JP6475842B2 - 機能性フィルムの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
図1〜図3に示すように、機能性フィルムの製造装置10は、主として、量子ドットを含有する機能層形成用塗布液(以下「塗布液」という)の塗布液中の溶存酸素濃度を1000ppm以下に低減する溶存酸素低減装置12と、塗布液を塗布する塗布装置14と、塗布により形成された塗膜CにフィルムFを貼合する貼合装置16と、塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間を不活性ガス雰囲気にする不活性ガス雰囲気形成装置18と、塗膜を硬化する硬化装置20とで構成される。
溶存酸素低減装置12は、塗布液中の溶存酸素濃度を1000ppm以下に低減できればどのような装置構成でもよいが、例えば図1に示す装置構成のものを好適に用いることができる。
図1に示すように、塗布装置14は、主として、バックアップローラ44とダイコータ36と減圧チャンバ46とで構成される。
図1に示すように、貼合装置16は、バックアップローラ44上で塗膜フィルムCFの塗膜面の側にフィルムFを貼合する装置であり、塗布装置14と兼用するバックアップローラ44と、バックアップローラ44の回転方向から見て塗布装置14の下流側にバックアップローラ44に対向配置された貼合ローラ54と、で構成される。これにより、貼合ローラ54とバックアップローラ44とでニップロールを構成する。
不活性ガス雰囲気形成装置18は、バックアップローラ44上の塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間Xを窒素ガス(不活性ガス)雰囲気にすることができる装置であればどのような装置でもよいが、図1〜図3に示すダイブロック方式と、図4に示すカバー部材方式とを好適に採用することができる。
図1〜図3に示すように、ダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Aは、可撓性支持体Wの搬送方向から見てダイコータ36の下流側に隣接位置され、バックアップローラ44のローラ面に対面する先端面58Aを有し、且つ先端面から窒素ガスを塗膜面幅方向に吐出するダイブロック58で構成される。
図4に示すように、カバー部材方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Bは、主として、バックアップローラ44上の塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間Yを覆うカバー部材68と、カバー部材68の内部に窒素ガスを供給する図示しない不活性ガス供給手段と、で構成される。
塗膜フィルムCFにフィルムFを貼合して積層フィルムLFを形成した後、光照射により塗膜Cを重合硬化させて、光学機能層を得ることができる。硬化条件は、使用する硬化性化合物の種類や塗布液の組成に応じて、適宜設定することができる。
次に、上記の如く構成された本発明の実施の形態の機能性フィルムの製造装置10を用い、量子ドットを含有する塗布液で光学機能層を有する機能性フィルムFFを製造する方法を説明する。
塗布液調製工程では、量子ドット(または量子ロッド)、硬化性化合物、チキソトロピー剤、重合開始剤、及びシランカップリング剤などの各成分をタンク等により混合し、光学機能層形成用塗布液(以下、「塗布液」ともいう)を調製する。
量子ドットは、数nm〜数十nmの大きさをもつ化合物半導体の微粒子であり、少なくとも、入射する励起光により励起され蛍光を発光する。
本実施の形態で用いられる硬化性化合物は、重合性基を有するものが広く採用できる。重合性基の種類は、特に限定されないが、好ましくは、(メタ)アクリレート基、ビニル基またはエポキシ基であり、より好ましくは、(メタ)アクリレート基であり、さらに好ましくは、アクリレート基である。また、2つ以上の重合性基を有する重合性単量体は、それぞれの重合性基が同一であってもよいし、異なっていても良い。
硬化後の硬化被膜の透明性、密着性等の観点からは、単官能または多官能(メタ)アクリレートモノマー等の(メタ)アクリレート化合物や、そのポリマー、プレポリマー等が好ましい。なお本発明及び本明細書において、「(メタ)アクリレート」との記載は、アクリレートとメタクリレートとの少なくとも一方、または、いずれかの意味で用いるものとする。「(メタ)アクリロイル」等も同様である。
重合性基を2つ有する重合性単量体として、エチレン性不飽和結合含有基を2個有する2官能重合性不飽和単量体を挙げることができる。2官能の重合性不飽和単量体は組成物を低粘度にするのに適している。本実施形態では、反応性に優れ、残存触媒などの問題の無い(メタ)アクリレート系化合物が好ましい。
重合性基を3つ以上有する重合性単量体として、エチレン性不飽和結合含有基を3個以上有する多官能重合性不飽和単量体を挙げることができる。これら多官能の重合性不飽和単量体は機械的強度付与の点で優れる。本実施形態では、反応性に優れ、残存触媒などの問題の無い(メタ)アクリレート系化合物が好ましい。
単官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、アクリル酸およびメタクリル酸、それらの誘導体、より詳しくは、(メタ)アクリル酸の重合性不飽和結合((メタ)アクリロイル基)を分子内に1個有するモノマーを挙げることができる。それらの具体例として以下に化合物を挙げるが、本実施形態はこれに限定されるものではない。
本実施の形態で用いる重合性単量体として、エポキシ基、オキセタニル基等の開環重合可能な環状エーテル基等の環状基を有する化合物を挙げることができる。そのような化合物としてより好ましくは、エポキシ基を有する化合物(エポキシ化合物)を挙げることができる。エポキシ基やオキセタニル基を有する化合物を、(メタ)アクリレート系化合物と組み合わせて使用することにより、バリア層との密着性が向上する傾向にある。
チキソトロピー剤は、無機化合物または有機化合物である。
チキソトロピー剤の好ましい1つの態様は無機物のチキソトロピー剤であり、例えば針状化合物、鎖状化合物、扁平状化合物、層状化合物を好ましく用いることができる。なかでも、層状化合物であることが好ましい。
チキソトロピー剤は、有機物のチキソトロピー剤を用いることができる。
チキソトロピー剤の含有量は、塗布液中、硬化性化合物100質量部に対して0.15〜20質量部であることが好ましく、0.2〜10質量部であることがより好ましく、0.2〜8質量部であることが特に好ましい。特に無機物のチキソトロピー剤の場合、硬化性化合物100質量部に対して20質量部以下であると、脆性が良化方向にある。
上記塗布液は、重合開始剤としては、公知の重合開始剤を含むことができる。重合開始剤については、例えば、特開2013−043382号公報段落0037を参照できる。重合開始剤は、塗布液に含まれる硬化性化合物の全量の0.1モル%以上であることが好ましく、0.5〜2モル%であることがより好ましい。また、揮発性有機溶媒を除いた全硬化性組成物中に質量%として、0.1質量%〜10質量%含むことが好ましく、更に好ましくは0.2質量%〜8質量%である。
シランカップリング剤を含む塗布液から形成される光学機能層は、シランカップリング剤により隣接する層との密着性が強固なものとなるため、優れた耐久性を示すことができる。また、シランカップリング剤を含む塗布液から形成される光学機能層は、密着力条件の可撓性支持体とバリア層の密着力A<光学機能層とバリア層との密着力Bの関係を形成する上でも好ましい。これは主に、光学機能層に含まれるシランカップリング剤が、加水分解反応や縮合反応により、隣接する層の表面やこの光学機能層の構成成分と共有結合を形成することによるものである。また、シランカップリング剤がラジカル重合性基等の反応性官能基を有する場合、光学機能層を構成するモノマー成分と架橋構造を形成することも、光学機能層と隣接する層との密着性向上に寄与し得る。
R1〜R6は、それぞれ独立に置換または無置換のアルキル基またはアリール基である。R1〜R6は、ラジカル重合性の炭素−炭素二重結合を含む置換基である場合を除き、無置換のアルキル基または無置換のアリール基が好ましい。アルキル基としては炭素数1〜6のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。アリール基としては、フェニル基が好ましい。R1〜R6は、メチル基が特に好ましい。
塗布液調製工程で調製された塗布液は、次に溶存酸素低減装置12により、塗布液中の溶存酸素濃度が1000ppm以下になるように調整される。なお、塗布液調製工程で調製された塗布液の溶存酸素濃度が1000ppm以下であれば、溶存酸素低減工程を省略することができ、また溶存酸素低減工程によりさらに溶存酸素を下げることもできる。
次に、塗布工程では、ダイコータ36のマニホールド48に供給された塗布液を、バックアップローラ44に巻き掛けられて搬送される可撓性支持体Wに塗布して塗膜フィルムCFを形成する。
次に、貼合工程では、貼合ローラ54に巻き掛けられて搬送されるフィルムFと、バックアップローラ44に巻き掛けられて搬送される塗膜フィルムCFとを、貼合ローラ54とバックアップローラ44とで挟み込んでニップすることにより、塗膜フィルムCFの塗膜面の側にフィルムFを貼合(ラミネート)する。
不活性ガス雰囲気形成工程では、上記したダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18A又はカバー部材方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Bにより、バックアップローラ44上の塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間X又はYを窒素ガス雰囲気にする。
ダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Aでは、ダイブロック58のスリット62から塗膜面に向けて窒素ガスを塗膜面幅方向に吐出する。
カバー部材方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Bでは、図示しない窒素ガス供給手段(例えば窒素ボンベ)からカバー部材68内に窒素ガスを供給する。また、ダイブロック方式と同様に、カバー部材68に形成された測定管71に接続された酸素濃度計及び差圧計により、塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間Yの酸素濃度及び差圧を測定する。そして、空間Yの酸素濃度が100ppm以下、圧力が正圧になるようにカバー部材68内に供給する窒素ガスの供給量を調整する。
硬化工程では、可撓性支持体WとフィルムFとにより塗膜Cを挟持した積層フィルムLFをバックアップローラ44上で連続搬送しながら活性線照射装置56から光照射を行い、塗膜Cを硬化させて光学機能層を形成する。また、硬化工程をバックアップローラ44上で行うので、製造された機能性フィルムFFの皺発生を防止できる。
無機層とは、無機材料を主成分とする層であり、好ましくは無機材料のみから形成される層である。
有機層とは、有機材料を主成分とする層であって、好ましくは有機材料が50質量%以上、更には80質量%以上、特に90質量%以上を占める層を言うものとする。
試験Aでは、本発明の機能性フィルムの製造方法及び製造装置の次の(A)〜(D)に記載する構成を満足するか否かによって、得られた塗膜(機能性層)Cの酸素による性能劣化にどのように影響するかを調べた。
(A)溶存酸素低減装置12が有るか。
(B)バックアップローラ44上の塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間X又はYを不活性ガス雰囲気にするための不活性ガス雰囲気形成装置18が有るか。(C)塗布装置14の種類がダイコータか。
(D)貼合装置16による塗膜CへのフィルムFの貼合をバックアップローラ44上で行うか。
(機能性フィルムの作成)
光学機能層を形成する塗布液として量子ドットを含む光学機能層形成用塗布液(以下、塗布液という)を使用し、可撓性支持体W及びフィルムFとしてガスバリアフィルムを使用した。また、不活性ガス雰囲気形成装置18はダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Aを使用した。
一方面にのみ易接着層が下塗りされているポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、東洋紡社製、商品名:コスモシャインA4300、厚さ50μm、幅1000mm、長さ100m)を用いた。
上記の支持体に有機層の形成を行った。まず、有機層形成用塗布液の調製を行った。有機層形成用塗布液は、TMPTA(トリメチロールプロパントリアクリレート、ダイセルサイテック社製)及び光重合開始剤(ランベルティ社製、ESACUREKTO46)を用意し、TMPTA:光重合開始剤の重量比率が、95:5となるように、秤量し、これらをメチルエチルケトンに溶解させ、固形分濃度15%とした。
次に、ロール・トゥ・ロール方式のCVD装置を用いて、支持体に形成した有機層の表面に無機層(窒化ケイ素(SiN)層)を形成した。送出機より有機層が形成された支持体を送り出し、無機層の成膜前の最後の膜面タッチロール通過後に保護フィルムを剥離した。その後、暴露された有機層の上に無機層を形成した。無機層の形成には、原料ガスとして、シランガス(流量160sccm)、アンモニアガス(流量370sccm)、水素ガス(流量590sccm)、および窒素ガス(流量240sccm)を用いた。電源として、周波数13.56MHzの高周波電源を用いてSiN層を形成した。製膜圧力は40Pa、到達膜厚は50nmであった。
<塗布液の組成>
以下の組成の量子ドット分散液を調製し、塗布液とした。
・量子ドット1のトルエン分散液(発光極大:520nm)10質量部
・量子ドット2のトルエン分散液(発光極大:630nm) 1質量部
・ラウリルメタクリレート 2.4質量部
・トリメチロールプロパントリアクリレート 0.54質量部
・光重合開始剤 0.009質量部
(イルガキュア819(登録商標)(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製))
なお、量子ドット1,2としては、下記のコア−シェル構造(InP/ZnS)を有するナノ結晶を用いた。
・量子ドット1:INP530−10(NN−1abs社製)
・量子ドット2:INP620−10(NN−1abs社製)
上記組成の塗布液の粘度は50mPa・sであった。
塗布液調製工程により得られた塗布液を、タンク26内に供給し、窒素ガスをタンク26に供給しながら撹拌機32で攪拌し、塗布液中の溶存酸素を窒素ガスに置換することで、塗布液中の溶存酸素を1000ppm以下になるようにした。そして、溶存酸素を低減した塗布液をダイコータ36のマニホールド48に供給した。また、塗布液中の溶存酸素を窒素ガスに置換することで、量子ドットの分散液として使用したトルエンの塗布液中の割合が10000ppm以下になるようにした。
ダイコータ方式の塗布装置14を用いた。即ち、ダイコータ36のスリット50から塗布液を吐出して、バックアップローラ44に巻き掛けられて搬送される可撓性支持体W(保護PEフィルムを剥がしたもの)の無機層上に塗布液を連続塗布した。これにより、塗膜フィルムCFを形成した。バックアップローラ44は、直径が200mmのものを使用した。
バックアップローラ44上で塗膜フィルムCFの塗膜面の側とフィルムFとを貼合した。即ち、バックアップローラ44に巻き掛けられて搬送される塗膜フィルムCFの塗膜面に、貼合ローラ54に巻き掛けられて搬送するフィルムFを貼合した。
ダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Aを用いた。即ち、ダイブロック58のスリット62から塗膜面に向けて100L/min/mの窒素ガス量を吐出して、バックアップローラ44上の塗布開始位置Pから貼合開始位置Qまでの塗膜面を含む空間Xを窒素ガス雰囲気にした。スリット62の間隙は0.5mmのものを使用した。
バックアップローラ44上に配置した硬化装置20を用いた。即ち、窒素パージしながら、160W/cm2の空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)の活性線照射装置56を用いて、積層フィルムLFに紫外線を照射して、塗膜Cを硬化させて機能性フィルムFFを製造した。
形成した機能性フィルムFFを、刃先角度17°のトムソン刃を使用し、A4サイズのシート状に抜き打ちを行い、試験サンプルとした。
実施例1の溶存酸素低減装置12を設けずに、大気下で塗布液を調製して溶存酸素が1000ppmを超える塗布液を塗布装置14に送液した以外は実施例1と同様である(構成(A)を満足しない場合)。
実施例1の不活性ガス雰囲気形成装置18を設けずに、塗布から貼合までを大気下で行った以外は実施例1と同様である(構成(B)を満足しない場合)。
実施例1の塗布装置14の種類をダイコータからグラビアコータに替えた以外は実施例1と同様である(構成(C)を満足しない場合)。
貼合装置16による塗膜CへのフィルムFの貼合をバックアップローラ44上ではなく、バックアップローラ44以降のパスローラ上で行った以外は実施例1と同様である(構成(D)を満足しない場合)。
硬化装置20をバックアップローラ44以降のパスローラ上に配置した以外は実施例1と同じ。
上記の如く作製した実施例1〜2及び比較例1〜4のサンプルについて、サンプル作製後に直ちに輝度(cd/cm2)を測定した(作製直後の輝度)。更に、サンプルを85℃の乾燥オーブンに100時間入れた後の輝度を測定した(オーブン乾燥後の輝度)。そして、作製直後の輝度をオーブン乾燥後の輝度で除した数値で塗膜の性能劣化を評価した。即ち、作製直後の輝度をオーブン乾燥後の輝度で除した数値が高いほど塗膜の性能劣化が小さく、A、B及びCの3段階で評価した。なお、ランクA及びBが合格レベルであり、ランクCは不合格と評価した。
・A…0.95〜1.0
・B…0.85〜0.95未満
・C…0.85未満
[評価結果]
図6の表図から分かるように、上記した(A)〜(D)の装置構成の全てを満足する実施例1の工程条件で製造された機能性フィルムFFは、量子ドットを含む塗膜(光学機能層)Cの性能評価がAランクであった。
試験Bでは、不活性ガス雰囲気形成装置18の種類と塗膜(機能性層)Cの性能劣化との関係及び塗膜の均一性との関係を調べた。
試験1は試験Aにおける実施例1と同じである。
試験2は、試験1の窒素ガスの吐出量を100L/min/mから25L/min/mに減らした以外は試験1と同様である。
試験3は、試験1の窒素ガスの吐出量を100L/min/mから500L/min/mに増やした以外は試験1と同様である。
試験4は、試験1の窒素ガスの吐出量を100L/min/mから20L/min/mに減らした以外は試験1と同様である。
試験5は、試験1の窒素ガスの吐出量を100L/min/mから550L/min/mに増やした以外は試験1と同様である。
試験6は、試験1の窒素ガスを吐出するスリットの間隙を0.5mmから0.1mmに狭くした以外は試験1と同様である。
試験7は、試験1の窒素ガスを吐出するスリットの間隙を0.5mmから2.0mmに広くした以外は試験1と同様である。
試験8は、試験1の窒素ガスを吐出するスリットの間隙を0.5mmから0.05mmに狭くした以外は試験1と同様である。
試験9は、試験1の窒素ガスを吐出するスリットの間隙を0.5mmから2.5mmに広くした以外は試験1と同様である。
試験10は、試験Aにおける実施例1のダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Aを、カバー部材方式の不活性ガス雰囲気形成装置18Bに替え、カバー部材68内に窒素ガスを200L/min/mで供給した以外は実施例1と同様である。
試験11は、不活性ガス雰囲気形成装置18の種類として、図8Aに示すスリットノズルを使用し、図8Bに示す位置に配置した以外は、試験1と同様である。図8Aに示すように、スリットノズル200は、塗布幅方向に長尺な吐出口202が形成された厚みの薄い薄板状の箱体204であり、本発明におけるダイブロック58のように、バックアップローラ44面に対面する円弧状の先端面58Aを有しない点で相違する。吐出口202の間隙0.5mm及び窒素ガスの吐出量100L/min/mは試験1と同様である。
試験12は、試験11の窒素ガス吐出量を100L/min/mから25L/min/mに減らした以外は試験11と同様である。
試験13は、試験11の窒素ガス吐出量を100L/min/mから500L/min/mに増やした以外は試験11と同様である。
試験14は、不活性ガス雰囲気形成装置18の種類として、図9Aに示す穴あきノズルを使用し、図9Bに示す位置に配置した以外は、試験1と同様である。図9Aに示すように、穴あきノズル300は、塗布幅方向に長尺な配管302の途中に窒素ガスを吐出する複数の吐出孔304を形成したものである。吐出孔304の直径を0.5mmとし、複数の吐出孔304から試験1と同様に100L/min/mで窒素ガスを吐出した。
試験15は、試験14の窒素ガス吐出量を100L/min/mから25L/min/mに減らした以外は試験14と同様である。
試験16は、試験14の窒素ガス吐出量を100L/min/mから500L/min/mに増やした以外は試験14と同様である。
塗膜の幅方向(可撓性支持体の幅方向に同義)の厚み分布を測定することにより、塗膜の厚み均一性をA、B及びCの3段階で評価した。なお、ランクA及びBが合格レベルであり、ランクCは不合格と評価した。
・A…塗膜の幅方向の厚み分布が±5%以内。
・B…塗膜の幅方向の厚み分布が±10%以内。
・C…塗膜の幅方向の厚み分布が±10%を超える。
塗膜の性能劣化の評価方法は試験Aと同様である。
図7の表図から分かるように、不活性ガス雰囲気形成装置18の種類としてスリットノズル200を使用し、窒素ガス吐出量を100又は25L/min/mとした試験11及び試験12は、塗膜厚み均一性は合格ラインであるBランクの評価であったが、塗膜の性能劣化は不合格のCランクの評価であった。この場合、スリットノズル200の窒素ガス吐出量を500L/min/mまで増やした試験13は、塗膜の性能劣化は合格レベルのBランクまで改良されるが、窒素ガス吐出量が多すぎるために塗膜面が乱れ、塗膜の厚み均一性が不合格のCランクの評価になってしまう。
12 溶存酸素低減装置
14 塗布装置
16 貼合装置
18 不活性ガス雰囲気形成装置
18A ダイブロック方式の不活性ガス雰囲気形成装置
18B カバー部材方式の不活性ガス雰囲気形成装置
20 硬化装置
22 窒素ガス置換手段
24 塗布液供給手段
26 タンク
28 塗布液配管
28A 開閉バルブ
30 窒素ガス配管
30A 開閉バルブ
32 撹拌機
33 減圧用配管
34 エアベント管
36 ダイコータ
36A 胴体部
36B 先端リップ部
36C 上流側リップランド
36D 下流側リップランド
36E ランド
38 送液配管
40 送液ポンプ
42 窒素ガス吹き込み管
44 バックアップローラ
46 減圧チャンバ
46A サイドプレート
46B バックプレート
46C ボトムプレート
46D 開口
48 ダイコータのマニホールド
50 ダイコータのスリット
50A 吐出口
52 配管
54 貼合ローラ
56 活性線照射装置
58 ダイブロック
58A ダイブロック58の先端面
60 ダイブロックのマニホールド
62 ダイブロックのスリット
62A 吐出口
64 測定孔
66 接続管
68 カバー部材
68A カバー部材の開口部
68B カバー部材の側面
68C カバー部材の側面の下端
70 窒素導入管
71 測定管
72 剥離ローラ
W 可撓性支持体
CF 塗膜フィルム
F 貼合するフィルム
LF 積層フィルム
FF 機能性フィルム
C 塗膜
Claims (10)
- 溶存酸素濃度が1000ppm以下で且つ有機溶媒が10000ppm以下の塗布液を、バックアップローラを有するダイコータに供給して、前記バックアップローラに巻き掛けられて搬送される可撓性支持体に塗布して塗膜フィルムを形成する塗布工程と、
前記バックアップローラ上で前記塗膜フィルムの塗膜面の側とフィルムとを貼合する貼合工程と、を有し、
前記バックアップローラ上の塗布開始位置から貼合開始位置までの前記塗膜面を含む空間を不活性ガス雰囲気にする機能性フィルムの製造方法。 - 前記不活性ガス雰囲気の形成は、前記空間を覆うカバー部材内に不活性ガスを供給する請求項1に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記不活性ガス雰囲気の形成は、前記可撓性支持体の搬送方向から見て前記ダイコータ下流側に隣接して、前記バックアップローラ面に対面する先端面を有し、且つ前記先端面から不活性ガスを前記塗膜面幅方向に吐出するスリットを備えたダイブロックを配置し、前記ダイブロックから前記塗膜面に向けて不活性ガスを吐出する請求項1又は2記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記ダイブロックは、前記スリットの間隙が0.1〜2.0mmであり、且つ前記スリットから20〜500L/min/mの吐出量で前記不活性ガスを吐出する請求項3に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記貼合工程の後の前記バックアップローラ上で、前記塗膜面に活性線を照射して前記塗膜面を硬化する硬化工程を行う請求項1から4の何れか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
- バックアップローラとダイコータとを有し、前記バックアップローラに巻き掛けられて搬送される可撓性支持体に塗布液を塗布して塗膜フィルムを形成する塗布装置と、
前記バックアップローラ上で前記塗膜フィルムの塗膜面の側とフィルムとを貼合する貼合装置と、
前記バックアップローラ上の塗布開始位置から貼合開始位置までの前記塗膜面を含む空間を不活性ガス雰囲気にする不活性ガス雰囲気形成装置と、を備えた機能性フィルムの製造装置。 - 前記不活性ガス雰囲気形成装置は、
前記空間を覆うカバー部材と、
前記カバー部材の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、を有する請求項6に記載の機能性フィルムの製造装置。 - 前記不活性ガス雰囲気形成装置は、
前記可撓性支持体の搬送方向から見て前記ダイコータの下流側に隣接位置され、前記バックアップローラ面に対面する先端面を有し、且つ前記先端面から不活性ガスを前記塗膜面幅方向に吐出するスリットを備えたダイブロックである請求項6に記載の機能性フィルムの製造装置。 - 前記ダイブロックは、前記スリットの間隙が0.1〜2.0mmであり、且つ前記スリットから20〜500L/min/mの吐出量で前記不活性ガスを吐出する請求項8に記載の機能性フィルムの製造装置。
- 前記バックアップローラ上の前記貼合装置の下流位置に、前記塗膜面に活性線を照射して前記塗膜面を硬化する硬化装置を配置した請求項6から9の何れか1項に記載の機能性フィルムの製造装置。
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Family Cites Families (15)
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JP4716509B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2011-07-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
JP2011161302A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Konica Minolta Holdings Inc | 塗布方法 |
JP2013220385A (ja) * | 2012-04-17 | 2013-10-28 | Fujifilm Corp | 塗布装置及びそれを用いた塗膜付きフィルムの製造方法 |
JP2013231878A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Fujifilm Corp | 硬化層又は硬化パターンの形成方法、及び、カラーフィルタの製造方法、並びに、これらを用いて製造されるカラーフィルタ、固体撮像素子、及び、液晶表示装置 |
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