JP6406043B2 - 測定装置の共振回路 - Google Patents
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Description
本発明は、物体を振動させて測定対象物の物理量を測定する測定装置の共振回路に関する。
測定対象物や測定子等の物体を振動させて物理量を測定する測定装置として、コリオリ質量流量計が知られている。コリオリ質量流量計は、被測定流体が流れる測定チューブをその両端を支点として上下振動させたときに働くコリオリ力を利用した計測器であり、固有周波数で振動する測定チューブの上流と下流との位相差に基づいて被測定流体の質量流量を測定する。コリオリ質量流量計では、測定チューブの振動周波数を測定することで、測定チューブ内を流れる被測定流体の密度も計測することができる。
特許文献1に示されているように、口径ごとに共振振動の振幅を制御することは有益である。しかし、アナログ回路によって特許文献1に示されるような回路を構築すると、フィルタを構成するためのオペアンプやアナログスイッチ、演算抵抗、コンデンサなど、部品点数が多くなり、基板面積が大きく、また高価になってしまうという問題がある。これに対しデジタル信号処理とすることにより、ゲートアレイ、DSP(Digital Signal Processor)などの集積化したICを使用することができ、基板面積の削減と低価格化を図ることができる。
高精度な測定が要求されるコリオリ質量流量計では、共振回路をデジタル回路で構成する場合、共振回路に入力するデジタル信号を生成する際に、高精度なΔΣ方式のADコンバータのICを用いることがある。一般に、ΔΣ方式のADコンバータICには、ΔΣ変調器とデジタルローパスフィルタ(LPF)とが内蔵されており、このLPFが処理を行なう際に遅延が生じる。したがって共振による励振を行なおうとした際に位相ずれが生じ、振動制御の精度が低下し、ひいては測定の精度が低下してしまうという問題があった。
この問題を解決するために、特許文献2には、デジタル信号処理を行ないながらも遅延の少ない高精度で安定した共振回路を備えたコリオリ質量流量計が開示されている。
図7は、特許文献1に記載されたコリオリ質量流量計の要部構成を示すブロック図である。検出器510には、被測定流体が流れるU字管あるいは直管の測定チューブ(不図示)の上流側と下流側の変位を測定する第1センサ512と第2センサ514、駆動コイル等で構成される加振器516が備えられている。
第1センサ512、第2センサ514から出力された一対のアナログ変位信号は、それぞれ第1ΔΣ変調器520および第2ΔΣ変調器522によってΔΣ変調されて1ビットのパルス密度信号になる。
これらのパルス密度信号は、それぞれ第1LPF524および第2LPF526によって多ビット信号(普通のデジタルデータ)に変換される。2つの多ビット信号は信号演算処理部528へと送られ、既知の手法により質量流量と密度が演算される。
第1ΔΣ変調器520と第1LPF524および第2ΔΣ変調器522と第2LPF526でそれぞれΔΣ方式のADコンバータを構成し、第1LPF524および第2LPF526で遅延が生じる。
励振回路530は加振器516を駆動させて測定チューブを励振するための回路である。励振回路530は、第1ΔΣ変調器520が出力する1ビットのパルス密度信号と、第1LPF524が出力する多ビット信号によって動作する。
励振回路530は、センサの出力信号に基づいて励振信号を生成する共振回路532と、励振信号を増幅して加振器516に正帰還させる駆動出力部534を含んでいる。
共振回路532では、定常時用の経路と起動時用の経路とを設けており、セレクタ564でどちらの経路を用いるかを択一的に切り替える。定常時用の経路では、振幅が目標値で安定するような励振信号が生成され、起動時用の経路では、振幅が早く目標値に達するような励振信号が生成される。
起動時用の経路と駆動出力部534に励振信号を出力する前に、両経路の出力が加算器570で加算されるが、セレクタ564で選択された経路の信号のみが加算器570に入力されるため、両経路の信号が加算されることはない。
定常時用の経路においては、第1ΔΣ変調器520が出力したパルス密度信号のパルス高さ(レベル)を乗算器540によって増幅する。乗算器540における増幅率は、測定チューブの振幅に応じて定められる。すなわち、振動の振幅が目標値よりも小さいほど増幅率は大きく設定され、振幅が目標値に近づくと増幅率の設定は0に近づく。
具体的には、第1HPF542が、第1LPF524の出力する多ビット信号から直流信号(オフセット信号)をカットして測定チューブの振動に対応する交流信号を取り出す。そして、増幅率制御部544が、この信号に基づいて、測定チューブの振幅が目標値で安定するように乗算器540の増幅率を設定する。
乗算器540においてパルス高さが調整された多ビットのパルス密度信号は、第3ΔΣ変調器546によって再度ΔΣ変調されて1ビットのパルス密度信号になる。仮に乗算器540でパルス高さを1.2倍に増幅したとしたら、第3ΔΣ変調器546でパルス密度が1.2倍となり、乗算器540でパルス高さを0.8倍に増幅したとしたら、第3ΔΣ変調器546でパルス密度が0.8倍となる。
第3ΔΣ変調器546が出力した1ビットのパルス密度信号は、セレクタ564のIN1−OUT1の経路を介して第1DAC548に入力され、アナログ信号に変換される。そして、第3LPF550で高周波成分(量子化ノイズ)が除去され、第2HPF552で直流信号がカットされた後、加算器570を介して駆動出力部534に励振信号として入力される。駆動出力部534は、励振信号を増幅して加振器516を駆動する。この一連の動作により、定常時の共振による励振が行なわれることになる。
定常時の経路では、遅延が極めて小さい第1ΔΣ変調器520が出力するパルス密度信号の増幅率を、遅延が生じる第1LPF524の出力に基づいて定めている。すなわち、励振信号の基準となり位相ずれが許容されない信号については第1ΔΣ変調器520の出力を用い、遅延の影響の少ない増幅率設定については第1LPF524の出力を用いている。これにより、デジタル制御においても遅延の少ない高精度な共振による励振を行なうことができ、安定した振幅を得ることができる。
起動時用の経路においては、第1HPF542が出力する測定チューブの振動に対応する信号を、コンパレータ560を用いて二値化する。すなわち、振動の変位が正であればHを出力し、振動の変位が負であればLを出力する。
コンパレータ560の出力は、セレクタ564のIN2−OUT2の経路を介して第2DAC566に入力され、矩形状のアナログ信号に変換される。そして、第3HPF568で直流信号がカットされて、加算器570を介して駆動出力部534に励振信号として入力される。このため、励振信号は、振動の変位が正であれば、正の最大値となり、振動の変位が負であれば、負の最大値となる。
すなわち、定常用の経路では、振動の振幅に応じた増幅率を設定することで、一定の振幅になるようにし、起動用の経路では、振動の変位の正負に応じた大きな値を正帰還させることで振幅が迅速に目標値に到達するようにしている。
ここで、セレクタ564の切替制御は、切替判定部562により行なわれる。切替判定部562は、第1HPF542が出力する測定チューブの振動に対応する信号から振幅の大きさに対応する振幅信号を生成する。そして、振幅信号が所定の基準値よりも小さい場合には、起動時であるとしてセレクタ564を起動時用の経路、すなわちIN2−OUT2の経路に切り替える。一方、振幅信号が所定の基準値よりも大きい場合には、定常時であるとしてセレクタ564を定常時用の経路、すなわちIN1−OUT1の経路に切り替える。
上述のように、振幅が小さい起動時には、振動の変位を示す信号が正であるか負であるかに応じた大きな値が正帰還される。一般に、振動の変位を示す信号は、測定チューブの共振周波数(固有振動数)に対応した正弦波で表わされる。このため、図8(a)に示すように、振動の半周期毎にコンパレータ560の出力が入れ替わり、同様の波形で駆動出力部534が正帰還信号を出力する。これにより、測定チューブの振動が固有振動数にロックされる。
ところが、測定現場では、他のデジタル機器からの電磁波干渉等が発生して、振動の変位を示す信号に高周波ノイズが混入する場合がある。起動時においては振幅が小さいため、高周波ノイズの影響が相対的に大きくなり、図8(b)に示すように、コンパレータの出力が共振周波数の周期よりも短い周期で入れ替わり、駆動出力部534の出力が測定チューブの固有振動数ではなく、高周波ノイズの周波数に応じた共振点でロックされてしまったり、不安定になったりするおそれがある。
そこで、本発明は、起動時において高周波ノイズの影響を受けにくい測定装置の共振回路を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の共振回路は、ΔΣ変調器がアナログ変位信号をΔΣ変調して得られた1ビットのパルス密度信号と前記パルス密度信号から得られる多ビット信号とを入力し、励振信号を生成する共振回路であって、前記パルス密度信号のレベルを、前記多ビット信号から得られる振幅の大きさに応じて増幅し、さらにΔΣ変調して得られる1ビットのパルス密度信号に基づいて前記励振信号を生成させる定常時経路と、前記多ビット信号の交流分の正負を判定するコンパレータと、前記コンパレータの出力とカウンタのカウント値とに基づいて所定時間同じ状態を保持する前記励振信号を生成させる起動信号生成部と、を備えた起動時経路と、前記多ビット信号の振幅に応じて前記定常時経路と前記起動時経路とを切り替えるセレクタと、を備えたことを特徴とする。
ここで、前記カウンタは、カウント限界に達した状態で前記コンパレータの出力と前記起動信号生成部の出力とが異なる場合に、前記所定時間のカウントを開始し、それ以外の場合は、カウント限界に達するまでカウントを継続することができる。
このとき、前記起動信号生成部は、前記カウンタがカウント限界に達した状態では前記起動信号生成部の出力を前記コンパレータの出力に追従させ、それ以外の状態では、同じ出力状態を保持することができる。
ここで、前記カウンタは、カウント限界に達した状態で前記コンパレータの出力と前記起動信号生成部の出力とが異なる場合に、前記所定時間のカウントを開始し、それ以外の場合は、カウント限界に達するまでカウントを継続することができる。
このとき、前記起動信号生成部は、前記カウンタがカウント限界に達した状態では前記起動信号生成部の出力を前記コンパレータの出力に追従させ、それ以外の状態では、同じ出力状態を保持することができる。
本発明によれば、起動時において高周波ノイズの影響を受けにくい測定装置の共振回路が提供される。
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る共振回路132を適用したコリオリ質量流量計100の要部構成を示すブロック図である。なお、本発明の共振回路は、コリオリ質量流量計に限られず、測定対象物や測定子等の物体を振動させて物理量を測定する測定装置に広く適用することができる。
本図に示すように、コリオリ質量流量計100は、検出器110、第1ΔΣ変調器120、第2ΔΣ変調器122、第1LPF124、第2LPF126、信号演算処理部128、励振回路130を備えている。
検出器110には、被測定流体が流れるU字管あるいは直管の測定チューブ(不図示)の上流側と下流側の変位を測定する第1センサ112と第2センサ114、駆動コイル等で構成される加振器116が備えられている。
第1センサ112、第2センサ114から出力された一対のアナログ変位信号は、それぞれ第1ΔΣ変調器120および第2ΔΣ変調器122によってΔΣ変調されて1ビットのパルス密度信号になる。
これらのパルス密度信号は、それぞれ第1LPF124および第2LPF126によって多ビット信号(普通のデジタルデータ)に変換される。2つの多ビット信号は信号演算処理部128へと送られ、既知の手法により質量流量と密度が演算される。
励振回路130は加振器116を駆動させて測定チューブを励振するための回路である。励振回路130は、第1ΔΣ変調器120が出力するパルス密度信号と、第1LPF124が出力する多ビット信号によって動作する。
励振回路130は、センサの出力信号に基づいて励振信号を生成する共振回路132と、励振信号を増幅して加振器116に正帰還させる駆動出力部134を含んでいる。
共振回路132では、定常時用の経路と起動時用の経路とを設けており、セレクタ164でどちらの経路を用いるかを択一的に切り替える。定常時用の経路では、振幅が目標値で安定するような励振信号が生成され、起動時用の経路では、振幅が早く目標値に達するような励振信号が生成される。
定常時用の経路は従来と同様である。すなわち、第1ΔΣ変調器120が出力したパルス密度信号のパルス高さ(レベル)を乗算器140によって増幅する。乗算器140における増幅率は、測定チューブの振幅に応じて定められる。すなわち、振動の振幅が目標値よりも小さいほど増幅率は大きく設定され、振幅が目標値に近づくと増幅率の設定は0に近づく。
具体的には、第1HPF142が、第1LPF124の出力する多ビット信号から直流信号(オフセット信号)をカットして測定チューブの振動に対応する交流信号を取り出す。そして、増幅率制御部144が、この信号に基づいて、測定チューブの振幅が目標値で安定するように乗算器140の増幅率を設定する。
乗算器140においてパルス高さが調整されたパルス密度信号は、第3ΔΣ変調器146によって再度ΔΣ変調されて1ビットのパルス密度信号になる。第3ΔΣ変調器146が出力したパルス密度信号は、セレクタ164のIN1−OUT1の経路を介して第1DAC148に入力され、アナログ信号に変換される。そして、第3LPF150で高周波成分(量子化ノイズ)が除去され、第2HPF152で直流信号がカットされた後、加算器170を介して駆動出力部134に励振信号として入力される。駆動出力部134は、励振信号を増幅して加振器116を駆動する。この一連の動作により、定常時の共振による励振が行なわれることになる。
起動時用の経路においては、コンパレータ160の後段に起動信号生成部180を新たに設けている。起動信号生成部180については後述する。他のブロックについては従来と同様である。すなわち、第1HPF142が出力する測定チューブの振動に対応する信号を、コンパレータ160を用いて二値化する。
コンパレータ160の出力は、起動信号生成部180に入力され、起動信号生成部180の出力がセレクタ164のIN2−OUT2の経路を介して第2DAC166に入力され、矩形状のアナログ信号に変換される。そして、第3HPF168で直流信号がカットされて、加算器170を介して駆動出力部134に励振信号として入力される。
セレクタ164の切替制御は、切替判定部162により行なわれる。切替判定部162は、第1HPF142が出力する測定チューブの振動に対応する信号から振幅の大きさに対応する振幅信号を生成する。そして、振幅信号が所定の基準値よりも小さい場合には、起動時であるとしてセレクタ164を起動時用の経路、すなわちIN2−OUT2の経路に切り替える。一方、振幅信号が所定の基準値よりも大きい場合には、定常時であるとしてセレクタ164を定常時用の経路、すなわちIN1−OUT1の経路に切り替える。
次に、起動信号生成部180について詳細に説明する。図2は、起動信号生成部180の構成を示すブロック図である。起動信号生成部180は、コンパレータ160が出力する信号(H/L)をINとして入力し、出力信号OUT(H/L)をセレクタ164のIN2−OUT2経路に出力する。
本図に示すように、起動信号生成部180は、CLK181、ダウンカウンタ182、判定付遅延素子183、レジスタ184を備えている。ダウンカウンタ182と判定付遅延素子183の動作はCLK181が出力するクロックに同期して行なわれる。レジスタ184は、ホールド時間(クロック数)Nを格納し、必要に応じてダウンカウンタ182に供給する記憶領域である。
クロックtの時のダウンカウンタ182のカウント値をcnt(t)とし、起動信号生成部180の入力をIN(t)、出力をOUT(t)とすると、ダウンカウンタ182は、カウント値cnt(t)=1かつIN(t)≠OUT(t)のとき、cnt(t+1)にNを設定する。それ以外のときは、cnt(t+1)をcnt(t)−1とする。ただし、1でカウント下限となる。
すなわち、ダウンカウンタ182は、カウント下限に達した状態で、INとOUTとが異なった場合に、次のクロックでホールド時間(所定時間)Nのカウントを開始する。
判定付遅延素子183は、cnt(t)=1のとき、OUT(t+1)にIN(t)を設定する。それ以外のときは、OUT(t+1)をOUT(t)とする。
すなわち、判定付遅延素子183は、カウント下限に達した状態で、OUTをINに追従させ、カウント中は同じOUTを保つようにする。
このようなダウンカウンタ182と判定付遅延素子183とが動作することにより、起動信号生成部180は、図3のフローチャートに示すような動作を行なう。
初期状態として、ダウンカウンタのカウント値cnt(t)にNを設定し(S101)、出力OUT(t)を入力IN(t)と同じにする(S102)。ただし、出力OUT(t)を入力IN(t−1)と同じにしてもよい。
以下は、クロック毎に動作を行なう。すなわち、cnt(t)=1のカウント下限に達した状態でなければ(S103:No)、OUT(t+1)←OUT(t)として出力の状態を保ち(S104)、cnt(t+1)←cnt(t)−1としてカウント値を1つ減らす(S105)。
一方、cnt(t)=1のカウント下限に達した状態であれば(S103:Yes)、OUT(t+1)←IN(t)として、OUTをINに追従させる(S106)。
さらに、IN(t)≠OUT(t)であれば(S107:Yes)、すなわち、INが切り替わると、cnt(t+1)←Nとして、次のクロックから出力OUTのホールド状態を開始する(S108)。この場合、(S106)により、OUTがINに追従して切り替わるため、OUTは、切り替わった状態がホールドされることになる。
そして、t←t+1として、次のクロック動作に移行する(S109)。
以上の動作により、図4のタイミング図に示すように、t0の初期状態において、cnt値がNとなり、INとOUTとが同じ状態になって、クロック毎のカウントが開始される。ダウンカウンタ182のカウント中は、t1やt2に示すように、INが切り替わったとしてもOUTは切り替わらずに出力状態を保つ。
ダウンカウンタ182がカウント下限に達した後は、OUTはINを追従する。そして、t3でINが変化すると、t3でOUTが追従して切り替わる。また、t3でINとOUTとが異なったため、t3でNのカウントが開始し、OUTが出力状態を保つことになる。
t4でカウント下限に達すると、INとOUTが異なっているため、即座にt5で、OUTがINを追従するとともに、Nのカウントが開始する。
このように、起動信号生成部180が、INの切り替わりにかかわらず、一定時間OUTの状態を保つため、図5に示すように、起動時において、駆動出力部134の出力が、高周波ノイズの周波数に応じた共振点でロックされてしまったり、不安定になったりすることを防ぐことができる。このため、起動時において高周波ノイズの影響を受けにくい測定装置の共振回路を実現することが可能となる。
なお、起動信号生成部180は、セレクタ164のIN2−OUT2経路の後段に配置してもよい。また、ダウンカウンタ182に代えて、1を初期値としてNでカウント上限に達するアップカウンタを用いてもよい。もちろん、カウントの初期値やカウント限界値は適宜変更することができる。
図6は、上記実施形態の変形例である。上記の実施形態では、第1ΔΣ変調器120の出力を乗算器140に入力し、第1LPF124の出力を第1HPF142に入力していたが、本変形例では、第1ΔΣ変調器120の出力と第2ΔΣ変調器122の出力を第1加算器172で加算して乗算器140に入力し、第1LPF124の出力と第2LPF126の出力を第2加算器174で加算して第1HPF142に入力するようにしている。
変形例では、気泡混入等により、第1センサ112の出力あるいは第2センサ114の出力が、一時的に乱れた場合であっても、2つの出力が平均化されるため、乱れの影響を小さくすることができる。
100…コリオリ質量流量計、110…検出器、112…第1センサ、114…第2センサ、116…加振器、120…第1ΔΣ変調器、122…第2ΔΣ変調器、124…第1LPF、126…第2LPF、128…信号演算処理部、130…励振回路、132…共振回路、134…駆動出力部、140…乗算器、142…第1HPF、144…増幅率制御部、146…第3ΔΣ変調器、148…第1DAC、150…第3LPF、152…第2HPF、160…コンパレータ、162…切替判定部、164…セレクタ、166…第2DAC、168…第3HPF、170…加算器、172…第1加算器、174…第2加算器、180…起動信号生成部、181…CLK、182…ダウンカウンタ、183…判定付遅延素子、184…レジスタ
Claims (3)
- ΔΣ変調器がアナログ変位信号をΔΣ変調して得られたパルス密度信号と前記パルス密度信号から得られる多ビット信号とを入力し、励振信号を生成する共振回路であって、
前記パルス密度信号のレベルを、前記多ビット信号から得られる振幅の大きさに応じて増幅し、さらにΔΣ変調して得られるパルス密度信号に基づいて前記励振信号を生成させる定常時経路と、
前記多ビット信号の交流分の正負を判定するコンパレータと、前記コンパレータの出力とカウンタのカウント値とに基づいて所定時間同じ状態を保持する前記励振信号を生成させる起動信号生成部と、を備えた起動時経路と、
前記多ビット信号の振幅に応じて前記定常時経路と前記起動時経路とを切り替えるセレクタと、
を備えたことを特徴とする共振回路。 - 前記カウンタは、カウント限界に達した状態で前記コンパレータの出力と前記起動信号生成部の出力とが異なる場合に、前記所定時間のカウントを開始し、それ以外の場合は、カウント限界に達するまでカウントを継続することを特徴とする請求項1に記載の共振回路。
- 前記起動信号生成部は、前記カウンタがカウント限界に達した状態では前記起動信号生成部の出力を前記コンパレータの出力に追従させ、それ以外の状態では、同じ出力状態を保持することを特徴とする請求項2に記載の共振回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015021145A JP6406043B2 (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 測定装置の共振回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016142711A JP2016142711A (ja) | 2016-08-08 |
JP6406043B2 true JP6406043B2 (ja) | 2018-10-17 |
Family
ID=56570148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015021145A Active JP6406043B2 (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 測定装置の共振回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6406043B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5009109A (en) * | 1989-12-06 | 1991-04-23 | Micro Motion, Inc. | Flow tube drive circuit having a bursty output for use in a coriolis meter |
JP2848369B2 (ja) * | 1996-12-27 | 1999-01-20 | 日本電気株式会社 | 映像モニタ装置 |
JP3266121B2 (ja) * | 1998-12-10 | 2002-03-18 | 日本電気株式会社 | 単一周波数信号の検出方法及びその装置 |
MY124536A (en) * | 2000-03-14 | 2006-06-30 | Micro Motion Inc | Initialization algorithm for drive control in a coriolis flowmeter |
DE102006019551B4 (de) * | 2006-04-27 | 2008-04-24 | Abb Patent Gmbh | Massedurchflussmesser mit einem Schwingungssensor sowie Verfahren zum Eliminieren von Störsignalen aus dem Messsignal |
JP4469008B1 (ja) * | 2008-11-18 | 2010-05-26 | 株式会社オーバル | コリオリ流量計 |
JP5152538B2 (ja) * | 2010-10-21 | 2013-02-27 | 横河電機株式会社 | コリオリ質量流量計 |
-
2015
- 2015-02-05 JP JP2015021145A patent/JP6406043B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016142711A (ja) | 2016-08-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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