC、WTiAlN、WTiAlCN等)
〔e〕Ti、Si、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWTiSiC、WTiSiN、WTiSiCN等)
〔f〕Ti、Cr、Al、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWCrTiAlC、WCrTiAlN、WCrTiAlCN等)
〔g〕Ti、Cr、Si、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWCrTiSiC、WCrTiSiN、WCrTiSiCN等)
〔h〕Ti、Al、Si、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWTiAlSiC、WTiAlSiN、WTiAlSiCN等)
〔i〕Ti、Cr、Al、Si、Wを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物(たとえばWCrTiAlSiC、WCrTiAlSiN、WCrTiAlSiCN等)
〔j〕上記の〔a〕〜〔i〕においてCrの全部または一部をTi、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素と置き換えたもの。
基材101が超硬合金であり、密着層111が炭窒化物である場合、密着層111の厚さ方向において、密着層111に含まれる炭素(C)の組成比が、交互層112側から基材101側に向かって連続的に増加し基材101との界面で最大となり、かつ密着層111に含まれる窒素(N)の組成比が、基材101側から交互層112側に向かって連続的に増加し交互層112との界面で最大となることが望ましい。本実施形態では、超硬合金は炭化物(WC)を含み、交互層112は窒化物(TiAlSiN)を含むことから、密着層111内でCおよびNの組成比率が上記のように変化することにより、基材101および交互層112の双方との化学的親和性がよりいっそう向上する。こうした組成比の変化は、たとえば後述するカソードアークイオンプレーティング法において、Nの原料ガスとCの原料ガスとの流量比を連続的に変化させながら成膜を行うことにより実現できる。
密着層111と基材101とが接する部分において硬質粒子(WC粒子)の占有率は80%以上であることが好ましい。密着層111と基材101との界面に軟質な結合相(Co等)が存在しないほど、密着層111と基材101との密着力が高まるからである。ここで当該占有率は、本来、界面における面積占有率であるが、本明細書では次のように表面被覆工具の断面において定義される。すなわち表面被覆工具100をその表面に対する法線を含む平面で切断し、得られた切断面中の密着層111と基材101との界面において長さが3μmの基準線を設定し、該基準線上において密着層111と硬質粒子とが接触している部分の合計長さを測定し、該合計長さを基準線の長さ(3μm)で除した値の百分率をWC粒子の占有率と定義するものとする。かかる占有率は大きいほど好ましく理想的には100%であるが、生産性を考慮すると、その上限値はたとえば99%程度である。
以上に説明した本実施形態の表面被覆工具は、次のような方法によって製造することができる。当該製造方法は、少なくとも基材を準備する工程と、被膜を形成する工程とを備える。
この工程では基材101が準備される。たとえば、基材101として超硬合金基材が準備される。超硬合金基材は、一般的な粉末冶金法によって準備され得る。たとえばボールミル等によってWC粉末とCo粉末等とを混合して混合粉末を得、該混合粉末を乾燥した後、所定の形状に成形して成形体を得、さらに該成形体を焼結することにより、WC−Co系超硬合金(焼結体)が得られる。次いで該焼結体に対して、ホーニング処理等の所定の刃先加工を施すことにより、WC−Co系超硬合金からなる基材101を準備することができる。
被膜110を難削材の切削における高温にも耐え得る膜とするためには、被膜110を結晶性の高い化合物から構成することが望ましい。本発明者がそのような被膜を開発すべく、各種成膜技術を検討したところ、物理蒸着法が好ましいことが見出された。物理蒸着法とは、物理的な作用を利用して原料(蒸発源、ターゲットともいう)を気化させ、気化した原料を基材上に付着せしめる蒸着方法である。そうした物理蒸着法としては、たとえばカソードアークイオンプレーティング法、バランスドマグネトロンスパッタリング法、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法等がある。
これらの物理蒸着法のうちカソードアークイオンプレーティング法が、原料のイオン化率が高く特に好適である。さらに成膜方法としてカソードアークイオンプレーティング法を採用することにより、被膜110を形成する前に、基材101の表面に対してイオンボンバードメント処理を施すことができる。これにより基材101の表面から軟質な結合相を除去することができ、この後に密着層111を形成することにより、前述した密着層111と基材101とが接する部分における硬質粒子の占有率を高めることができる。
さらにイオンボンバードメント処理において、Cr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素を含むターゲットを使用することにより、基材101の表面を洗浄しながら、これらの元素を基材101の表面に付着させることができる。これらの元素が付着した表面上に交互層112を形成することにより、密着力に優れる密着層111を形成することができる。ここでイオンボンバードメント処理に使用され、かつ密着層111に含まれる元素には、少なくともCrが含まれることが望ましい。Crは昇華性の元素であるため、イオンボンバードメント処理の際に溶融粒子(ドロップレット)の発生が少なく、基材101の表面荒れを防止できるからである。
A層112aとB層112bとが交互にそれぞれ1層以上積層された交互層112を形成する方法としては、各種の方法が考えられる。たとえば、Ti、AlおよびSiの粒径をそれぞれ変化させた焼結合金製ターゲットを使用する方法、それぞれ組成の異なる複数のターゲットを使用する方法、成膜時に印可するバイアス電圧をパルス電圧とするかあるいはガス流量を変化させる方法、成膜装置において基材を保持する基材ホルダの回転周期を調整する方法等が考えられる。もちろんこれらの操作を組み合わせて交互層を形成することもできる。
第2の実施形態によれば、主に上記第2の目的が達成される。
図5は第2の実施形態の表面被覆工具の構成の一例を示す模式的な部分断面図である。図5を参照して表面被覆工具200は、基材201と、基材201上に形成された被膜210とを備えている。被膜210は、基材201と接する密着層211と、密着層211上に形成された上部層212とを含んでいる。
基材201はWC−Co系超硬合金であり、WC粒子と、Coを含有しWC粒子同士を互いに結合する結合相とを含む。基材201は、これらを含む限り、これらの他に任意の成分を含むことができる。たとえばWC粒子とCoの他にTi、Ta、Nb等の炭窒化物等が添加されていてもよいし、製造時に不可避的に混入する不純物を含んでいてもよい。さらに組織中に遊離炭素もしくは「η層」と呼ばれる異常層が含まれていても構わない。基材201は、その表面が改質されたものであってもよい。たとえば基材201の表面に脱β層が形成されていてもよい。
被膜210は、基材201と接する密着層211と、密着層211上に形成された上部層212とを含む。被膜210は少なくとも切れ刃部分に設けられていればよく、必ずしも基材201の全面を一様に被覆するものでなくてもよい。すなわち、基材201において部分的に被膜が形成されていない態様、あるいは部分的に被膜の積層構造が異なっている態様も本実施形態に包含される。被膜210は密着層211および上部層212の他に、さらに別の層を含むこともあり得る。たとえば被膜210は、最表面にTiN等から構成される色付け層を含むこともある。
上部層212は、単一層であってもよいし複数の層が積層されたものであってもよい。また上部層212は、その全部または一部に、層を構成する化合物の組成が厚さ方向において周期的に変化する変調構造、もしくは組成の異なる2種以上の単位層がそれぞれ0.2nm以上20nm以下の厚さで周期的に繰り返し積層された超多層構造等を含んでいてもよい。上部層212は、第1の実施形態において説明した交互層であってもよい。
密着層211は基材201と接する部分に形成されている。表面被覆工具200が密着層211を備えることにより、被膜210の剥離が抑制され、従来に比し工具寿命が延長される。密着層211の厚さは0.5nm以上20nm以下である。厚さが0.5nm未満であると所望の密着作用が得られない場合があり、厚さが20nmを超えると密着層211内の残留応力が大きくなって、かえって剥離しやすくなる場合もあるからである。密着層211の厚さは、より好ましくは0.5nm以上10nm以下であり、特に好ましくは2nm以上6nm以下である。
MaTibAlcSidWeCN(ただし、0<a≦0.30、0≦b≦0.80、0≦c≦0.60、0≦d≦0.10、a+b+c+d+e=1)
で表されることが望ましい。
上部層212が窒化物であり、密着層211が炭窒化物である場合、密着層211の厚さ方向において、密着層211に含まれるCの組成比が、上部層212側から基材201側に向かって連続的に増加し基材201との界面で最大となり、かつ密着層211に含まれるNの組成比が、基材201側から上部層212側に向かって連続的に増加し上部層212との界面で最大となることが望ましい。基材201は炭化物(WC)を含み、上部層212は窒化物(TiAlSiN等)を含むことから、密着層211内でCおよびNの組成比率が上記のように変化することにより、基材201および上部層212の双方との化学的親和性がよりいっそう向上する。こうした組成比の変化は、たとえばカソードアークイオンプレーティング法において、Nの原料ガスとCの原料ガスとの流量比を連続的に変化させながら成膜を行うことにより実現できる。
密着層211と基材201とが接する部分においてWC粒子の占有率は80%以上が好ましく、90%以上がより好ましい。密着層211と基材201との界面に軟質な結合相(Co等)が存在しないほど、密着層211と基材201との密着力が高まるからである。ここで当該占有率は、第1の実施形態で説明したように表面被覆工具の断面において定義される。占有率は大きいほど好ましく理想的には100%であるが、生産性を考慮すると、その上限値はたとえば99%程度である。
以上に説明した本実施形態の表面被覆工具は、次のような方法によって製造することができる。図10は本実施形態に係る表面被覆工具の製造方法の概略を示すフローチャートである。図10を参照して当該製造方法は、基材を準備する工程(S100)と、被膜を形成する工程(S200)とを備えており、被膜を形成する工程(S200)は、基材の表面にCr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素を付着させる工程(S220)と、密着層を形成する工程(S230)と、上部層を形成する工程(S240)とを含んでいる。以下、各工程について説明する。
この工程では、WC粒子と、Coを含有しWC粒子同士を互いに結合する結合相とを含む基材201を準備する。こうしたWC−Co系超硬合金基材は、一般的な粉末冶金法によって準備することができる。たとえばボールミルによってWC粉末とCo粉末等とを混合して混合粉末を得、該混合粉末を乾燥した後、所定の形状に成形して成形体を得、さらに該成形体を焼結することにより、WC−Co系超硬合金(焼結体)が得られる。次いで該焼結体に対して、ホーニング処理等の所定の刃先加工を施すことにより、WC−Co系超硬合金からなる基材201を準備することができる。
被膜210を難削材の切削における高温にも耐え得る膜とするためには、被膜210を結晶性の高い化合物から構成することが望ましい。本発明者がそのような被膜を開発すべく、各種成膜技術を検討したところ、物理蒸着法が好ましいことが見出された。物理蒸着法とは、物理的な作用を利用して原料(蒸発源、ターゲットともいう)を気化させ、気化した原料を基材上に付着せしめる蒸着方法である。そうした物理蒸着法としては、たとえばカソードアークイオンプレーティング法、バランスドマグネトロンスパッタリング法、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法等がある。
本実施形態では、被膜210を形成する前に、密着層211の一部となるべき元素(Cr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上)を基材201の表面に付着させる。たとえば、基材201の表面に対して、これらの元素をターゲットとするイオンボンバードメント処理を施すことにより、基材201の表面を洗浄すると共に、これらの元素を基材201の表面に付着させることができる。すなわち付着させる工程(S220)は、Cr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素のイオンを用いたイオンボンバードメント処理によって基材201の表面を洗浄する工程(S221)を含むことができる。これにより、基材201の表面から軟質な結合相を除去して、表面におけるWC粒子の占有率を高めることができ、その結果、前述した密着層211と基材201とが接する部分におけるWC粒子の占有率を高めることができる。WC粒子の占有率は、たとえばイオンボンバードメント処理の処理時間によって調整することができる。
本実施形態では、基材201の表面にCr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素を付着させた後、当該表面上に密着層211を形成する。密着層211の形成は、Cr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素が付着した表面上に、たとえばカソードアークイオンプレーティング法によって上部層を構成する元素を堆積させることにより行う。これにより基材201上にCr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素と、基材201を構成する元素から選択される1種以上の元素と、上部層212を構成する元素から選択される1種以上の元素とを含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物を生成させることができる。
その後、引き続きカソードアークイオンプレーティング法によって、上部層212を構成する元素を密着層211上に堆積することによって上部層212を形成することができる。
第1の実施例は、上記第1の実施形態に対応するものである。
以下のように表面被覆工具(試料No.1−1〜1−8ならびに試料No.1−11〜1−14)を製造し、切削試験を実施して工具寿命を評価した。ここでは試料No.1−1〜1−8が実施例に相当し、試料No.1−11〜1−14が比較例に相当する。
先ず基材101として、材質が「ISO P30グレード」であり、形状が「SFKN12T3AZTN」である超硬合金基材を準備した。この超硬合金基材は、WCを含有する硬質粒子と、Coを含有し該硬質粒子同士を互いに結合する結合相とを含むものである。またこの超硬合金基材において、WC粒子の粒径は2μmであり、Coの含有量は10質量%である。
図3は被膜の形成に使用した成膜装置(カソードアークイオンプレーティング装置)の模式的な側面透視図であり、図4は同装置の模式的な平面透視図(上方から見たもの)である。図3を参照して、成膜装置1は、チャンバ2と、チャンバ2に原料ガスを導入するためのガス導入口13と、原料ガスを外部に排出するためのガス排出口12とを備える。チャンバ2は真空ポンプ(図示せず)に接続されており、ガス排出口12を通じてチャンバ2内の圧力を調整できるように構成されている。
先ず成膜装置1内の基材ホルダ11に基材101を設置した。次いで真空ポンプによってチャンバ2内の圧力を1.0×10-4Paまで減圧した。さらに回転テーブル3を回転させながら、成膜装置1内に設置されたヒータ(図示せず)によって基材101を500℃に加熱した。
基材の温度:500℃(一定)
反応ガス圧:0.5〜10Pa(一定あるいは連続的に変化)
バイアス電圧:−30V〜−800V(一定あるいは連続的に変化)
アーク電流:100A(一定)
ここで「一定あるいは連続的に変化」とは、たとえば「0.5〜10Pa」の範囲内のある一定値に維持するか、あるいは「0.5〜10Pa」の範囲内で連続的に増加もしくは減少させることを意味している。
表1に示すように、試料No.1−5〜1−8では交互層に加え密着層を形成した。すなわち上記と同様に、Arイオンを用いたイオンボンバードメント処理により基材101の表面を洗浄した後、さらにCrイオンを用いたイオンボンバードメント処理を実施し、基材101の表面にCrイオンを付着させた。その上で表1に示す交互層を形成した。成膜後、TEM−EDX分析を実施したところ、交互層と基材との界面に表1に示す組成の密着層が形成されていた。
表1に示すように、試料No.1−11〜1−13では単一組成の被膜を形成した。表1中、これらの工具における被膜組成は便宜上A層の欄に記載している。
上記で作製した各試料を使用し、乾式の断続切削試験を行って工具寿命を評価した。切削条件は次の通りとし、工具寿命に至るまでの切削距離を測定した。結果を表1に示す。表1中、切削距離が長いほど工具寿命が長いことを示している。
被削材:ステンレス鋼(SUS316)
切削速度:200m/min
送り速度:0.2mm/刃
切り込み量ap:2.0mm
切り込み量ae:50mm
ここで「切り込み量ap」は軸方向の切り込み量を、「切り込み量ae」は半径方向の切り込み量をそれぞれ示している。
<試料No.2−1〜2−25ならびに試料No.2−101〜2−105の製造>
以下のように表面被覆工具(試料No.2−1〜2−25ならびに試料No.2−101〜2−105)を製造し、切削試験を実施して工具寿命を評価した。ここでは試料No.2−1〜2−23が実施例に相当し、試料No.2−24および2−25ならびにNo.2−101〜2−105が比較例に相当する。
先ず基材201として、材質が「ISO P30グレード」であり、形状が「SFKN12T3AZTN」である超硬合金基材を準備した。この超硬合金基材は、WC粒子と、Coを含有しWC粒子同士を互いに結合する結合相とを含むものである。各試料におけるWC粒子の粒径および結合相の含有量を表2に示す。
図8は被膜の形成に使用した成膜装置(カソードアークイオンプレーティング装置)の模式的な側面透視図であり、図9は同装置の模式的な平面透視図(上方から見たもの)である。
ガス導入口33からArガスを導入し、チャンバ22内の圧力を3.0Paに保持しながら、バイアス電源28の電圧を−1000Vまで徐々に上げ、Arイオンを用いたイオンボンバードメント処理により基材201の表面を15分間に亘って洗浄した。これにより基材201の表面に表出した結合相を除去した。
アーク式蒸発源25c(表3に示す金属ターゲット)に100Aのアーク電流を印可し、基材201の表面に対して、イオンボンバードメント処理を施すことにより、基材201の表面を更に洗浄すると共に、表3に示す元素を表面に付着させた。このとき処理時間は表3に示す時間とした。表3に示す通り、試料No.2−101ならびに2−103〜2−105では同処理を実施していない。
次いで密着層211を形成した。アーク式蒸発源25aおよびアーク式蒸発源25bとして、表2に示す組成の密着層211および上部層212を与える焼結合金ターゲットをセットし、チャンバ22内に反応ガスとして窒素ガスおよびメタンガスを導入し、基材ホルダ31を回転させながら、次の条件で成膜を行い、上部層212の厚さが表2に示す値となったところでカソードへの電流供給を停止した。ここで表2に示す各層の組成は、成膜後に試料を切断して、切断面においてTEM−EDX分析を実施して確認したものである。表2中、密着層が無い試料(No.2−101ならびに2−103〜2−105)では、便宜上、被膜全体の組成および厚さを上部層の欄に記載している。
基材の温度:500℃(一定)
反応ガス圧:2.0Pa(一定)
バイアス電圧:−30V〜−800V(一定あるいは連続的に変化)
アーク電流:100A(一定)
ここで「一定あるいは連続的に変化」とは、たとえば「−30V〜−800V」の範囲内のある一定値に維持するか、あるいは「−30V〜−800V」の範囲内で連続的に増加もしくは減少させることを意味している。
各試料を切断して、切断面をTEMで観察して密着層211の厚さを求めた。結果を表2に示す。さらに基材201と密着層211との界面、ならびに密着層211と上部層212との界面において結晶格子が連続しているか否かをTEMにより確認した。結果を表4に示す。表4中「結晶格子の連続性」の欄における「連続」とは、基材201と密着層211との界面、ならびに密着層211と上部層212との界面の双方において結晶格子が連続していたことを示し、「不連続」とは少なくともいずれか一方の界面で結晶格子が連続していなかったことを示している。
上記で作製した各試料を使用し、乾式の断続切削試験を行って工具寿命を評価した。切削条件は次の通りとし、工具寿命に至るまでの切削距離を測定した。結果を表5に示す。表5中、切削距離が長いほど工具寿命が長いことを示している。
被削材:ステンレス鋼(SUS316)
切削速度:200m/min
送り速度:0.2mm/刃
切り込み量ap:2.0mm
切り込み量ae:50mm
ここで「切り込み量ap」は軸方向の切り込み量を、「切り込み量ae」は半径方向の切り込み量をそれぞれ示している。
Claims (4)
- 基材と、前記基材上に形成された被膜とを備え、
前記被膜は、A層とB層とが交互にそれぞれ1層以上積層された交互層を含み、
前記A層の厚さおよび前記B層の厚さは、それぞれ2nm以上100nm以下であり、
前記A層の平均組成は、TiaAlbSicN(ただし、0.5<a<0.8、0.2<b<0.4、0.01<c<0.1、a+b+c=1)で表され、
前記B層の平均組成は、TidAleSifN(ただし、0.4<d<0.6、0.3<e<0.7、0.01<f<0.1、d+e+f=1)で表され、
0.05<a−d≦0.2かつ0.05<e−b≦0.2を満たす、表面被覆工具。 - 前記A層の厚さをλAとし、前記B層の厚さをλBとするとき、
1≦λA/λB<5を満たす、請求項1に記載の表面被覆工具。 - 前記被膜は、前記基材と接する部分に密着層をさらに含み、
前記密着層の厚さは、0.5nm以上20nm以下であり、
前記密着層は、
Cr、Ti、ZrおよびNbから選択される1種以上の元素と、
前記基材を構成する元素から選択される1種以上の元素と、
AlおよびSiから選択される1種以上の元素と、を含む炭化物、窒化物もしくは炭窒化物を含有する、請求項1または請求項2に記載の表面被覆工具。 - 前記基材は、WCを含有する硬質粒子と、Coを含有し前記硬質粒子同士を互いに結合する結合相とを含み、
前記密着層は、W、Cr、Ti、AlおよびSiを含む窒化物を含有する、請求項3に記載の表面被覆工具。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014117679 | 2014-06-06 | ||
JP2014117679 | 2014-06-06 | ||
JP2014117680 | 2014-06-06 | ||
JP2014117680 | 2014-06-06 | ||
PCT/JP2015/064293 WO2015186503A1 (ja) | 2014-06-06 | 2015-05-19 | 表面被覆工具およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018236438A Division JP6773287B2 (ja) | 2014-06-06 | 2018-12-18 | 表面被覆工具およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015186503A1 JPWO2015186503A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6481983B2 true JP6481983B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=54766579
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016500420A Active JP6481983B2 (ja) | 2014-06-06 | 2015-05-19 | 表面被覆工具 |
JP2018236438A Active JP6773287B2 (ja) | 2014-06-06 | 2018-12-18 | 表面被覆工具およびその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018236438A Active JP6773287B2 (ja) | 2014-06-06 | 2018-12-18 | 表面被覆工具およびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9962771B2 (ja) |
EP (2) | EP3363568B1 (ja) |
JP (2) | JP6481983B2 (ja) |
KR (1) | KR20170016811A (ja) |
CN (1) | CN105473261B (ja) |
WO (1) | WO2015186503A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6222675B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2017-11-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具、およびその製造方法 |
EP3228726A1 (en) * | 2016-04-08 | 2017-10-11 | Seco Tools Ab | Coated cutting tool |
JP6737442B2 (ja) | 2016-04-19 | 2020-08-12 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP6699056B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2020-05-27 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
CN106319449B (zh) * | 2016-10-25 | 2018-09-25 | 郑州航空工业管理学院 | 用于航空涡喷发动机压气机叶片的防冲蚀梯度膜及其制备方法 |
DE102016222296A1 (de) | 2016-11-14 | 2018-05-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Mehrlagige aluminiumhaltige Schutzbeschichtung und Bauteil |
WO2018105403A1 (ja) * | 2016-12-09 | 2018-06-14 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
EP3404126B1 (en) | 2017-05-19 | 2019-10-16 | Walter Ag | Metal cutting tool with multi-layer coating |
DE112018002787T5 (de) * | 2017-05-30 | 2020-04-02 | Kyocera Corporation | Beschichtetes Werkzeug und Schneidwerkzeug, welches dieses aufweist |
US10570501B2 (en) | 2017-05-31 | 2020-02-25 | Kennametal Inc. | Multilayer nitride hard coatings |
CN110769956B (zh) * | 2017-06-20 | 2021-02-26 | 京瓷株式会社 | 涂层刀具、切削工具以及切削加工物的制造方法 |
JP6858347B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2021-04-14 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
RU2691811C2 (ru) * | 2017-11-14 | 2019-06-18 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
WO2019239654A1 (ja) * | 2018-06-15 | 2019-12-19 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具、及びその製造方法 |
JP7211656B2 (ja) * | 2019-02-01 | 2023-01-24 | 京セラ株式会社 | 被覆工具及びこれを備えた切削工具 |
JPWO2020166466A1 (ja) * | 2019-02-12 | 2021-12-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質皮膜切削工具 |
JP7492683B2 (ja) | 2019-03-14 | 2024-05-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
CN110079766A (zh) * | 2019-05-27 | 2019-08-02 | 国宏工具系统(无锡)股份有限公司 | 一种高效加工高温合金纳米复合涂层工艺 |
JP6855671B1 (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-07 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
CN110578122A (zh) * | 2019-10-18 | 2019-12-17 | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 一种AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层的制备工艺 |
CN114929415A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-19 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
CN112111747B (zh) * | 2020-08-24 | 2024-03-01 | 青岛理工大学 | 一种硬质合金刀具清洗、涂层生产线及方法 |
CN113652639B (zh) * | 2021-08-24 | 2022-05-24 | 株洲索尔切削工具有限公司 | 梯度结构的合金涂层及其制备方法 |
JP7319600B6 (ja) * | 2021-12-10 | 2023-08-18 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
WO2023182126A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
WO2023232869A1 (en) * | 2022-06-01 | 2023-12-07 | Ab Sandvik Coromant | A coated cutting tool |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4101703A (en) * | 1972-02-04 | 1978-07-18 | Schwarzkopf Development Corporation | Coated cemented carbide elements |
CH632944A5 (fr) * | 1978-06-22 | 1982-11-15 | Stellram Sa | Piece d'usure en metal dur. |
JPH05109199A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Mita Ind Co Ltd | 磁気テープ記録装置 |
JP3044910B2 (ja) * | 1992-03-24 | 2000-05-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 物理蒸着硬質層被覆エンドミルおよびその製造法 |
JP2793773B2 (ja) | 1994-05-13 | 1998-09-03 | 神鋼コベルコツール株式会社 | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 |
JP3416937B2 (ja) | 1994-10-28 | 2003-06-16 | 住友電気工業株式会社 | 積層体 |
SE509566C2 (sv) * | 1996-07-11 | 1999-02-08 | Sandvik Ab | Sintringsmetod |
JP2000514393A (ja) * | 1996-07-11 | 2000-10-31 | サンドビック アクティエボラーグ | 焼結方法 |
SE9903089D0 (sv) * | 1999-09-01 | 1999-09-01 | Sandvik Ab | Coated grooving or parting insert |
SE9903122D0 (sv) * | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Sandvik Ab | Coated cemented carbide insert |
JP3991272B2 (ja) * | 2003-01-20 | 2007-10-17 | 三菱マテリアル神戸ツールズ株式会社 | 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
JP4535250B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
JP2006028600A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性と耐熱性に優れた積層皮膜 |
JP2006070730A (ja) | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Mazda Motor Corp | エンジンの制御装置 |
EP1842610B1 (en) | 2004-12-28 | 2017-05-03 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and process for producing the same |
WO2006070509A1 (ja) | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | 表面被覆切削工具および表面被覆切削工具の製造方法 |
JP4702520B2 (ja) * | 2005-02-14 | 2011-06-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
GB2425780B (en) * | 2005-04-27 | 2007-09-05 | Univ Sheffield Hallam | PVD coated substrate |
US7537822B2 (en) | 2005-05-26 | 2009-05-26 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Hard-coated member |
JP4383407B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2009-12-16 | 日立ツール株式会社 | 硬質皮膜被覆部材 |
JP4716006B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-07-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具 |
JP4815925B2 (ja) | 2005-07-27 | 2011-11-16 | 株式会社タンガロイ | 被覆焼結合金 |
JP4702535B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2011-06-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具 |
JP4702538B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2011-06-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
SE529838C2 (sv) * | 2005-12-08 | 2007-12-04 | Sandvik Intellectual Property | Belagt hårdmetallskär, sätt att framställa detta samt dess användning för fräsning i stål |
JP2007290090A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Mitsubishi Materials Corp | 難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
SE0602814L (sv) * | 2006-12-27 | 2008-06-28 | Sandvik Intellectual Property | Skärverktyg med multiskiktbeläggning |
SE0701760L (sv) * | 2007-06-01 | 2008-12-02 | Sandvik Intellectual Property | Hårdmetallskär för avstickning, spårstickning och gängning |
GB2450933A (en) * | 2007-07-13 | 2009-01-14 | Hauzer Techno Coating Bv | Method of providing a hard coating |
JP5109199B2 (ja) | 2007-09-11 | 2012-12-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP5098726B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2012-12-12 | 日立ツール株式会社 | 被覆工具及び被覆工具の製造方法 |
JP5217712B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-06-19 | 株式会社豊田中央研究所 | 被覆超硬合金部材 |
JP5594576B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-09-24 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
US9492872B2 (en) * | 2011-08-01 | 2016-11-15 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Surface-modified, WC-based cemented carbide member, hard-coated, WC-based cemented carbide member, and their production methods |
US8691374B2 (en) * | 2011-09-14 | 2014-04-08 | Kennametal Inc. | Multilayer coated wear-resistant member and method for making the same |
JP6331003B2 (ja) * | 2013-11-07 | 2018-05-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
-
2015
- 2015-05-19 US US14/909,559 patent/US9962771B2/en active Active
- 2015-05-19 CN CN201580001606.XA patent/CN105473261B/zh active Active
- 2015-05-19 KR KR1020167002527A patent/KR20170016811A/ko active IP Right Grant
- 2015-05-19 WO PCT/JP2015/064293 patent/WO2015186503A1/ja active Application Filing
- 2015-05-19 EP EP18166619.9A patent/EP3363568B1/en active Active
- 2015-05-19 JP JP2016500420A patent/JP6481983B2/ja active Active
- 2015-05-19 EP EP15803152.6A patent/EP3153259B1/en active Active
-
2018
- 2018-12-18 JP JP2018236438A patent/JP6773287B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3363568A1 (en) | 2018-08-22 |
WO2015186503A1 (ja) | 2015-12-10 |
US9962771B2 (en) | 2018-05-08 |
EP3153259A4 (en) | 2018-01-24 |
JP2019069514A (ja) | 2019-05-09 |
JPWO2015186503A1 (ja) | 2017-04-20 |
US20160175939A1 (en) | 2016-06-23 |
KR20170016811A (ko) | 2017-02-14 |
EP3363568B1 (en) | 2023-08-30 |
CN105473261B (zh) | 2017-08-18 |
CN105473261A (zh) | 2016-04-06 |
JP6773287B2 (ja) | 2020-10-21 |
EP3153259A1 (en) | 2017-04-12 |
EP3153259B1 (en) | 2020-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6773287B2 (ja) | 表面被覆工具およびその製造方法 | |
KR102268364B1 (ko) | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 | |
JP5542925B2 (ja) | 切削工具 | |
JP5838769B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
KR102198744B1 (ko) | 표면 피복 절삭 공구 | |
JP5488824B2 (ja) | 硬質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP6331003B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2016084939A1 (ja) | 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP2016185589A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2012139795A (ja) | 軟質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP5553013B2 (ja) | 硬質難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2016165787A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP6233588B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2019171483A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2009178832A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2012115967A (ja) | 硬質難削材の断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2009178833A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた潤滑性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20171121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6481983 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |