JP6413421B2 - 光学系及び光学系を有する光学機器 - Google Patents

Description

本発明は、スペックルを低減する光学系及び光学系を有する光学機器に関する。

レーザ光のようなコヒーレントな光で、紙や壁などの粗面を照射し、その透過光や反射光を観察した場合に、明暗の斑点模様が生じることが知られている。このような斑点模様は一般的にスペックルと称されている。スペックルはレーザプロジェクタで映した画像を劣化させるものであることから、スペックルを低減する方法が種々提案されている。

例えば特許文献１には、レーザ光源から出射された円偏光の光束を偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ）に入射させ、Ｐ偏光成分を透過、Ｓ偏光成分を反射して異なる光路を進行させた後に両者を合成することが記載されている。そして、異なる光路（光路長）を経由した２パターンのスペックルを重畳することにより、スペックルのコントラストを低減することが記載されている。

特開２０１２−７３４７６号公報

特許文献１のように光の分離及び合成にＰＢＳを用いる構成では、光の入射角のずれが光の反射角に大きな影響を与える。その結果、光を合成する際に正確に合成することが困難となり、スペックルの低減効果が発揮されなくなる。

本発明は上述した問題点に鑑み、分岐した光を高精度に合成してスペックルを低減する光学系及び光学系を有する光学機器を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明の光学系は、光源部から出射される光線の光路上に配設されて入射光の光路を複数の光路に分岐して出射する第１の位相回折格子と、前記複数の光路上を進行する複数の分岐光が所定の角度で入射されて各分岐光を合成する第２の位相回折格子と、第１の位相回折格子から第２の位相回折格子までの各分岐光の光路長差を調整する光路長差調整部と、第２の位相回折格子に入射する各分岐光の入射角を所定の角度にする入射角調整光学系と、を備えることを特徴としている。

また上記構成の光学系において、前記光路長差調整部は、第１の位相回折格子と第２の位相回折格子との間において少なくとも一方の分岐光を反射して各分岐光の光路長差を調整する反射部材を有することが望ましい。

また上記構成の光学系において、前記反射部材に対する各分岐光の反射回数が異なる回数に設定されることで各分岐光の光路長差が調整されることが望ましい。

また上記構成の光学系において、前記光路長調整部が前記入射角調整光学系を兼ねることが望ましい。

また上記構成の光学系において、第２の位相回折格子により合成された光は非直線偏光光線であることが望ましい。

また上記構成の光学系において、前記光源部から出射した光線は、第１の位相回折格子及び第２の位相回折格子を複数回通過することが望ましい。

また、上記目的を達成するために本発明の光学機器は前記光学系を有することを特徴とする。

本発明によれば、位相回折格子により光源部から出射される光線が分岐される。位相回折格子において光の入射角度のずれが各分岐光の出射角度に与える影響が少ないため、各分岐光は異なる光路を通った後に、高精度に合成され、スペックルを低減することができる。

第１実施形態のレーザ走査型プロジェクタの概略構成図 第１実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図 ＯＣ型偏光回折格子の基本特性を示す図 第２実施形態のレーザ走査型プロジェクタの概略構成図 第３実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図 第３実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図 第４実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図

＜第１実施形態＞
以下、各実施形態では本発明の光学系を有する光学機器の一例としてレーザ走査型プロジェクタを例示する。図１は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタの概略構成図である。図２は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図である。

レーザ走査型プロジェクタ１は、図１に示すようにその各種の構成要素を収容する本体筐体２を備える。本体筐体２には走査レーザ光を本体筐体２の外部に導くための導光部材である封止窓３が設けられる。封止窓３は、例えばガラスまたは透光性の樹脂材料などを用いて形成されることが望ましい。これにより、本体筐体２の内部への塵埃や水分などの侵入を防止することができる。封止窓３は本体筐体２に設けた開口２ａに嵌合する。

本体筐体２の内部には光源部である３個のレーザダイオード（以下ＬＤと称する）２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂを含む光学系２０、ＬＤドライバ４、ミラーサーボ部５及びＣＰＵ６が収容される。なお、レーザ走査型プロジェクタ１には電源部、操作部、記憶部、入出力インタフェース等の他の構成要素が適宜設けられていても良い。

ＬＤ２１Ｒは赤色（Ｒ）レーザ光を出射する発光素子である。ＬＤ２１Ｇは緑色（Ｇ）レーザ光を出射する発光素子である。ＬＤ２１Ｂは青色（Ｂ）レーザ光を出射する発光素子である。なお、以下の説明において、ＲＧＢ３個のレーザダイオードを「ＬＤ２１」と総称することがある。

光学系２０はさらにコリメートレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ、ＲＧＢ合成プリズム２３、集光レンズ２４、立ち上げミラー２５、水平走査ミラー２６、垂直走査ミラー２７及び光路長差調整部３０（詳細は後述）を含む。なお、光学系２０には他の光学素子が適宜設けられていても良い。

コリメートレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂは、ＬＤ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ各々から出射される光ビームであるレーザ光を平行光に変換する光学素子である。コリメートレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂを通過した各色のレーザ光はＲＧＢ合成プリズム２３によって合成される。ＲＧＢ合成プリズム２３で合成されたレーザ光は集光レンズ２４によって集光され、立ち上げミラー２５によって反射されてその進行方向が変更される。

立ち上げミラー２５で反射されたレーザ光は水平走査ミラー２６及び垂直走査ミラー２７に至る。水平走査ミラー２６は水平方向にレーザ光を変位させる。垂直走査ミラー２７は垂直方向にレーザ光を変位させる。

ＬＤドライバ４はＬＤ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ各々の駆動制御を行う。ＬＤドライバ４はＬＤ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ各々について発光のＯＮ／ＯＦＦや出力等に関する駆動制御を行うことができる。

ミラーサーボ部５は水平走査ミラー２６及び垂直走査ミラー２７の変位を制御する駆動制御部である。例えば、ミラーサーボ部５はＣＰＵ６からの水平同期信号に応じて水平走査ミラー２６を駆動し、レーザ光の反射方向を水平走査ミラー２６によって水平方向に変位させる。また、ミラーサーボ部５はＣＰＵ６からの垂直同期信号に応じて垂直走査ミラー２７を駆動し、レーザ光の反射方向を垂直走査ミラー２７によって垂直方向に変位させる。

ＣＰＵ６は不図示の記憶部等に格納されたプログラムや制御情報などを用いて、レーザ走査型プロジェクタ１の各構成要素を制御する制御部である。ＣＰＵ６は映像処理部６ａ、ＬＤ制御部６ｂ及びミラー制御部６ｃを有する。

映像処理部６ａは不図示の記憶部等に格納されたプログラム、不図示の入出力インタフェースから入力される映像に係る情報などに基づく映像情報を生成する。さらに、映像処理部６ａは生成した映像情報を赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色の映像データに変換する。変換された３色の映像データはＬＤ制御部６ｂに出力される。ＬＤ制御部６ｂは３色の映像データに基づくＬＤ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ各々の光制御信号を生成し、ＬＤドライバ４に出力する。ミラー制御部６ｃは映像情報に基づいて水平走査ミラー２６及び垂直走査ミラー２７の方向を制御するための制御信号を生成し、ミラーサーボ部５に出力する。

光路長差調整部３０は入射される光を分岐し、各分岐光に光路長差を生じさせた上で合成する手段である。図２を参照して光路長差調整部３０は、入射光Ｌ１の進行方向から順に、第１のＯＣ型偏光回折格子３１、第２のＯＣ型偏光回折格子３２、第３のＯＣ型偏光回折格子３４及び第４のＯＣ型偏光回折格子３５の４個のＯＣ型偏光回折格子が配され、各ＯＣ型偏光回折格子は所定間隔離間して配される。また、第２のＯＣ型偏光回折格子３２と第３のＯＣ型偏光回折格子３４との間には反射部材３３が配される。

ＯＣ型偏光回折格子３１〜３２、３４〜３５は図３に示すような基本特性を有しており、具体的には図３（Ａ）に示すように、直線偏光を左円偏光と右円偏光に回折的に分岐させる。また、図３（Ｂ）に示すように、右円偏光を左円偏光に変換するとともに所定の角度で回折する。また、図３（Ｃ）に示すように左円偏光を右円偏光に変換するとともに所定の角度で回折する。また、図３（Ａ'）、（Ｂ'）、（Ｃ'）に示すようにOC型回折格子の軸を逆転させて配置することにより、入射光の偏光状態と出射光の回折方向および偏光状態を逆転させることができる。なお、図3に示した光線の進行方向を逆転させても回折と偏光状態変換の関係性は成立する。反射部材３３としては臨界角以上の角度で入射する光線を全反射するプリズムが適している。

本実施形態において光路長差調整部３０はＬＤ２１Ｒ、２１Ｇ、２１ＢのうちＬＤ２１Ｒから出射された光に起因するスペックルを低減するためにコリメートレンズ２２ＲとＲＧＢ合成プリズム２３との間に配されている（図１参照）が、他色のＬＤに起因するスペックルを低減するために当該色に対応するコリメートレンズとＲＧＢ合成プリズム２３との間に配することとしてもよい。

図２を参照して、コリメートレンズ２２Ｒを通過したＬＤ２１Ｒのレーザ光（直線偏光）は、第１のＯＣ型偏光回折格子３１に入射し、左円偏光Ｌ２と右円偏光Ｌ３とに分岐され、夫々第２のＯＣ型偏光回折格子３２に入射する。第２のＯＣ型偏光回折格子３２に入射したＬ２及びＬ３は夫々偏光方向が逆向きに変換されるとともに回折により所定の出射角で出射される。回折されたＬ２（すなわちＬ４）は第２のＯＣ型偏光回折格子３２の後段に配された反射部材３３の反射面３３ａおよび３３ｂで反射されて第３のＯＣ型偏光回折格子３４に入射する。また、回折されたＬ３（すなわちＬ５）は反射部材３３に反射されることなく第３のＯＣ型偏光回折格子３４に入射する。この時、第１ＯＣ型回折格子３１および第２のＯＣ型回折格子３２と、第３のＯＣ型回折格子３４および後述する第４のＯＣ型回折格子３５の軸方向は逆向きで構成する。

第３のＯＣ型偏光回折格子３４に入射したＬ４及びＬ５は回折に伴い夫々偏光方向が逆向きに変換される。回折されたＬ４及びＬ５（すなわちＬ６及びＬ７）は進むにつれて接近し、一点に収束する地点に配される第４のＯＣ型偏光回折格子３５に入射する。第４のＯＣ型偏光回折格子３５に入射したＬ６及びＬ７は夫々偏光方向が逆向きに変換されると共に、回折により出射方向が一致するため合成され（重なり）Ｌ８となる。

当該構成によれば、第１のＯＣ型偏光回折格子３１により分岐された光のうち一方（Ｌ２、Ｌ４、Ｌ６）は反射部材３３により反射されて、第１のＯＣ型偏光回折格子３１から第４のＯＣ型偏光回折格子３５に至るまでの光路長が、他方（Ｌ３、Ｌ５、Ｌ７）に比べて長くなる。特に両者の光路長差がコヒーレント長以上の光路差となるように設定されることで、Ｌ８は光路長差がコヒーレント長以上、且つ、偏光方向が直交する円偏光が重なった光となり、これによりＬＤ２１Ｒから出射された光に起因するスペックルが低減される。

本実施形態によれば、特定色のレーザ光をＯＣ型偏光回折格子により分岐し、各分岐光にコヒーレント長以上の光路長差が生ずるように各分岐光を進行させて高精度に合成するので、特定色のレーザ光に起因するスペックルを低減することができる。

なお、本実施形態では分岐光の一方を反射部材３３で反射させ、他方を反射部材３３に反射させないことで光路長差を生じさせることとしたが、双方を反射部材３３に反射させつつ光路長差を生じさせてもよい。例えば反射部材３３に対する反射回数を異なる回数に設定する光路とすることで光路長差を生じさせることとすればよい。

＜第２実施形態＞
第１実施形態では、特定色のレーザ光に起因するスペックルを低減するため、特定色のＬＤが入射するコリメートレンズとＲＧＢ合成プリズム２３との間に光路長差調整部３０を配することとしたが、複数の光路長差調整部３０を各コリメートレンズとＲＧＢ合成プリズム２３との間に配することとしてもよい。しかしながら、全てのコリメートレンズ２２Ｒ、２２Ｇ、２２ＢとＲＧＢ合成プリズム２３との間に光路長差調整部３０を配する場合には合計三つの光路長差調整部３０を配することになり、コストが上昇する。そこで本実施形態では、全てのレーザ光に起因するスペックルを低減させる場合において、ＲＧＢ合成プリズム２３よりも後段に光路長差調整部３０を配することとする。

光路長差調整部３０を配する位置としては、ＲＧＢ合成プリズム２３よりも後段であって、水平走査ミラー２６よりも前段であれば特に限られるものではないが、本実施形態では一例として立ち上げミラー２５と水平走査ミラー２６との間に配する。

図４は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタの概略構成図である。立ち上げミラー２５によって反射されたレーザ光が、第１のＯＣ型偏光回折格子３１に入射してから第４のＯＣ型偏光回折格子３５で合成されるまでの流れは第１実施形態と同様である。

本実施形態によれば、コストを上昇させることなくＲＧＢのレーザ光が合成されたレーザ光をＯＣ型偏光回折格子により分岐し、各分岐光にコヒーレント長以上の光路長差が生ずるように各分岐光を進行させて高精度に合成するので、全色のレーザ光に起因するスペックルを低減することができる。

＜第３実施形態＞
第１実施形態及び第２実施形態において光路長差調整部３０に入射するレーザ光の入射方向と、光路長差調整部３０から出射されるレーザ光の出射方向は同一方向に設定されていたが、これに限られるものではなく、逆方向に設定することとしてもよい。図５は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタの概略構成図である。図６は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図である。

本実施形態において光路長差調整部４０はコリメートレンズ２２ＲとＲＧＢ合成プリズム２３との間に配されている点で第１実施形態と同様であるが、ＬＤ２１Ｒのレーザ光の出射方向とＬＤ２１Ｇ及び２１Ｂのレーザ光の出射方向とが逆方向である点で異なる。

図６を参照して光路長差調整部４０は、入射光Ｌ１の進行方向から順に、第１のＯＣ型偏光回折格子４１及び第２のＯＣ型偏光回折格子４２の２個のＯＣ型偏光回折格子が配され、ＯＣ型偏光回折格子同士は所定間隔離間して配される。また、第２のＯＣ型偏光回折格子４２の後段には反射部材４３が配される。

コリメートレンズ２２Ｒを通過したＬＤ２１Ｒのレーザ光（直線偏光）は、第１のＯＣ型偏光回折格子４１に入射し、左円偏光Ｌ２と右円偏光Ｌ３とに分岐され、夫々第２のＯＣ型偏光回折格子４２に入射する。第２のＯＣ型偏光回折格子４２に入射したＬ２及びＬ３は夫々所定の角度で回折されるとともに偏光方向が逆転する。回折されたＬ２（すなわちＬ４）は第２のＯＣ型偏光回折格子４２の後段に配された反射部材４３の反射面４３ａ、４３ｂ、４３ｃに順に反射されて進行方向が１８０度変換され、第２のＯＣ型偏光回折格子４２に裏面（Ｌ２が入射した面とは反対側の面）から入射する。また、回折されたＬ３（すなわちＬ５）は反射部材４３の反射面４３ｂに反射されて進行方向が１８０度変換され、第２のＯＣ型偏光回折格子４２に裏面（Ｌ３が入射した面とは反対側の面）から入射する。

第２のＯＣ型偏光回折格子４２に入射したＬ４及びＬ５は夫々表側から入射したときとは逆向きの円偏光として第２のOC型回折格子入射するため、表側からの入射光とは逆の角度に回折される。回折されたＬ４及びＬ５（すなわちＬ６及びＬ７）は進むにつれて接近し、一点に収束する地点に配される第１のＯＣ型偏光回折格子４１の裏面（Ｌ１が入射した面とは反対側の面）から入射する。第１のＯＣ型偏光回折格子４１に入射したＬ６及びＬ７は夫々表側からの入射光とは逆方向に回折されると共に、合成され（重なり）Ｌ８となる。

当該構成によれば、第１のＯＣ型偏光回折格子３１により分岐された光のうち一方（Ｌ２、Ｌ４、Ｌ６）は反射部材３３により３回反射されるのに対して、他方（Ｌ３、Ｌ５、Ｌ７）は反射部材３３により１回反射されるのみであり、当該反射回数に差異を設ける事により、前者の光路長が後者の光路長に比べて長くなるような構成とした。特に両者の光路長差がコヒーレント長以上の光路差となるように設定されることで、Ｌ８は重なった光線同士が干渉することなく、直交する偏光方向の光線が重なった光となり、これによりＬＤ２１Ｒから出射された光に起因するスペックルが低減される。

本実施形態によれば第１実施形態と同様の効果を奏する。加えて、同一のＯＣ型偏光回折格子に対して複数回（本実施形態では表面及び裏面の２回）光を入射させることで必要なＯＣ型偏光回折格子の個数を減ずることができ、光路長差調整部の小型化及びコストの削減が実現される。

なお、本実施形態は第２実施形態に対して適用することとしてもよい。

＜第４実施形態＞
上記第１実施形態及び第２実施形態においては各分岐光に対して光路長差を生じさせるためにレーザ光を分岐させるＯＣ型偏光回折格子の後段に反射部材を配し、各分岐光が反射部材により反射される回数を異なる回数に設定することとしたが、反射部材を配することなく光路長差を生じさせることとしてもよい。図７は本実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部の概略構成図であり、当該光路長差調整部を第１実施形態及び第２実施形態のレーザ走査型プロジェクタが備える光路長差調整部３０と置き換えることが可能である。

図７を参照して光路長差調整部５０は、入射光Ｌ１の進行方向から順に、第１のＯＣ型偏光回折格子５１、第２のＯＣ型偏光回折格子５２、第３のＯＣ型偏光回折格子５４及び第４のＯＣ型偏光回折格子５５の４個のＯＣ型偏光回折格子が配され、各ＯＣ型偏光回折格子は所定間隔離間して配される。また、第２のＯＣ型偏光回折格子５２と第３のＯＣ型偏光回折格子５４との間であって、分岐光の一方（Ｌ５）の光路上に屈折部材５３が配される。

屈折部材５３は同一構造のプリズム５３ａ〜５３ｄの４個から構成される。各プリズムは入射光の光軸に垂直な面と、光軸に垂直な面から所定の角度傾斜した面とを有し、光軸方向に順に配置される。

入射光Ｌ１は、第１のＯＣ型偏光回折格子５１に入射し、左円偏光Ｌ２と右円偏光Ｌ３とに分岐され、夫々第２のＯＣ型偏光回折格子５２に入射する。第２のＯＣ型偏光回折格子５２に入射したＬ２及びＬ３は夫々所定の角度で回折されるとともに偏向方向が逆転する。回折されたＬ２（すなわちＬ４）は第３のＯＣ型偏光回折格子５４に入射する。また、回折されたＬ３（すなわちＬ５）は屈折部材５３に入射する。この時、第１のＯＣ型回折格子５１および第２のＯＣ型回折格子５２と、第３のＯＣ型回折格子５４および後述する第４のＯＣ型回折格子５５の軸方向は逆向きで構成する。

プリズム５３ａ及び５３ｂに入射したＬ５は図７に示すように元の光軸から光路を曲げられるが、プリズム５３ｃ及び５３ｄによって光路が戻される。従って、屈折部材５３を通過する光（Ｌ５）の光軸がずれることなく第３のＯＣ型偏光回折格子５４に入射する。加えて、屈折部材５３を通過する光（Ｌ５）の光路長（第２のＯＣ型偏光回折格子５２を出射してから第３のＯＣ型偏光回折格子５４に入射するまでの光路長）は屈折部材５３を通過しない光（Ｌ４）の光路長（第２のＯＣ型偏光回折格子５２を出射してから第３のＯＣ型偏光回折格子５４に入射するまでの光路長）よりも長くなる。

第３のＯＣ型偏光回折格子５４に入射したＬ４及びＬ５は回折に伴い夫々偏光方向が逆向きに変換される。回折されたＬ４及びＬ５（すなわちＬ６及びＬ７）は進むにつれて接近し、一点に収束する地点に配される第４のＯＣ型偏光回折格子５５に入射する。第４のＯＣ型偏光回折格子５５に入射したＬ６及びＬ７は夫々偏光方向が逆向きに変換されると共に、回折により出射方向が一致するため合成され（重なり）Ｌ８となる。

当該構成によれば、第１のＯＣ型偏光回折格子５１により分岐された光のうち一方（Ｌ３、Ｌ５、Ｌ７）は屈折部材５３を通過する際に屈折されて光路長が長くなるので、屈折部材５３を通過しない他方（Ｌ２、Ｌ４、Ｌ６）に比べて、第１のＯＣ型偏光回折格子５１から第４のＯＣ型偏光回折格子５５に至るまでの光路長が長くなる。特に両者の光路長差がコヒーレント長以上の光路差となるように設定されることで、Ｌ８は光路長差がコヒーレント長以上、且つ、偏光方向が直交する円偏光が重なった光となり、これによりＬＤ２１Ｒから出射された光に起因するスペックルが低減される。

本実施形態によれば第１実施形態と同様の効果を奏する。加えて、反射部材を用いなくても各分岐光の光路長差を調整することが可能である。

１ レーザ走査型プロジェクタ
２ 本体筐体
３ 封止窓（導光部材）
４ ＬＤドライバ
５ ミラーサーボ部
６ ＣＰＵ
２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ レーザダイオード（光源部）
２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ コリメートレンズ
２３ ＲＧＢ合成プリズム
２４ 集光レンズ
２５ 立ち上げミラー
２６ 水平走査ミラー（変位部材）
２７ 垂直走査ミラー（変位部材）
３０、４０、５０ 光路長差調整部
３１〜３２、３４〜３５、４１〜４２、５１〜５２、５４〜５５ ＯＣ型偏光回折格子
３３、４３ 反射部材

Claims (7)

1. 光源部から出射される光線の光路上に配設されて入射光の光路を複数の光路に分岐して出射する第１の位相回折格子と、
   前記複数の光路上を進行する複数の分岐光が所定の角度で入射されて各分岐光を合成する第２の位相回折格子と、
   第１の位相回折格子から第２の位相回折格子までの各分岐光の光路長差を調整する光路長差調整部と、
   第２の位相回折格子に入射する各分岐光の入射角を所定の角度にする入射角調整光学系と、
   を備え、
   一部の前記分岐光は、左円偏光の第１分岐光であり、
   他の一部の前記分岐光は、右円偏光の第２分岐光である光学系。
2. 前記光路長差調整部は、第１の位相回折格子と第２の位相回折格子との間において少なくとも一方の分岐光を反射して各分岐光の光路長差を調整する反射部材を有する請求項１に記載の光学系。
3. 前記反射部材に対する各分岐光の反射回数が異なる回数に設定されることで各分岐光の光路長差が調整される請求項２に記載の光学系。
4. 前記光路長差調整部が前記入射角調整光学系を兼ねる請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の光学系。
5. 第２の位相回折格子により合成された光は非直線偏光光線である請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の光学系。
6. 前記第２の位相回折格子は前記第１の位相回折格子であり、
   前記光路長差調整部は、
   前記第１の位相回折格子と離間して配され、前記第１の位相回折格子から入射する各分岐光を回折する第３の位相回折格子と、
   前記第３の位相回折格子の後段に配され前記第３の位相回折格子で回折された各分岐光を反射する反射部材と、
   を有し、
   前記第３の位相回折格子は、前記反射部材で反射された各分岐光を回折して前記第１の位相回折格子に入射させる請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の光学系。
7. 請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の光学系を有する光学機器。

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