JP6414104B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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Description

本開示は、発光装置製造方法に関する。
従来、光の出射面積を発光素子の発光面積より小さく絞ることで高い輝度を実現する発光装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載された発光装置は、発光素子と、発光素子の光取り出し面の上に搭載された波長変換部材と、波長変換部材の表面に成膜された反射膜と、を備えている。この発光装置では、発光素子が上方に放射した光が、波長変換部材内を発光素子の光取り出し面と略平行に導光され、側方の出射面から出射する。
国際公開第2010/044240号
特許文献1に記載された発光装置にあっては、波長変換部材を通過した光を小さく絞っているため、発光素子からの光は出射面に到達するまでに、波長変換部材中で光散乱を繰り返し、光取り出し効率が低下する。
そこで、本開示に係る実施形態は、光装置の簡易な製造方法を提供することを課題とする。
本開示の実施形態に係る発光装置は、光取り出し面を有する発光素子と、前記光取り出し面と接合される光入射面を有する第1導光部材、及び、前記発光素子と離間し、前記光入射面と隣り合う面を有し、前記第1導光部材からの光を異なる波長の光に変換する波長変換部材、及び、前記波長変換部材からの光を外部に放出する光出射面を備える第2導光部材を順に備える導光部材と、前記光出射面を露出させ、前記発光素子及び前記導光部材を覆う光反射部材と、を備える。
本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、第1導光部材と波長変換部材と第2導光部材とを順に配置した導光部材を準備する工程と、前記第1導光部材と発光素子とを接合する工程と、前記発光素子を支持部材上に実装する工程と、前記発光素子及び前記導光部材を光反射部材で被覆する工程と、前記導光部材の光出射面として前記光反射部材から前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程と、を有する。
また、本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、第1導光部材と波長変換部材と第2導光部材とを順に配置した導光部材集合体を形成し、前記導光部材集合体を一方向に分割することで、前記第1導光部材と前記波長変換部材と前記第2導光部材との順に配置された複数の導光部材を準備する工程と、前記第1導光部材と複数の発光素子とを接合する工程と、前記複数の発光素子及び前記導光部材を光反射部材で被覆する工程と、前記導光部材の光出射面として前記光反射部材から前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程と、を有する。
本開示の実施形態に係る発光装置は、波長変換部材中での光損失を抑制できる。また、本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、波長変換部材中での光損失を低減する発光装置を簡易に製造することができる。
第1実施形態に係る発光装置を模式的に示す斜視図である。 図1のII−II線における発光装置の断面を模式的に示す断面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、導光部材集合体の斜視図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、分割した導光部材の斜視図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、さらに分割した導光部材の平面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、導光部材に接合された発光素子の平面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、導光部材に接合された発光素子の断面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、光学多層膜で被覆された導光部材及び発光素子の断面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、金属層が形成された導光部材及び発光素子の断面図である。 第1実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、樹脂部材で被覆された導光部材及び発光素子の断面図である。 第2実施形態に係る発光装置を模式的に示す断面図である。 第2実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、導光部材の断面図である。 第2実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、レジストが形成された導光部材及び発光素子の断面図である。 第2実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、光学多層膜で被覆された導光部材及び発光素子の断面図である。 第2実施形態に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、樹脂部材で被覆された導光部材及び発光素子の断面図である。 第3実施形態に係る発光装置の一例を模式的に示す断面図である。 第3実施形態に係る発光装置の変形例を模式的に示す断面図である。 第4実施形態に係る発光装置の一例を模式的に示す断面図である。 第4実施形態に係る発光装置の他の例を模式的に示す断面図である。 第1実施形態の変形例に係る発光装置の製造工程の概略を示す図であり、導光部材に接合された発光素子の平面図である。
以下、実施形態の一例を示す発光装置及びその製造方法を説明する。なお、以下の説明において参照する図面は、本実施形態を概略的に示したものであるため、各部材のスケールや間隔、位置関係等が誇張、あるいは、部材の一部の図示が省略されている場合がある。また、以下の説明では、同一の名称及び符号については原則として同一若しくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略することとする。
(第1実施形態)
<発光装置1の構成>
図1及び図2に示すように、第1実施形態に係る発光装置1は、支持部材10と、導体配線20と、発光素子40と、導光部材50と、光反射部材70と、を備えている。この発光装置1は、発光素子40の光取り出し面41からの光を、光反射部材70で周囲が覆われた導光部材50を介して光出射面53から照射する。導光部材50は、発光素子40の光取り出し面41と接合される光入射面51aを有する第1導光部材51と、発光素子40の光取り出し面41と離間し、第1導光部材51の光入射面51aと隣り合う面60aを有し、第1導光部材51からの光を異なる波長の光に変換する波長変換部材60と、波長変換部材60からの光を外部に放出する光出射面53を備える第2導光部材52と、を順に備える。導光部材50の光出射面53は、光反射部材70から露出し、発光装置1の光出射面として発光素子40から出射された光を外部に放出する。
以下、各構成について順次説明する。なお、場合により、発光装置1の高さ方向をX軸方向とし、発光装置1の幅方向をY軸方向とし、発光装置1の奥行方向をZ軸方向として説明する。
支持部材10は、発光素子40等を支持する部材であり、発光装置の一般的なパッケージ基板を利用できる。例えば、AlN等のセラミック基板、Al等の金属基板、ガラスエポキシ等の樹脂基板等を挙げることができる。
導体配線20は、支持部材10の上面に設けられている。導体配線20は、発光素子40に外部から電力を供給する配線であり、支持部材10に所定形状にパターニングされている。図1に示すように光反射部材70の開口70aから露出した導体配線20が外部電源に接続される。
この導体配線20は、発光装置の一般的なパッケージ基板配線を利用できる。そのような配線としては、金属材料を用いることができ、例えば、Ag、Al、Ni、Rh、Au、Cu、Ti、Pt、Pd、Mo、Cr、W等の単体金属又はこれらの金属を主成分とする合金を好適に用いることができる。さらに好ましくは、光反射性に優れたAg、Al、Pt、Rh等の単体金属又はこれらの金属を主成分とする合金を用いることができる。
発光素子40は、導体配線20と電気的に接続するように支持部材10の上面に載置されている。発光素子40は、例えばサファイア等の透光性の成長基板上に半導体層を備えている。半導体層は、成長基板側から順に、n側半導体層と活性領域とp側半導体層とを備えており、活性領域から第一波長の光を発する。第一波長の光としては、用途に応じて任意の波長のものを選択することができる。例えば、青色(波長430〜490nmの光)の発光素子としては、窒化物半導体であるInAlGa1−X−YN(0≦X≦1、0≦Y≦1、X+Y≦1)等で表されるGaN系やInGaN系を用いることができる。
発光素子40は、同一面側に正負一対の電極を有するものが好ましい。これにより、発光素子40を支持部材10上にフリップチップ実装することができる。本実施形態では、発光素子40の一対の電極と、支持部材10の導体配線20とは、バンプ30を介して電気的に接続されている。なお、バンプ30は金や半田等からなる部材を用いることができる。
発光装置1には、例えば、複数の発光素子40が設けられ、それぞれの発光素子40の上面に導光部材50が接合されている。発光素子40は、電極が形成された面を下面として支持部材10上にフリップチップ実装されており、下面と対向する上面を光取り出し面41としている。発光素子40の上面側には、例えば成長基板が配置されている。なお、発光素子40の別の形態としては、この成長基板をLLO(Laser Lift Off)法等により除去して半導体層を上面から露出させてもよい。また、発光素子40の近傍に、保護素子を実装してもよい。
導光部材50は、発光素子40からの光を発光装置1の外部へ導く透光性の部材であり、発光素子40の光取り出し面41側から、第1導光部材51と、波長変換部材60と、第2導光部材52と、を順に備えている。
導光部材50の全体形状は、柱体、錐台、またこれらに類似の形状が挙げられるが、例えば四角柱であるものとする。導光部材50では、第1導光部材51の一面を光入射面51aとしている。導光部材50は、光入射面51aと、外部に光を出射するための光出射面53と、を除いて、光反射部材70で被覆されている。
図2の例では、導光部材50の長手方向に沿って複数の発光素子40を一方向に並べた状態で、各発光素子40の光取り出し面41と第1導光部材51とを接合させている。複数の発光素子40及び導光部材50は、光反射部材70で一体的に被覆されている。これにより、各発光素子40が発する光を光反射部材70により導光部材50内に反射させながら、導光部材50内を光出射面53に向かって伝搬させることができる。
平面視において、導光部材50は、発光素子40よりも大きいことが好ましい。このように、導光部材50の光入射面51aの面積を、発光素子40の光取り出し面41の面積より大きくして両者を光学的に接続することで、接合面における光の損失を低減できる。
第1導光部材51は、その一側面(図2において下面)が発光素子40の光取り出し面41と対向するように配置され、その一側面を光入射面51aとしている。第1導光部材51の光入射面51aは、発光素子40の光取り出し面41全体を覆うように発光素子40の上に配置される。第1導光部材51は、透明な接着層等の媒体層を介して発光素子40に配置されてもよく、発光素子40に直接接合して配置されてもよい。
第1導光部材51は、光入射面51aと隣り合う一側面(図2において右側面)が波長変換部材60の一側面(図2において左側面)に接合されている。第1導光部材51の光入射面51aと、波長変換部材60の下面60aとは、互いに隣り合っており、同一平面上に位置している。また、第1導光部材51は、光入射面51aと、波長変換部材60との接合面と、を除いて、光反射部材70で被覆されている。
第1導光部材51は、少なくとも発光素子40から出射された光の一部を透過させる材料で構成されている。この第1導光部材51の材料は、例えば、シリコーン樹脂等の熱硬化性の樹脂材料、ポリカーボネートやアクリル等の熱可塑性の樹脂材料、ポリエチレン等のポリマー材料を挙げることができる。あるいは、第1導光部材51の材料としては、例えば石英、合成石英、BK7等の光学ガラス等を挙げることができる。以下では、第1導光部材51は、例えばガラスとする。
波長変換部材60は、第1導光部材51との接合面と対向する一側面(図2において右側面)が第2導光部材52の一側面(図2において左側面)に接合されている。波長変換部材60の下面60aと、第2導光部材52の下面52aとは、互いに隣り合っており、同一平面上に位置している。この波長変換部材60は、発光素子40の光取り出し面41と離間して配置されている。このため、発光素子40からの光が第1導光部材51を通して波長変換部材60へと入射される。波長変換部材60の下面60aと、この下面60aに対向する上面と、この上面に隣接する残りの側面とが光反射部材70で被覆されている。
波長変換部材60は、発光素子40が発する第一波長の光の少なくとも一部を、第一波長とは波長の異なる第二波長の光に変換可能な蛍光体を備える。波長変換部材60としては、例えば、蛍光体の焼結体や、樹脂、ガラス、他の無機物等に蛍光体粉末を含有させたものが挙げられる。蛍光体の焼結体としては、蛍光体だけを焼結して形成したものでもよいし、蛍光体と焼結助剤との混合物を焼結して形成したものでもよい。蛍光体と焼結助剤との混合物を焼結する場合、焼結助剤としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、又は酸化チタン等の無機材料を用いることが好ましい。これにより、発光素子40が高出力であったとしても、光や熱による焼結助剤の変色や変形を抑制することができる。
波長変換部材60は、光透過率が高いほど、光反射部材70との界面において、光を反射させやすいことから、輝度を向上させることができるため好ましい。なお、波長変換部材60は、信頼性の観点から、無機物のみで構成されることがより好ましい。
波長変換部材60が備える蛍光体としては、この分野で用いられる蛍光体を適宜選択することができる。例えば、Ce、Eu等のランタノイド系元素で賦活される、窒化物系蛍光体又は酸窒化物系蛍光体を含有することができる。より具体的には、蛍光体として、例えばCe等のランタノイド元素で賦活される希土類アルミン酸塩を用いることができ、そのうちYAG系蛍光体が好適に用いられる。また、YAG系蛍光体のうちYの一部又は全部をTb、Luで置換したものでもよい。
第2導光部材52は、波長変換部材60との接合面と対向する一側面(図2において右側面)に、波長変換部材60からの光を外部に放出する光出射面53を備える。第2導光部材52は、波長変換部材60との接合面と、光出射面53と、を除いて、光反射部材70で被覆されている。
第2導光部材52は、発光素子40が発する第一波長の光と、波長変換部材60で変換された第二波長の光と、をそれぞれ透過可能な材料で構成されている。第2導光部材52の材料としては、前記した第1導光部材51の材料と同様の材料を用いることができる。なお、第1導光部材51と第2導光部材52の材料は同じでもよいし、異なっていてもよい。以下では、第2導光部材52は、例えばガラスとする。
光出射面53は、一例として、発光素子40の光取り出し面41に対し垂直になるように配置される。図1に示すように、光出射面53の外縁全周は、光反射部材70で囲まれている。光出射面53の面積は光入射面51aの面積よりも小さいことが好ましい。このように構成することで、発光装置1の発光強度を増すことができる。例えば、所定面積の光出射面53を有した全体形状が四角柱の導光部材50において、発光装置1からの光の照射方向であるZ軸方向に第1導光部材51を延長することで光入射面51aの面積を大きくすることができる。この場合に、光出射面53の面積はそのままに、第1導光部材51に沿って配置される発光素子40の個数を増加させることで、さらなる高輝度化を実現することができる。
光反射部材70は、導光部材50及び複数の発光素子40の周囲を一体的に被覆するように設けられている。この光反射部材70は、発光素子40から放射される光を導光部材50に向けて反射させるための部材であり、内側(導光部材50側)から、例えば、光学多層膜71と、金属層72と、樹脂部材73と、をこの順に備えている。
光学多層膜71は、導光部材50及び発光素子40を覆い、発光素子40から放射される光を導光部材50に向けて反射する機能を有している。これにより、発光素子40から放射される光は、導光部材50を通して、効率よく光出射面53へ導かれる。光学多層膜71は、電気的な絶縁材料から形成される。光学多層膜71は、屈折率の異なる2種以上の透光性誘電体を用いて積層し、DBR(Distributed Bragg Reflector)膜を構成するようにしてもよい。
DBR膜は、低屈折率層と高屈折率層とからなる1組の誘電体を、複数組にわたって積層させた多層構造であり、所定の波長光を選択的に反射する。具体的には、屈折率の異なる膜を、例えば活性層からの発光ピーク波長について1/4波長の光学的厚み(optical thickness)で交互に積層することで、発光ピーク波長を中心とする帯域の光を高効率に反射できる。材料としては、Si、Ti、Zr、Nb、Ta、Alからなる群より選択された少なくとも一種の金属の酸化物又は窒化物から選択されたものが好ましい。DBRを酸化膜で形成した場合、低屈折率層は、例えばSiO2で形成される。このとき、高屈折率層は、例えば、Nb25、TiO2、ZrO2、Ta25等で形成される。
光学多層膜71は、例えばALD(Atomic Layer Deposition)法、スパッタリング法、蒸着法等によって形成することができる。なかでも、ALD法は、形成される被膜が緻密であり、表面に段差等の凹凸を有する形状への被覆性が高く、均一な厚さの被膜を形成することができるため好ましい。ALD法によれば、全方位に向けて成膜できるので、スパッタでは成膜しづらい導光部材50の下面側にも均一な厚さの光学多層膜71を積層できる。加えて、例えば、発光素子40の周囲、バンプ30の周囲、導体配線20の上面及び周囲、支持部材10の上面に対しても原子レベルで均一な厚さに光学多層膜71を形成することができる。このように光学多層膜71は、発光素子40の一対の電極の間、すなわち一対のバンプ30の間を電気的に絶縁する絶縁部材を兼ねることができる。これにより、発光装置1の構造が簡素化され、製造工程数を低減できる。
金属層72は、光学多層膜71を被覆するものである。ここで、光学多層膜71は前記したように発光素子40や導体配線20を被覆して絶縁しているので、追加的に導電性の金属層72を成膜することができる。金属層72は、電流を流さないことを前提としている。金属層72は、例えば、Au、Ag、Al、Pt、Rh、Ir又はこれらの金属を主成分とする合金で形成される。なかでも、例えば、Au,Ag,Al等の光反射率の高い金属や合金を用いることが好ましい。
金属層72は、光学多層膜71の上に形成されているので、導光部材50から光学多層膜71を透過した光を反射することができる。光学多層膜71と金属層72とを組み合わせることで、入射光を効率よく反射することができる。この金属層72は、例えばALD法、スパッタリング法、蒸着法等によって形成することができる。
金属層72を設けることで、金属層72を被覆する樹脂部材73の厚みを薄くすることができる。
樹脂部材73は、金属層72の少なくとも一部を被覆し、かつ、導光部材50の光出射面53を露出するように形成されている。この樹脂部材73は、例えば熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂を用いることができる。熱可塑性樹脂の場合、例えば、ポリフタルアミド樹脂、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、不飽和ポリエステル等を用いることができる。また、熱硬化性樹脂の場合、例えば、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂等を用いることができる。
樹脂部材73には、光反射性物質が含有されていることが好ましい。光反射性物質としては、例えば酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ガラスフィラー等を用いることができる。
以上説明したように、発光装置1は、第1導光部材51と、波長変換部材60と、第2導光部材52と、を順に備える導光部材50を有している。また、発光装置1は、導光部材50が発光素子40と共に一体的に光反射部材70によって被覆されており、かつ、導光部材50の光出射面53が光反射部材70から露出している。これにより、発光素子40から放射される光は、光反射部材70で反射し、導光部材50において波長変換部材60を透過して光出射面53から外部に出射される。
そして、発光装置1では、上記構成の導光部材50を備えるので、発光素子からの放射光が波長変換部材60を通過する前にその放射光を小さく絞ることができる。これにより、波長変換部材を通過した後に光を小さく絞る従来技術と比較して、発光素子40からの光が光出射面53に到達するまでに、波長変換部材60中における光散乱が低減され、より光取り出し効率に優れた発光装置1を提供することができる。
[発光装置1の製造方法]
第1実施形態に係る発光装置1の製造方法について説明する。発光装置1の製造方法は、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52とを順に配置した導光部材50を準備する工程と、第1導光部材51と発光素子40とを接合する工程と、発光素子40及び導光部材50を光反射部材70で被覆する工程と、導光部材50の光出射面53として光反射部材70から第2導光部材52の表面の一部を露出させる工程と、を含んでいる。
導光部材50を準備する工程では、例えば板状の波長変換部材60の一方の側面に第1導光部材51を接合し、波長変換部材60の他方の側面に第2導光部材52を接合することで、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52とを順に配置した導光部材50を形成できる。
以下では、一例として、複数の四角柱状の導光部材50を準備する工程について図3A〜図3Cを参照して説明する。
まず、波長変換部材60Aと、第1導光部材51Aと、第2導光部材52Aとを準備する。波長変換部材60Aは、例えばYAG系蛍光体の焼結体を板状にしたものである。第1導光部材51A及び第2導光部材52Aは例えばガラスブロックである。なお、波長変換部材60Aやガラスブロックの寸法は、導光部材50の完成品の寸法やカット個数等を考慮して予め設定される。
図3Aに示すように、波長変換部材60Aの一方の側面に、第1導光部材51Aを接合し、波長変換部材60Aの一方の側面と対向する他方の側面に第2導光部材52Aを接合することで、導光部材集合体50Aを形成する。この導光部材集合体50Aの全体形状は例えばブロック状である。図3Aにおいて、第1導光部材51Aと波長変換部材60Aと第2導光部材52Aとを含む導光部材集合体50Aの高さは、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52を含む断面視における導光部材50の長手方向(Z軸方向)の長さに対応している。
波長変換部材60Aは、透明な接着層等の媒体層を介して第1導光部材51Aや第2導光部材52Aに接合されてもよい。又は、波長変換部材60Aそのものを第1導光部材51Aと第2導光部材52Aとの接合部材として、この波長変換部材60Aが、第1導光部材51Aや第2導光部材52Aに直接接合されてもよい。
一例として、波長変換部材60Aは、第1導光部材51Aや第2導光部材52Aに直接接合されている。ここで、直接接合とは、接合したい界面を、接着材を用いることなく原子の結び付きで接合される接合である。この直接接合は、一般的に常温接合と分類される接合方式が好ましい。
本実施形態に適した直接接合方式としては、表面活性化接合、原子拡散接合、水酸基接合等が挙げられる。
表面活性化接合は、超高真空中で不活性イオンを接合界面に照射することにより、表面を清浄、活性化し接合する。
原子拡散接合は、同じく超高真空中で金属をスパッタリングし、その金属の拡散により接合する。スパッタ膜を非常に薄くすることで、光取り出しに影響なく接合できることも確認できている。
水酸基接合は接合界面に水酸基を形成し、水酸基の水素結合で接合する。
上記した3つの常温接合であるが、必要に応じて加熱処理を行うことで結合力が増す場合がある。その場合、加熱は、400℃以下、好ましくは300℃以下、より好ましくは200℃以下まで、加熱してもよい。
次に、図3Bに示すように、導光部材集合体50Aを第1の所定幅で分割する。このとき、導光部材集合体50Aを、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52とを含む位置で、一方向(YZ平面に平行な方向)に沿って分割する。また、第1の所定幅は、図2の断面視における導光部材50の高さに対応している。これにより、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52とが、この順に配置された複数の板状の導光部材を中間体として形成する。ここでは、分割して得られた導光部材の中間体のことを導光スライス部材50Sと呼ぶ。なお、同様に、導光スライス部材50S中の波長変換部材を、波長変換部材60Sと表記する。
続いて、導光スライス部材50Sにおいて対向する2つの分割面を例えば研磨することで、導光スライス部材50Sの表裏に一対の平滑な研磨面50S1,50S2を形成する。
次に、導光部材集合体50Aを分割した後に、導光スライス部材50Sを第2の所定幅で分割する。図3Cに示すように、導光部材50の研磨面50S1は、図2の断面視における導光部材50の下面に対応している。ここで、第2の所定幅は、断面視における導光部材50の奥行き(Y軸方向の長さ)に対応している。また、導光スライス部材50Sを分割する方向(ZX平面に平行な方向)と、前記した導光部材集合体50Aを分割する方向(YZ平面に平行な方向)と、は直交している。上記した手順により、細長い四角柱状の導光部材50を形成することができる。
なお、導光部材集合体50Aの分割及び導光スライス部材50Sの分割は、例えばブレードやレーザーを用いて行うことができる。
上記説明では、図3Aに例示したブロック状の導光部材集合体50Aを初めに形成するものとしたが、代わりに、図3Bに例示した導光スライス部材50Sと同様の板状の導光部材集合体を初めに形成することもできる。そのような板状の導光部材集合体であれば、第2の所定幅で分割することで、複数の導光部材50を準備することができる。なお、その場合には、分割前又は分割後に両面を研磨することが好ましい。
次に、第1導光部材51と発光素子40とを接合する工程について図3Dを参照して説明する。図3Dに示すように、導光部材50の研磨面50S1は、図2の断面視における導光部材50の下面に対応している。
発光素子40として、予め、成長基板上に、n側半導体層、活性領域、p側半導体層、n電極、p電極及び所定の保護膜層等が形成されたLEDチップを準備しておく。発光素子40は、GaN等の窒化物系半導体から形成され、成長基板としてサファイアの単結晶基板が用いられる。
図3Dに示すように、導光部材50において、研磨面50S1のうち、第1導光部材51に相当する表面に複数の発光素子40を接合する。つまり、研磨面50S1のうち発光素子40が接合される第1導光部材51の表面が光入射面51a(図2)となる。そして、波長変換部材60は、発光素子40から離間して、発光素子40からの光が波長変換部材60に直接入射しないように設置される。すなわち、発光素子40と波長変換部材60との間には第1導光部材51が介在しており、発光素子40からの光は第1導光部材51を通して波長変換部材60に入射する。
発光素子40は、透明な接着層等のある種の媒体層を介して第1導光部材51に配置されてもよく、又は、第1導光部材51に直接接合して配置されてもよい。ここでは、導光部材に接合された発光素子のことを発光素子組立体40Aと呼ぶ。発光素子組立体40Aは、導光部材50の長手方向(Z軸方向)に沿って所定間隔で一列に配置された複数の発光素子40を備えている。
次に、発光素子40を支持部材10上に実装する工程について図4Aを参照して説明する。発光素子組立体40Aにおいて、導光部材50を上にした姿勢で、発光素子40をその電極側から支持部材10上に実装する。ここでは、支持部材10が備える導体配線20に、バンプ30等を介して発光素子40の電極を電気的に接続する。なお、説明の都合上、発光素子40と導体配線20とが離間した状態で示したが、発光素子40はバンプ30を介して導体配線20に固定される。
発光素子40は、LEDチップであって、同一面側に正負一対の電極が形成されている。このLEDチップの各電極は、正負一対の導体配線20に向かい合うようにして配置され、バンプ30によって導体配線20の上に電気的及び機械的に接合されている。バンプ30は、導体配線20上に、金や半田のバンプ30をめっき法又は蒸着法により形成しておいてもよいし、発光素子40の電極側に、予めバンプ30を形成しておいてもよい。
次に、発光素子40及び導光部材50を光反射部材70で被覆する工程について図4B〜図4Dを参照して説明する。
まず、ALD法を用いて、図4Bに示すように、導光部材50の表面、発光素子40の周囲、並びに支持部材10の上面、導体配線20及びバンプ30を、光反射性を有する光学多層膜71で一体的に被覆する。なお、図4B〜図4Dでは、導光部材50の光出射面53(図1参照)となる側の端面も光学多層膜71等の光反射部材70で被覆された状態を示したが、後の工程で光反射部材70は、この光出射面53が露出するように部分的に除去される。また、導体配線20の一部を予めマスクしてから光学多層膜71等の光反射部材70を形成した後に前記マスクを除去することで、図1に示すような光反射部材70の開口70aを形成する。
次に、図4Cに示すように、光学多層膜71の上から金属層72を所定の領域に形成する。金属層72は、Au,Ag,Al等の前記した光反射率の高い金属や合金を用いて、例えばALD法により形成することができる。
次に、図4Dに示すように、光学多層膜71と金属層72とを覆うように、光反射性を有する樹脂部材73を配置する。なお、樹脂部材73を成形する方法としては、ポッティング法、圧縮成形法、トランスファー成形法、射出成形法等の一般的な方法を採用することができる。そして、加熱することにより樹脂部材73を硬化させる。これにより、導光部材50は光反射部材70により封止される。
次に、光反射部材70から第2導光部材52の表面の一部を露出させる工程について図4Dを参照して説明する。導光部材50が光反射部材70により封止された後、第2導光部材52を含む位置(図4Dに仮想線で示す位置)で、光反射部材70及び第2導光部材52の一部を除去する。除去には、例えばブレードによる切断、レーザーによる切断、研磨等が用いられる。これにより、光反射部材70から第2導光部材52の表面の一部が露出し、光出射面53が形成される。
本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、このような製造工程を経て、波長変換部材60中での光損失を低減する発光装置1を簡易に製造することができる。
ここで、導光部材50が第2導光部材52を備えることによる製造方法の効果について説明する。仮に、第2導光部材52を設けない場合、光反射部材70の一部を除去する工程において、波長変換部材60を切断又は研磨しなければならなくなる。そうすると、切断又は研磨によって波長変換部材60のサイズのばらつきが生じることが想定される。さらに、波長変換部材60のサイズのばらつきが生じると、それを用いた発光装置の色度がばらつくという問題が考えられる。
これに対して、本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法では、波長変換部材60ではなく、第2導光部材52を切断又は研磨する。そのため、波長変換部材60のサイズは変わらず、また、第2導光部材52はガラス等の光を透過させる材料で構成されていることから、色度への影響もほとんどなく、前記した問題を未然に防ぐ効果を奏する。
(第2実施形態)
<発光装置1Bの構成>
次に、第2実施形態に係る発光装置について、図5を参照して説明する。
第2実施形態に係る発光装置1Bは、光出射面53Bが第2導光部材52Bの上面に配置されている点が、第1実施形態に係る発光装置1と相違している。つまり、第2実施形態に係る発光装置1Bでは、光出射面53Bは、発光素子40の光取り出し面41と同じ方向(X軸方向)に配置される。以下では、第1実施形態に係る発光装置1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
第2実施形態に係る発光装置1Bは、支持部材10と、導体配線20と、発光素子40と、導光部材50Bと、光反射部材70Bと、を主に備えている。
導光部材50Bは、第1導光部材51と、波長変換部材60と、第2導光部材52Bと、を順に備えている。導光部材50Bは、例えば四角柱の一部を除去したような形状である。具体的には、第2導光部材52Bが発光素子40の光取り出し面41に対して傾斜した傾斜面54を備える点が第1実施形態における第2導光部材52の形状と相違している。
第2導光部材52Bは、発光素子40の光取り出し面41に対して傾斜した傾斜面54を備える。図5に示した傾斜面54の傾斜は、光取り出し面41に対して45度としているが、光取り出し面41に対して0度より大きくなるように形成されていればよい。ただし、傾斜を大きくすることで、光出射面53Bの面積を小さくすることができるので、傾斜は、光取り出し面41に対して例えば30〜60度程度とすることが好ましい。
第2導光部材52Bは、傾斜面54に連なる一面(図5において上面)が光反射部材70Bから露出して光出射面53Bを形成している。光出射面53Bの面積は、第1導光部材51が備える光入射面51aの面積よりも小さければよい。光出射面53Bの面積は、例えば、発光素子40から放射される光が波長変換部材60を通過する断面における面積とほぼ等しい。
光反射部材70Bは、図1に示す光反射部材70から金属層72を除去して簡略化した構成としたものであり、さらに、樹脂部材73の形状を変更した点が光反射部材70と相違している。すなわち、図5に示すように、光反射部材70Bは、光学多層膜71と、樹脂部材73と、を備え、樹脂部材73は、第2導光部材52Bの傾斜面54に対向した傾斜面74を備えている。
第2実施形態に係る発光装置1Bにおいても、発光素子からの放射光が波長変換部材60を通過する前にその放射光を小さく絞ることができる。これにより、波長変換部材を通過した後に光を小さく絞る従来技術と比較して、発光素子40からの光が光出射面53Bに到達するまでに、波長変換部材60中における光散乱が低減され、より光取り出し効率に優れた発光装置1Bを提供することができる。
[発光装置1Bの製造方法]
第2実施形態に係る発光装置1Bの製造方法について説明する。第2実施形態に係る発光装置1Bの製造方法は、複数の導光部材50Bを準備する工程と、第2導光部材52Bの表面の一部を露出させる工程とが第1実施形態に係る発光装置1の製造方法と相違している。
複数の導光部材50Bを準備する工程について図6A、図6Bを参照して説明する。
まず、準備した複数の導光スライス部材50Sにおいて対向する2つの分割面(導光部材集合体50Aの分割面)に対して斜めになるように第2導光部材52の端面を加工する。ここで、導光スライス部材50Sの分割面の一方は、後の工程で発光素子40と第1導光部材51との接合面となる。つまり、ここでは、第2導光部材52の端面を発光素子40と第1導光部材51との接合面に対して斜めに加工して傾斜面54(図6B)を形成する。これにより、第2導光部材52B(図6B)が形成される。このとき、図6Aに示すように、導光スライス部材50Sにおいて、後工程で発光素子40を接合される側の面の方が狭くなるように傾斜面54Sを形成する。
具体的には、例えばブレードを用いて、導光スライス部材50Sにおいて第2導光部材52の端面の一部を切断して傾斜面54Sを形成する。そして、導光スライス部材50Sの表裏に一対の平滑な研磨面50S1,50S2を形成する。この際に、傾斜面54Sも研磨して平滑面とすることが好ましい。なお、ここでは、導光スライス部材50Sにおいて、研磨面50S1側に発光素子40が接合されるものとしているので、研磨面50S1が研磨面50S2よりも狭くなるように傾斜面54Sが形成されている。
次に、傾斜面54Sを備える導光スライス部材50Sを第2の所定幅で分割することで、第1導光部材51と波長変換部材60と第2導光部材52Bとの順に配置された複数の細長い導光部材50B(図6B)を準備する。なお、導光部材50Bは、傾斜面54を備えている点が、図3Cに示す導光部材50と相違している。
第2実施形態に係る発光装置1Bの製造方法において、導光部材50Bの第1導光部材51と発光素子40とを接合する工程は、第1実施形態に係る発光装置1の製造方法において前記した工程と同様なので説明を省略する。
次に、発光素子40を支持部材10上に実装する工程は、第1実施形態に係る発光装置1の製造方法において前記した工程と同様なので説明を省略する。
次に、発光素子40及び導光部材50Bを光反射部材70Bで被覆する工程について図6B〜図6Dを参照して説明する。
一例として、発光素子40及び導光部材50Bを光反射部材70Bで被覆する準備として、光出射面53Bを形成する領域を保護するためのマスクを形成する。光出射面53Bを形成する領域とは、導光部材50Bにおいて第2導光部材52Bの傾斜面54に連なる上面の一部領域のことである。ここでは、図6Bに示すように、第2導光部材52Bの上面の一部分に、マスクとして、従来公知の方法でレジスト5を形成する。レジスト5は、平面視で第2導光部材52Bの少なくとも1つのエッジから離間するように形成されることが好ましく、光出射面53Bの面積を小さく絞るためには、レジスト5は、平面視で第2導光部材52Bの全てのエッジから離間するように形成されることが好ましい。
次に、ALD法を用いて、図6Cに示すように、レジスト5の上から、導光部材50Bの表面や発光素子40の周囲等を略均一な膜厚の光学多層膜71で一体的に被覆する。これにより、傾斜面54から光が漏れることを低減することができる。
次に、図6Dに示すように、光学多層膜71の少なくとも一部を覆うように、光反射性を有する樹脂部材73を配置して硬化させる。ここでは、導光部材50Bの傾斜面54を被覆した光学多層膜71を覆うように樹脂部材73を配置する。これにより、傾斜面54から光が漏れることをより効果的に抑制することができる。
次に、第2導光部材52Bの表面の一部を露出させる工程について図6Dを参照して説明する。導光部材50B等が光反射部材70Bにより封止された後、図6Dに仮想線で示すように、レジスト5及びレジスト5の上に配置された一部の光反射部材70Bを除去する。例えば、ウェットプロセスの場合、レジスト5は、水酸化ナトリウム等の強アルカリ溶液によって洗浄して除去することができる。また、ドライプロセスの場合、専用のレジスト剥離装置(アッシング装置)で除去することができる。
レジスト5を除去することにより、光反射部材70Bから第2導光部材52Bの表面の一部が露出して光出射面53Bが形成される。これにより、光反射部材70Bは、平面視で光出射面53Bの外縁全周を囲む形状となる。このような製造工程を経て発光装置1Bが提供される。
(第3実施形態)
次に、第3実施形態に係る発光装置について、図7Aを参照して説明する。
第3実施形態に係る発光装置1Cは、光反射部材70Bと、ヒートシンク81と、を備える点が、第1実施形態に係る発光装置1と相違している。光反射部材70Bは、第2実施形態に係る発光装置1Bが備える光反射部材70Bと同じものである。以下では、第1実施形態に係る発光装置1と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
第3実施形態に係る発光装置1Cは、支持部材10と、導体配線20と、発光素子40と、導光部材50と、光反射部材70Bと、ヒートシンク81と、を主に備えている。
ヒートシンク81は、導光部材50において、発光素子40が接合されていない領域に設けられている。ヒートシンク81は、例えば導光部材50の上面に形成される。四角柱の形状の導光部材50であれば、四角柱の他の側面に設けても構わないし、この四角柱において光出射面53と対向する面に設けても構わない。ヒートシンク81は、例えば導光部材50に接合してもよいし、光反射部材70Bに接合してもよい。光反射部材70Bに接合するときには、図7Aに示すように、光学多層膜71に接合してもよい。
ヒートシンク81は、熱伝導率が高い材料、例えば、Cu,Al,Au,Ag,W,Fe,Ni等の金属、又は、Al合金、Ni合金、燐青銅、ステンレス等の合金、あるいは、AlNが挙げられる。ヒートシンク81の形状は、板状であっても構わないが、外部に熱を放出しやすいよう、図示するように外周に凹凸を設けて表面積を大きくしたフィンを有する形状とすることもできる。
ヒートシンク81は、光反射部材70Bを形成する前、又は光反射部材70Bを形成した後に接合することができる。ヒートシンク81は、樹脂部材73を形成する前、又は樹脂部材73を形成した後に接合することが好ましい。例えば、樹脂部材73を形成した後に接合する方法では、後工程でヒートシンク81を接合する部分を予めマスクして樹脂部材73を形成した後に、マスクを除去してヒートシンク81を接合すればよい。
発光装置1Cは、ヒートシンク81が、光反射部材70Bを介して又は直接的に導光部材50に接合されているので、導光部材50中の波長変換部材60で発生した熱を効率よく放熱することができる。このため、放熱効率の高い発光装置1Cとすることができる。
また、第3実施形態に係る発光装置の変形例として、ヒートシンク81は光反射性を備えた材料で構成することもできる。図7Bに示すように、発光装置1Dは、ヒートシンク81に代えて金属板82を備えていてもよい。
金属板82は、例えば上述した熱伝導率が高い材料からなる板の表面に、Au,Ag,Al,Cu等の光反射率の高い金属めっきを施したものを用いることができる。金属板82に光反射率の高い材料を用いることで、発光素子40からの光をより効率よく反射することができる。金属板82は、ヒートシンク81と同様な方法で接合することができる。
発光装置1Dは、金属板82として光反射率の高い材料を用いることにより、発光素子40からの光を金属板82の表面で効率よく反射することができる。そのため、より高輝度の発光装置1Dとすることができる。
(第4実施形態)
上記実施形態に係る発光装置に光学素子を後付けすることもできる。
図8Aに示すように、発光装置1Eは、第1実施形態に係る発光装置1において、導光部材50の光出射面53に光学素子91を接合したものである。
図8Bに示すように、発光装置1Fは、第2実施形態に係る発光装置1Bにおいて、導光部材50Bの光出射面53Bに光学素子92を接合したものである。
光学素子91,92の形状は、例えば、半球面、球面から扁形された凸曲面、砲弾型等の所望の形状とし、光を集光、拡散させるレンズとして機能させることもできる。例えば、光学素子91は、凹曲面の形状で構成されており、断面視では2つの凸曲面が並んで連続した面を有している。
光学素子91,92は、透光性部材で構成されている。透光性部材は、例えば、シリコーン樹脂等の熱硬化性の樹脂材料、ポリカーボネートやアクリル等の熱可塑性の樹脂材料、ポリエチレン等のポリマー材料、あるいは光学ガラス等を挙げることができる。
光学素子91,92は、透明な接着層等の媒体層を介して光出射面53,53Bに接合されてもよいし、又は、光出射面53,53Bに直接接合されてもよい。
上記構成の発光装置1E,1Fは、光学素子91,92によって配光特性を制御することができる。
以上、本開示の実施形態に係る発光装置について、具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変等したものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。
例えば、発光装置1の製造方法では、導光スライス部材50Sの表裏に平滑な研磨面50S1,50S2を形成した後に、この導光スライス部材50Sを第2の所定幅で分割することとしたが、導光スライス部材50Sを第2の所定幅で分割した後に、その分割面を研磨してもよい。
また、発光装置1の製造方法では、細長い導光部材50(図3C)に発光素子40を接合することとしたが、板状の導光スライス部材50Sに発光素子40を接合してもよい。その場合の発光装置の製造方法について図9を参照して説明する。図9は、1つの導光スライス部材50Sの平面図であって、研磨面50S1は、図2の断面視における導光部材50の下面に対応している。この場合、図9に示すように、第1導光部材51の研磨面50S1において行列状に複数の発光素子40を配列して第1導光部材51に接合する。次に、図9における列方向(Z軸方向)に配列された複数の発光素子40と波長変換部材60Sとを含むように、導光スライス部材50Sを第2の所定幅でZX平面に平行な方向に沿って分割する。これにより、図3Dに示すような、発光素子組立体40Aを形成することができる。発光素子と導光部材とを直接接合する場合、この手順で行うことが好ましい。
本発明に係る実施形態の発光装置は、プロジェクター、照明用装置、車載用発光装置等に利用することができる。
1,1B,1C,1D,1E,1F 発光装置
10 支持部材
40 発光素子
41 光取り出し面
50,50B 導光部材
50A 導光部材集合体
50S 導光スライス部材(導光部材)
50S1,50S2 研磨面
51,51A 第1導光部材
51a 光入射面
52,52A,52B 第2導光部材
53,53B 光出射面
54 傾斜面
60,60A,60S 波長変換部材
70,70B 光反射部材
71 光学多層膜
72 金属層
73 樹脂部材
81 ヒートシンク
82 金属板
91,92 光学素子

Claims (10)

  1. 第1導光部材と波長変換部材と第2導光部材とを順に配置した導光部材を準備する工程と、
    前記第1導光部材と発光素子とを接合する工程と、
    前記発光素子を支持部材上に実装する工程と、
    前記発光素子及び前記導光部材を光反射部材で被覆する工程と、
    前記導光部材の光出射面として前記光反射部材から前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程と、を有し、
    前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程は、
    前記光反射部材の一部を除去する工程を含む発光装置の製造方法。
  2. 前記光反射部材で前記発光素子と前記導光部材とを被覆する工程は、
    前記発光素子及び前記導光部材を光学多層膜で覆う工程と、
    前記光学多層膜の少なくとも一部を樹脂部材で覆う工程と、を有する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記光反射部材で前記発光素子と前記導光部材とを被覆する工程は、
    前記発光素子及び前記導光部材を光学多層膜で覆う工程と、
    前記光学多層膜を金属層で覆う工程と、
    前記金属層の少なくとも一部を樹脂部材で覆う工程と、を有する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記導光部材を準備する工程は、前記第2導光部材の端面を前記発光素子と前記第1導光部材との接合面に対して斜めに加工して傾斜面を形成する工程を含む請求項から請求項のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記光出射面に光学素子を接合する工程をさらに有する請求項から請求項のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
  6. 第1導光部材と波長変換部材と第2導光部材とを順に配置した導光部材集合体を形成し、前記導光部材集合体を一方向に分割することで、前記第1導光部材と前記波長変換部材と前記第2導光部材との順に配置された複数の導光部材を準備する工程と、
    前記第1導光部材と複数の発光素子とを接合する工程と、
    複数の前記発光素子及び前記導光部材を光反射部材で被覆する工程と、
    前記導光部材の光出射面として前記光反射部材から前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程と、を有する発光装置の製造方法。
  7. 前記複数の導光部材を準備する工程は、
    前記導光部材集合体を前記一方向に分割した後に、前記一方向に直交する方向に分割することで、前記複数の導光部材を準備する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  8. 前記複数の導光部材を準備する工程の後に、
    前記導光部材において対向する2つの分割面を研磨することで一対の研磨面を形成する工程をさらに有し、
    前記第1導光部材と複数の前記発光素子とを接合する工程は、前記第1導光部材の研磨面に複数の前記発光素子を接合する請求項又は請求項に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程は、
    前記光反射部材の一部を除去する工程を含む請求項から請求項のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記複数の導光部材を準備する工程は、前記第2導光部材の端面を前記導光部材集合体の分割面に対して斜めに加工して傾斜面を形成する工程を含み、
    前記第2導光部材の表面の一部を露出させる工程は、前記第2導光部材の前記傾斜面に連なる上面の一部を露出させる工程を含む請求項から請求項のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
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