JP6448045B2 - 光電気集積回路及び光インタポーザ - Google Patents
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Description
第1の実施形態について、図面を用いてより詳細に説明する。
第1の実施形態に係る光電気集積回路1は例示であって種々の変形が可能である。
続いて、第2の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
続いて、第3の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
続いて、第4の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
続いて、第5の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
続いて、第6の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
シリコン基板上の絶縁層を下クラッドとし、前記絶縁層上に形成される半導体層をコアとする光導波路と、
前記光導波路と接続される光デバイスと、
前記光デバイスに接続される電気回路と、
前記光デバイスと前記電気回路を接続するメサ形状の接続部と、
前記接続部の側部を少なくとも含む領域に形成され、且つ、前記シリコン基板と接しつつ電気的に接地されている導電膜と、
を備える、光電気集積回路。
[付記2]
前記シリコン基板を貫通する貫通ビアをさらに備え、
前記貫通ビアは、前記シリコン基板に接する放熱体と前記導電膜を接続する、付記1の光電気集積回路。
[付記3]
前記光デバイスと、前記接続部の側部に形成された前記導電膜と、の間に放熱用導電体が形成されている、付記1又は2の光電気集積回路。
[付記4]
前記導電膜は、前記シリコン基板の表面を覆うように形成されている、付記1乃至3のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記5]
前記導電膜は、前記シリコン基板の表面を編み目状に覆うように形成されている、付記1乃至4のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記6]
前記光デバイスと前記接続部の側部に形成された前記導電膜の間の距離Lと、前記電気回路が扱う電気信号周波数における波長λと、が、L<λ/4の関係を満たす付記1乃至5のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記7]
前記導電膜の前記接続部の側部と接する側に、前記導電膜の光吸収係数よりも高い光吸収係数を持つ金属を材料とする膜が形成されている、付記1乃至6のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記8]
送信側の前記光デバイス及び前記電気回路のグランドが第1のグランドとして共通化され、
受信側の前記光デバイス及び前記電気回路のグランドが第2のグランドとして共通化され、
前記第1及び第2のグランドは電気的に分離している、付記1乃至7のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記9]
前記電気回路の表面には、前記光デバイスからの迷光が前記電気回路に入射することを防ぐように導電膜が形成されている、付記1乃至8のいずれか一に記載の光電気集積回路。
[付記10]
付記1乃至9のいずれか一に記載の光電気集積回路が形成されたシリコン基板上に、複数の半導体チップが搭載され、前記半導体チップ間で光信号伝送を行う光インタポーザ。
2 ドライバチップ
3 TIAチップ
10 シリコン支持基板
11、11a〜11h メサ構造体
12、12a〜12f、101 光導波路
13 光導波路の凸部
14 ドライバチップ搭載領域
15 TIAチップ搭載領域
16、16a、16b、105 導電膜
20、23 絶縁層
21、21a、21b 変調器
22、22a、22b 受光器
24 接続ビア
25、26 電極パッド
30 チップキャリア
31 貫通ビア
32 放熱用導電体
40、41 半導体チップ搭載領域
42 光インタポーザ
102 光デバイス
103 電気回路
104 接続部
Claims (9)
- シリコン基板上の絶縁層を下クラッドとし、前記絶縁層上に形成される半導体層をコアとする、スラブ部を有するリブ型の光導波路と、
前記光導波路と接続される光デバイスと、
前記光デバイスに接続される電気回路と、
前記光デバイスと前記電気回路を接続する接続ビアを内部に含むメサ形状の接続部と、
前記接続部の側部を少なくとも含む領域に形成され、且つ、前記シリコン基板と接しつつ電気的に接地されている導電膜と、
を備え、
前記光デバイスは前記接続部の内部に形成され、前記接続部の2つの面のうち面積が小さい上面は前記電気回路と接続され、面積が大きい下面は前記シリコン基板と接続され、前記光導波路のスラブ部は前記接続部の側部に形成された導電膜と接し、
前記光デバイスと、前記接続部の側部に形成された前記導電膜と、の間に放熱用導電体が形成されている、光電気集積回路。 - 前記シリコン基板を貫通する貫通ビアをさらに備え、
前記貫通ビアは、前記シリコン基板に接する放熱体と前記導電膜を接続する、請求項1の光電気集積回路。 - 前記導電膜は、前記シリコン基板の表面を覆うように形成されている、請求項1又は2の光電気集積回路。
- 前記導電膜は、前記シリコン基板の表面を編み目状に覆うように形成されている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光電気集積回路。
- 前記光デバイスと前記接続部の側部に形成された前記導電膜の間の距離Lと、前記電気回路が扱う電気信号周波数における波長λと、が、L<λ/4の関係を満たす請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光電気集積回路。
- 前記導電膜の前記接続部の側部と接する側に、前記導電膜の光吸収係数よりも高い光吸収係数を持つ金属を材料とする膜が形成されている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光電気集積回路。
- 送信側の前記光デバイス及び前記電気回路のグランドが第1のグランドとして共通化され、
受信側の前記光デバイス及び前記電気回路のグランドが第2のグランドとして共通化され、
前記第1及び第2のグランドは電気的に分離している、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光電気集積回路。 - 前記電気回路の表面には、前記光デバイスからの迷光が前記電気回路に入射することを防ぐように導電膜が形成されている、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光電気集積回路。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光電気集積回路が形成されたシリコン基板上に、複数の半導体チップが搭載され、前記半導体チップ間で光信号伝送を行う光インタポーザ。
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