JP6462550B2 - 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る固体撮像装置14を備えるデジタルカメラ1の概略構成を示すブロック図である。図1に示すように、デジタルカメラ1は、カメラモジュール11と後段処理部12とを備える。
次に、図6および図7を参照して、第2の実施形態について説明する。図6は、第2の実施形態に係る単位画素セルCのレイアウトを示す説明図である。なお、図6は、単位画素セルC内に配置される各構成要素を模式的に示している。
次に、第3の実施形態に係る固体撮像装置14について説明する。第1および第2の実施形態は、単位画素セルC内の画素間で暗電子eの数を調整するものであるが、第3の実施形態は、画素アレイ23全体での暗電子eの数を調整するものである。以下、図8および図9を参照して第3の実施形態について詳述する。
Claims (4)
- 増幅トランジスタおよび行選択トランジスタを含む画素トランジスタが設けられる画素、および、前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素を含む複数の画素を有し、2次元に配列される単位画素セルを備え、
前記単位画素セルは、
前記複数の画素それぞれに設けられる光電変換素子と、
前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素に設けられ、前記光電変換素子の電荷蓄積領域と同一導電型である不純物がドープされて画素内に生じる電子の数を調整する調整領域とを有し、
前記調整領域は、
不純物濃度が、前記光電変換素子の電荷蓄積領域の不純物濃度より低いこと
を特徴とする固体撮像装置。 - 増幅トランジスタおよび行選択トランジスタを含む画素トランジスタが設けられる画素、および、前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素を含む複数の画素を有し、2次元に配列される単位画素セルを備え、
前記単位画素セルは、
前記複数の画素それぞれに設けられる光電変換素子と、
前記画素トランジスタが設けられる画素に設けられ、前記光電変換素子の電荷蓄積領域と逆導電型である不純物がドープされて画素内に生じる電子の数を調整する調整領域とを有し、
前記調整領域は、
不純物濃度が、前記光電変換素子の電荷蓄積領域の不純物濃度より低いこと
を特徴とする固体撮像装置。 - 増幅トランジスタおよび行選択トランジスタを含む画素トランジスタが設けられる画素、および、前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素を含む複数の画素を有し、2次元に配列される単位画素セルを形成すること、を含み、
前記単位画素セルには、
前記複数の画素それぞれに設けられる光電変換素子と、
前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素に設けられ、前記光電変換素子の電荷蓄積領域と同一導電型である不純物をドープして画素内に生じる電子の数を調整する調整領域と、を形成し、
前記調整領域は、
不純物濃度が、前記光電変換素子の電荷蓄積領域の不純物濃度より低くなるように形成されること
を特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 増幅トランジスタおよび行選択トランジスタを含む画素トランジスタが設けられる画素、および、前記画素トランジスタが設けられる画素以外の画素を含む複数の画素を有し、2次元に配列される単位画素セルを形成すること、を含み、
前記単位画素セルには、
前記複数の画素それぞれに設けられる光電変換素子と、
前記画素トランジスタが設けられる画素に設けられ、前記光電変換素子の電荷蓄積領域と逆導電型である不純物をドープして画素内に生じる電子の数を調整する調整領域と、を形成し、
前記調整領域は、
不純物濃度が、前記光電変換素子の電荷蓄積領域の不純物濃度より低くなるように形成されること
を特徴とする固体撮像装置の製造方法。
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JP2015202381A JP6462550B2 (ja) | 2015-10-13 | 2015-10-13 | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
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