JP6468262B2 - 走査型電子顕微鏡での観察による複相鋼中のフェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相の分離可視化方法、並びに組織観察用複相鋼片 - Google Patents
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Description
−従来の電解エッチング、ナイタールエッチング、及びピクラールエッチングでは、OM観察において第二相とマトリックスとのコントラストを得ることができない。
−レペラーエッチングとクレムエッチングでは、OM観察において第二相とマトリックスとを区別することはできるが、オーステナイト相とマルテンサイト相との分離は不可能である。
−二段階エッチング(例えば、ピクラール液+重硫酸ナトリウム、ナイタール液+重硫酸ナトリウム、V2A+クレム液)では、OM観察において第二相とマトリックスとの区別が可能であり、その上、OM画像中で色が異なることから、オーステナイト相とマルテンサイト相とを区別できる可能性がある。
−上記の電解エッチング及びナイタールエッチングでは、SEM−SE観察において、第二相とマトリックスとを区別することはできるが、ナノサイズのオーステナイト相とマルテンサイト相を分離することはできない。
−上記のクレムエッチング+レペラーエッチングの二段階エッチングでも、SEM−BSE観察において、ナノサイズのオーステナイト相とマルテンサイト相を分離することはできない。
(1)走査型電子顕微鏡での観察による複相鋼中のフェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相の分離可視化方法であって、
複相鋼片の表面をピクラールエッチング液で化学エッチングする第1工程と、
その後、前記複相鋼片の表面を、一次電子の加速エネルギーが1.75keV以下であり、後方散乱電子検出器を用いた条件下の走査型電子顕微鏡(SEM)観察に供する第2工程と、
を有し、
前記第1工程によって、前記複相鋼片の表面は、フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相のうち、前記オーステナイト相上に選択的に炭素リッチ腐食生成物粒子が形成され、前記フェライト相は前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相よりも優先的にエッチングされた表面状態となり、
前記第2工程によって、前記表面状態によりコントラストが生じ、前記フェライト相を最も明るい領域として、前記マルテンサイト相を中間の明るさの領域として、及び前記オーステナイト相を最も暗い領域として、分離して可視化できることを特徴とする方法。
前記複相鋼片の表面は、前記フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相のうち、前記オーステナイト相上に選択的に炭素リッチ腐食生成物粒子が形成され、前記フェライト相は前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相よりも表面高さが低い表面状態であることを特徴とする組織観察用複相鋼片。
ピクラールエッチングに供する前の複相鋼片表面は、任意の技術によって調製され、例えば、微細機械研磨、化学機械研磨、又は電解研磨のような、金属組織学的な試料の調製に従来用いられる技術が挙げられる。一般に、より精度よく調製された複相鋼片からは、より精密で正確なデータが得られる。この観点から、複相鋼片の表面を微細機械研磨し、その後、化学機械研磨又は電解研磨して、機械研磨により生じた表面ダメージを除去することが好ましい。また、知られているように、オーステナイト相は機械研磨によってマルテンサイト相に変態する(歪み誘起変態)。そのため、前処理は化学機械研磨又は電解研磨で終わることが好ましい。
前処理に引き続き、複相鋼片の表面をピクラールエッチング液で化学エッチングする。ピクラール液とは、ピクリン酸のアルコール溶液である。アルコールとしては、メタノール、エタノール、プロパノール、及びブタノールを挙げることができる。一般的なピクラール液としては、100mLのメタノール又はエタノール中に5gのピクリン酸を添加した5%ピクラールが挙げられる。
第1工程に引き続き、複相鋼片の表面をSEM−BSE観察に供する。第1工程の終了後、試料は極力速やかにSEMの真空チャンバー内に搬送して、大気による腐食を抑制することが好ましい。
第2工程のSEM観察に加えて、以下の2つの付加的なSEM観察を行ってもよい。第一に、複相鋼片の表面を、一次電子の加速エネルギーが5keV以上としたSEM−BSE観察に供することができる。このような高加速エネルギーの場合には、転位リッチな領域(すなわちマルテンサイト相)が、フェライト相やオーステナイト相のように転位の少ない領域よりも、非常に明るいコントラストを呈する。つまり、マルテンサイト相を最も明るい領域として、フェライト相及び前記オーステナイト相から分離して可視化することができる。このSEM−BSE観察においては、一次電子の加速エネルギーの上限は20keV程度である。
随意に、分離可視化された前記フェライト相、前記マルテンサイト相、及び前記オーステナイト相の定性的及び/又は定量的なキャラクタリゼーションを行うことができる。例えば、第2工程で得られたSEM−BSE画像や、付加的なSEM観察で得られたSEM−BSE画像及び/又はSEM−SE画像を、定量画像解析の入力データとして用いることができる。また、これらのSEM画像を二値画像や統計的データに変換して、各相のさらなるキャラクタリゼーションに用いてもよい。本実施形態の分離可視化方法によれば、大がかりなデータの後処理を必要とすることなく、各相の分率を求めるなどの定量的キャラクタリゼーションを好適に行うことができる。
本明細書において「複相鋼」とは、フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相(「γ相」ともいう。)を含むナノスケールの微細な第二相を有する任意の炭素鋼であってよく、例えばTRIP鋼を挙げることができる。他の相としては、ベイナイト相、パーライト相、カーバイド相等が挙げられる。しかし、本発明の方法はステンレス鋼に適用することはできない。ステンレス鋼は、その表面に不動態層を有し、これが炭素リッチ腐食生成物粒子の形成を阻害するからである。
−C:0.31質量%、Si:1.5質量%、Mn:2.5質量%、P:0.005質量%、S:0.001質量%、Al:0.014質量%、N:0.0019質量%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなる成分組成の複相鋼片を用いた。
−その試料の表面を機械研磨で鏡面仕上げして、さらに電解研磨を施した。
−その後、試料の表面を5%ピクラールで化学エッチングした。エッチング時間は、各実施例に記載する。
−その後、試料の表面をdual beam Scios(FEI社製)で観察した。この顕微鏡は、信号電子を検出する種々の検出器を備えている。新規な3つの検出システムは、T1検出器、T2検出器、及びT3検出器からなる。検出される信号は種々のファクターに依存する。標準的なセッティングでは、T1検出器は後方散乱電子(BSE)を検出し、T2検出器とT3検出器は二次電子(SE)を検出する。この顕微鏡は、ポールピース(磁極片)の下方に位置してBSEを検出するCBS検出器と、SEを検出する従来のETD検出器も備えている。なお、試料は化学エッチングの後速やかに、10-4Paに減圧されたチャンバー内に搬送して、大気腐食による表面の劣化を防いだ。
本実施例において、エッチング時間は40秒とした。図2(A)に、一次電子の加速エネルギーを1keVとして、T1検出器を用いて得たSEM−BSE画像を示す。また、図2(B)は、(A)で撮影されたのと同じ表面部位のEBSD相マップである。EBSD技術は、複相鋼中の相の同定のための一般的な技術であり、オーステナイト相をその特有の結晶格子(FCC)に基づいて分離することができる。図2(B)において、オーステナイト相は緑で示され、BCCの結晶格子を有する他の相(すなわち、フェライト相、マルテンサイト相)は赤で示される。図2(A)と(B)の比較から、SEM−BSE画像において、オーステナイト相が最も暗い領域として識別できることがわかる。このことから、特定条件のエッチングと特定条件でのSEM−BSE観察の組み合わせによって、オーステナイト相を他の相から分離して可視化できることがわかった。
本実施例において、エッチング時間は30秒とした。図5(A)に、一次電子の加速エネルギーを1keVとして得たSEM−BSE画像を示し、図5(B)に、一次電子の加速エネルギーを30keVとして得たSEM−BSE画像を示す。両画像は、試料表面の同じ部位を観察したものである。図5(A)中の緑の矢印がオーステナイト相を示し、紫の矢印がマルテンサイト相を示している。このように、フェライト相は最も明るい領域として、マルテンサイト相を中間の明るさの領域として、オーステナイト相は最も暗い領域として、分離して可視化できることがわかる。
試料表面の品質と、その結果としてSEM画像中のコントラストは、エッチング時間に強く影響される。実施例3では、3〜90秒の範囲のエッチング時間で作製した複相鋼片の表面をSEM観察した。図6(A)の上段は、一次電子の加速エネルギーを1keVとして得たSEM−BSE画像であり、オーステナイト相が最も暗い領域として示されている。図6(A)の下段は、一次電子の加速エネルギーを1keVとして得たSEM−SE画像であり、表面形状によるコントラストを示している。明らかに、エッチング時間の増加とともに表面粗さは増加しており、90秒のエッチングでは表面は破壊されている。
本実施例において、エッチング時間は40秒とした。図7(A)に、一次電子の加速エネルギーを1keVとして得たSEM−BSE画像(T1検出器を使用)を示し、図7(B)に、その部分拡大画像を示した。このように、フェライト相は最も明るい領域として、マルテンサイト相を中間の明るさの領域として、オーステナイト相は最も暗い領域として、分離して可視化できた。
本実施例において、エッチング時間は40秒とした。図8(A)〜(F)に、一次電子の加速エネルギーを0.5〜5keVの範囲の種々の値とて得たSEM−BSE画像を示す。このように、SEM画像中のコントラストは加速エネルギーにも依存し、1.75keV以下の場合にコントラストを取ることができる。0.5keVと1keVが特に明瞭なコントラストを生じさせる。
本発明により得られたSEM−BSE画像を用いて、大がかりなデータの後処理を必要とすることなく、各相の分率を求めるなどの定量的キャラクタリゼーションを好適に行うことができる。図7Aに示したSEM−BSE画像を二値画像に変換して、γ分率を求めたところ、26.3%であった。また、鋼中のγ分率を求める一般的な方法であるX線回折法を用いて、同じ試料のγ分率を測定したところ、27.1%であった。このように、このSEM−BSE画像から求めたγ分率は、X線回折法で求めた値と良い近似を示した。
化学エッチングの際のエッチング液として、5%ピクラールに加えて、レペラーエッチング液とナイタールエッチング液も用いて、種々の試料を調製した。図9は、種々の条件でエッチングした複相鋼片の表面のSEM画像であり、エッチング条件は、1行目:レペラーエッチング60秒、2行目:レペラーエッチング30秒、3行目:ピクラールエッチング40秒、4行目:ナイタールエッチング30秒であり、1〜3列目はT1検出器を使用して得たSEM−BSE画像、4列目はT2検出器を使用して得たSEM−SE画像である。一次電子の加速エネルギーは1keVとした。
Claims (10)
- 走査型電子顕微鏡での観察による複相鋼中のフェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相の分離可視化方法であって、
複相鋼片の表面をピクラールエッチング液で化学エッチングする第1工程と、
その後、前記複相鋼片の表面を、一次電子の加速エネルギーが1.75keV以下であり、後方散乱電子検出器を用いた条件下の走査型電子顕微鏡(SEM)観察に供する第2工程と、
を有し、
前記第1工程によって、前記複相鋼片の表面は、フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相のうち、前記オーステナイト相上に選択的に炭素リッチ腐食生成物粒子が形成され、前記フェライト相は前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相よりも優先的にエッチングされた表面状態となり、
前記第2工程によって、前記表面状態によりコントラストが生じ、前記フェライト相を最も明るい領域として、前記マルテンサイト相を中間の明るさの領域として、及び前記オーステナイト相を最も暗い領域として、分離して可視化できることを特徴とする方法。 - 前記一次電子の加速エネルギーが0.2〜1.5keVである、請求項1に記載の方法。
- 前記複相鋼片の表面を、一次電子の加速エネルギーが5keV以上であり、後方散乱電子検出器を用いた条件下のSEM観察に供する工程をさらに有し、該工程によって、前記マルテンサイト相を最も明るい領域として、前記フェライト相及び前記オーステナイト相から分離して可視化する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記複相鋼片の表面を、一次電子の加速エネルギーが15keV以下であり、二次電子検出器を用いた条件下のSEM観察に供する工程をさらに有し、該工程によって、前記フェライト相を最も暗い領域として、前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相から分離して可視化する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記オーステナイト相上における前記炭素リッチ腐食生成物粒子の被覆率が30%以上である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フェライト相と、前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相との表面高さの差が20nm〜200nmである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 分離可視化された前記フェライト相、前記マルテンサイト相、及び前記オーステナイト相の定性的及び/又は定量的なキャラクタリゼーションを行う工程をさらに有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相を含む組織観察用複相鋼片であって、
前記複相鋼片の表面は、前記フェライト相、マルテンサイト相、及びオーステナイト相のうち、前記オーステナイト相上に選択的に炭素リッチ腐食生成物粒子が形成され、前記フェライト相は前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相よりも表面高さが低い表面状態であることを特徴とする組織観察用複相鋼片。 - 前記オーステナイト相上における前記炭素リッチ腐食生成物粒子の被覆率が30%以上である、請求項8に記載の組織観察用複相鋼片。
- 前記フェライト相と、前記マルテンサイト相及び前記オーステナイト相との表面高さの差が20〜200nmである、請求項8又は9の組織観察用複相鋼片。
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