CN202709138U - 硅烷燃烧塔 - Google Patents

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董仕宏
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Suzhou Shijing Technology Co ltd
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SUZHOU SEGEN ENVIRONMENT EQUIPMENT CO Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型解决了背景技术在生产设备运行中负压的不稳定性，前段压缩空气助燃功能，和氮气的稀释功能，强有力的保护尾气排放的安全性，设备占地面积小，处理集中化；投资管理成本大大降低。

Description

硅烷燃烧塔
技术领域
本实用新型涉及废气处理装置，尤其是涉及一种硅烷燃烧塔。
背景技术
对于电池片生产中的PECVD环节，原本采用初步燃烧、直接通入水池的方法；有很高的危险性和处理不稳定性。
实用新型内容
本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种硅烷燃烧塔。
本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。
本实用新型的工作原理：硅烷尾气经过风管到达硅烷尾气进气口，并进入燃烧塔内进行化应处理。硅烷尾气进入燃烧塔的同时也从压缩空气、氮气口通入压缩空气和氮气；压缩空气用来推助硅烷尾气的燃烧反应，氮气通入则达到吹散硅烷燃烧之后产生粉尘，不让其粘到硅烷燃烧塔上；压缩空气及氮气都配有流量控制器，控制气体的流入体积；硅烷燃烧后的粉尘暂时停留在排污口处，当运行一段时间后，打开排污口进行清理粉尘；经过燃烧净化后的气体由出气口排出进入硅烷净化塔内。
本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型解决了背景技术在生产设备运行中负压的不稳定性，前段压缩空气助燃功能，和氮气的稀释功能，强有力的保护尾气排放的安全性，设备占地面积小，处理集中化；投资管理成本大大降低。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进一步详述：
如图1所示，一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体1，塔体1腰部设有硅烷尾气进气口2和压缩空气、氮气口3，塔体1顶部设有出气口4，塔体1底部设有排污口5。
本实用新型的工作原理：硅烷尾气经过风管到达硅烷尾气进气口2并进入燃烧塔内进行化应处理。硅烷尾气进入燃烧塔的同时也从压缩空气、氮气口3通入压缩空气和氮气；压缩空气用来推助硅烷尾气的燃烧反应，氮气通入则达到吹散硅烷燃烧之后产生粉尘，不让其粘到硅烷燃烧塔上；压缩空气及氮气都配有流量控制器，控制气体的流入体积；硅烷燃烧后的粉尘暂时停留在排污口处，当运行一段时间后，打开排污口5进行清理粉尘；经过燃烧净化后的气体由出气口4排出进入硅烷净化塔内。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (1)

1.一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。
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Patentee before: SUZHOU SEGEN ENVIRONMENT EQUIPMENT Co.,Ltd.

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Patentee after: Suzhou Shijing Technology Co.,Ltd.

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