JP6425586B2 - 光学式変位計測システム、撮像条件最適化方法および撮像条件最適化プログラム - Google Patents
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Description
この構成によれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
また、使用者は、第1の表示部に表示された複数のプロファイル形状を視認するとともに、第1の操作部を操作することにより、最も好ましい撮像条件に対応するプロファイル形状を指定することができる。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も好ましい撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(6)撮像設定部は、複数の撮像パラメータのうち変更すべき撮像パラメータとして選択された1以上の撮像パラメータの状態を変更してもよい。この構成によれば、選択された1以上の撮像パラメータの状態を変更した場合の複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。これにより、短時間で最適な撮像条件を設定することができる。
(7)撮像設定部には、複数の撮像パラメータのうち1以上の変更すべき撮像パラメータが推奨設定されるとともに、推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータの変更すべき複数の状態が推奨設定され、光学式変位計測システムは、推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータ、または推奨設定された変更すべき複数の状態を変更するために使用者により操作される第2の操作部をさらに備えてもよい。
熟練していない使用者には、複数の撮像パラメータのうち変更すべき撮像パラメータを判断すること、および撮像パラメータの変更すべき複数の状態を判断することが困難であることが多い。このような場合でも、上記の構成によれば、変更すべき撮像パラメータおよび変更すべき複数の状態が推奨設定されているので、使用者は適切な撮像条件を容易に設定することができる。また、熟練した使用者は、第2の操作部を操作して推奨設定を変更することにより、最適な撮像条件を設定することができる。
(8)第2の操作部は、1以上の撮像パラメータを指定可能に構成され、撮像設定部は、第2の操作部の操作による使用者の指定に基づいて、1以上の撮像パラメータを変更すべき撮像パラメータとして選択してもよい。この場合、使用者は、第2の操作部を操作することにより、変更すべき1以上の撮像パラメータを選択することができる。これにより、使用者は、所望の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(9)第2の操作部は、選択された各撮像パラメータの複数の状態を指定可能に構成され、撮像設定部は、選択された各撮像パラメータの状態を第2の操作部の操作により指定された複数の状態に変更してもよい。この場合、使用者は、第2の操作部を操作することにより、選択した1以上のパラメータの各々について、変更すべき複数の状態を指定することができる。これにより、使用者は、所望の撮像パラメータの状態を所望の複数の状態に変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(10)複数の撮像パラメータは、第1の撮像パラメータと、第1の撮像パラメータに依存関係を有する第2の撮像パラメータとを含み、第2の操作部は、第1の撮像パラメータの状態を設定可能に構成され、撮像設定部は、第2の操作部により設定された第1の撮像パラメータの状態を維持可能な範囲で第2の撮像パラメータの状態を変更してもよい。
この場合、第1の撮像パラメータに依存関係を有する第2の撮像パラメータの状態は、第1の撮像パラメータの状態を維持可能な範囲で変更される。これにより、設定された第1の撮像パラメータの状態を維持しつつ、第2の撮像パラメータを含む他の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(11)撮像制御部は、周期性を有する基準信号に同期して動作し、第1の撮像パラメータは基準信号の周期を含み、第2の撮像パラメータは受光部の露光時間を含んでもよい。この場合、露光時間の状態は、基準信号の周期の状態を維持可能な範囲で変更される。これにより、設定された基準信号の周期の状態を維持しつつ、露光時間を含む他の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
また、算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件が投光部および受光部の撮像条件として決定される。この場合、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件が投光部および受光部の撮像条件として決定される。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(13)第4の発明に係る撮像条件最適化方法は、一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件最適化方法であって、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するステップと、設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように投光部および/または受光部を制御するステップと、生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するステップと、生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出するステップと、生成された複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示部に表示するステップと、表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかの指定を受け付けるステップと、指定が受け付けられたプロファイル形状に対応する撮像条件を投光部および受光部の撮像条件として決定するステップとを含む。
この撮像条件最適化方法によれば、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが生成される。生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータが生成される。生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度が算出される。
この方法によれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
また、使用者は、表示部に表示された複数のプロファイル形状を視認するとともに、最も好ましい撮像条件に対応するプロファイル形状を指定することができる。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も好ましい撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
また、算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件が投光部および受光部の撮像条件として決定される。この場合、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件が投光部および受光部の撮像条件として決定される。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(15)第6の発明に係る撮像条件最適化プログラムは、一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件の最適化を処理装置に実行させる撮像条件最適化プログラムであって、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定する処理と、設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように投光部および/または受光部を制御する処理と、生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成する処理と、生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する処理と、生成される複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示部に表示する処理と、表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかの指定を受け付ける処理と、指定が受け付けられたプロファイル形状に対応する撮像条件を投光部および受光部の撮像条件として決定する処理とを、処理装置に実行させる。
この撮像条件最適化プログラムによれば、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが生成される。生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータが生成される。生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度が算出される。
このプログラムによれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
また、使用者は、表示部に表示された複数のプロファイル形状を視認するとともに、最も好ましい撮像条件に対応するプロファイル形状を指定することができる。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も好ましい撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(1)光学式変位計測システムの構成
図1は、本発明の一実施の形態に係る光学式変位計測システムの構成を示すブロック図である。図2は、図1の光学式変位計測システム1の処理装置200の構成を示すブロック図である。図1に示すように、光学式変位計測システム1は、表示部3、撮像ヘッド100、処理装置200およびPC(パーソナルコンピュータ)900を備える。表示部3は、例えば液晶ディスプレイパネルまたは有機EL(エレクトロルミネッセンス)パネルにより構成される。
図3は、撮像ヘッド100およびワークWの外観斜視図である。図4および図5は、ワークWの表面における光の照射位置と受光素子121における光の入射位置との関係を示す図である。図3〜図5においては、水平面内で互いに直交する2方向をX1方向およびY1方向と定義し、それぞれ矢印X1,Y1で示す。また、鉛直方向をZ1方向と定義し、矢印Z1で示す。さらに、図4および図5においては、受光素子121の受光面上で互いに直交する2方向をX2方向およびZ2方向と定義し、それぞれ矢印X2,Z2で示す。ここで、受光面とは、受光素子121の複数の画素により形成される面である。
(1)撮像設定の手順
光学式変位計測システム1は、例えばベルトコンベアにより一定速度で運搬される同一種類の複数のワークWについて、共通部分の寸法(変位)を一定の周期で順次測定するために用いられる。このような用途においては、ワークの正確なプロファイル形状を取得するために、ワークの種類に応じて撮像設定を最適に行なう必要がある。
本例においては、図12の撮像設定ボタン311bが操作されると、図示しないパラメータ簡易入力欄が設定入力欄322に表示される。パラメータ簡易入力欄に所定の操作が行なわれると、パラメータ簡易入力欄に代えてパラメータ詳細入力欄が設定入力欄322に表示される。図13は、パラメータ詳細入力欄の一例を示す図である。図14は、パラメータ詳細入力欄の他の例を示す図である。
上記のように、撮像パラメータは多数存在するとともに、各撮像パラメータの状態は多岐にわたる。そのため、撮像パラメータの状態の組み合わせにより極めて多数の撮像条件が存在する。また、どの撮像パラメータのどの状態を変更すると生成されるプロファイル形状がどのように変化するかを使用者が直感的に把握することは難しい。そのため、使用者には、撮像条件が最適になる撮像パラメータの状態の組み合わせを見つけ出すことは困難である。また、使用者には、設定された撮像条件が最適であるか否かを判断することができない。
図17および図18は、撮像条件最適化処理を示すフローチャートである。以下、図1、図2、図17および図18を参照しながらPC900による撮像条件最適化処理を説明する。PC900は、撮像条件最適化プログラムに基づいて処理装置200を制御することにより撮像条件最適化処理を実行する。
本実施の形態に係る光学式変位計測システム1においては、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が撮像設定部931により設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが受光部120により生成される。
(1)測定設定の手順
撮像設定が行なわれた後、同一種類の複数のワークWについて共通部分の寸法(変位)を測定するために測定設定を行なう必要がある。以下、図12の設定編集画面300を参照して測定設定の手順について説明する。なお、撮像設定と同様に、処理装置200に複数の撮像ヘッド100が接続されている場合には、複数の撮像ヘッド100に一括して共通の測定設定を行なうこともできるし、複数の撮像ヘッド100に個別の測定設定を行なうこともできる。
(a)フィルタ処理
上記の測定設定において、プロファイル形状に不要な部分が含まれている場合には、測定結果が不適切になることがある。そこで、プロファイルデータに所望のフィルタ処理を行なうことにより、プロファイル形状に含まれた不要な部分を除去することができる。
マスタプロファイルデータが登録されたときのワークWの位置と実際に測定されるワークWの位置とが完全に一致するとは限らない。マスタプロファイルデータが登録されたときのワークWの位置と実際に測定されるワークWの位置とがずれた状態で撮像が行なわれると、測定結果が不適切になることがある。
以下、マスタプロファイル形状MPに設定されるマスクをプロファイルマスクと呼ぶ。上記の測定方法において、マスタプロファイル形状MPに設定された測定範囲に不要な部分が含まれている場合には、測定結果が不適切になることがある。そこで、マスタプロファイル形状MPに所望のプロファイルマスク処理を行なうことにより、測定範囲に含まれた不要な部分を除去して測定を行なうことができる。
(a)距離画像
上記の測定設定が行なわれた後、同一種類の複数のワークWの測定が順次行なわれる。ここで、ワークWの測定の途中または終了後に測定方法が適切ではなかったことが判明する場合がある。このような場合、従来の光学式変位計測システムにおいては、測定時の状況を再現し、測定設定を再度行なった後、ワークWの再測定および測定結果の再確認を行なう必要がある。しかしながら、測定時の状況を正確に再現できるとは限らない。仮に測定時の状況を正確に再現できたとしても、測定方法を最適にするために、試行錯誤しつつ測定方法の変更およびワークWの測定を繰り返す必要がある。そのため、使用者の負担が増加する。
測定設定において、図20の例のように、ワークWの平坦部分の高さを測定するために、マスタプロファイル形状MPの平坦部分に測定範囲が設定されたことを想定する。しかしながら、測定範囲が大きすぎる場合等のように、設定された測定方法に不具合がある場合には、ワークWによってはプロファイル形状PRの平坦部分に連続する不要なエッジ部分も測定範囲内に含まれることがある。
図33および図34は、測定シミュレーション処理を示すフローチャートである。以下、図1、図2、図33および図34を参照しながらPC900による測定シミュレーション処理を説明する。
本実施の形態に係る光学式変位計測システム1においては、プロファイル形状に関する測定結果の測定方法が測定処理部231に設定される。受光部120により生成された撮像距離画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータがプロファイル生成部222により生成される。生成されたプロファイルデータに基づいて、測定結果が測定処理部231により算出される。
(1)上記実施の形態の撮像設定においては、使用者が状態を変更すべき撮像パラメータを選択するとともに変更すべき複数の状態を指定するが、本発明はこれに限定されない。撮像パラメータごとに変更すべき複数の状態が予め設定されている場合には、使用者は、選択した撮像パラメータについて、変更すべき複数の状態を指定しなくてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
[6]参考形態
(1)第1の参考形態に係る光学式変位計測システムは、一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムであって、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するように構成される撮像設定部と、撮像設定部により設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように投光部および/または受光部を制御する撮像制御部と、生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するプロファイル生成部と、生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する信頼度算出部とを備える。
この光学式変位計測システムにおいては、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが生成される。生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータが生成される。生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度が算出される。
この構成によれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
(2)撮像設定部は、複数の撮像パラメータのうち変更すべき撮像パラメータとして選択された1以上の撮像パラメータの状態を変更してもよい。
この構成によれば、選択された1以上の撮像パラメータの状態を変更した場合の複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。これにより、短時間で最適な撮像条件を設定することができる。
(3)撮像設定部には、複数の撮像パラメータのうち1以上の変更すべき撮像パラメータが推奨設定されるとともに、推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータの変更すべき複数の状態が推奨設定され、光学式変位計測システムは、推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータ、または推奨設定された変更すべき複数の状態を変更するために使用者により操作される第1の操作部をさらに備えてもよい。
熟練していない使用者には、複数の撮像パラメータのうち変更すべき撮像パラメータを判断すること、および撮像パラメータの変更すべき複数の状態を判断することが困難であることが多い。このような場合でも、上記の構成によれば、変更すべき撮像パラメータおよび変更すべき複数の状態が推奨設定されているので、使用者は適切な撮像条件を容易に設定することができる。また、熟練した使用者は、第1の操作部を操作して推奨設定を変更することにより、最適な撮像条件を設定することができる。
(4)第1の操作部は、1以上の撮像パラメータを指定可能に構成され、撮像設定部は、第1の操作部の操作による使用者の指定に基づいて、1以上の撮像パラメータを変更すべき撮像パラメータとして選択してもよい。
この場合、使用者は、第1の操作部を操作することにより、変更すべき1以上の撮像パラメータを選択することができる。これにより、使用者は、所望の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(5)第1の操作部は、選択された各撮像パラメータの複数の状態を指定可能に構成され、撮像設定部は、選択された各撮像パラメータの状態を第1の操作部の操作により指定された複数の状態に変更してもよい。
この場合、使用者は、第1の操作部を操作することにより、選択した1以上のパラメータの各々について、変更すべき複数の状態を指定することができる。これにより、使用者は、所望の撮像パラメータの状態を所望の複数の状態に変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(6)複数の撮像パラメータは、第1の撮像パラメータと、第1の撮像パラメータに依存関係を有する第2の撮像パラメータとを含み、第1の操作部は、第1の撮像パラメータの状態を設定可能に構成され、撮像設定部は、第1の操作部により設定された第1の撮像パラメータの状態を維持可能な範囲で第2の撮像パラメータの状態を変更してもよい。
この場合、第1の撮像パラメータに依存関係を有する第2の撮像パラメータの状態は、第1の撮像パラメータの状態を維持可能な範囲で変更される。これにより、設定された第1の撮像パラメータの状態を維持しつつ、第2の撮像パラメータを含む他の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(7)撮像制御部は、周期性を有する基準信号に同期して動作し、第1の撮像パラメータは基準信号の周期を含み、第2の撮像パラメータは受光部の露光時間を含んでもよい。
この場合、露光時間の状態は、基準信号の周期の状態を維持可能な範囲で変更される。これにより、設定された基準信号の周期の状態を維持しつつ、露光時間を含む他の撮像パラメータの状態を変更した場合の最適な撮像条件を判断することができる。
(8)撮像設定部は、信頼度算出部により算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件を投光部および受光部の撮像条件として決定してもよい。
この場合、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件が投光部および受光部の撮像条件として決定される。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も高い信頼度を有するプロファイル形状が取得されたときの撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(9)光学式変位計測システムは、プロファイル生成部により生成される複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示する第1の表示部と、第1の表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかを指定するために使用者により操作される第2の操作部とをさらに備え、撮像設定部は、第2の操作部の操作により指定されたプロファイル形状に対応する撮像条件を投光部および受光部の撮像条件として決定してもよい。
この場合、使用者は、第1の表示部に表示された複数のプロファイル形状を視認するとともに、第2の操作部を操作することにより、最も好ましい撮像条件に対応するプロファイル形状を指定することができる。これにより、以後のプロファイル形状の測定において、最も好ましい撮像条件でプロファイル形状を取得することが可能となる。
(10)第1の表示部は、信頼度算出部により算出された信頼度を示す指標を対応するプロファイル形状とともに表示してもよい。
この場合、使用者は、プロファイル形状および指標を視認することにより、客観的に最も好ましい撮像条件を客観的に判断することができる。
(11)第1の表示部は、信頼度算出部により算出された複数の信頼度を示す複数の指標および複数のプロファイル形状を信頼度の降順または昇順に表示してもよい。
この場合、最も高い信頼度を有するプロファイル形状を視認することが容易になる。これにより、使用者は、信頼度を考慮して最も好ましい撮像条件を容易に判断することができる。
(12)撮像制御部は、決定した撮像条件に対応する撮像画像データを複数回生成するように投光部および受光部を制御し、プロファイル生成部は、受光部により複数回生成される撮像画像データに基づいてプロファイルデータを順次生成し、光学式変位計測システムは、プロファイル生成部により順次生成される複数のプロファイルデータに基づいて、プロファイル形状を順次更新しつつ表示する第2の表示部をさらに備えてもよい。
この場合、決定された撮像条件において取得されたプロファイル形状が順次更新されつつ第2の表示部に表示される。ここで、使用者は、測定対象物の位置および姿勢をわずかに変化させることにより、測定対象物の位置および姿勢が変化したときでも、適切なプロファイル形状を取得できるか否かを確認することができる。測定対象物の位置および姿勢が変化したときでも適切なプロファイル形状を取得できるように複数の撮像パラメータの状態を決定することにより、ロバスト性の高い撮像条件を設定することができる。
(13)第2の参考形態に係る撮像条件最適化方法は、一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件最適化方法であって、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するステップと、設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように投光部および/または受光部を制御するステップと、生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するステップと、生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出するステップとを含む。
この撮像条件最適化方法によれば、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが生成される。生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータが生成される。生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度が算出される。
この方法によれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
(14)第3の参考形態に係る撮像条件最適化プログラムは、一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件の最適化を処理装置に実行させる撮像条件最適化プログラムであって、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定する処理と、設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように投光部および/または受光部を制御する処理と、生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成する処理と、生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する処理とを、処理装置に実行させる。
この撮像条件最適化プログラムによれば、撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態が設定される。設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態が変更されることにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データが生成される。生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータが生成される。生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度が算出される。
このプログラムによれば、撮像パラメータの複数の状態の組み合わせに対応する複数の撮像条件において撮像画像データが生成される。また、各撮像画像データに対応するプロファイル形状の信頼度が算出される。そのため、使用者は、生成されたプロファイルデータに基づくプロファイル形状または算出された信頼度に基づいて、いずれの撮像条件が最適であるかを判断することができる。これにより、最適な撮像条件を容易に設定することができる。
3 表示部
100 撮像ヘッド
110 投光部
120 受光部
121 受光素子
122 受光レンズ
200 処理装置
210 撮像制御部
211 投光制御部
212 受光制御部
220 データ処理部
221 ピーク検出部
222 プロファイル生成部
230 測定制御部
231 測定処理部
232 距離画像生成部
240 表示処理部
250 入力受付部
251 撮像受付部
252 測定受付部
260,920 記憶部
300 設定編集画面
300A 設定変更画面
310 共通表示欄
311 撮像設定欄
311a トリガ設定ボタン
311b 撮像設定ボタン
311c プロファイルボタン
312 測定設定欄
312a マスタ登録ボタン
312b 位置補正ボタン
312c プロファイルマスクボタン
312d OUT測定設定ボタン
313 出力設定欄
313a 端子/ストレージボタン
314 ファイル保存ボタン
315 サンプリング周波数表示欄
316 処理時間表示欄
317 完了ボタン
317A 実行ボタン
320 個別表示欄
321 画像表示欄
322 設定入力欄
323 画像更新ボタン
324 プロファイル更新ボタン
325 プロファイル選択ボタン
330 パラメータ詳細入力欄
330a 設定最適ボタン
330b やり直しボタン
331,338 受光特性欄
331a 受光感度特性プルダウンメニュー
332 光量設定欄
332a 露光時間プルダウンメニュー
332b 光量設定ボタン
332c 光量制御欄
333 ピーク時処理欄
333a ピーク検出感度プルダウンメニュー
333b 無効データ補間点数入力欄
334 複数ピーク処理欄
334a ピーク選択プルダウンメニュー
334b,334c ピーク幅フィルタチェックボックス
335 撮像モード欄
335a 撮像モードプルダウンメニュー
336 画像マスク欄
336a 画像マスクボタン
336b 画像マスク表示欄
337 測定範囲欄
337a X方向プルダウンメニュー
337b Z方向プルダウンメニュー
338a ビニングプルダウンメニュー
340 マスタプロファイル登録欄
341 登録ボタン
350 測定対象表示欄
350a,370a,380a,424 確定ボタン
351 測定対象入力欄
351a 対象ヘッドプルダウンメニュー
351b 測定対象設定欄
351c 測定対象設定ボタン
352 測定範囲入力欄
352a,371a 左端入力欄
352b,371b 右端入力欄
353 測定結果出力欄
353a〜353c 測定結果表示欄
360 プロファイル詳細設定欄
360a 標準設定へボタン
361 空間フィルタ設定欄
361a スムージングプルダウンメニュー
361b メディアンプルダウンメニュー
370 X補正欄
371 エッジ測定エリア欄
371c エッジレベル入力欄
372 エッジ測定詳細欄
372a エッジ方向プルダウンメニュー
372b 検出方向プルダウンメニュー
372c 検出No.プルダウンメニュー
380 プロファイルマスク設定欄
381 マスクエリア欄
381a マスクエリア一覧表
382 マスクエリア詳細欄
382a エリア表示欄
382b 形状表示欄
383 エリア設定欄
383a 左上X座標入力欄
383b 左上Z座標入力欄
383c 右下X座標入力欄
383d 右下Z座標入力欄
384 位置補正選択欄
384a 位置補正選択プルダウンメニュー
400 撮像条件最適化画面
410 結果表示領域
411 結果表示欄
411a,421 撮像画像表示欄
411b,422,631 プロファイル形状表示欄
411c スコア表示欄
412 カスタム探索ボタン
413 オプティマイズボタン
420 選択画像表示領域
423 連続更新ボタン
500 カスタム探索画面
501 実行パターン数表示欄
502 探索実行ボタン
510〜514 受光感度特性チェックボックス
520〜529,52A 露光時間チェックボックス
530〜535 ピーク検出感度チェックボックス
540〜546 ピーク選択チェックボックス
550 ピーク幅フィルタチェックボックス
560〜565 撮像モードチェックボックス
600 設定シミュレータ画面
601 設定変更ボタン
610 測定エリア表示領域
620 測定結果表示領域
621,711 距離画像表示欄
621a 全体画像表示欄
621b 部分画像表示欄
621c カーソル
622 トレンドグラフ表示欄
622m マーカ
630,720 選択結果表示領域
632 選択結果表示欄
700 シミュレート対象データ選択画面
701 OKボタン
710 距離画像表示領域
900 PC
910 操作部
930 制御部
931 撮像設定部
932 測定設定部
933 処理間算出部
934 信頼度算出部
935 抽出部
936 シミュレーション部
M1 測定範囲表示指標
M2 補正範囲表示指標
M3 マスク範囲表示指標
ME,PE エッジ
ML,PL エッジレベル
MP マスタプロファイル形状
NP ノイズ部
P1 ピーク
PP ピーク位置
PR プロファイル形状
R1 受光領域
SS 画素列
W ワーク
Claims (15)
- 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムであって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するように構成される撮像設定部と、
前記撮像設定部により設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御する撮像制御部と、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するプロファイル生成部と、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する信頼度算出部とを備え、
前記撮像設定部は、前記信頼度算出部により算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定する、光学式変位計測システム。 - 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムであって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するように構成される撮像設定部と、
前記撮像設定部により設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御する撮像制御部と、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するプロファイル生成部と、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する信頼度算出部と、
前記プロファイル生成部により生成される複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示する第1の表示部と、
前記第1の表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかを指定するために使用者により操作される第1の操作部とを備え、
前記撮像設定部は、前記第1の操作部の操作により指定されたプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定する、光学式変位計測システム。 - 前記第1の表示部は、前記信頼度算出部により算出された信頼度を示す指標を対応するプロファイル形状とともに表示する、請求項2記載の光学式変位計測システム。
- 前記第1の表示部は、前記信頼度算出部により算出された複数の信頼度を示す複数の指標および複数のプロファイル形状を信頼度の降順または昇順に表示する、請求項3記載の光学式変位計測システム。
- 前記撮像制御部は、決定した撮像条件に対応する撮像画像データを複数回生成するように前記投光部および前記受光部を制御し、
前記プロファイル生成部は、前記受光部により複数回生成される撮像画像データに基づいてプロファイルデータを順次生成し、
前記光学式変位計測システムは、
前記プロファイル生成部により順次生成される複数のプロファイルデータに基づいて、プロファイル形状を順次更新しつつ表示する第2の表示部をさらに備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学式変位計測システム。 - 前記撮像設定部は、複数の撮像パラメータのうち変更すべき撮像パラメータとして選択された1以上の撮像パラメータの状態を変更する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学式変位計測システム。
- 前記撮像設定部には、複数の撮像パラメータのうち1以上の変更すべき撮像パラメータが推奨設定されるとともに、前記推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータの変更すべき複数の状態が推奨設定され、
前記光学式変位計測システムは、前記推奨設定された1以上の変更すべき撮像パラメータ、または推奨設定された変更すべき複数の状態を変更するために使用者により操作される第2の操作部をさらに備える、請求項6記載の光学式変位計測システム。 - 前記第2の操作部は、1以上の撮像パラメータを指定可能に構成され、
前記撮像設定部は、前記第2の操作部の操作による使用者の指定に基づいて、1以上の撮像パラメータを前記変更すべき撮像パラメータとして選択する、請求項7記載の光学式変位計測システム。 - 前記第2の操作部は、前記選択された各撮像パラメータの複数の状態を指定可能に構成され、
前記撮像設定部は、前記選択された各撮像パラメータの状態を前記第2の操作部の操作により指定された複数の状態に変更する、請求項8記載の光学式変位計測システム。 - 複数の撮像パラメータは、第1の撮像パラメータと、前記第1の撮像パラメータに依存関係を有する第2の撮像パラメータとを含み、
前記第2の操作部は、前記第1の撮像パラメータの状態を設定可能に構成され、
前記撮像設定部は、前記第2の操作部により設定された前記第1の撮像パラメータの状態を維持可能な範囲で前記第2の撮像パラメータの状態を変更する、請求項7〜9のいずれか一項に記載の光学式変位計測システム。 - 前記撮像制御部は、周期性を有する基準信号に同期して動作し、
前記第1の撮像パラメータは前記基準信号の周期を含み、
前記第2の撮像パラメータは前記受光部の露光時間を含む、請求項10記載の光学式変位計測システム。 - 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件最適化方法であって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するステップと、
設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御するステップと、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するステップと、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出するステップと、
算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定するステップとを含む、撮像条件最適化方法。 - 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件最適化方法であって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定するステップと、
設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御するステップと、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成するステップと、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出するステップと、
生成された複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示部に表示するステップと、
前記表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかの指定を受け付けるステップと、
指定が受け付けられたプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定するステップとを含む、撮像条件最適化方法。 - 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件の最適化を処理装置に実行させる撮像条件最適化プログラムであって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定する処理と、
設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御する処理と、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成する処理と、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する処理と、
算出された複数の信頼度のうち最も高い信頼度を有するプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定する処理とを、
前記処理装置に実行させる、撮像条件最適化プログラム。 - 一方向に沿って光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの反射光を受光し、受光量に基づいて測定対象物の画像を示す撮像画像データを生成する受光部とを備え、三角測距方式により測定対象物のプロファイル形状を測定する光切断方式の光学式変位計測システムの撮像条件の最適化を処理装置に実行させる撮像条件最適化プログラムであって、
撮像条件を設定するための複数の撮像パラメータの状態を設定する処理と、
設定された複数の撮像パラメータのいずれかの状態を変更することにより複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数の撮像画像データを生成するように前記投光部および/または前記受光部を制御する処理と、
生成された各撮像画像データに基づいて、プロファイル形状を示すプロファイルデータを生成する処理と、
生成された各プロファイルデータまたは当該プロファイルデータに対応する撮像画像データに基づいて、当該プロファイルデータにより示されるプロファイル形状の信頼度を算出する処理と、
生成される複数のプロファイルデータに基づいて、複数の撮像条件にそれぞれ対応する複数のプロファイル形状を表示部に表示する処理と、
前記表示部に表示された複数のプロファイル形状のいずれかの指定を受け付ける処理と、
指定が受け付けられたプロファイル形状に対応する撮像条件を前記投光部および前記受光部の撮像条件として決定する処理とを、
前記処理装置に実行させる、撮像条件最適化プログラム。
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