JP6461731B2 - プラズマリアクタの印加電圧制御装置 - Google Patents
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Description
23 電極
31 電源(一次電源)
32 昇圧回路
41 印加電圧制御装置(制御手段)
42 電流センサ(検出手段)
43 電流積算回路(積算手段)
44 印加電圧値推定部(記憶手段、推定手段)
45 目標電圧値設定部(制御手段)
46 減算器(制御手段)
Claims (1)
- 一次電源が発生する電圧をパルス波状に昇圧する昇圧回路の二次側からプラズマリアクタの電極間に印加される印加電圧を制御する装置であって、
前記印加電圧により流れる電流を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出される電流の値を所定期間にわたって積算する積算手段と、
前記積算手段により得られる1パルスにおける積算電流値と前記印加電圧の値との関係を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されている関係に基づいて、前記積算手段による積算電流値に応じた前記印加電圧の値を推定する推定手段と、
前記推定手段により推定される印加電圧の値に基づいて、前記一次電源を制御する制御手段とを含む、印加電圧制御装置。
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