JP6432919B2 - 光学デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一実施形態に係る光学デバイス1の説明図であり、図1(a)が断面模式図であり、図1(b)が透光性基板5を除去したパッケージ2の平面模式図である。光学デバイス1は、凹部4の底面BPに光学チップ3が実装されるパッケージ2と、凹部4の上部開口を塞ぐ透光性基板5とを備える。そして、透光性基板5とパッケージ2の上端面TPとは粒子7が分散する接着剤6を介して接着される。
図2及び図3は本発明の第二実施形態に係る光学デバイスの製造方法を説明するための図であり、図2が製造工程の流れ図であり、図3が製造工程の説明図である。まず、透光性基板形成工程S1において、透光性基板5を用意する。例えば人間の視感度特性と同じ分光特性を有するフィルターを用いることができる。また、パッケージ形成工程S2において、図3(a)に示すように、凹部4を形成し、その凹部4の底面BPに光学チップ3を実装したパッケージ2を準備する。
図4は本発明の第三実施形態に係る電子デバイス製造装置10のブロック図である。本電子デバイス製造装置10は、第一の部材21と第二の部材22を接着剤6により接着し密閉される中空領域を有する電子デバイスを製造する装置である。
2 パッケージ
3 光学チップ
4 凹部
5 透光性基板
6 接着剤
7 粒子
8 実装電極
9 ワイヤー
10 電子デバイス製造装置
11 載置手段
12 保持手段
13 移動手段
14a、14b 加熱手段
15 超音波発生手段
16 加圧手段
17 制御部
21 第一の部材
22 第二の部材
TP 上端面、BP 底面、UP 下端面
Claims (8)
- 凹部を有するパッケージと透光性基板とが積層する位置に粒子が分散する接着剤を挟んで位置決めする位置決め工程と、
前記透光性基板又は前記パッケージを前記接着剤が軟化する温度に加熱する第一加熱工程と、
前記透光性基板を前記パッケージに相対的に移動し、前記透光性基板と前記凹部が形成される側の前記パッケージの上端面とを前記接着剤に接触させる移動工程と、
前記接着剤に超音波振動を印加する超音波工程と、
前記透光性基板又は前記パッケージを前記接着剤が硬化する温度に上昇させる第二加熱工程と、を備える光学デバイスの製造方法。 - 前記上端面に前記接着剤を設置する接着剤設置工程を備える請求項1に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記粒子は平均粒径が3μm〜10μmである請求項1又は2に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記第一加熱工程は、前記透光性基板又は前記パッケージを70℃〜90℃に加熱する工程である請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記移動工程は、前記透光性基板を前記パッケージに相対的に加圧する加圧工程を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記超音波工程は、超音波振動の周波数が40kHz〜60kHzである請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記第二加熱工程は、前記透光性基板又は前記パッケージを130℃〜150℃に上昇させる工程である請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法。
- 前記超音波工程の実施している間に周囲の雰囲気を減圧する減圧工程を有する請求項1〜7のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法。
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