JP5578726B2 - クリーンブース - Google Patents
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Description
また、ソックダクトをブース本体から取り外したり、折り畳んだりすることにより、クリーンブースをコンパクトに収納できる。
また、複数のクリーンブースを幅方向に連結することで、クリーンブースの内部空間同士を連結して、大空間を構築できる。
また、支柱の下端にキャスターを設けたので、ブース本体を人手で押すだけで、クリーンブースを容易に移動できる。
しかしながら、この発明によれば、対向配置した一対のブース本体を含んでクリーンブースを構成したので、ブース本体を単一とした場合に比べて、ソックダクトの長さを短くできるから、内部空間を流れる空気の風速を均一にできる。
また、例えば、天井部材や壁部材を取り外して、クリーンブースを密閉空間内に配置すれば、この密閉空間全体の空気清浄度を高めることができる。
クリーンブース1は、天井レス方式のクリーンルームに設けられ、直方体状の内部空間Sを有する。このクリーンブース1は、内部空間Sの空気清浄度を高めるものである。
ブース本体10は、壁状の筐体11と、この筐体11の上部から内部空間S側に水平に延びる3本のソックダクト12と、筐体11の内部に設けられて外部から空気を取り入れて空気清浄度を高めてソックダクト12に供給する空気浄化装置13と、筐体11の下端縁両側に設けられた一対の移動装置14と、を備える。
チャンバー132の内部には、整流板133、フィルター134が設けられている。
なお、本実施形態では、フィルター134を設けたが、このフィルター134は、クリーンブース1に要求される空気清浄度に応じて適宜選定される。
ソックダクト12は、不織布からなる円筒形状である。このソックダクト12の上半分は、空気を透過しないが、下半分は、空気を透過する構造である。このソックダクト12の一端側は、チャンバー132の上端側に接続されている。
なお、ソックダクト12としてフィルター機能を有する素材を用いてもよい。この場合、ソックダクトのフィルター機能を考慮して、チャンバー内のフィルターを選定し、場合によっては、チャンバー内にフィルターを設けないことも考えられる。
天井部材22および壁部材23は、透明性の高いカーテンであり、空気を通さない構造である。壁部材23の下端と床面との間には、隙間が形成されている。
すなわち、ファン131を駆動すると、クリーンルーム内のある程度清浄度の高い空気が吸引口112から吸引されて、チャンバー132に至る。そして、この空気は、整流板133を通って整流され、フィルター134により塵埃が除去されて、ソックダクト12に供給される。ソックダクト12に供給された空気は、内部空間Sの上部から吹き出して、下方に流れる。この下方に流れた空気は、壁部材23の下端の隙間から内部空間Sの外部に排出される。
このようにして、クリーンブース1の内部空間Sの空気清浄度を、クリーンブース1の外部に比べて局所的に向上させる。
(1)ブース本体10に空気浄化装置13を内蔵したので、従来のようにクリーンブースの天井部分に空気浄化装置を設けていないため、クリーンブース1を上階の床スラブから吊り下げる構造とする必要がない。したがって、クリーンブース1を任意の位置に容易に配置できる。
また、図4に示すように、複数のクリーンブース1を幅方向に連結することで、クリーンブース1の内部空間S同士を連結して、大空間を構築できる。
また、ソックダクト12をブース本体10から取り外したり、折り畳んだりすることにより、クリーンブース1をコンパクトに収納できる。
また、支柱141の下端にキャスター142を設けたので、ブース本体10を人手で押すだけで、クリーンブース1を容易に移動できる。
また、例えば、天井部材22や壁部材23を取り外して、クリーンブース1を密閉空間内に配置すれば、この密閉空間全体の空気清浄度を高めることができる。
例えば、本実施形態では、仕切り部20を、骨組部材21、布状の天井部材22、および布状の壁部材23で構成したが、これに限らない。すなわち、仕切り部を、噴射されたエアにより内部空間と外部とを仕切るエアカーテンとしてもよい。
また、本実施形態では、ブース本体10を一対設けたが、これに限らず、図5に示すように、ブース本体10を単一としてもよい。この場合、例えば、骨組部材21Aを、キャスター25を有し鉛直方向に伸縮可能な一対の支柱24と、これら支柱24の上端同士を連結する第1連結部材26と、各支柱24の上端とブース本体10とを連結する一対の第2連結部材27と、を含んで構成する。また、ソックダクト12をブース本体10の反対側つまり第1連結部材26の近傍まで延長しておく。
1…クリーンブース
10…ブース本体
11…筐体
12…ソックダクト
13…空気浄化装置
14…移動装置
20…仕切り部
21、21A…骨組部材
22…天井部材
23…壁部材
24…支柱
25…キャスター
26…第1連結部材
27…第2連結部材
111…筐体
112…吸引口
131…ファン
132…チャンバー
133…整流板
134…フィルター
141…支柱
142…キャスター
Claims (2)
- クリーンルームに設けられて内部空間を有するクリーンブースであって、
前記内部空間に沿って設けられて前記内部空間を挟んで対向配置される一対のブース本体と、
前記内部空間と外部とを仕切る仕切り部と、を備え、
前記各ブース本体は、筐体と、当該筐体の上部から前記内部空間側に延びて不織布からなるソックダクトと、前記筐体の内部に設けられて外部から取り入れた空気の空気清浄度を高めてソックダクトに供給する空気浄化装置と、前記筐体の下端に設けられて鉛直方向に伸縮可能な支柱と、この支柱の下端に設けられたキャスターと、を備え、
前記仕切り部は、前記ブース本体の上端側同士を連結する伸縮自在の一対の骨組部材と、これら骨組部材同士の間に架け渡されて内部空間の上面を覆う布状の天井部材と、前記一対の骨組部材のそれぞれから下方に垂れ下がって内部空間の側面を覆う布状の一対の壁部材と、を備えることを特徴とするクリーンブース。 - 前記ソックダクトの上半分は、空気を透過せず、下半分は、空気を透過する構造であることを特徴とする請求項1に記載のクリーンブース。
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