JP2004325374A - 基板実装部品の接続強度評価方法 - Google Patents

基板実装部品の接続強度評価方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004325374A
JP2004325374A JP2003123446A JP2003123446A JP2004325374A JP 2004325374 A JP2004325374 A JP 2004325374A JP 2003123446 A JP2003123446 A JP 2003123446A JP 2003123446 A JP2003123446 A JP 2003123446A JP 2004325374 A JP2004325374 A JP 2004325374A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
pressing force
connection strength
board
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003123446A
Other languages
English (en)
Inventor
Naohide Miyata
直秀 宮田
Masahiro Yamada
雅洋 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2003123446A priority Critical patent/JP2004325374A/ja
Publication of JP2004325374A publication Critical patent/JP2004325374A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

【課題】多様な形状の基板に対応することができ、しかも、任意の電子部品について、接続強度の測定及び評価を行うことができる基板実装部品の接続強度評価方法を提供する。
【解決手段】対象電子部品11が実装された基板1を支持台2の載置部20上に立て、その一端部10を前壁部21と板状部材3とによって固定する。そして、板状部材3の一辺30が電子部品11の実装部位11a内に位置するように、板状部材3の長さLを設定して、基板1の曲げ支点Pを決める。しかる後、基板1の端部を押圧/変位測定器具4の圧子5で押して基板1を曲げる。これと並行して、押圧/変位測定器具4の押圧力測定器41によって基板1に対する圧子5の押力値を測定し、変位量測定器42によって、押圧個所の変位量を測定する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板の表面に実装された各種電子部品の接続強度を測定及び評価するための基板実装部品の接続強度評価方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の技術としては、例えば特許文献1に記載の技術がある。
図12は、従来の基板実装部品の接続強度評価方法を示す概略図である。
この技術は、図12に示すように、規定のサイズ及び厚みの基板100に電子部品101を実装し、この基板100を規定サイズの支持台110に電子部品101が下向きになるように載せる。これにより、基板100の周縁が支持台110によって支持された状態になる。そして、この状態で基板100の実装面とは反対側の面を圧子102によって上から加圧し、基板100を撓ませる。そして、このときの撓み量と加圧力とを変位量測定器121と加圧力測定器122とで測定しながら、基板100を規定撓み量に達するまで曲げる。しかる後、電子部品101の接続強度の良否や外観異常の有無、電気特性の劣化状況等を評価する。この際、基準基板を設定し、この基準基板を基準にして、撓み量の補正を行い、複数の基板100間における固さ(ヤング率)、厚みなどのバラツキの影響を無くすようにしている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−230878号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した従来の接続強度評価方法では、次のような問題がある。
従来の技術では、規定サイズの支持台110に載せて評価を行うため、規定サイズの基板100に実装した電子部品101の接続強度しか評価することができない。したがって、多様な形状両面に多様な電子部品が搭載された基板100に実装された電子部品101の接続強度を評価することができない。特に、基板形状等が異なる製造ロット間において、電子部品101の半田付け部分に施されたメッキの仕上がり状態、各メッキ仕様における電子部品101の接続強度を評価したい場合には、その測定と評価は不可能ともいえる。しかも、基板100の周縁を支持台110で支持した状態で、電子部品101の実装面とは反対側の基板面を圧子102によって加圧して評価するため、片面搭載基板である基板100のほぼ中央に実装された電子部品101の接続強度しか評価することができず、汎用性に欠ける。
【0005】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、多様な形状の基板に対応することができ、しかも、任意の電子部品について、接続強度の測定及び評価を行うことができる基板実装部品の接続強度評価方法を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1の発明に係る基板実装部品の接続強度評価方法は、電子部品が表面に実装された基板の一端部を固定する基板固定過程と、一端縁が対象電子部品の反対面の実装部位内に位置するように、板状部材を基板の裏面に当接することにより、当該一端縁との当接個所を基板の曲げ支点として設定する曲げ支点設定過程と、曲げ支点を境にして固定一端部とは逆側に位置する基板表面の所望個所を、圧子で押して基板を曲げる基板押圧過程と、基板押圧過程における圧子の押力値と基板の押圧個所の変位量との関係を測定する押力/変位測定過程とを具備する構成とした。
かかる構成により、基板固定過程を実行して、基板の一端部を固定し、曲げ支点設定過程を実行して、当該一端縁との当接個所を基板の曲げ支点として設定した後、基板押圧過程を実行して、基板表面の所望個所を圧子で押して基板を曲げると、圧子の押力に対応して、基板が曲げ支点を中心に変位する。このとき、押力/変位測定過程を実行して、圧子の押力値と基板の押圧個所の変位量との関係を測定することで、当該押力値と変位量との関係に基づいて、対象電子部品の接続強度の評価を行うことができる。
【0007】
特に、請求項2の発明は、請求項1に記載の基板実装部品の接続強度評価方法において、基板固定過程は、基板の一端部の表面にのみ当てた固定体と基板の裏面に当接した矩形状の板状部材とで、一端部を挟持するものであり、曲げ支点設定過程は、一辺が対象電子部品の反対面の実装部位内に位置するように、板状部材の長さを設定するものである構成とした。
かかる構成によれば、一の板状部材によって、基板固定過程と曲げ支点設定過程とを同時に実行することができる。
【0008】
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の基板実装部品の接続強度評価方法において、上記押力/変位測定過程における押力値を漸次増加させ、基準押力値に至る前に、押力値と変位量との関係に不連続性が生じた場合に、当該基板が不良であると判定する判定過程を設けた構成としてある。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、この発明の第1実施形態に係る基板実装部品の接続強度評価方法を説明するための一部破断側面図である。
この実施形態に係る接続強度評価方法は、基板1に対して基板固定過程と曲げ支点設定過程と基板押圧過程と押力/変位測定過程とを実行することにより達成されるが、具体的には、図1に示す器具によって実行する。
【0010】
図1に示す器具において、符号2は、支持台であり、この支持台2は、基板1を立てる水平な載置部20と、固定体としての前壁部21と、押圧用ボルト23が進退自在に組み付けられた後壁部22とで形成されている。
また、符号3は矩形状の板状部材であり、基板1の固定や曲げ支点の設定に用いる器具である。
そして、符号4は、押圧/変位測定器具であり、この押圧/変位測定器具4は、圧子5を進退可能な押圧機構40と、圧子5の基板1に対する押力を測定するためにロードセル等で作成した押圧力測定器41と、圧子5の進退量即ち基板1の変位量を測定するためにダイヤルゲージ等で作成した変位量測定器42とで構成されている。
【0011】
この実施形態の接続強度評価方法では、上記器具を用いて基板1の一端部10を固定するための基板固定過程を先ず実行する。
具体的には、電子部品11,〜,14が実装された表面を支持台2の前壁部21側に向けた状態で基板1を載置部20上に立て、一端部10の表面(図1の左面)を前壁部21に当てる。そして、板状部材3を支持台2の載置部20上に立てて、基板1の裏面に当接させる。しかる後、押圧用ボルト23を回転させて板状部材3側に進め、板状部材3を裏面側からパッド23aで押圧する。これにより、基板1の一端部10が、前壁部21と板状部材3とによって挟持され固定された状態になる。
【0012】
次に、接続強度の評価対象となる電子部品の接続部位に曲げ支点を設定する曲げ支点設定過程を実行する。
図1に示すように、対象電子部品が電子部品11である場合には、板状部材3の一端縁である一辺30が電子部品11の反対面の実装部位11a内に位置するように、板状部材3の長さLを設定する。この実施形態では、板状部材3の一辺30が電子部品11の実装部位11aのほぼ中央に位置するように、板状部材3の長さLを設定した。これにより、板状部材3の一辺30と当接する個所が基板1の曲げ支点Pとして設定されることとなる。
【0013】
かかる状態で、基板押圧過程を実行する。
具体的には、基板1の曲げ支点Pを境として一端部10とは逆側に位置する基板1の表面部分、即ち、曲げ支点Pより上方の表面部分を、押圧/変位測定器具4の圧子5で押して基板1を曲げる。
図2は、圧子5の押圧個所を示す斜視図であり、図3は、基板1の曲がり状態を示す側面図である。
図2に示すように、この実施形態では、基板1の端部であって且つ電子部品11の中心軸11C上の個所に、圧子5の先端を当てる。そして、かかる状態で、押圧機構40を駆動することにより、圧子5を図1の右方向に進めていく。これにより、図3に示すように、圧子5の基板1に対する押力fに対応して基板1が曲げ支点Pを中心に曲がる。
【0014】
上記曲げ支点設定過程と並行して、圧子5の押力値と基板1の押圧個所の変位量との関係を測定する押力/変位測定過程を実行する。
具体的には、基板1に対する圧子5の押力値を、図1に示す押圧/変位測定器具4の押圧力測定器41によって測定し、押圧個所の変位量d(図3参照)を変位量測定器42によって測定する。
【0015】
図4は、圧子5の基板1に対する押力値と基板1の変位量との関係図である。
基板1に対する圧子5の押力値を漸次増加させていくと、図3に示すように、電子部品11が基板1から剥離しない状態では、圧子5の押力と基板1の変位量との関係を示す図4の曲線S11が連続性を保持する。
図5は、電子部品11が剥離した状態を示す側面図であり、図6は、電子部品11が剥離した状態を示す押力値と変位量との関係図である。
図5に示すように、圧子5の押力fの値を増加させていく途中で、電子部品11が基板1から剥離すると、以後、小さな押力fによって基板1が大きく変位するようになる。
このため、図6の丸枠に示すように、曲線S11は、電子部品11が剥離した時点で不連続となり、以後、漸次連続的に上昇するカーブを描くこととなる。図6では、19N(ニュートン)の押力によって、電子部品11が剥離したことを示している。
【0016】
したがって、作業者は、押力/変位測定過程で得た図4又は図6の曲線S11を読み取ることで、電子部品11の接続強度に関する種々の評価を行うことができる。
例えば、基準押力値を20Nに設定し、圧子5の基板1に対する押力fの値を漸次20N迄増加させ、当該基準押力値20Nに至る前に、電子部品11が剥離して、図6に示すように、曲線S11に不連続性が生じた場合には、当該基板1は、不良品であると判定することができる。
また、電子部品11が剥離しない場合においても、押力に対する基板1の特性や電子部品11の接続強度を、変位量の変化から評価することもできる。
【0017】
上記の如き、電子部品11の接続強度に関する評価は、曲げ支点Pが電子部品11の実装部位11a内に生じるように、板状部材3の長さLを設定することで行うことができた。電子部品12,〜,14の接続強度に関する評価についても同様である。
すなわち、図7に示すように、一辺30が電子部品12,〜,14の各実装部以内に位置するような長さL1,L2,L3の板状部材3を用い、各電子部品12,〜,14の実装部位に曲げ支点Pを設定する。そして、図2に示すように、各電子部品12,〜,14の中心軸12C,〜,14C上の基板1の端部を圧子5で押圧することで、図4及び図6の各曲線S12,〜,S14で示すように、各電子部品12,〜,14についての圧子5の押力値と基板1の変位量との関係をそれぞれ測定することができる。これらの曲線S12,〜,S14に基づいて、各電子部品12,〜,14の接続強度に関する評価をそれぞれ行うことができる。
【0018】
以上のように、この実施形態の基板実装部品の接続強度評価方法によれば、基板1の一端部10のみを固定した状態で、各電子部品11,〜,14の実装個所に対応した長さLの板状部材3を基板1の裏面に当接することにより、各電子部品11,〜,14の接続強度に関する評価を行うことができる。この結果、基板1の大きさ及び形状等のサイズや各電子部品11,〜,14の実装個所に拘束されることなく、任意の電子部品11,〜14について、接続強度の評価を行うことができる。
【0019】
(第2実施形態)
図8は、この発明の第2実施形態に係る基板実装部品の接続強度評価方法を説明するための一部破断側面図である。
この実施形態の接続強度評価方法は、基板の良、不良を判定する判定過程を備えている点が、上記第1実施形態と異なる。
すなわち、上記第1実施形態と同様の基板固定過程と曲げ支点設定過程と基板押圧過程と押力/変位測定過程とを実行するが、さらに、判定過程を実行し、押力値が基準押力値に至る前に、押力値と変位量との関係に不連続性が生じると、その基板を不良であると判定する。
【0020】
具体的には、図8に示すように、圧子5が基板1を例えば基準押力値20N迄押圧するように、押圧/変位測定器具4の判定器43が押圧機構40を制御すると共に、押圧力測定器41による測定押力値と変位量測定器42による測定変位量とを監視する。
そして、図4に示すように、押力値と変位量とに何ら不連続性が生じることなく、基準押力値20Nに至った場合には、判定器43は押圧機構40の駆動を停止し、当該基板1は良品であると判断して、表示する。また、図6の丸枠に示すように、基準押力値20Nに至る前に、押力値と変位量とに不連続性が生じた場合には、判定器43は押圧機構40の駆動を停止し、当該基板1は不良品であると判断して、表示する。
その他の構成,作用及び効果は上記第1実施形態と同様であるので、その記載は省略する。
【0021】
なお、この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、電子部品11の接続強度の評価を行う際、板状部材3の一辺30を電子部品11の実装部位11aのほぼ中央に位置させたが、一辺30の位置は実装部位11a内であれば中央でなくても良く、図9に示すように、評価の目的に応じて、一辺30の位置を実装部位11a内において適宜変更することができることは勿論である。
また、上記実施形態では、圧子5の基板1への押圧個所を、図2に示したように、各電子部品11,〜,14の中心軸11C,〜,14C上に設定したが、中心軸11C,〜,14Cから外れた個所を圧子5で押圧して接続強度評価を行うことを除外する意味ではない。さらに、圧子5の押圧個所は、図10の破線で示すように、基板1の端部に限定されるものでない。圧子5の押圧個所は、図10の実線で示すように、曲げ支点Pを境にして一端部10とは逆側に位置する基板1の表面(曲げ支点Pより上方の表面)であれば、所望の個所を選ぶことができる。
また、上記実施形態では、基板1の一端部10の固定と曲げ支点Pの設定とを一の板状部材3で行ったが、図11に示すように、基板1の一端部10の固定は、支持台2の前壁部21と長尺状の固定部材24とで行い、曲げ支点Pの設定は、長尺状の板状部材3′で行うようにしても良い。すなわち、後壁部22の高さを基板1の長さ以上に設定し、この後壁部22に縦溝22aを穿設する。そして、ボルト25を縦溝22aに上下動自在に挿通し、このボルト25の先端に板状部材3′を取り付ける。これにより、ボルト25を上下動させて、板状部材3′を所望の位置に合わせ、板状部材3′を基板1の裏面に当接した状態でボルト25をナット26,26にて固定することにより、曲げ支点Pを設定することができる。この方法は、電子部品が両面搭載された基板において、特に有効である。
【0022】
【発明の効果】
以上、詳しく説明したように、この発明によれば、基板の一端部を固定して接続強度の測定及び評価を行うので、多様な形状の基板に実装された電子部品の接続強度を評価することができる。したがって、評価基板でなく実際の製品についての製造ロット間において、電子部品の半田付け部分に施されたメッキの仕上がり状態、各メッキ仕様における電子部品の接続強度を評価したい場合においても、その測定と評価が可能となる。さらに、板状部材の一端縁を対象電子部品の反対面の実装部位内に位置させるだけで、評価作業を行うことができるので、基板のほぼ中央に実装された電子部品だけでなく、あらゆる個所に実装されている任意の電子部品の接続強度を評価することができる。この結果、多様な形状の基板において製造ロット間やメッキ仕様による接合強度の差をも評価することができるという汎用性を備えた技術を提供する。
【0023】
特に、請求項2の発明によれば、一の板状部材によって、基板固定過程と曲げ支点設定過程とを同時に実行することができるので、評価作業の簡略化と設備コストの低減化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施形態に係る基板実装部品の接続強度評価方法を説明するための一部破断側面図である。
【図2】圧子の押圧個所を示す斜視図である。
【図3】基板の曲がり状態を示す側面図である。
【図4】圧子の基板に対する押力値と基板の変位量との関係図である。
【図5】電子部品が剥離した状態を示す側面図である。
【図6】電子部品が剥離した状態を示す押力値と変位量との関係図である。
【図7】各電子部品に対する曲げ支点の設定方法を説明するための一部破断側面図である。
【図8】この発明の第2実施形態に係る基板実装部品の接続強度評価方法を説明するための一部破断側面図である。
【図9】各電子部品の実装部位内での曲げ支点の設定方法を説明するための一部破断側面図である。
【図10】圧子の押圧個所を説明するための一部破断側面図である。
【図11】実施形態に適用される器具の変形例を示す一部破断側面図である。
【図12】従来の基板実装部品の接続強度評価方法を示す概略図である。
【符号の説明】
1…基板、 2…支持台、 3,3′…板状部材、 4…押圧/変位測定器具、 5…圧子、 10…一端部、 11,〜,14…電子部品、 11a…実装部位、 20…載置部、 21…前壁部、 22…後壁部、 22a…縦溝、 23,25…ボルト、 24…固定部材、 30…一辺、 40…押圧機構、 41…押圧力測定器、 42…変位量測定器、 P…曲げ支点。

Claims (3)

  1. 電子部品が表面に実装された基板の一端部を固定する基板固定過程と、
    一端縁が対象電子部品の反対面の実装部位内に位置するように、板状部材を上記基板の裏面に当接することにより、当該一端縁との当接個所を基板の曲げ支点として設定する曲げ支点設定過程と、
    上記曲げ支点を境にして上記固定一端部とは逆側に位置する基板表面の所望個所を、圧子で押して基板を曲げる基板押圧過程と、
    上記基板押圧過程における圧子の押力値と基板の押圧個所の変位量との関係を測定する押力/変位測定過程と
    を具備することを特徴とする基板実装部品の接続強度評価方法。
  2. 請求項1に記載の基板実装部品の接続強度評価方法において、
    上記基板固定過程は、基板の上記一端部の表面にのみ当てた固定体と基板の裏面に当接した矩形状の上記板状部材とで、上記一端部を挟持するものであり、
    上記曲げ支点設定過程は、一辺が上記対象電子部品の反対面の実装部位内に位置するように、上記板状部材の長さを設定するものである、
    ことを特徴とする基板実装部品の接続強度評価方法。
  3. 請求項1または請求項2に記載の基板実装部品の接続強度評価方法において、
    上記押力/変位測定過程における押力値を漸次増加させ、基準押力値に至る前に、押力値と変位量との関係に不連続性が生じた場合に、当該基板が不良であると判定する判定過程を設けた、
    ことを特徴とする基板実装部品の接続強度評価方法。
JP2003123446A 2003-04-28 2003-04-28 基板実装部品の接続強度評価方法 Pending JP2004325374A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003123446A JP2004325374A (ja) 2003-04-28 2003-04-28 基板実装部品の接続強度評価方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003123446A JP2004325374A (ja) 2003-04-28 2003-04-28 基板実装部品の接続強度評価方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004325374A true JP2004325374A (ja) 2004-11-18

Family

ID=33501336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003123446A Pending JP2004325374A (ja) 2003-04-28 2003-04-28 基板実装部品の接続強度評価方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004325374A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225724A (ja) * 2011-04-19 2012-11-15 Futaba Kogyo Kk 圧縮試験における被試験物の固定方法
TWI398635B (zh) * 2007-02-12 2013-06-11 Fih Hong Kong Ltd 檢測設備
KR101449409B1 (ko) 2013-07-16 2014-10-13 한국생산기술연구원 플렉시블 pcb 벤딩 시험장치
CN105466849A (zh) * 2015-11-19 2016-04-06 国网上海市电力公司 用于互感器检定线的互感器贴标标签粘合力检测装置
CN106198269A (zh) * 2016-06-23 2016-12-07 芜湖美威包装品有限公司 包装纸板耐折度测试装置
CN112033895A (zh) * 2020-08-17 2020-12-04 西安铁路信号有限责任公司 一种继电器触头牢固强度检测装置及方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI398635B (zh) * 2007-02-12 2013-06-11 Fih Hong Kong Ltd 檢測設備
JP2012225724A (ja) * 2011-04-19 2012-11-15 Futaba Kogyo Kk 圧縮試験における被試験物の固定方法
KR101449409B1 (ko) 2013-07-16 2014-10-13 한국생산기술연구원 플렉시블 pcb 벤딩 시험장치
CN105466849A (zh) * 2015-11-19 2016-04-06 国网上海市电力公司 用于互感器检定线的互感器贴标标签粘合力检测装置
CN105466849B (zh) * 2015-11-19 2018-01-30 国网上海市电力公司 用于互感器检定线的互感器贴标标签粘合力检测装置
CN106198269A (zh) * 2016-06-23 2016-12-07 芜湖美威包装品有限公司 包装纸板耐折度测试装置
CN112033895A (zh) * 2020-08-17 2020-12-04 西安铁路信号有限责任公司 一种继电器触头牢固强度检测装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4238774B2 (ja) 曲げ試験装置および曲げ試験方法
CN203606236U (zh) 柔性线路板的结合强度与抗弯折强度测试装置
JP2008275406A (ja) プローブ装置及び検査装置
JP2004325374A (ja) 基板実装部品の接続強度評価方法
CN105675413B (zh) 一种评估电路板应力寿命的方法
JP5135694B2 (ja) 接合良否判定方法及び接合装置
JP2005005650A (ja) 小型電子部品の保持治具及び小型電子部品の電極形成方法
JP2012078297A (ja) ワイヤープローブ用治具並びにこれを用いた検査装置並びに検査方法
CN216978778U (zh) 一种脚垫剥离测试治具
KR200408653Y1 (ko) 디스플레이 패널 검사용 프로브 장치
JP5398751B2 (ja) 部品実装方法および部品実装装置
CN102802355A (zh) 一种贴合治具
JP2585597B2 (ja) 回路基板検査装置
CN112485109A (zh) 一种显示面板的测试装置及系统
JP3775960B2 (ja) 電子部品の圧着装置および圧着方法
CN118209406B (zh) 弯曲可靠性测试夹具、系统及方法
KR20010109158A (ko) 장착 장치 및 장착 방법
EP1634486B1 (en) Circuit assembly and method of its manufacture
CN215115524U (zh) 一种基于贴片的精密推拉力测试装置
CN213986037U (zh) 一种测试led灯珠折断力的治具
CN212955316U (zh) 一种平面靶材的校平设备
JPH08233886A (ja) 液晶表示パネル検査用ソケット
JP2007273880A (ja) ボンディング装置
JPH10239351A (ja) コンタクトプローブおよびその製造方法
JP2006114773A (ja) 基板の歪状態検知方法および基板検査装置