JP6433052B2 - ガス測定装置用素子 - Google Patents

ガス測定装置用素子 Download PDF

Info

Publication number
JP6433052B2
JP6433052B2 JP2014182811A JP2014182811A JP6433052B2 JP 6433052 B2 JP6433052 B2 JP 6433052B2 JP 2014182811 A JP2014182811 A JP 2014182811A JP 2014182811 A JP2014182811 A JP 2014182811A JP 6433052 B2 JP6433052 B2 JP 6433052B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
gas
compensation
resistant elastic
elastic porous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014182811A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016057130A (ja
Inventor
和弘 笹原
和弘 笹原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Riken Keiki KK
Original Assignee
Riken Keiki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Riken Keiki KK filed Critical Riken Keiki KK
Priority to JP2014182811A priority Critical patent/JP6433052B2/ja
Publication of JP2016057130A publication Critical patent/JP2016057130A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6433052B2 publication Critical patent/JP6433052B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Description

本発明は、ジュール熱発生源にガス感応部を設けて構成されたガス検出用素子、及びガス感応部を悲感応部としてこれと対で使用される補償素子に関する。
ジュール熱発生源にガス感応部を設けて構成されたガスセンサーは、その熱放散量が表面積、形状のばらつきにより結果としてガス濃度の測定誤差が生じるという問題を抱えている。
すなわち、通常、ガス測定装置は、ガスに感応するガス感応部を備えた検出素子と、この検出素子とほぼ同形状でガスには感応しない補償部を備えた補償素子とを差動接続して補償素子により環境温度の変化を相殺しつつガスの濃度に比例してガス感応部を発熱させて信号を出力するように構成されている。
検出素子のガス感応部と補償素子の補償部とを同一材料、同一形状に製作することが不可能なため、環境の気圧や温度によりそれぞれの放熱量が異なり、2つの素子間に温度差が生じてガスの有無に関係なく出力が変動するドリフトが生じるという問題がある。
なお、ガスセンサ素子が収容されているケースの空間にセラミックス繊維を充填して外気温の変化による温度変動を極力防止することは特許文献1に見られるように既に周知であるが、このものは検出素子と補償素子との間に生じる熱バランスの崩れを補正することを目的とするものではない。
また、素子を収容したケースの空間に繊維を充填する関係上、素子を破損しないように細心の注意を払って作業する必要があり、手間がかかるという問題もある。
特開平8−201331号公報
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは外部環境、つまり温度、気圧の変動により検出素子と補償素子との2素子間に生じる熱バランスの崩れによるドリフトを防止でき、かつ組立作業を簡素化できるガス測定装置用素子を提供することである。
このような問題を解決するために本発明は、ジュール熱発生源にガス感応部が造り付けられた検出素子本体部を導電性ステーに導電関係を維持するように固定するとともに、前記検出素子本体部を耐熱性弾性多孔質板により挟んだ検出素子と、ジュール熱発生源に補償部が造り付けられた補償素子本体部を導電性ステーに導電関係を維持するように固定するとともに、前記補償素子本体部を耐熱性弾性多孔質板により挟んだ補償素子とを備えるとともに、前記耐熱性弾性多孔質板は、前記ガス感応部、及び前記補償部に対応する領域に窓を有する枠体により一体に固定されている
検出素子、補償素子は、その本体部を挟み込む耐熱性弾性多孔質板状体により熱の放散が抑制され、かつ素子本体部単独の場合よりも熱容量が大きくなり、熱的特性の変動を抑えることが可能となる。
また2枚の耐熱性弾性多孔質板で挟むという充填作業よりも簡単な工程で組み立てることができる。
本発明の一実施例を示す斜視図。 本発明の一実施例を示す組立て斜視図。 ガス感応部(非感応部)での断面図である。 本発明の他の実施例を示す斜視図である。
図1〜図3は、それぞれ本発明の一実施例を示すものである。
なお、形状的には検出素子も補償素子も同一であるので、補償素子の部材には検出素子の部材の符号にダッシュ(’)を付して同一の図を用いて説明する。
この実施例においては、検出素子1は白金線をコイル状に整形したジュール熱発生源にガス感応部が造り付けられた検出素子本体部2を基台3に植設した2本の導電性ステー4,4に導電関係を維持するように固定するとともに、検出素子本体部2を耐熱性弾性多孔質板5,5により挟んで構成されている。
また補償素子1’は、検出素子1と同様なジュール熱発生源に検出素子のガス感応部と形状的、熱的(比熱、熱容量、放熱面積)に同等の補償部が造り付けられた補償素子本体部2’を基台3’に植設した2本の導電性ステー4’、4’に導電関係を維持するように固定するとともに、補償素子本体部2’を耐熱性弾性多孔質板5’,5’により挟んで構成されている。
これら各素子1,1’は、上述したように検出素子1にあっては検出素子本体部2、補償素子1’にあっては補償素子本体部2’を包むように耐熱性弾性多孔質体、たとえば硼珪酸ガラスの綿の圧縮体からなる同一サイズの2枚の耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’で両側から挟まれ通気窓6,6,6’、6’を備えた枠体7,7、7’,7’で固定されている。なお、いうまでもなく耐熱性弾性多孔質板5,5’は硼珪酸ガラスの綿から構成されているので、熱不良導体で高い保温性を備えている。
この枠体7,7、7’,7’は、耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’の周囲を取り囲むように構成され、かつ相対向接触する領域に図示しない固定構造、たとえば嵌合可能な凹凸やスナップフィット構造が形成されている。これにより検出素子本体部2、補償素子本体部2’を挟んだ耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’を枠体7,7、7’,7’で簡単に固着することができる。また枠体7,7、7’,7’は2本の導電性ステー4,4、4’、4’を挟み込んでこれに支持されていて、素子本体部2、2’に無用な荷重が作用するのが防止されている。
この実施例において検出素子1と補償素子1’とを差動接続して差分を出力するように構成されたガス測定装置を作動させると、それぞれの素子1、1’のジュール熱発生源が発熱し検出素子本体部2や補償素子本体部2’を加熱する。この検出素子本体部2や補償素子本体部2’の熱は、これらに密着する耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’を加熱昇温させる一方、耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’は所定温度にまで昇温加熱された後は素子本体部2,2’の熱放散を可及的に抑制する。
また各素子本体部2、2’は、耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’と一体化されているため、各素子本体部2、2’単独の場合に比較して実質的熱容量が増加するので気圧の変動や環境温度の変動による素子の放熱量、つまり素子の温度変化が小さくなり、検出信号のドリフトが抑制される。
一方、被検ガスは、各素子本体部2、2’の枠体7,7、7’,7’の通気窓6,6,6’、6’、耐熱性弾性多孔質板5,5、5’,5’を構成する繊維の間を通過して素子本体部に到達し、検出素子1の素子本体部2だけがガスの種類や濃度に応じて発熱反応する。これにより検出素子1と補償素子1’との温度のバランスが崩れてガス検出信号が出力する。
なお、上述の実施例においては素子それぞれ個別にケースに収容する場合について説明したが、図4に示したように検出素子1と補償素子1’とをその向きが交差し、また上下関係になるように同一のケースに収容しても同一の効果を奏することは明らかである。
1 検出素子 1’ 補償素子 2 検出素子本体部 2’ 補償素子本体部’
3、3’ 基台 4,4、4’、4’ 導電性ステー 5,5、5’,5’ 耐熱性弾性多孔質板 6,6,6’、6’ 通気窓 7,7、7’,7’ 枠体

Claims (2)

  1. ジュール熱発生源にガス感応部が造り付けられた検出素子本体部を導電性ステーに導電関係を維持するように固定するとともに、前記検出素子本体部を耐熱性弾性多孔質板により挟んだ検出素子と、ジュール熱発生源に補償部が造り付けられた補償素子本体部を導電性ステーに導電関係を維持するように固定するとともに、前記補償素子本体部を耐熱性弾性多孔質板により挟んだ補償素子とを備えるとともに、前記耐熱性弾性多孔質板は、前記ガス感応部、及び前記補償部に対応する領域に窓を有する枠体により一体に固定されているガス測定装置用素子。
  2. 前記枠体は、前記導電性ステーを挟持している請求項に記載のガス測定装置用素子。
JP2014182811A 2014-09-09 2014-09-09 ガス測定装置用素子 Active JP6433052B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014182811A JP6433052B2 (ja) 2014-09-09 2014-09-09 ガス測定装置用素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014182811A JP6433052B2 (ja) 2014-09-09 2014-09-09 ガス測定装置用素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016057130A JP2016057130A (ja) 2016-04-21
JP6433052B2 true JP6433052B2 (ja) 2018-12-05

Family

ID=55758101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014182811A Active JP6433052B2 (ja) 2014-09-09 2014-09-09 ガス測定装置用素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6433052B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111141777A (zh) * 2019-12-25 2020-05-12 扬州工业职业技术学院 一种汽车橡胶件耐热度检测装置及其方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3345141A1 (de) * 1983-12-14 1985-06-27 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Thermische isolierung
US6344174B1 (en) * 1999-01-25 2002-02-05 Mine Safety Appliances Company Gas sensor
JP4323970B2 (ja) * 2004-01-23 2009-09-02 パナソニック株式会社 ガスセンサー構成体及びガスセンサー構成体の製造方法
JP2007529347A (ja) * 2004-03-19 2007-10-25 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 熱い食品をパッケージングするための多層シートまたはライナー
JP2010145295A (ja) * 2008-12-19 2010-07-01 New Cosmos Electric Corp ガス検知素子

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111141777A (zh) * 2019-12-25 2020-05-12 扬州工业职业技术学院 一种汽车橡胶件耐热度检测装置及其方法
CN111141777B (zh) * 2019-12-25 2021-08-13 扬州工业职业技术学院 一种汽车橡胶件耐热度检测装置及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016057130A (ja) 2016-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10129676B2 (en) MEMS microphone, apparatus comprising a MEMS microphone and method for fabricating a MEMS microphone
CN102004125B (zh) 热式湿度传感器
US8785856B2 (en) Infrared temperature measurement and stabilization thereof
WO2016056419A1 (ja) 圧力センサ
JP2015114291A (ja) 内部温度センサ
US8523427B2 (en) Sensor device with improved sensitivity to temperature variation in a semiconductor substrate
WO2016067952A1 (ja) 内部温度測定装置
WO2015137075A1 (ja) 内部温度測定方法及び内部温度測定装置
JP2008145133A (ja) 放射温度計
JP6433052B2 (ja) ガス測定装置用素子
JP2017036936A (ja) 熱伝導式湿度センサ
JP6985086B2 (ja) 圧力センサ
EP3146301B1 (en) Infrared temperature measurement and stabilization thereof
JP2017036935A (ja) 熱伝導式湿度センサ
JP2017003441A (ja) 気体熱伝導式ガスセンサおよび気体熱伝導式ガスセンサの出力補正方法
KR20170119283A (ko) 압력 센서
US8893554B2 (en) System and method for passively compensating pressure sensors
US20190316941A1 (en) Sensor Device, Method for Operating a Sensor Device and Electronic Assembly Comprising a Sensor Device
KR102301888B1 (ko) 히터 전류의 변화를 이용한 가스센서 모듈의 온도 보정방법
WO2018139142A1 (ja) 湿度センサ及び湿度センサ装置
JP2019028055A (ja) ガスセンサ
JP6475080B2 (ja) 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法
RU131195U1 (ru) Микромеханический датчик
JP6923406B2 (ja) 圧力変化測定装置
Veltcheva et al. Improvements in the measurement of the immersion profile of water triple points using bushes

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170629

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180514

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180702

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181105

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6433052

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250