JP6470941B2 - チャンバ装置 - Google Patents
チャンバ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6470941B2 JP6470941B2 JP2014215998A JP2014215998A JP6470941B2 JP 6470941 B2 JP6470941 B2 JP 6470941B2 JP 2014215998 A JP2014215998 A JP 2014215998A JP 2014215998 A JP2014215998 A JP 2014215998A JP 6470941 B2 JP6470941 B2 JP 6470941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- duct
- air
- balance
- work space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 49
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 27
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 11
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 125000002066 L-histidyl group Chemical group [H]N1C([H])=NC(C([H])([H])[C@](C(=O)[*])([H])N([H])[H])=C1[H] 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000010960 cold rolled steel Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000011236 particulate material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Images
Description
請求項11に記載のチャンバ装置では、使用したダクトを新しいダクトに交換する場合に、使用したダクトの基部をフレキシブルダクトの給気接続口から取り外して、新しいダクトの基部をフレキシブルダクトの給気接続口に接続すればよいので、ダクトの交換が簡単に行える。
図1は、本発明の好ましいチャンバ装置の構成を示す正面図である。図2は、図1に示すチャンバ装置のチャンバ本体と天秤台を示す側面図である。
図11は、本発明の第2実施形態を示す斜視図である。
10 チャンバ本体
11 天秤台
12 環境制御装置
39,39 挿肢口であるグローブポート
46 下方吸込み部
50 天秤台の作業面
51 天秤台の甲板
60 給気側のフレキシブルダクト
61 排気側のフレキシブルダクト
120 天秤
143 ダクト
150 支持レール
160,161 支持具
AR 制御空気(低露点の空気)
SP チャンバ本体の作業空間
Claims (11)
- 作業空間において物質の秤量を行うチャンバ装置であって、
前記作業空間を有し、内部が外部に対して閉じたクローズドチャンバであるチャンバ本体と、
前記チャンバ本体内に配置されて、前記作業空間内で前記物質の秤量を行う天秤を載せる天秤台と、を備え、
前記チャンバ本体の前面部には、作業者の手を挿入して前記作業空間内で作業を行うための挿肢口が設けられており、前記挿肢口は、左右方向と上下方向に移動可能な構成であり、
前記天秤台は、前記チャンバ本体から離間して配置されていることを特徴とするチャンバ装置。 - 前記チャンバ本体内に、前記作業空間内の空気を排気する下方排気ボックスが前記天秤台から離間して配置されていることを特徴とする請求項1に記載のチャンバ装置。
- 制御空気を前記作業空間内に供給して前記作業空間内の環境を制御する環境制御装置を備え、前記環境制御装置は、前記チャンバ本体と前記天秤台とは別体になっており、前記環境制御装置が前記チャンバ本体に、フレキシブルダクトを介して接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のチャンバ装置。
- 前記環境制御装置が発生する前記制御空気は、前記チャンバ本体の前記作業空間に配置されている通気性を有する筒状のダクトに供給されることを特徴とする請求項3に記載のチャンバ装置。
- 前記通気性を有する筒状のダクトは、前記作業空間の後部であってしかも上部に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のチャンバ装置。
- 前記通気性を有する筒状のダクトから前記作業空間に吹き出される前記制御空気の吹き出し圧力の最適値は、1立方メートル/分であることを特徴とする請求項4又は5に記載のチャンバ装置。
- 前記天秤台の甲板は、重量物で作られていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のチャンバ装置。
- 前記チャンバ本体は、前記作業空間に供給された前記制御空気を、下方に吸い込んで前記環境制御装置に戻す下方吸込み部を有することを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載のチャンバ装置。
- 前記ダクトの長さに応じて前記ダクトを支持する支持レールを有し、前記支持レールは、前記作業空間を形成している天井部分に設けられていることを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載のチャンバ装置。
- 前記ダクトは、前記支持レールに移動可能に取り付けられた支持具に対して、着脱可能に吊り下げられていることを特徴とする請求項9に記載のチャンバ装置。
- 前記ダクトは、閉じた先端部と、開口部を有する基部と、を有し、前記基部は、前記フレキシブルダクトの給気接続口に対して着脱可能に接続されていることを特徴とする請求項9又は10に記載のチャンバ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014215998A JP6470941B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-10-23 | チャンバ装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014175181 | 2014-08-29 | ||
JP2014175181 | 2014-08-29 | ||
JP2014215998A JP6470941B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-10-23 | チャンバ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016050930A JP2016050930A (ja) | 2016-04-11 |
JP6470941B2 true JP6470941B2 (ja) | 2019-02-13 |
Family
ID=55658518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014215998A Active JP6470941B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-10-23 | チャンバ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6470941B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4895649U (ja) * | 1972-01-22 | 1973-11-14 | ||
JPS53138864U (ja) * | 1977-04-07 | 1978-11-02 | ||
JPH08226738A (ja) * | 1995-02-21 | 1996-09-03 | Nippon Light Metal Co Ltd | 冷蔵倉庫の冷却装置 |
JPH10253436A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-25 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 帯電しやすい粉体を精密に秤量する方法 |
JP2000230748A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 冷却装置 |
JP2009243780A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Panasonic Corp | 塗装作業用送風ダクトおよび塗装作業用給気装置 |
JP5578726B2 (ja) * | 2010-12-15 | 2014-08-27 | 大成建設株式会社 | クリーンブース |
JP2012220105A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 安全キャビネット |
-
2014
- 2014-10-23 JP JP2014215998A patent/JP6470941B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016050930A (ja) | 2016-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204255789U (zh) | 一种恒温恒湿洁净称量环境控制设备 | |
US20210025607A1 (en) | Air extraction device for protecting people from pollutant emissions | |
JPH06148198A (ja) | 分析機器の汚染防止装置 | |
US10520398B2 (en) | Micromanipulator for a cryomicrotome | |
US20130149948A1 (en) | Machining Tools, Waste Removal Devices, and Related Methods | |
EP2041754B1 (en) | Controlled environment cabinet and its use | |
CN107219235A (zh) | 一种风能红外探伤仪及其操作系统 | |
JP6088155B2 (ja) | 手腕挿入開口可動式フード | |
JP6470941B2 (ja) | チャンバ装置 | |
CN104458484B (zh) | 一种恒温恒湿洁净称量环境控制设备 | |
CN109483006A (zh) | 一种带有激光水平仪的切割装置 | |
JP6542609B2 (ja) | 機器封じ込め装置 | |
JP2002273594A (ja) | 熱切断加工装置における集塵装置 | |
CN107449684A (zh) | 一种人机互动颗粒物自动称重装置 | |
CN205107922U (zh) | 一种胃肠外科手术辅助架 | |
CN212634539U (zh) | 一种自行车车架生产用切割装置 | |
JP2017006882A (ja) | 機器封じ込め装置 | |
JP2017000978A (ja) | 機器封じ込め装置 | |
CN206779077U (zh) | 仪器仪表用通风除尘设备 | |
US20050145081A1 (en) | Device for sectioning samples | |
JP3166890U (ja) | 解剖・手術台 | |
JP5110443B2 (ja) | 処置台上で発生する有害物の捕集・除去装置 | |
JP6588349B2 (ja) | 封じ込めシステム | |
CN218743816U (zh) | 多功能通风防尘毒的实验室布局结构 | |
CN104677569B (zh) | 冷凝器氦气检漏机的氦气检漏机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170801 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6470941 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |