JP6447786B2 - 多層基板 - Google Patents

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Description

本発明は、複数の絶縁基材を積層した積層体からなり、積層体内に複数の信号導体が配置された多層基板に関する。
特許文献1には、複数の信号導体を備える伝送線路が記載されている。特許文献1に記載の伝送線路は、複数の誘電体を積層した積層体を備える。複数の信号導体は、積層方向における異なる位置に配置されている。
このような従来の伝送線路では、各信号導体の端部を、積層体の表面または裏面に形成された外部接続導体に接続するための配線部を必要とする。このため、従来の伝送線路では、この配線部として、積層方向に延びる層間接続導体を用いている。
実開平3−044307号公報
しかしながら、従来の伝送線路の構成では、複数の信号導体の積層方向の位置が異なるので、各信号導体に接続される層間接続導体の長さが異なることに起因して、信号導体毎の配線部のインピーダンスが異なる。
これにより、複数の信号導体と外部接続導体とを接続するそれぞれ配線部のインピーダンスは異なる。例えば、1つの信号導体に接続される配線導体のインピーダンスが50Ωになるように形成すると、他の信号導体に接続される配線導体のインピーダンスは50Ωからずれてしまう。したがって、このインピーダンスがずれている伝送線路部では、損失が生じてしまう。
この発明の目的は、複数の信号導体による複数の伝送線路が形成された多層基板において、各伝送線路の配線部のインピーダンスが揃った多層基板を提供することにある。
この発明の多層基板は、積層体、第1の信号導体、第2の信号導体、第1の外部接続導体、第2の外部接続導体、第1の配線導体、および、第2の配線導体を備える。積層体は、複数の誘電体層が積層されてなる。第1の信号導体および第2の信号導体は、積層体の積層方向における異なる位置に配置されている。第1の外部接続導体および第2の外部接続導体は、積層体の積層方向に直交する第1面に形成されている。第1の配線導体は、第1の信号導体の端部を第1の外部接続導体に接続する。第2の配線導体は、第2の信号導体の端部を第2の外部接続導体に接続する。第1の信号導体は、前記第2の信号導体よりも第1面に近い位置に配置されている。第1の配線導体は、第1の信号導体と第2の信号導体との積層方向の距離差に応じた長さの配線調整部を有する。
この構成では、配線調整部によって、第1の信号導体と第1の外部接続導体との接続距離と、第2の信号導体と第2の外部接続導体との接続距離の差によるインピーダンスの差が緩和される。
また、この発明の多層基板では、配線調整部は、積層方向に視て第2の配線導体の配置位置を、第1面に平行な面内で迂回する形状であるとよい。
この構成では、一平面内による導体パターンのみによって、インピーダンスの差が緩和される。したがって、配線調整部の接続信頼性が高くなる。
また、この発明の多層基板では、配線調整部は、積層方向において、第1の信号導体の配置された位置から第2の信号導体の配置された位置側に延びる部分を有していてもよい。
この構成では、積層方向に延びる導体パターンを利用して、インピーダンスの差が緩和される。したがって、平面視した配線調整部を小さくすることが可能になる。
また、この発明の多層基板では、第1の配線導体と第2の配線導体との間に、配線導体用中間グランド導体を備えることが好ましい。
この構成では、第1の配線導体と第2の配線導体との間のアイソレーションが高くなる。
また、この発明の多層基板では、積層方向において第1の信号導体と第2の信号導体との間に配置された面状の信号導体用中間グランド導体を備えることが好ましい。
この構成では、第1の信号導体と第2の信号導体との間のアイソレーションが高くなる。
また、この発明の多層基板では、前記配線調整部は平面状導体を含み、平面状導体は、前記第1の信号導体の線幅よりも細いことが好ましい。
この構成により、配線調整導部の線路長をあまり長くすることなく、第1のインダクタンス(第1の配線導体のインダクタンス成分)を大きくできる。
また、この発明の多層基板では、前記積層体は、配線部と、前記配線部よりも幅が太い接続部と、を有し、前記配線調整部は、前記第1面に平行な面内にあり、前記積層体のうち前記接続部に配置され、且つ、前記積層方向に視て巻線形状であることが好ましい。
この構成により、回路基板等の表面に配置される多層基板の安定性が高まり、多層基板の実装性を高めることができる。また、この構成により、多層基板が細長い形状であっても、接続部にコネクタ等を実装しやすくできる。
この構成により、多層基板の配線部を限られた狭い空間(他の表面実装部品や構造物を避けた位置)に通すことができ、多層基板を狭い空間に配置できる。また、この構成では、相対的に幅の太い接続部に巻線状の配線調整導体を配置するため、配線調整導体の線幅を太くできる。そのため、配線調整導体の線幅を細くした場合に比べて、第1の配線導体の導体損失の増加を抑制しつつ、インダクタンス成分を高めることができる。
この発明によれば、複数の信号導体による複数の伝送線路が形成された多層基板において、各伝送線路の配線部のインピーダンスが揃った多層基板を実現できる。
本発明の第1の実施形態に係る多層基板の分解斜視図である。 本発明の第1の実施形態に係る多層基板の外観斜視図である。 本発明の第1の実施形態に係る多層基板の第2端部を拡大した分解斜視図である。 本発明の第1の実施形態に係る多層基板の第2端部を拡大した断面図である。 本発明の第2の実施形態に係る多層基板の分解斜視図である。 図6は、本発明の第3の実施形態に係る多層基板10Bの第2端部を拡大した分解斜視図である。 図7は、第3の実施形態に係る多層基板10Bの第2端部を拡大した断面図である。 図8は、本発明の第4の実施形態に係る多層基板10Cの第2端部を拡大した分解斜視図である。 図9は、本発明の第5の実施形態に係る多層基板10Dの外観斜視図である。 図10は、本発明の第5の実施形態に係る多層基板10Dの第2端部を拡大した分解斜視図である。 図11は、第5の実施形態に係る電子機器201の主要部を示す外観斜視図である。
以降、図を参照して幾つかの具体的な例を挙げて、本発明を実施するための複数の形態を示す。各図中には同一箇所に同一符号を付している。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態を分けて示すが、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能である。第2の実施形態以降では第1の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
《第1の実施形態》
本発明の第1の実施形態に係る多層基板について、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る多層基板の分解斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る多層基板の外観斜視図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係る多層基板の第2端部を拡大した分解斜視図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係る多層基板の第2端部を拡大した断面図である。なお、図4は、図3に示すA−A断面を示している。
図1に示すように、多層基板10は、積層体20、信号導体31、32、グランド導体41、42、51、外部接続導体611、612、621、622を備える。
図2に示すように、積層体20は、平面視して矩形である。積層体20は、主たる信号伝送方向であるX方向に長く、X方向に直交するY方向に短い形状である。
グランド導体41、外部接続導体611、612、621、622は、積層体20の裏面に形成されている。グランド導体42は、積層体20の表面の略全面に形成されている。
図1に示すように、積層体20は、複数の誘電体層21、22、23、24、25が積層されてなる。複数の誘電体層21、22、23、24、25は、積層体20の裏面側から、この順で並んでいる。複数の誘電体層21、22、23、24、25は、それぞれ可撓性基材からなり、例えば、液晶ポリマを主成分としてなる。積層体20の裏面が、本発明の「第1面」に対応する。
誘電体層21の裏面(積層体20の裏面)には、グランド導体41、および、外部接続導体611、612、621、622が形成されている。グランド導体41は、積層体20の裏面の略全面に形成されている。外部接続導体611、612、621、622は、グランド導体41に対して、導体非形成部によって離間されている。
外部接続導体611、621は、積層体20のX方向の第1端部ED1付近に形成されている。外部接続導体611は、外部接続導体621よりも第1端部ED1側に配置されている。外部接続導体612、622は、積層体20のX方向の第2端部ED2付近に形成されている。外部接続導体612は、外部接続導体622よりも第2端部ED2側に配置されている。外部接続導体611、612が本発明の「第1の外部接続導体」に対応する。外部接続導体621、622が本発明の「第2の外部接続導体」に対応する。
誘電体層22の表面(誘電体層23側の面)には、信号導体31、配線調整導体311、312、層間接続用補助導体321、322、331、332が形成されている。信号導体31は、X方向に延びる線状導体である。信号導体31は、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体31が本発明の「第1の信号導体」に対応する。
配線調整導体311、層間接続用補助導体321、331は、信号導体31の第1端部ED1側に形成されている。層間接続用補助導体321、331は、信号導体31とともに、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。層間接続用補助導体331は、層間接続用補助導体321よりも第1端部ED1側に形成されている。
配線調整導体311は、誘電体層22の表面において、層間接続用補助導体321、331の形成領域を迂回するように形成されている。配線調整導体311の延びる方向の一方端は、信号導体31に接続されており、配線調整導体311の延びる方向の他方端は、第1端部ED1と層間接続用補助導体331との間に配置されている。
配線調整導体312、層間接続用補助導体322、332は、信号導体31の第2端部ED2側に形成されている。層間接続用補助導体322、332は、信号導体31とともに、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。層間接続用補助導体332は、層間接続用補助導体322よりも第2端部ED2側に形成されている。
配線調整導体312は、誘電体層22の表面において、層間接続用補助導体322、332の形成領域を迂回するように形成されている。配線調整導体312の延びる方向の一方端は、信号導体31に接続されており、配線調整導体312の延びる方向の他方端は、第2端部ED2と層間接続用補助導体331との間に配置されている。
より具体的に、図3に示すように、配線調整導体312は、複数の導体パターン3121、3122、3123からなる。導体パターン3121、3123は、Y方向に延びる形状であり、導体パターン3122は、X方向に延びる形状である。導体パターン3121の延びる方向の一方端は、信号導体31に接続されており、導体パターン3121の他方端は、導体パターン3122の一方端に接続されている。導体パターン3122は、X方向において層間接続用補助導体322、332の形成領域と部分的に重なっており、Y方向において層間接続用補助導体322、332の形成領域から離間している。導体パターン3122の他方端は、導体パターン3123の一方端に接続されている。導体パターン3123の他方端は、配線調整導体312の他方端に対応する。このように、配線調整導体312は、誘電体層22をZ方向に視て、層間接続用補助導体322、332の形成領域の略半周を囲む形状に形成されている。なお、説明は省略するが、上述の配線調整導体311の具体的な形状も、配線調整導体312と同様である。
誘電体層23の表面(誘電体層24側の面)には、グランド導体51、層間接続用補助導体521、522が形成されている。グランド導体51が、本発明の「信号導体用中間グランド導体」に対応する。グランド導体51は、誘電体層23の表面の略全面に形成されている。層間接続用補助導体521、522は、グランド導体51に対して、導体非形成部によって離間されている。層間接続用補助導体521は、誘電体層23のX方向の第1端部ED1付近に形成されている。層間接続用補助導体521は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体321と重なっている。層間接続用補助導体522は、誘電体層23のX方向の第2端部ED2付近に形成されている。層間接続用補助導体522は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体322と重なっている。
誘電体層24の表面(誘電体層25側の面)には、信号導体32、層間接続用補助導体333、334が形成されている。信号導体32は、X方向に延びる線状導体である。信号導体32は、誘電体層24におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体32が本発明の「第2の信号導体」に対応する。
信号導体32の第1端部ED1側の端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体521に重なっている。信号導体32の第2端部ED2側の端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体522に重なっている。
層間接続用補助導体333は、誘電体層24のX方向において信号導体32と第1端部ED1との間に形成されている。層間接続用補助導体333は、積層体20において、層間接続用補助導体331に重なっている。
層間接続用補助導体334は、誘電体層24のX方向において信号導体32と第2端部ED2との間に形成されている。層間接続用補助導体334は、積層体20において、層間接続用補助導体332に重なっている。
誘電体層25の表面(積層体20の表面)には、略全面にグランド導体42が形成されている。
図1に示すように、積層体20には、層間接続導体711、712、721、722、801、802が形成されている。層間接続導体711、712、721、722、801、802は、所定の誘電体層に貫通孔を設けて、当該貫通孔に導電ペーストを充填し、固化することによって実現される。
層間接続導体711は、外部接続導体611と配線調整導体311の他方端とを接続している。層間接続導体712は、図4に示すように、外部接続導体612と配線調整導体312の他方端とを接続している。
層間接続導体721は、層間接続用補助導体321、521を介して、外部接続導体621と信号導体32の一方端とを接続している。層間接続導体722は、図4に示すように、層間接続用補助導体322、522を介して、外部接続導体622と信号導体32の他方端とを接続している。
層間接続導体801は、層間接続用補助導体331、333を介して、グランド導体41、グランド導体51、および、グランド導体42を接続している。層間接続導体802は、図4に示すように、層間接続用補助導体332、334を介して、グランド導体41、グランド導体51、および、グランド導体42を接続している。
このような構成によって、多層基板10は、積層体20内に、Z方向(積層方向)の異なる位置に2つの信号導体31、32を備える。信号導体31は、Z方向においてグランド導体41、51に挟まれている。この構成によって、第1の伝送線路が形成される。信号導体32は、Z方向においてグランド導体42、51に挟まれている。この構成によって、第2の伝送線路が形成される。したがって、多層基板10は、積層体20のZ方向の異なる位置に第1の伝送線路と第2の伝送線路とを備える。
信号導体31の第1端部ED1側の端部は、配線調整導体311、層間接続導体711を介して、外部接続導体611に接続されている。配線調整導体311および層間接続導体711からなる導体部分が、本発明の「第1の配線導体」に対応する。また、信号導体31の第2端部ED2側の端部は、配線調整導体312、層間接続導体712を介して、外部接続導体612に接続されている。配線調整導体312および層間接続導体712からなる導体部分が、本発明の「第1の配線導体」に対応する。
信号導体32の第1端部ED1側の端部は、層間接続導体721を介して、外部接続導体621に接続されている。層間接続導体721からなる導体部分が、本発明の「第2の配線導体」に対応する。信号導体32の第2端部ED2側の端部は、層間接続導体722を介して、外部接続導体622に接続されている。層間接続導体722からなる導体部分が、本発明の「第2の配線導体」に対応する。
ここで、配線調整導体311、312の長さを適宜調整する。具体的には、信号導体31と積層体20の裏面との距離をD1とし、信号導体32と積層体20の裏面との距離をD2とする。
信号導体32は、信号導体31よりも裏面から離れているので、D1はD2よりも小さい。したがって、信号導体31と外部接続導体611、612とを単にZ方向延びる導体(例えば1つの層間接続導体)で接続する場合の第1配線導体のインダクタンス成分(第1のインダクタンス)は、信号導体32と外部接続導体621、622とを単にZ方向延びる導体(例えば1つの層間接続導体)で接続する場合の第2の配線導体のインダクタンス成分(第2のインダクタンス)よりも小さい。ここで、導体のインピーダンスは、伝送信号の周波数とインダクタンスの乗算値に比例する。したがって、第1のインダクタンスによる第1のインピーダンスは、第2のインダクタンスによる第2のインピーダンスよりも小さくなり、第1のインピーダンスと第2のインピーダンスとの差が生じる。特に、伝送信号の周波数が高くなるほどインピーダンスは大きくなるので、伝送信号が高周波信号であると、このインピーダンスの差は大きくなってしまう。
このため、配線調整導体311、312を設けることによって、信号導体31の端部と外部接続導体611、612との間にインダクタとして機能する部分を形成する。このインダクタとして機能する部分により、第1のインピーダンスは増加し、インピーダンスの差を緩和する形状が実現される。言い換えれば、配線調整導体311、312は、第1のインピーダンスと第2のインピーダンスとの差を緩和する長さで形成されている。特に、伝送信号が高周波信号の場合、インピーダンスの差の緩和効果は大きくなる。
これにより、信号導体31を有する第1の伝送線路に対する外部から視たインピーダンスと、信号導体32を有する第2の伝送線路に対する外部から視たインピーダンスとは、略同じになる。したがって、第1の伝送線路が接続される回路と第2の伝送線路が接続される回路のインピーダンスが同じである場合に、第1の伝送線路と第2の伝送線路とで同様に、低損失で高周波信号を伝送できる。
さらに、本実施形態に係る多層基板10では、信号導体31と信号導体32との間に面状のグランド導体51が配置されているので、信号導体31と信号導体32とのアイソレーションを高められる。また、配線調整導体311、312と信号導体32との間にも面状のグランド導体51が配置される。したがって、配線調整導体311、312と信号導体32とのアイソレーションを高められる。
また、本実施形態に係る多層基板10は、信号導体32に接続する層間接続用補助導体321と信号導体31に接続する配線調整導体311の他方端との間に、グランド導体41、42、51に接続される層間接続用補助導体331が配置されている。これにより、積層体20の第1端部ED1付近において、層間接続用補助導体321と配線調整導体311とのアイソレーションを高くでき、信号導体32と信号導体31とのアイソレーションを高くできる。同様に、本実施形態に係る多層基板10は、信号導体32に接続する層間接続用補助導体322と信号導体31に接続する配線調整導体312の他方端との間に、グランド導体41、42、51に接続される層間接続用補助導体332が配置されている。これにより、積層体20の第2端部ED2付近において、層間接続用補助導体322と配線調整導体312とのアイソレーションを高くでき、信号導体32と信号導体31とのアイソレーションを高くできる。
また、本実施形態の多層基板10では、配線調整導体311、312を1つの面に形成しているので、配線調整導体311、312を形成するための個別の誘電体層を別途設けなくてもよい。これにより、多層基板10のZ方向の寸法(厚み)を小さくできる。また、多層基板10の構成では、配線調整部に用いる層間接続導体の個数を抑制でき、配線調整部の接続信頼性が向上する。また、平面型の導体は層間接続導体よりも導体損が生じ難いので、多層基板10の構成では、配線調整部の導体損が大きくなり難い。
なお、本実施形態の多層基板10では、配線調整導体311、312が、第2の配線導体(層間接続用補助導体321、322等)の配置位置を迂回するように形成されている構成を示したが、この構成のみに限定されるものではない。第2の配線導体が、第1の配線導体またはグランド導体の配置位置を迂回するように形成されていてもよい。すなわち、第2の配線導体に配線調整導体が形成されていてもよい。その場合、第1の配線導体の配線長と第2の配線導体の配線長との対称性を高めるため、第1の配線導体側の配線調整導体が、積層方向(Z方向)に視て、第2の配線導体側の配線調整導体よりも大きく迂回するように形成されていることが好ましい。
《第2の実施形態》
次に、本発明の第2の実施形態に係る多層基板について、図を参照して説明する。図5は、本発明の第2の実施形態に係る多層基板の分解斜視図である。
本実施形態に係る多層基板10Aは、第1の実施形態に係る多層基板10に対して、X方向における信号導体31、32の第1端部ED1側および第2端部ED2側の部分の構成において異なる。以下では、異なる箇所を具体的に説明する。
多層基板10Aは、積層体20を備え、積層体20は、誘電体層21、22、23、24、25を備える。
誘電体層21の裏面(積層体20の裏面)には、グランド導体41、および、外部接続導体611、612、621、622が形成されている。グランド導体41は、積層体20の裏面の略全面に形成されている。外部接続導体611、612、621、622は、グランド導体41に対して、導体非形成部によって離間されている。
外部接続導体611、621は、積層体20のX方向の第1端部ED1付近に形成されている。外部接続導体611、621は、Y方向に配列して配置されている。外部接続導体612、622は、積層体20のX方向の第2端部ED2付近に形成されている。外部接続導体612、622は、Y方向に配列して配置されている。外部接続導体611、612が本発明の「第1の外部接続導体」に対応する。外部接続導体621、622が本発明の「第2の外部接続導体」に対応する。
誘電体層22の表面(誘電体層23側の面)には、信号導体31、端部導体351、352、層間接続用補助導体321A、322A、341、342、914、924が形成されている。信号導体31は、X方向に延びる線状導体である。信号導体31は、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体31が本発明の「第1の信号導体」に対応する。
端部導体351は、信号導体31の第1端部ED1側の端部に接続されている。端部導体351は、Y方向の延びる部分とX方向に延びる部分を有する屈曲形状である。端部導体351のY方向に延びる部分が信号導体31に接続されている。端部導体351は、Y方向において外部接続導体611側に屈曲している。
層間接続用補助導体914は、X方向において、端部導体351におけるX方向に延びる部分と第1端部ED1との間に形成されている。Y方向において、層間接続用補助導体914と端部導体351におけるX方向に延びる部分とは、略同じ位置に形成されている。層間接続用補助導体914は、積層方向から平面視して、外部接続導体611に重なっている。
層間接続用補助導体341は、X方向において、信号導体31と第1端部ED1との間に形成されている。層間接続用補助導体341は、X方向に延びる形状であり、X方向の位置は、端部導体351のX方向の延びる部分の一部と、層間接続用補助導体914と重なっている。
層間接続用補助導体321Aは、X方向において、層間接続用補助導体914と略同じ位置に形成されている。層間接続用補助導体321Aは、Y方向において、層間接続用補助導体341を挟んで、層間接続用補助導体914と反対側に形成されている。層間接続用補助導体321Aは、積層方向から平面視して、外部接続導体621に重なっている。
端部導体352は、信号導体31の第2端部ED2側の端部に接続されている。端部導体352は、Y方向の延びる部分とX方向に延びる部分を有する屈曲形状である。端部導体352のY方向に延びる部分が信号導体32に接続されている。端部導体352は、Y方向において外部接続導体612側に屈曲している。
層間接続用補助導体924は、X方向において、端部導体352におけるX方向に延びる部分と第1端部ED1との間に形成されている。Y方向において、層間接続用補助導体924と端部導体352におけるX方向に延びる部分とは、略同じ位置に形成されている。層間接続用補助導体924は、積層方向から平面視して、外部接続導体612に重なっている。
層間接続用補助導体342は、X方向において、信号導体31と第2端部ED2との間に形成されている。層間接続用補助導体342は、X方向に延びる形状であり、X方向の位置は、端部導体352のX方向の延びる部分の一部と、層間接続用補助導体924と重なっている。
層間接続用補助導体322Aは、X方向において、層間接続用補助導体924と略同じ位置に形成されている。層間接続用補助導体322Aは、Y方向において、層間接続用補助導体342を挟んで、層間接続用補助導体924と反対側に形成されている。層間接続用補助導体322Aは、積層方向から平面視して、外部接続導体622に重なっている。
誘電体層23の表面(誘電体層24側の面)には、グランド導体51A、補助グランド導体511A、512A、および、層間接続用補助導体521A、522A、911、921が形成されている。グランド導体51Aは、誘電体層23の表面における第1端部ED1および第2端部ED2付近を除いて略全面に形成されている。補助グランド導体511A、512A、層間接続導体801A、802Aが本発明の「配線導体用中間グランド導体」に対応する。
補助グランド導体511Aは、グランド導体51Aの第1端部ED1側に形成されており、補助グランド導体511AのY方向の寸法は、グランド導体51AのY方向の寸法よりも小さい。補助グランド導体511Aは、誘電体層23におけるY方向の略中央に形成されている。補助グランド導体511Aは、グランド導体51Aに接続されている。
層間接続用補助導体521Aは、X方向において、グランド導体51Aと第1端部ED1との間に形成されている。層間接続用補助導体521Aは、Y方向において、補助グランド導体511Aと間隔をあけて形成されている。層間接続用補助導体521Aの一方端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体321Aおよび外部接続導体621に重なっている。層間接続用補助導体521A、層間接続用補助導体321Aおよび外部接続導体621は、層間接続導体7212Aによって接続されている。
層間接続用補助導体911は、X方向において、グランド導体51Aと第1端部ED1との間に形成されている。層間接続用補助導体911は、Y方向において、補助グランド導体511Aと間隔をあけて形成されている。層間接続用補助導体911は、Y方向において、補助グランド導体511Aを基準にして、層間接続用補助導体521Aと反対側に形成されている。
層間接続用補助導体911の一方端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体914および外部接続導体611に重なっている。層間接続用補助導体911、層間接続用補助導体914および外部接続導体611は、層間接続導体913によって接続されている。層間接続用補助導体911の他方端部は、積層方向から平面視して、端部導体351に重なっている。層間接続用補助導体911および端部導体351は、層間接続導体912によって接続されている。
補助グランド導体512Aは、グランド導体51Aの第2端部ED2側に形成されており、補助グランド導体512AのY方向の寸法は、グランド導体51AのY方向の寸法よりも小さい。補助グランド導体512Aは、誘電体層23におけるY方向の略中央に形成されている。補助グランド導体512Aは、グランド導体51Aに接続されている。
層間接続用補助導体522Aは、X方向において、グランド導体51Aと第2端部ED2との間に形成されている。層間接続用補助導体522Aは、Y方向において、補助グランド導体512Aと間隔をあけて形成されている。層間接続用補助導体522Aの一方端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体322Aおよび外部接続導体622に重なっている。層間接続用補助導体522A、層間接続用補助導体322Aおよび外部接続導体622は、層間接続導体7222Aによって接続されている。
層間接続用補助導体921は、X方向において、グランド導体51Aと第2端部ED2との間に形成されている。層間接続用補助導体921は、Y方向において、補助グランド導体512Aと間隔をあけて形成されている。層間接続用補助導体921は、Y方向において、補助グランド導体512Aを基準にして、層間接続用補助導体522Aと反対側に形成されている。
層間接続用補助導体921の一方端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体924および外部接続導体612に重なっている。層間接続用補助導体921、層間接続用補助導体924および外部接続導体612は、層間接続導体923によって接続されている。層間接続用補助導体921の他方端部は、積層方向から平面視して、端部導体352に重なっている。層間接続用補助導体921および端部導体352は、層間接続導体922によって接続されている。
誘電体層24の表面(誘電体層25側の面)には、信号導体32、端部導体3512、3522、層間接続用補助導体323、324が形成されている。信号導体32は、X方向に延びる線状導体である。信号導体32は、誘電体層24におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体32が本発明の「第2の信号導体」に対応する。
端部導体3512は、信号導体32の第1端部ED1側の端部に接続されている。端部導体3512は、Y方向の延びる部分とX方向に延びる部分を有する屈曲形状である。端部導体3512のY方向に延びる部分が信号導体32に接続されている。端部導体3512は、Y方向において外部接続導体621側に屈曲している。端部導体3512のX方向に延びる部分の端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体521Aの他方端に重なっている。端部導体3512と層間接続用補助導体521Aとは、層間接続導体7211Aによって接続されている。
層間接続用補助導体323は、X方向において、信号導体32と第1端部ED1との間に形成されている。層間接続用補助導体323は、X方向に延びる形状であり、X方向の位置は、端部導体3512のX方向の延びる部分の一部と重なっている。
端部導体3522は、信号導体32の第2端部ED2側の端部に接続されている。端部導体3522は、Y方向の延びる部分とX方向に延びる部分を有する屈曲形状である。端部導体3522のY方向に延びる部分が信号導体32に接続されている。端部導体352は、Y方向において外部接続導体621側に屈曲している。端部導体3522のX方向に延びる部分の端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体522Aの他方端に重なっている。端部導体3522と層間接続用補助導体522Aとは、層間接続導体7221Aによって接続されている。
層間接続用補助導体324は、X方向において、信号導体32と第2端部ED2との間に形成されている。層間接続用補助導体324は、X方向に延びる形状であり、X方向の位置は、端部導体3522のX方向の延びる部分の一部と重なっている。
誘電体層25の表面(積層体20の表面)には、略全面にグランド導体42が形成されている。
層間接続導体801Aは、グランド導体41、層間接続用補助導体341、補助グランド導体511A、層間接続用補助導体323、および、グランド導体42を接続している。層間接続導体801Aは、X方向に沿って間隔をあけて複数形成されている。
層間接続導体802Aは、グランド導体41、層間接続用補助導体342、補助グランド導体512A、層間接続用補助導体324、および、グランド導体42を接続している。層間接続導体802Aは、X方向に沿って間隔をあけて複数形成されている。
この構成では、層間接続導体912、層間接続用補助導体911、および層間接続導体913が繋がる導体部分が、第1端部ED1側の配線調整導体となる。また、層間接続導体922、層間接続用補助導体921、層間接続導体923が繋がる導体部分が、第2端部ED2側の配線調整導体となる。
このように、本実施形態に係る多層基板10Aでは、配線調整導体は、Z方向において、信号導体31の位置から信号導体32の位置側に屈曲する形状を有する。そして、これらの配線調整導体は、第1の実施形態と同様に、信号導体31に対する配線部のインピーダンスと信号導体32に対する配線部のインピーダンスとのインピーダンスの差を緩和する形状に設定されている。これにより、第1の実施形態と同様に、信号導体31を有する第1の伝送線路に対する外部から視たインピーダンスと、信号導体32を有する第2の伝送線路に対する外部から視たインピーダンスとは、略同じになる。したがって、第1の伝送線路が接続される回路と第2の伝送線路が接続される回路のインピーダンスが同じである場合に、第1の伝送線路と第2の伝送線路とで同様に、低損失で高周波信号を伝送できる。
また、多層基板10Aの構成を用いることによって、配線調整導体がY方向に延びる長さを短くできる。これにより、多層基板10AのY方向の寸法(幅方向の長さ)を小さくできる。また、同じ層間接続導体の線路長にインダクタンス成分を揃えることもできるようになり、インピーダンスの差を緩和する形状の設計が容易になる。また、配線調整導体のY方向の寸法を大きくすることなく、インダクタンス成分を大きくできるので、補助グランド導体511A、512A、層間接続導体801A、802Aを用いて、信号導体31用の配線調整部と信号導体32用の層間接続導体7212A、7222Aとの結合を抑制でき、第1の伝送線路と第2の伝送線路とのアイソレーションを高めやすい。
また、多層基板10Aの構成を用いることによって、配線調整導体の一部は、グランド導体51と同じ面に形成される。これにより、配線調整導体を形成するための個別の層を設ける必要が無く、多層基板10AのZ方向の寸法(積層方向の長さ(厚み))を小さくできる。
また、多層基板10Aの構成では、信号導体31および信号導体32に屈曲部を有し、Y方向における反対側の方向に屈曲している。これにより、信号導体31に対する配線部および信号導体32に対する配線部間のアイソレーションを高くできる。また、それぞれに屈曲部を有することによって、配線部の設計自由度が向上し、配線調整導体の形状の設計自由度は向上する。これにより、インピーダンスの差を緩和する構成を実現し易い。
また、多層基板10Aの構成では、信号導体31に対する配線部と信号導体32に対する配線部との間に、補助グランド導体511A、512A、層間接続用補助導体323、324、341、342が配置されている。そして、これら補助グランド導体511A、512A、層間接続用補助導体323、324、341、342は、Z方向に延びる層間接続導体801A、802Aによってグランド導体41、42、51Aに接続されている。これにより、信号導体31に対する配線部と信号導体32に対する配線部とは、Y方向、および、Z方向に対して、高いアイソレーションを実現できる。さらに、補助グランド導体511A、512A、層間接続用補助導体323、324、341、342は、X方向に延びる形状であるので、さらに高いアイソレーションを実現できる。
さらに、多層基板10Aでは、複数の誘電体層21、22、23、24のそれぞれの厚みが同じである。そのため、第1の配線導体の層間接続導体(層間接続導体922、923)の配線長と、第2の配線導体の層間接続導体(層間接続導体7221A、7222A)の配線長とが同じとなる。したがって、この構成により、第1の配線導体の配線長と第2の配線導体の配線長とを略同じにでき、第1の配線導体と第2の配線導体との対称性を高めることができる。
なお、層間接続用補助導体521A、522Aを、信号導体32用の配線調整導体に用いてもよい。これにより、信号導体31と信号導体32の両方に配線調整導体を接続できるので、インピーダンスの差を、より正確に、且つ、広いインピーダンス範囲で緩和できる。
《第3の実施形態》
次に、本発明の第3の実施形態に係る多層基板について、図を参照して説明する。図6は、本発明の第3の実施形態に係る多層基板10Bの第2端部を拡大した分解斜視図である。図7は、第3の実施形態に係る多層基板10Bの第2端部を拡大した断面図である。
本実施形態に係る多層基板10Bは、第1の実施形態に係る多層基板10に対して、配線調整導体312Aの構成が異なる。それ以外の構成は、多層基板10と同じである。以下では、異なる箇所を具体的に説明する。
本実施形態では、配線調整部が平面状導体を含んでいる。具体的には、図6に示すように、配線調整導体312Aは、複数の導体パターン3121、3122、3123の平面状導体からなる。本実施形態では、配線調整導体312A(複数の導体パターン3121、3122、3123)の線幅が、信号導体31の線幅よりも細い。なお、説明は省略するが、第1端部の配線調整導体(図1に示す配線調整導体311)の具体的な構成も、上記の配線調整導体312Aと同様である。
この構成により、配線調整導体312Aの線路長をあまり長くすることなく、第1のインダクタンス(第1の配線導体のインダクタンス成分)を大きくできる。
なお、インダクタンス成分を高めるため、層間接続導体712を長くする(また、層間接続導体712の径を小さくする)ことが考えられる。但し、層間接続導体712を長くした場合(または、層間接続導体712の径を小さくした場合)には、第1の配線導体の導体損失が大きくなってしまう。そのため、本実施形態で示したように、平面状導体である配線調整導体312Aの線幅を細くして、第1のインダクタンスを高めることが好ましい。
《第4の実施形態》
次に、本発明の第4の実施形態に係る多層基板について、図を参照して説明する。図8は、本発明の第4の実施形態に係る多層基板10Cの第2端部を拡大した分解斜視図である。
本実施形態に係る多層基板10Cは、第2の実施形態に係る多層基板10Aに対して、配線調整導体の構成が異なる。それ以外の構成は、多層基板10Aと同じである。以下では、異なる箇所を具体的に説明する。
図8に示すように、本実施形態では、平面導体である層間接続用補助導体522A、921の線幅が、平面導体である信号導体31、32の線幅よりも細い。なお、具体的な説明は省略するが、第1端部の層間接続用補助導体(図5に示す層間接続用補助導体521A、911)の具体的な構成も、上記の層間接続用補助導体522A、921と同様である。
この構成により、層間接続導体922、層間接続用補助導体921および層間接続導体923で構成される配線調整導体の線路長をあまり長くすることなく、第1のインダクタンスを大きくできる。
また、この構成により、第2の配線導体の線路長をあまり長くすることなく、第2のインダクタンス成分(第2の配線導体のインダクタンス)を大きくできる。そのため、第1のインダクタンスおよび第2のインダクタンスの両方を調整することで、第1のインピーダンスと第2のインピーダンスとの差の緩和効果を高めることができる。
なお、第1または第2の配線導体のインダクタンス成分を高めるため、層間接続導体922、923、7221A、7222Aを長くする(または、層間接続導体922、923、7221A、7222Aの径を小さくする)ことも考えられる。但し、層間接続導体922、923、7221A、7222Aを長くした場合(または、層間接続導体922、923、7221A、7222Aの径を小さくした場合)には、導体損失が大きくなってしまう。そのため、本実施形態で示したように、平面導体である層間接続用補助導体522A、921の線幅を細くして、インダクタンス成分を高めることが好ましい。
《第5の実施形態》
次に、本発明の第5の実施形態に係る多層基板について、図を参照して説明する。図9は、本発明の第5の実施形態に係る多層基板10Dの外観斜視図である。図10は、本発明の第5の実施形態に係る多層基板10Dの第2端部を拡大した分解斜視図である。
本実施形態に係る多層基板10Dは、第1の実施形態に係る多層基板10に対して、積層体の形状が異なる。また、多層基板10Dは、多層基板10に対して、配線調整導体の形状が異なる。それ以外の構成は、多層基板10と実質的に同じである。以下では、異なる箇所を具体的に説明する。
多層基板10Dは、積層体20Aを備え、積層体20Aは、誘電体層21、22、23、24、25を備える。
誘電体層21の裏面(積層体20Aの裏面)には、グランド導体41、および、外部接続導体611、612、621、622が形成されている。グランド導体41は、積層体20Aの裏面の略全面に形成されている。外部接続導体611、612、621、622は、グランド導体41に対して、導体非形成部によって離間されている。
外部接続導体611、621は、積層体20AのX方向の第1端部ED1付近に形成されている。外部接続導体611、621は、Y方向に配列して配置されている。外部接続導体612、622は、積層体20AのX方向の第2端部ED2付近に形成されている。外部接続導体612、622は、Y方向に配列して配置されている。外部接続導体611、612が本発明の「第1の外部接続導体」に対応する。外部接続導体621、622が本発明の「第2の外部接続導体」に対応する。
誘電体層22の表面(誘電体層23側の面)には、信号導体31、配線調整導体312B、層間接続用補助導体322、342、端部導体352等が形成されている。信号導体31は、X方向に延びる線状導体である。信号導体31は、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体31が本発明の「第1の信号導体」に対応する。
配線調整導体312B、層間接続用補助導体322、342、端部導体352は、信号導体31の第2端部ED2側に形成されている。層間接続用補助導体342は、信号導体31とともに、誘電体層22におけるY方向の略中央に形成されている。
配線調整導体312Bは、信号導体31の第2端部ED2側の端部に接続されている。配線調整導体312Bは、Y方向に延びる部分とX方向に延びる部分を有するミアンダ形状である。なお、配線調整導体は、スパイラル状やループ状等の巻線形状であってもよい。配線調整導体312BのY方向に延びる部分が信号導体31に接続されている。配線調整導体312Bの一部は、積層方向から平面視して、外部接続導体612に重なっている。配線調整導体312Bおよび外部接続導体612は、層間接続導体712によって接続されている。なお、説明は省略するが、第1端部ED1側の端部にも、同様の配線調整導体および層間接続用補助導体が形成されている。
誘電体層23の表面(誘電体層24側の面)には、グランド導体51、層間接続用補助導体522等が形成されている。グランド導体51は、誘電体層23の表面の略全面に形成されている。層間接続用補助導体522は、誘電体層23のX方向の第2端部ED2付近に形成されている。層間接続用補助導体522は、グランド導体51に対して、電極非形成部によって離間されている。なお、説明は省略するが、第1端部ED1付近にも、同様の層間接続用補助導体が形成されている。
誘電体層24の表面(誘電体層25側の面)には、信号導体32、端部導体3522、層間接続用補助導体324A等が形成されている。信号導体32は、X方向に延びる線状導体である。信号導体32は、誘電体層24におけるY方向の略中央に形成されている。信号導体32が本発明の「第2の信号導体」に対応する。
端部導体3522は、信号導体32の第2端部に接続されている。端部導体3522は、Y方向に延びる部分とX方向に延びる部分を有する屈曲形状である。端部導体3522のY方向に延びる部分が信号導体32に接続されている。端部導体3522のX方向に延びる部分の端部は、積層方向から平面視して、層間接続用補助導体522に重なっている。端部導体3522、層間接続用補助導体322、522および外部接続導体622は、層間接続導体722によって接続されている。なお、説明は省略するが、第1端部ED1付近にも、同様の端部導体が形成されている。
誘電体層25の表面(積層体20Aの表面)には、略全面にグランド導体42が形成されている。
層間接続導体802Bは、グランド導体42、層間接続補助導体324A、グランド導体51および層間接続用補助導体342を接続している。層間接続導体832は、グランド導体51、端部導体352およびグランド導体41を接続している。層間接続導体812Bは、層間接続用補助導体342およびグランド導体41を接続している。層間接続導体812Bは、X方向に沿って間隔を開けて複数形成されている。
図9に示すように、積層体20Aは、配線部CA、第1接続部CN1および第2接続部CN2を有する。第1接続部CN1および第2接続部CN2は、他の回路に接続するための矩形の部位である。配線部CAは、Y方向に延びて第1接続部CN1と第2接続部CN2とを互いに接続する部位である。
また、図9に示すように、第1接続部CN1および第2接続部CN2は、配線部CAよりもX方向の幅が太い。
次に、多層基板10Dを回路基板等に実装した状態について、図を参照して説明する。図11は、第5の実施形態に係る電子機器201の主要部を示す外観斜視図である。
電子機器201は、多層基板10D、回路基板101および複数の表面実装部品2等を備える。回路基板101は例えばプリント配線基板である。表面実装部品2は例えばチップ部品(チップインダクタまたはチップキャパシタ等)、またはIC等である。
図11に示すように、回路基板101の表面には、複数の表面実装部品2が実装されている。多層基板10Dは、上記の複数の表面実装部品2を避けるように、回路基板101の表面に実装されている。具体的には、多層基板10Dは、はんだ等の導電性接合材を介して、回路基板101の表面に接合される。すなわち、本実施形態では、第1接続部CN1および第2接続部CN2の外部接続導体(611、612、621、622)が、回路基板101の表面に形成される導体にそれぞれ接合されている。
本実施形態に係る電子機器201では、次のような効果を奏する。
本実施形態では、本実施形態に係る多層基板10Dでは、第1接続部CN1および第2接続部CN2の幅が、配線部CAの幅よりも太い。この構成により、多層基板10Dの接続面積が増え、回路基板101等への接続強度が高まる。また、この構成により、多層基板10Dが細長い形状であっても、回路基板101等の表面に多層基板10Dを配置したときに多層基板10Dを転倒し難くできる。すなわち、この構成により、回路基板101等の表面に配置される多層基板10Dの安定性が高まり、多層基板10Dの実装性を高めることができる。また、この構成により、多層基板10Dが細長い形状であっても、第1接続部CN1および第2接続部CN2にコネクタ等を実装しやすくできる。
また、本実施形態では、配線部CAの幅が、第1接続部CN1および第2接続部CN2の幅よりも狭い。この構成により、図11に示すように、多層基板10Dの配線部CAを限られた狭い空間(他の表面実装部品や構造物を避けた位置)に通すことができ、多層基板10Dを狭い空間に配置できる。
本実施形態に係る多層基板10Dでは、巻線状の配線調整導体312Bが接続部(第2接続部)に配置されている。この構成では、相対的に幅の太い接続部に巻線状の配線調整導体を配置するため、配線調整導体の線幅を太くできる。そのため、配線調整導体の線幅を細くした場合に比べて、第1の配線導体の導体損失の増加を抑制しつつ、インダクタンス成分を高めることができる。また、配線調整導体を相対的に幅の太い接続部(第1接続部CA1および第2接続部CA2)に配置することにより、配線部CAを限られた狭い空間に通すことができ、且つ、第1のインダクタンスを高めた多層基板10Dを実現できる。
また、本実施形態では、多層基板10Dが、導電性接合材を介して回路基板101に接合されている。すなわち、コネクタやレセプタクルを用いて多層基板を回路基板等に接続していないため、コネクタおよびレセプタクルを用いて多層基板を回路基板等に接続する場合と比べて、伝送損失が低減される。
なお、本実施形態では、第2の実施形態に係る多層基板10Aのように配線調整導体の一部がグランド導体51と同じ面に形成されていない。そのため、配線調整導体の一部をグランド導体51と同じ面に形成した場合に比べて、グランド導体51の面積が大きくなり、グランド電位が安定する。さらに、本実施形態に係る多層基板10Dでは、端部導体3522と、配線調整導体312Bとの間に面状のグランド導体51が配置されているので、第1の配線導体と第2の配線導体とのアイソレーションを高められる。
《その他の実施形態》
また、上述の各実施形態に係る多層基板10、10A、10B、10C、10Dに対して、信号導体31に対する配線部と、信号導体32に対する配線部とで、積層体20を分岐してもよい。
また、上述の各実施形態では、2本に信号導体31、32を備える態様を示した。しかしながら、3本以上の信号導体がZ方向に配列された構成に対しても、上述の配線部の構成を適用することができる。
また、上述の各実施形態では、2本の信号導体31、32の間にグランド導体51、51Aを配置する態様を示した。しかしながら、2本の信号導体31、32を差動信号の伝送に用いる場合には、2本の信号導体31、32間のグランド導体、信号導体31の配線部と信号導体32の配線部との間のグランド導体は、削除される。このような差動信号を伝送する多層基板に対しても、上述のインピーダンスの差を緩和する構成と適用できる。この場合、信号導体31の配線部と信号導体32の配線部との電気長を同じにするように、配線調整導体等を形成する。
また、上述の各実施形態では、積層体20、20Aの表面および裏面に導体が露出しているが、これら表面および裏面における外部接続導体611、612、621、622以外の領域に、絶縁性レジスト膜を形成してもよい。
また、上述の各実施形態では、配線調整導体を用いてインピーダンスを調整する部分を形成する態様を示したが、当該配線調整導体に実装型インダクタを接続する態様を用いることもできる。また、インピーダンスを調整する部分は、キャパシタであってもよく、インダクタとキャパシタと用いてもよい。
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形および変更が適宜可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内での実施形態からの変更が含まれる。
10、10A、10B、10C、10D:多層基板
20、20A:積層体
21、22、23、24、25:誘電体層
31、32:信号導体
41、42、51、51A:グランド導体
311、312、312A、312B:配線調整導体
321、321A、322、322A、323、324、324A、331、332、333、334、341、342、352、521、521A、522、522A、911、912、913、914、921、924:層間接続用補助導体
351、352:端部導体
511A、512A:補助グランド導体
611、612、621、622:外部接続導体
711、712、721、722、801、801A、802、802A、802B、803、812、812B、922、923、7211A、7212A、7221A、7222A:層間接続導体
3121、3122、3123:導体パターン
ED1:第1端部
ED2:第2端部
CN1:第1接続部
CN2:第2接続部
CA:配線部
2:表面実装部品
101:回路基板
201:電子機器

Claims (10)

  1. 複数の誘電体層が積層され、積層方向に直交する第1面と第2面とを有する積層体と、
    前記積層体の積層方向における異なる位置に配置された第1の信号導体および第2の信号導体と、
    前記第1面に形成された第1の外部接続導体および第2の外部接続導体と、
    前記第1の信号導体の端部を前記第1の外部接続導体に接続する第1の配線導体と、
    前記第2の信号導体の端部を前記第2の外部接続導体に接続する第2の配線導体と、
    を備え、
    前記第1の信号導体は、前記第2の信号導体よりも前記第1面に近い位置に配置され、
    前記第1の配線導体は、前記第1の信号導体と前記第2の信号導体との前記積層方向の距離差に応じた長さの配線調整部を、有し、
    前記積層方向における同じ位置に配置された前記第1の配線導体と前記第2の配線導体との間に、配線導体用中間グランド導体を備える、
    多層基板。
  2. 前記配線調整部は、前記積層方向に視て、前記第2の配線導体の配置位置を前記第1面に平行な面内で迂回する形状である、
    請求項1に記載の多層基板。
  3. 前記配線調整部は、前記積層方向において、前記第1の信号導体の配置された位置から前記第2の信号導体の配置された位置側に延びる部分を有する、
    請求項1または2に記載の多層基板。
  4. 前記積層方向において前記第1の信号導体と前記第2の信号導体との間に配置された面状の信号導体用中間グランド導体を備える、
    請求項1からのいずれかに記載の多層基板。
  5. 複数の誘電体層が積層され、積層方向に直交する第1面と第2面とを有する積層体と、
    前記積層体の積層方向における異なる位置に配置された第1の信号導体および第2の信号導体と、
    前記第1面に形成された第1の外部接続導体および第2の外部接続導体と、
    前記第1の信号導体の端部を前記第1の外部接続導体に接続する第1の配線導体と、
    前記第2の信号導体の端部を前記第2の外部接続導体に接続する第2の配線導体と、
    を備え、
    前記第1の信号導体は、前記第2の信号導体よりも前記第1面に近い位置に配置され、
    前記第1の配線導体は、前記第1の信号導体と前記第2の信号導体との前記積層方向の距離差に応じた長さの配線調整部を、有し、
    前記配線調整部は平面状導体を含み、
    前記平面状導体は、前記第1の信号導体の線幅よりも細い、多層基板。
  6. 前記配線調整部は、前記積層方向に視て、前記第2の配線導体の配置位置を前記第1面に平行な面内で迂回する形状である、
    請求項5に記載の多層基板。
  7. 前記配線調整部は、前記積層方向において、前記第1の信号導体の配置された位置から前記第2の信号導体の配置された位置側に延びる部分を有する、
    請求項5または6に記載の多層基板。
  8. 前記積層方向における同じ位置に配置された前記第1の配線導体と前記第2の配線導体との間に、配線導体用中間グランド導体を備える、
    請求項5から7のいずれかに記載の多層基板。
  9. 前記積層方向において前記第1の信号導体と前記第2の信号導体との間に配置された面状の信号導体用中間グランド導体を備える、
    請求項5から8のいずれかに記載の多層基板。
  10. 前記積層体は、配線部と、前記配線部よりも幅が太い接続部と、を有し、
    前記配線調整部は、前記第1面に平行な面内にあり、前記積層体のうち前記接続部に配置され、且つ、前記積層方向に視て巻線形状またはミアンダ形状である、請求項1からのいずれかに記載の多層基板。
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