JP6419776B2 - 真空ポンピング・除害システム - Google Patents
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Description
12 プロセスチャンバ
14 真空ポンプ
16 圧縮空気供給源
18 浄化ユニット
20 乾燥ユニット
22 バーナ
24 検知手段
26 制御ユニット
28 酸素の付加供給源
30 窒素の供給源
Claims (21)
- プロセスチャンバからプロセスガスを排出しかつプロセスガスから有害物質を除去する真空ポンピング・除害システムにおいて、
プロセスチャンバからプロセスガスを排出する真空ポンピング装置と、
排出中に真空ポンピング装置をパージングする圧縮空気供給源と、
真空ポンピング装置からプロセスガスおよび圧縮空気を受入れて、酸素中でプロセスガスを燃焼することによりプロセスガスから有害物質を除去するバーナとを有し、燃焼を支持する酸素の少なくとも幾分かは圧縮空気から得られることを特徴とする真空ポンピング・除害システム。 - パージングのために圧縮ガスをポンプに導入する前に、圧縮ガスの特性を検知する検知手段を有することを特徴とする請求項1記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記特性は圧縮空気中のオイル量または水分量の一方または両方であり、検知手段は、オイル量または水分量が所定限度を超えたときに信号を制御ユニットに出力することを特徴とする請求項2記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記制御ユニットは、圧縮空気供給源を作動するように接続されかつ検知手段から前記信号を受けたときにポンプへの圧縮空気の供給を停止させるように構成されていることを特徴とする請求項3記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記制御ユニットは、酸素の付加供給源を作動するように接続されかつポンプへの圧縮空気の供給が停止または減少されたときに付加供給源からバーナへの酸素の供給を付勢するように構成されていることを特徴とする請求項3記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記真空ポンピング装置への圧縮ガスの導入前に圧縮ガスからオイルおよび水分の一方または両方を除去する手段を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記真空ポンピング装置をポンピングすべく連結された窒素の供給源を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記制御ユニットは、真空ポンピング装置への圧縮空気の供給が停止または減少されたときに、パージングのために真空ポンピング装置内に窒素を搬送することを特徴とする請求項7記載の真空ポンピング・除害システム。
- オキシダントまたは酸素中で実質的に不活性なプロセスチャンバからの有害物質を受入れて、真空ポンピング装置が圧縮空気供給源からの圧縮空気によりパージングされる第1状態と、オキシダントまたは酸素中で実質的に不活性ではないプロセスチャンバからの有害物質を受入れて、真空ポンピング装置が窒素供給源からの窒素によりパージングされる第2状態とを有することを特徴とする請求項8記載の真空ポンピング・除害システム。
- 酸素中で弱く反応する有害物質をプロセスチャンバから受入れる状態であって、真空ポンピング装置内に搬送された圧縮空気が、窒素供給源からの窒素の導入前に除去された酸素の一部を有しかつ真空ポンピング装置内に搬送され、圧縮空気が空気と窒素との混合物からなるパージガスを形成する状態を有することを特徴とする請求項8または9記載の真空ポンピング・除害システム。
- 前記圧縮空気供給源は大気圧より高い圧力で圧縮空気を供給することができることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項記載の真空ポンピング・除害システム。
- プロセスチャンバからプロセスガスを排出する真空ポンピング装置と、該真空ポンピング装置からプロセスガスを受入れて、酸素中でプロセスガスを燃焼することによりプロセスガスから有害物質を除去するバーナとを有する真空ポンピング・除害システムの真空ポンピング装置をパージングする方法において、
真空ポンピング装置をパージングし、かつバーナに酸素を供給して燃焼を支持するために、プロセスチャンバからプロセスガスを排出中に真空ポンピング装置内に圧縮空気を搬送することを特徴とする真空ポンピング・除害システムの真空ポンピング装置のパージング方法。 - 前記圧縮ガスをポンプ内に導入してパージングする前に圧縮ガスの特性を検知することを特徴とする請求項12記載のパージング方法。
- 前記特性は、圧縮空気中のオイル量または水分量の一方または両方であることを特徴とする請求項13記載のパージング方法。
- 前記検知された特性が所定限度を超えると、ポンプへの圧縮空気の供給を停止することを特徴とする請求項13または14記載のパージング方法。
- 付加供給源からバーナへの酸素の供給は、ポンプへの圧縮空気の供給が停止されると付勢されることを特徴とする請求項15記載のパージング方法。
- 前記真空ポンピング装置内への圧縮空気の供給が停止または減少されると、窒素を真空ポンピング装置内に搬送することを特徴とする請求項15または16記載のパージング方法。
- 前記圧縮ガスが真空ポンピング装置に導入される前に、オイルおよび水分の一方または両方を圧縮ガスから除去することを特徴とする請求項12〜17のいずれか1項記載のパージング方法。
- オキシダントまたは酸素中で実質的に不活性なプロセスチャンバからの有害物質を受入れると、圧縮空気で真空ポンピング装置をパージングし、オキシダントまたは酸素中で実質的に不活性ではないプロセスチャンバからの有害物質を受入れると、真空ポンピング装置を窒素でパージングすることを特徴とする請求項16または17記載のパージング方法。
- 酸素中で弱く反応するプロセスガスをプロセスチャンバから受入れかつ除去した酸素の一部であった圧縮空気により真空ポンピング装置をパージングするか、実質的に純粋な窒素の供給源からの窒素と圧縮空気とのパージ混合物により真空ポンピング装置をパージングすることを特徴とする請求項16〜19のいずれか1項記載のパージング方法。
- 前記圧縮空気は、大気圧より高い圧力で供給されることを特徴とする請求項12〜20のいずれか1項記載のパージング方法。
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