JP2007237201A - 接合良否判定方法及び接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接合良否判定方法が、圧痕形状および沈み込み量Dを測定するための測定補助突起45が備えられたホーン3で被接合物11、12を接合する段階と、被接合物11、12における接合後の測定補助突起45の圧痕22から接合の良否を判定する段階と、を含んでいる。
【選択図】図7
Description
2 アンビル、
3 ホーン、
4 アンビルの突起、
5 ホーンの突起、
11 被接合物(上板)、
12 被接合物(下板)、
21 アンビルの圧痕、
22 ホーンの圧痕、
40 測定補助突起の谷部、
45 測定補助突起。
Claims (11)
- 圧痕形状および沈み込み量を測定するための測定補助突起が備えられたホーンで被接合物を接合する段階と、
前記被接合物における接合後の前記測定補助突起の圧痕から接合の良否を判定する段階と、
を含むことを特徴とする接合良否判定方法。 - 前記接合の良否は、前記被接合物における前記測定補助突起の沈み込み量に基づいて判定することを特徴とする請求項1に記載の接合良否判定方法。
- 前記接合の良否は、前記被接合物における前記測定補助突起の沈み込み面積に基づいて判定することを特徴とする請求項1に記載の接合良否判定方法。
- 前記測定補助突起の谷部の深さは他の突起の谷部の深さよりも深いことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の接合良否判定方法。
- 前記測定補助突起の突出高さは他の突起の突出高さと異なることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の接合良否判定方法。
- 前記被接合物が異種金属である場合、一方の金属の硬度が他方の金属の硬度よりも小さいものをホーン側に配置させて接合することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の接合良否判定方法。
- 請求項1〜6の方法に実施に直接使用する接合装置であって、
被接合物を押圧するホーンに、圧痕形状および沈み込み量を測定するための測定補助突起が備えられていることを特徴とする接合装置。 - 前記測定補助突起は前記ホーンの外周部分または外周部分よりも内側のいずれかに設けられていることを特徴とする請求項7に記載の接合装置。
- 前記測定補助突起は前記ホーンの突起列の一部を構成することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の接合装置。
- 前記測定補助突起の谷部の深さは他の突起の谷部の深さよりも深いことを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載の接合装置。
- 前記測定補助突起の突出高さは他の突起の突出高さと異なることを特徴とする請求項7〜請求項10のいずれか1項に記載の接合装置。
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