JP6413929B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。図2及び図3は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を示す斜視図である。図4は図3のI−IIに沿った断面図である。
図6は、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を示す斜視図である。本実施の形態では、プレ接合として、超音波ツール5をZ軸方向に下降させて金属端子4に接触させて金属端子4の長手方向に対して平行方向に超音波振動Vpを加え、金属端子4と金属板1を平行状態に固定する。その後、実施の形態1と同様にメイン接合を行う。これにより、実施の形態1と同様に、安定した接合品質6を確保することができる。
図7は、本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法を示す斜視図である。本実施の形態では、プレ接合として、超音波ツール5をZ軸方向に下降させて金属端子4に接触させて金属端子4の長手方向に対して垂直方向に超音波振動Vpを加え、金属端子4と金属板1を平行状態に固定する。その後、実施の形態1と同様にメイン接合を行う。これにより、実施の形態1と同様に、安定した接合品質6を確保することができる。
図8は、本発明の実施の形態4に係る半導体装置の製造方法を示す斜視図である。本実施の形態では、プレ接合として、超音波ツール5をZ軸方向に下降させて金属端子4に押し付けて加圧力Ppを加えつつ、金属端子4の長手方向に対して平行方向に超音波振動Vpを加え、金属端子4と金属板1を平行状態に固定する。その後、実施の形態1と同様にメイン接合を行う。これにより、実施の形態1と同様に、安定した接合品質6を確保することができる。
図9は、本発明の実施の形態5に係る半導体装置の製造方法を示す斜視図である。本実施の形態では、プレ接合として、超音波ツール5をZ軸方向に下降させて金属端子4に押し付けて加圧力Ppを加えつつ、金属端子4の長手方向に対して垂直方向に超音波振動Vpを加え、金属端子4と金属板1を平行状態に固定する。その後、実施の形態1と同様にメイン接合を行う。これにより、実施の形態1と同様に、安定した接合品質6を確保することができる。
Claims (7)
- 上面に金属板が設けられた絶縁層を台座に載せ、前記金属板上に金属端子を載せる工程と、
超音波ツールを前記金属端子に押し付けて加圧力を加えて前記金属端子と前記金属板を平行状態に固定するプレ接合工程と、
前記プレ接合工程の後に、前記超音波ツールを前記金属端子に押し付けて加圧力を加えつつ超音波振動を加えて前記金属端子と前記金属板を超音波接合させるメイン接合工程とを備え、
前記プレ接合工程の前記加圧力は前記メイン接合工程の前記加圧力より小さいことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記プレ接合工程の時間は前記メイン接合工程の時間より短いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上面に金属板が設けられた絶縁層を台座に載せ、前記金属板上に金属端子を載せる工程と、
超音波ツールを前記金属端子に接触させて超音波振動を加えて前記金属端子と前記金属板を平行状態に固定するプレ接合工程と、
前記プレ接合工程の後に、前記超音波ツールを前記金属端子に押し付けて加圧力を加えつつ超音波振動を加えて前記金属端子と前記金属板を超音波接合させるメイン接合工程とを備え、
前記プレ接合工程において前記超音波ツールを前記金属端子に押し付けて加圧力を加えつつ前記超音波振動を加え、
前記プレ接合工程の前記加圧力は前記メイン接合工程の前記加圧力より小さいことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記プレ接合工程の前記超音波振動の振幅量は前記メイン接合工程の前記超音波振動の振幅量より小さく、
前記プレ接合工程の時間は前記メイン接合工程の時間より短いことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記プレ接合工程において前記金属端子の長手方向に対して平行方向に前記超音波振動を加えることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プレ接合工程において前記金属端子の長手方向に対して垂直方向に前記超音波振動を加えることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プレ接合工程の後、前記メイン接合工程の前に、前記超音波ツールを上昇させて前記金属端子から離す工程を更に備えることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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