JP2017085067A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、固体撮像装置が提供される。固体撮像装置は、半導体層の表層部から半導体層の厚さ方向の深層部まで設けられ、全体としてのヒ素の不純物濃度がリンの不純物濃度よりも高い電荷蓄積領域を有する画素を備える。電荷蓄積領域は、ヒ素の不純物濃度がリンの不純物濃度よりも2倍以上高い領域が、電荷蓄積領域の深さ方向に対して半分以上を占める。
【選択図】図5
Description
Claims (7)
- 半導体層の表層部から当該半導体層の厚さ方向の深層部まで設けられ、全体としてのヒ素の不純物濃度がリンの不純物濃度よりも高い電荷蓄積領域を有する画素
を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積領域は、
前記ヒ素の不純物濃度が前記リンの不純物濃度よりも2倍以上高い領域が、前記電荷蓄積領域の深さ方向に対して半分以上を占める
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積領域は、
前記ヒ素の不純物濃度が前記リンの不純物濃度よりも2倍以上高い領域が、前記電荷蓄積領域の全体を占める
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積領域は、
前記ヒ素の不純物のみの領域が、前記電荷蓄積領域の深さ方向に対して半分以上を占めることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積領域は、
前記ヒ素の不純物濃度が前記リンの不純物濃度よりも2倍以上高い領域と前記ヒ素の不純物のみの領域とを合わせた領域が、前記電荷蓄積領域の深さ方向に対して半分以上を占める
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積領域は、
前記ヒ素の不純物濃度が前記リンの不純物濃度よりも2倍以上高い領域と前記ヒ素の不純物のみの領域とを合わせた領域が、前記電荷蓄積領域の全体を占めることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 半導体層の表層部から当該半導体層の厚さ方向の深層部まで設けられ、ヒ素の不純物のみで形成される電荷蓄積領域を有する画素
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015215223A JP2017085067A (ja) | 2015-10-30 | 2015-10-30 | 固体撮像装置 |
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JP2019028866A Division JP2019110319A (ja) | 2019-02-20 | 2019-02-20 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
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JP2017085067A true JP2017085067A (ja) | 2017-05-18 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04286361A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2003282858A (ja) * | 2002-02-09 | 2003-10-03 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトダイオードを有するイメージセンサ及びその製造方法 |
JP2004342836A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Canon Inc | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
JP2008300446A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法及び撮像装置 |
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2015
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04286361A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2003282858A (ja) * | 2002-02-09 | 2003-10-03 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトダイオードを有するイメージセンサ及びその製造方法 |
JP2004342836A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Canon Inc | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
JP2008300446A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法及び撮像装置 |
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