CN204337986U - 一种紧凑型尾气净化器 - Google Patents

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Inventor
张文光
邱艳东
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CHANGZHOU HENGWEI PURIFYING EQUIPMENT Co Ltd
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CHANGZHOU HENGWEI PURIFYING EQUIPMENT Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开一种紧凑型尾气净化器,包括有进气口、排气口、第二喷淋系统、燃烧腔、第一喷淋系统、水箱和排气管,燃烧腔的顶部设置有进气口,所述燃烧腔的底部设置有第一喷淋系统,所述第一喷淋系统下部设置有水箱;在所述第一喷淋系统一侧面设置有向上开口设置的排气管,所述排气管内部设置有第二喷淋系统,所述排气管的向上开口为排气口。本实用新型的紧凑型尾气净化器,具有燃烧净化的双重功能,通过适当加宽排气管的直径,在排气管内部设置一个喷淋装置,实现二次喷淋回收,水泵通过“]”型管路连接在水箱的下部位置,通过增加设备的高度而减少占地面积,节约了厂房成本,又达到了较好的尾气净化功能。

Description

一种紧凑型尾气净化器
技术领域
本实用新型涉及一种尾气净化回收装置,尤其涉及一种紧凑型尾气净化器。
背景技术
在沉积工艺尾气中含有多种有毒废气,例如多氟化物、砷烷、磷烷、硼烷、硅烷等,这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。其中有些废气能与水反应,而其他一些成分可以被水吸收,因此,目前美国、日本等国家大多采用水吸行尾气处理装置,但是,其中一些不与水发生反应也不能被吸收的气体会被直接排放到空气中,导致不能满足排放标准。现有技术中虽然有燃烧功能的尾气净化器,但是由于大多数应用在室内,占地面积较大,造成室内使用空间紧张,不适宜大规模生产应用。
有鉴于上述现有的尾气净化器存在的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种新型紧凑型尾气净化器,使其更具有实用性。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于,克服现有的尾气净化器存在的缺陷,而提供一种新型紧凑型尾气净化器,节约空间,从而更加适于实用,且具有产业上的利用价值。
本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的紧凑型尾气净化器,包括有进气口、排气口、第二喷淋系统、燃烧腔、第一喷淋系统、水箱和排气管,
燃烧腔的顶部设置有进气口,所述燃烧腔的底部设置有第一喷淋系统,所述第一喷淋系统下部设置有水箱;
在所述第一喷淋系统一侧面设置有向上开口设置的排气管,所述排气管内部设置有第二喷淋系统,所述排气管的向上开口为排气口。
更进一步的,前述的紧凑型尾气净化器,所述第一喷淋系统包括左右对称设置的、填充有填料的喷淋结构,在两个喷淋结构的中间位置有空隙。
更进一步的,前述的紧凑型尾气净化器,所述第一喷淋系统与水箱之间设置有间隙。
更进一步的,前述的紧凑型尾气净化器,所述水箱底部为锥形底部,所述锥形底部的锥形顶端连接有排污口。
更进一步的,前述的紧凑型尾气净化器,还包括有水泵和管路,所述管路为“]”型结构,所述水泵通过“]”型管路与所述水箱相连。
更进一步的,前述的紧凑型尾气净化器,所述第一喷淋系统和第二喷淋系统内部的喷淋装置均设置有冷却喷嘴。
借由上述技术方案,本实用新型的紧凑型尾气净化器至少具有下列优点:
本实用新型的紧凑型尾气净化器,具有燃烧净化的双重功能,通过适当加宽排气管的直径,在排气管内部设置一个喷淋装置,实现二次喷淋回收,水泵通过“]”型管路连接在水箱的下部位置,通过增加设备的高度而减少占地面积,节约了厂房成本,又达到了较好的尾气净化功能;锥形底部的设计方便内部固体污染物的排除;第一喷淋系统采用中间设置空隙的对称结构设计,能够实现循环喷淋,提高净化效率。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1本实用新型紧凑型尾气净化器的结构示意图,
图中标记含义:11.进气口,12.排气口,13.第二喷淋系统,14.燃烧腔,15.冷却喷嘴,16.第一喷淋系统,17.填料,18.水箱,19.排污口,20.水泵,21.管路,22.锥形底部,23.排气管。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对本实用新型的具体实施方式详细说明如后。
如图1所示本实用新型的紧凑型尾气净化器的结构示意图,包括有进气口11、排气口12、第二喷淋系统13、燃烧腔14、冷却喷嘴15、第一喷淋系统16、填料17、水箱18、排污口19、水泵20、管路21、锥形底部22和排气管23。
进气口11为一个管状结构,设置在燃烧腔14的顶部,燃烧腔14的底部连接有第一喷淋系统16,其中第一喷淋系统16为左右对称的喷淋结构,在两个喷淋结构内部均设置有填料17,两个喷淋结构之间设置有空隙,第一喷淋系统16下部还设置有水箱18,水箱18的底部为锥形底部22,锥形底部22的锥形顶端设置有向一侧弯曲的排污口19。在第一喷淋系统16的一个侧面设置有向上开口设置的排气管23,其中排气管23的内部空腔内设置有第二喷淋系统13,其中排气管23的向上开口用作排气口12,在第一喷淋系统16和第二喷淋系统13内部的喷淋装置均设置有冷却喷嘴15。其中管路21为“]”型结构,水泵20通过“]”型管路21与水箱18相连,“]”型管路21的一端连接水箱18,另一端连接水泵20。
被净化尾气通过进气口11进入到燃烧腔14内进行燃烧回收,燃烧完成的尾气通入第一喷淋系统16内,经由中间的空隙分别进入左右对称的腔室内,水泵开启带动水箱18内的水循环,尾气经由第一喷淋系统16净化后通入排气管23内的第二喷淋系统13,吸收完成后尾气经排气口12排出,在吸收过程中产生的固体废弃物经由水箱18排污口19排除。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种紧凑型尾气净化器,其特征在于:包括有进气口(11)、排气口(12)、第二喷淋系统(13)、燃烧腔(14)、第一喷淋系统(16)、水箱(18)和排气管(23),
燃烧腔(14)的顶部设置有进气口(11),所述燃烧腔(14)的底部设置有第一喷淋系统(16),所述第一喷淋系统(16)下部设置有水箱(18);
在所述第一喷淋系统(16)一侧面设置有向上开口设置的排气管(23),所述排气管(23)内部设置有第二喷淋系统(13),所述排气管(23)的向上开口为排气口(12)。
2.根据权利要求1所述的紧凑型尾气净化器,其特征在于:所述第一喷淋系统(16)包括左右对称设置的、填充有填料(17)的喷淋结构,在两个喷淋结构的中间位置有空隙。
3.根据权利要求1所述的紧凑型尾气净化器,其特征在于:所述第一喷淋系统(16)与水箱(18)之间设置有间隙。
4.根据权利要求1~3任一项所述的紧凑型尾气净化器,其特征在于:所述水箱(18)底部为锥形底部(22),所述锥形底部(22)的锥形顶端连接有排污口(19)。
5.根据权利要求1~3任一项所述的紧凑型尾气净化器,其特征在于:还包括有水泵(20)和管路(21),所述管路(21)为“]”型结构,所述水泵(20)通过“]”型管路(21)与所述水箱(18)相连。
6.根据权利要求1~3任一项所述的紧凑型尾气净化器,其特征在于:所述第一喷淋系统(16)和第二喷淋系统(13)内部的喷淋装置均设置有冷却喷嘴(15)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105032176A (zh) * 2015-06-14 2015-11-11 黄志强 一种废气处理装置
CN106492598A (zh) * 2015-09-04 2017-03-15 全球标准技术有限公司 用于净化集成半导体废气的装置

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