JP6419610B2 - 透明導電膜積層用フィルム、その製造方法および透明導電性フィルム - Google Patents
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Description
によって算出される表面積増加率が5%以下であり、前記低屈折率層の表面自由エネルギーが、25.0〜100mJ/m2であり、前記低屈折率層の厚さが、2〜70nmであることを特徴とする透明導電膜積層用フィルムを提供する(発明1)。
〔透明導電膜積層用フィルム〕
図1は本発明の一実施形態に係る透明導電膜積層用フィルムの断面図である。本実施形態に係る透明導電膜積層用フィルム1は、透明プラスチック基材2と、透明プラスチック基材2の片面(図1では上側)に積層された高屈折率層3と、高屈折率層3における透明プラスチック基材2とは反対側の面(図1では上側)に積層された低屈折率層4とからなる。
本実施形態に係る透明導電膜積層用フィルム1の低屈折率層4は、屈折率が比較的低い層である。低屈折率層4の屈折率は、1.30〜1.50であり、1.32〜1.48であることが好ましく、特に1.34〜1.47であることが好ましい。低屈折率層4の屈折率がかかる範囲にあることで、低屈折率層4と、低屈折率層4が積層されている高屈折率層3または透明プラスチック基材2との屈折率差が十分なものとなり、透明導電膜のパターンを視認され難くすることができる。また、低屈折率層4の屈折率が上記範囲にあると、使用できる材料等が不必要に限定されないため、透明性等の他の特性を良好にすることができる。なお、本明細書における屈折率は、実施例に示す通りに測定した値である。
によって算出される表面積増加率が、5%以下であり、4.8%以下であることが好ましく、特に4.6%以下であることが好ましい。なお、表面積増加率の下限値は0%であり、この値に近い方が好ましい。ここで、表面長さとは、表面に存在する凹凸をたどって測定される長さを意味する。本発明者らは、低屈折率層4の表面の平滑性が低下する程、当該表面に積層された透明導電膜の抵抗値が高くなることを見出した。本実施形態に係る透明導電膜積層用フィルム1では、表面積増加率が5%以下であることで、低屈折率層4の表面の平滑性が十分高くなり、当該表面に透明導電膜を積層した場合に、当該透明導電膜の抵抗値が低い値に維持される。したがって、本実施形態に係る透明導電膜積層用フィルム1を用いて、透明導電性フィルムを製造することにより、透明導電膜の抵抗値を所望の値にすることができる。なお、本明細書における表面積増加率は、表面形状の観察および測定が可能なレーザー顕微鏡等を使用して測定することができ、具体的な測定条件は後述する試験例に示すとおりである。
R1 nSi(OR2)4−n ・・・ (A)
(R1は、非加水分解性基であって、アルキル基、置換アルキル基(置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、チオール基、エポキシ基、(メタ)アクリロイルオキシ基等である。)、アルケニル基、アリール基またはアラルキル基であり、R2は、低級アルキル基であり、nは、0〜3の整数である。R1基およびOR2基がそれぞれ複数存在する場合、複数のR1基は同一でも異なっていてもよく、また複数のOR2基は同一でも異なっていてもよい。)で表されるアルコキシシラン化合物を、塩酸、硫酸等の無機酸、またはシュウ酸、酢酸等の有機酸を用いて部分的にまたは完全に加水分解し、重縮合させることで得たものであってよい。この反応の際、加水分解を均一に行うために、有機溶媒を用いても良く、また、必要に応じて、塩化アルミニウムやトリアルコキシアルミニウムといったアルミニウム化合物を適当量用いてもよい。なお、本明細書における「(メタ)アクリロイルオキシ」は、アクリロイルオキシおよびメタクリロイルオキシの両方を意味する。他の類似用語についても同様である。
(mは重合度を示し、Rは、水素原子、ケイ素原子、またはマグネシウム、アルミニウムといった金属原子である。)で表される鎖状構造のものが主体となる。
本実施形態に係る透明導電膜積層用フィルム1では、透明プラスチック基材2と低屈折率層4との間に、低屈折率層4の屈折率よりも大きい屈折率を有する高屈折率層3が介在してもよい。この場合、高屈折率層3は、透明プラスチック基材2に対して直接積層されていること、または易接着層を介して積層されていることが好ましい。高屈折率層3を設けることにより、低屈折率層4と高屈折率層3とによって透明導電膜のパターンの不可視化を達成することができる。
本実施形態において用いられる透明プラスチック基材2としては、特に制限はなく、従来の光学用基材として公知のプラスチックフィルムの中から透明性を有するものを適宜選択して用いることができる。このようなプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、ジアセチルセルロースフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、アセチルセルロースブチレートフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリスルホンフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ポリアミドフィルム、アクリル樹脂フィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、シクロオレフィン樹脂フィルム等のプラスチックフィルム、またはそれらの積層フィルムが挙げられる。
以上述べた透明導電膜積層用フィルム1は、例えば、以下に示す方法により製造することができる。ここでは、低屈折率層4と透明プラスチック基材2との間に高屈折率層3が設けられた透明導電膜積層用フィルム1の製造例を説明する。なお、低屈折率層4が透明プラスチック基材2上に直接積層されてなる透明導電膜積層用フィルムは、以下に説明する製造例において高屈折率層3の調製・形成工程を省略し、その他の工程を同様に行うことで製造することができる。
図2は本発明の一実施形態に係る透明導電性フィルムの断面図である。本実施形態に係る透明導電性フィルム10は、上述した透明導電膜積層用フィルム1の低屈折率層4における高屈折率層3とは反対側の面側(図2では低屈折率層4の上側)に、さらに透明導電膜5が積層されたものである。この透明導電性フィルム10は、高屈折率層3および低屈折率層4の存在により、透明導電膜5のパターンが視認され難いものとなっている。
本実施形態に係る透明導電性フィルム10における透明導電膜5の材料としては、透明性と導電性とを併せ持つ材料であれば特に制限なく使用でき、例えば、スズドープ酸化インジウム(ITO)、酸化イリジウム(IrO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、酸化インジウム−酸化亜鉛(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、酸化モリブデン(MoO3)、酸化チタン(TiO2)等の透明導電性金属酸化物が挙げられる。これらの金属酸化物の薄膜は、適当な造膜条件を採用することで透明性と導電性とを兼ね備えた透明導電膜になる。
透明導電性フィルム10は、透明導電膜5をエッチングしたときに、エッチング前後での波長400nmにおける反射率(%)の差の絶対値が、9以下であることが好ましく、8以下であることが特に好ましく、6以下であることがさらに好ましい。ここで、エッチング前後での反射率の差とは、透明導電膜5にエッチング処理を行う前後において、それぞれJIS K7142に従って波長400nm付近における反射率(単位:%)を測定したときの、当該波長におけるエッチング前後での差分の値である。
本実施形態に係る透明導電性フィルム10は、例えば、以下に示す方法により製造することができる。まず、上述したように透明導電膜積層用フィルム1を製造した後、かかる透明導電膜積層用フィルム1の低屈折率層4が設けられている面側に対して、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法、スプレー法、ゾル−ゲル法などの公知の方法を、上記材料の種類や必要な膜厚に応じて適宜選択し、透明導電膜5を積層することにより、透明導電性フィルム10を製造することができる。
活性エネルギー線硬化型化合物としてのフェノールノボラック系紫外線硬化型プレポリマー(日立化成社製,ヒタロイド7663,固形分80%,メチルイソブチルケトン(MIBK)希釈)100質量部(固形分換算;以下同じ)と、屈折率調整剤としての平均粒径10nmの酸化ジルコニウム300質量部と、光重合開始剤としての1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(BASF社製,商品名:イルガキュア184)5質量部とを、希釈溶剤としてのMIBKにより希釈し、高屈折率層用塗布剤H−1を調製した。
屈折率調整剤として平均粒径10nmの酸化チタンを使用する以外、調製例1と同様にして高屈折率層用塗布剤H−2を調製した。
活性エネルギー線硬化型化合物としてのジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学工業社製,商品名:NKエステルA−DPH,固形分濃度100質量%)100質量部と、屈折率調整用粒子としての平均粒径60nmの中空シリカ25質量部と、光重合開始剤としての1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(BASF社製,商品名:イルガキュア184)5質量部とを、希釈溶剤としてのMIBKにより希釈し、低屈折率層用塗布剤L−1を調製した。
シロキサン化合物としてのシロキサン樹脂(コルコート社製,商品名:コルコートP)100質量部を、希釈溶剤としてのイソプロピルアルコール(IPA)により希釈し、低屈折率層用塗布剤L−2を調製した。
屈折率調整用粒子の配合量を50質量部に変更する以外、調製例3と同様にして低屈折率層用塗布剤L−3を調製した。
屈折率調整用粒子の配合量を12.5質量部に変更する以外、調製例3と同様にして低屈折率層用塗布剤L−4を調製した。
屈折率調整用粒子の配合量を12.5質量部に変更し、防汚剤として反応性フッ素オリゴマー(DIC社製,商品名:メガファックRS−75,固形分40%,MIBK希釈)8.2質量をさらに添加する以外、調製例3と同様にして低屈折率層用塗布剤L−5を調製した。
屈折率調整用粒子を添加しない以外、調製例3と同様にして低屈折率層用塗布剤L−6を調製した。
屈折率調整用粒子の配合量を100質量部に変更する以外、調製例3と同様にして低屈折率層用塗布剤L−7を調製した。
防汚剤の配合量を11.8質量に変更する以外、調製例7と同様にして低屈折率層用塗布剤L−8を調製した。
[希釈溶剤]
MIBK:メチルイソブチルケトン
IPA:イソプロピルアルコール
透明プラスチック基材としての、片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社製,商品名:コスモシャインA4100,厚さ50μm)の易接着層とは反対側の面に、調製例3で得られた低屈折率層用塗布剤L−1をマイヤーバーで塗工した。これを50℃のオーブンで1分間乾燥させた後、窒素雰囲気下にて高圧水銀ランプで200mJ/cm2の紫外線を照射することで、厚さ35nmの低屈折率層を形成し、透明導電膜積層用フィルムを得た。得られた透明導電膜積層用フィルムの低屈折率層上にITOターゲット(酸化錫10質量%)を用いてスパッタリングを行い、厚さ30nmの透明導電膜を形成し、透明導電性フィルムを作製した。なお、後述する分光エリプソメーターを用いた測定によると、透明導電膜の屈折率は1.95であった。また、透明導電膜は、後述の視認性試験を考慮して、透明導電膜が積層されていない部分が残存するように形成した。
低屈折率層の厚さを50nmとした以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
透明プラスチック基材としての、片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社製,商品名:コスモシャインA4100,厚さ50μm)の易接着層とは反対側の面に、調製例4で得られた低屈折率層用塗布剤L−2をマイヤーバーで塗工した。これを50℃のオーブンで20秒間乾燥させた後、130℃で40秒間加熱することで硬化させ、厚さ35nmの低屈折率層を形成し、透明導電膜積層用フィルムを得た。得られた透明導電膜積層用フィルムの低屈折率層上にITOターゲット(酸化錫10質量%)を用いてスパッタリングを行い、厚さ30nmの透明導電膜を形成し、透明導電性フィルムを作製した。なお、後述する分光エリプソメーターを用いた測定によると、透明導電膜の屈折率は1.95であった。また、透明導電膜は、後述の視認性試験を考慮して、透明導電膜が積層されていない部分が残存するように形成した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例5で得られた低屈折率層用塗布剤L−3を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例6で得られた低屈折率層用塗布剤L−4を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例7で得られた低屈折率層用塗布剤L−5を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
透明プラスチック基材として、一方の面に高屈折率性の易接着層を有し、他方の面に低干渉性の易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(三菱樹脂社製,商品名:ダイアホイルO901,厚さ125μm)を使用し、当該フィルムの高屈折率性の易接着層を有する面に低屈折率層用塗布剤を塗工した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
透明プラスチック基材としての、片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社製,商品名:コスモシャインA4100,厚さ125μm)の易接着層とは反対側の面に、調製例1で得られた高屈折率層用塗布剤H−1をマイヤーバーで塗工した。これを50℃のオーブンで1分間乾燥させた後、窒素雰囲気下にて高圧水銀ランプで200mJ/cm2の紫外線を照射することで、厚さ50nmの高屈折率層を形成した。さらに、調製例3で得られた低屈折率層用塗布剤L−1を高屈折率層上にマイヤーバーで塗工した。これを50℃のオーブンで1分間乾燥させた後、窒素雰囲気下にて高圧水銀ランプで200mJ/cm2の紫外線を照射することで厚さ35nmの低屈折率層を形成し、透明導電膜積層用フィルムを得た。得られた透明導電膜積層用フィルムの低屈折率層上にITOターゲット(酸化錫10質量%)を用いてスパッタリングを行い、厚さ30nmの透明導電膜を形成し、透明導電性フィルムを作製した。なお、後述する分光エリプソメーターを用いた測定によると、透明導電膜の屈折率は1.95であった。また、透明導電膜は、後述の視認性試験を考慮して、透明導電膜が積層されていない部分が残存するように形成した。
透明プラスチック基材として、一方の面に高屈折率性の易接着層を有し、他方の面に低干渉性の易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(三菱樹脂社製,商品名:ダイアホイルO901,厚さ125μm)を使用し、当該フィルムの高屈折率性の易接着層を有する面に高屈折率層用塗布剤を塗工し、さらに、高屈折率層用塗布剤として、調製例2で得られた高屈折率層用塗布剤H−2を使用した以外は実施例8と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層の厚さを80nmとした以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例8で得られた低屈折率層用塗布剤L−6を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例9で得られた低屈折率層用塗布剤L−7を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
低屈折率層用塗布剤として、調製例10で得られた低屈折率層用塗布剤L−8を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを作製した。
調製例1〜10にて得られた高屈折率層用塗布剤および低屈折率層用塗布剤のそれぞれを、片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社製,商品名:コスモシャインA4100,厚さ50μm)の易接着層とは反対側の面に塗工し、実施例および比較例と同一の条件で低屈折率層および高屈折率層を形成した。
実施例および比較例で得られた各透明導電性フィルムについて、レーザーマイクロスコープ(キーエンス社製,製品名:VK−9700)を用いて、低屈折率層における透明プラスチック基材とは反対側の面の画像を倍率900倍で取得した。
から表面積増加率を算出した。結果を表2に示す。
実施例および比較例で得られた各透明導電膜積層用フィルムの低屈折率層上にITOターゲット(酸化錫10質量%)を用いてスパッタリングした後、150℃で30分間アニールし、ITOを結晶化した。
実施例および比較例で得られた各透明導電性フィルムについて、透明導電膜が設けられた部分および設けられていない部分のそれぞれについて、波長400nmでの反射率(単位:%)を分光光度計(島津製作所社製,製品名:UV−3600)にて測定した。透明導電膜が設けられた部分および設けられていない部分での反射率差を算出し、その絶対値を求めた。結果を表2に示す。
○:反射率差の絶対値が0〜7
△:反射率差の絶対値が7〜9
×:反射率差の絶対値が9を超える
○:透明導電膜の有無の境界で色目の変化が見えない。
△:透明導電膜の有無の境界で色目の変化がわずかに見える。
×:透明導電膜の有無の境界で色目の変化が見える。
実施例および比較例で得られた各透明導電膜積層用フィルムについて、低屈折率層が存在する面に対する各種液滴の接触角を測定し、その値をもとに北崎・畑理論により、低屈折率層の表面自由エネルギー(mJ/m2)を求めた。接触角は、接触角計(協和界面科学社製,DM−701)を使用し、静滴法によってJIS R3257に準じて測定した。液滴については、「分散成分」としてジヨードメタン、「双極子成分」として1−ブロモナフタレン、「水素結合成分」として蒸留水を使用した。結果を表2に示す。
実施例および比較例で得られた各透明導電性フィルムの透明導電幕が存在する面に対して、銀ペースト(藤倉化成社製,商品名:FA−401CA)をスクリーン印刷し、銀ペースト幅5mmおよび銀ペースト間の間隔0.5mmの銀配線を形成した。形成された銀配線を、以下に示す基準により目視で評価した。結果を表2に示す。
○:配線がきれいに形成されている。
×:ペーストのはじきが発生し、端部がギザギザになったこと等により、配線がきれいに形成されていない。
[基材]
コスモシャインA4100:片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡社製,商品名:コスモシャインA4100,厚さ50μm)
ダイアホイルO901:一方の面に高屈折率性の易接着層を有し、他方の面に低干渉性の易接着層を有するポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(三菱樹脂社製,商品名:ダイアホイルO901,厚さ125μm)
2…透明プラスチック基材
3…高屈折率層
4…低屈折率層
10…透明導電性フィルム
5…透明導電膜
Claims (7)
- 透明プラスチック基材と、
前記透明プラスチック基材の少なくとも片面側に設けられた低屈折率層と
を備えた透明導電膜積層用フィルムであって、
前記低屈折率層の屈折率が、1.30〜1.50であり、
前記低屈折率層における前記透明プラスチック基材とは反対側の面において、4.992μm四方の正方形の領域を任意に選択し、前記正方形の一辺に対応する前記低屈折率層の前記面における表面長さと、前記一辺に直交する別の一辺に対応する前記低屈折率層の前記面における表面長さとの積を実表面積としたとき、次式(I)
によって算出される表面積増加率が5%以下であり、
前記低屈折率層の表面自由エネルギーが、25.0〜100mJ/m2であり、
前記低屈折率層の厚さが、2〜70nmである
ことを特徴とする透明導電膜積層用フィルム。 - 前記低屈折率層は、屈折率調整用粒子を含有しないか、前記低屈折率層を構成するマトリックス樹脂組成物100質量部に対して100質量部未満の含有量で、屈折率調整用粒子を含有することを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜積層用フィルム。
- 前記透明プラスチック基材と前記低屈折率層との間には、前記低屈折率層の屈折率よりも大きい屈折率を有する高屈折率層が介在することを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電膜積層用フィルム。
- 前記高屈折率層の屈折率は、1.60〜1.90であることを特徴とする請求項3に記載の透明導電膜積層用フィルム。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の透明導電膜積層用フィルムの製造方法であって、
前記低屈折率層を形成するときに、前記低屈折率層を構成する材料を塗工した後、30〜70℃で10秒〜3分間加熱処理することを含むことを特徴とする透明導電膜積層用フィルムの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の透明導電膜積層用フィルムと、
前記低屈折率層における前記透明プラスチック基材とは反対側の面側に積層された透明導電膜と
を備えたことを特徴とする透明導電性フィルム。 - 前記透明導電性フィルムにおいて前記透明導電膜をエッチングしたときに、前記エッチング前後での波長400nmにおける反射率(%)の差の絶対値が、9以下であることを特徴とする請求項6に記載の透明導電性フィルム。
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