JP2010210460A - 物理量センサー - Google Patents
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Abstract
【課題】周波数−電圧特性をリニアにする。
【解決手段】発振信号O1を出力する発振回路30と、発振信号O2を出力する発振回路40と、O1とO2との位相を比較した位相差信号aを出力する位相比較器50と、位相差信号aからフィルター信号bを出力するループフィルター60と、フィルター信号bから微分信号cを出力する微分回路70と、O1に対しO2の位相が進んでいるか否かの判定信号dを出力する位相遅延判定部80と、微分信号cの電圧が所定の電圧Vrefより大きいか否かを判定した比較信号eを出力する比較器100と、判定信号dと比較信号eとを排他的論理和した制御信号fを出力する排他的論理和回路110と、微分信号cと電源電位Vccとを差動増幅した差動増幅信号gを出力する差動増幅回路120と、制御信号fに基づき微分信号cまたは差動増幅信号gのいずれかを出力する選択回路130と、を含む物理量センサー1。
【選択図】図1
【解決手段】発振信号O1を出力する発振回路30と、発振信号O2を出力する発振回路40と、O1とO2との位相を比較した位相差信号aを出力する位相比較器50と、位相差信号aからフィルター信号bを出力するループフィルター60と、フィルター信号bから微分信号cを出力する微分回路70と、O1に対しO2の位相が進んでいるか否かの判定信号dを出力する位相遅延判定部80と、微分信号cの電圧が所定の電圧Vrefより大きいか否かを判定した比較信号eを出力する比較器100と、判定信号dと比較信号eとを排他的論理和した制御信号fを出力する排他的論理和回路110と、微分信号cと電源電位Vccとを差動増幅した差動増幅信号gを出力する差動増幅回路120と、制御信号fに基づき微分信号cまたは差動増幅信号gのいずれかを出力する選択回路130と、を含む物理量センサー1。
【選択図】図1
Description
本発明は、加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、力覚センサーなどの物理量センサーに関する。
物理量センサーの一種である加速度センサーには、振動体の共振現象を利用した振動式のものがある。この振動式の加速度センサーは、振動体の共振周波数を検出することで加速度が得られるため、検出回路のデジタル化、小型化を容易に図ることができる。そして、特許文献1には、支持体とマス部との間に細い接続部を介して振動体を配置した振動式の加速度センサーが提案されている。この特許文献1に記載の加速度センサーは、シリコン基板を用いてマイクロマシーニング技術を利用して製造することができる。
しかし、特許文献1に記載の加速度センサーは、半導体を用いているので、振動体を励振するために特別な外力を必要とし、半導体で形成しているために周波数温度特性が悪く、別途温度補償をする回路等が必要になる。さらに、特許文献1に記載の加速度センサーは、ある程度強い加速度に基づいた応力が作用しないと、加速度を検出することができず、高感度のセンサーとすることが困難である。
この問題を解決するために、例えば特許文献2には、屈曲振動する第1圧電振動片を備えた発振部と、発振部の出力信号の位相を90°変化させて出力する90°移相部と、90°移相部の出力側に設けられ、第1圧電振動片と同じ共振周波数を有して屈曲振動する第2圧電振動片を備え、第2圧電振動片の共振周波数を中心に点対称の移相特性を有する移相回路部と、移相回路部の出力信号と発振部の出力信号とに基づいて、両者の位相差に応じた信号を出力する移相変化出力部とを有する加速度センサーの構成方法が記載されている。
しかしながら、従来の方法では、周波数−電圧特性が圧電振動片の非線形の移相特性に影響されS字カーブであるため、物理量変化と検出結果とが直線性を持った関係となる直線領域が限られてしまい、物理量センサーが検出可能な物理量の範囲が限られてしまうなどの課題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
第1の圧電振動子と、第2の圧電振動子と、前記第1の圧電振動子を発振させ第1の発振信号を出力する第1の発振回路と、前記第2の圧電振動子を発振させ第2の発振信号を出力する第2の発振回路と、前記第1の発振信号と前記第2の発振信号との位相を比較した位相差信号を出力する位相比較器と、前記位相差信号から交流成分を取り除いたフィルター信号を出力するループフィルターと、前記フィルター信号を微分した微分信号を出力する微分回路と、前記第1の発振信号に対し前記第2の発振信号の位相が進んでいるか否かを判定した判定信号を出力する位相遅延判定部と、前記微分信号の電圧が電源電位を抵抗分割した所定の電圧より大きいか否かを判定した比較信号を出力する比較器と、前記判定信号と前記比較信号とを排他的論理和した制御信号を出力する排他的論理和回路と、前記微分信号と前記電源電位とを差動増幅した差動増幅信号を出力する差動増幅回路と、前記制御信号に基づき前記微分信号または前記差動増幅信号のいずれかを選択して出力する選択回路と、を含む、ことを特徴とする物理量センサー。
第1の圧電振動子と、第2の圧電振動子と、前記第1の圧電振動子を発振させ第1の発振信号を出力する第1の発振回路と、前記第2の圧電振動子を発振させ第2の発振信号を出力する第2の発振回路と、前記第1の発振信号と前記第2の発振信号との位相を比較した位相差信号を出力する位相比較器と、前記位相差信号から交流成分を取り除いたフィルター信号を出力するループフィルターと、前記フィルター信号を微分した微分信号を出力する微分回路と、前記第1の発振信号に対し前記第2の発振信号の位相が進んでいるか否かを判定した判定信号を出力する位相遅延判定部と、前記微分信号の電圧が電源電位を抵抗分割した所定の電圧より大きいか否かを判定した比較信号を出力する比較器と、前記判定信号と前記比較信号とを排他的論理和した制御信号を出力する排他的論理和回路と、前記微分信号と前記電源電位とを差動増幅した差動増幅信号を出力する差動増幅回路と、前記制御信号に基づき前記微分信号または前記差動増幅信号のいずれかを選択して出力する選択回路と、を含む、ことを特徴とする物理量センサー。
この構成によれば、第1の発振信号に対して第2の発振信号の位相が進んでいる時は、所定の電圧より大きい電圧の出力信号が出力され、第1の発振信号に対して第2の発振信号の位相が遅れている時は、所定の電圧より小さい電圧の出力信号が出力されるので、周波数−電圧特性がきれいな直線となり、周波数検波範囲を広げることができる。
以下、物理量センサーの実施形態について図面に従って説明する。
(第1実施形態)
<物理量センサーの構成>
先ず、第1実施形態に係る物理量センサーの構成について、図1を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係る物理量センサーの構成を示す回路図である。
<物理量センサーの構成>
先ず、第1実施形態に係る物理量センサーの構成について、図1を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係る物理量センサーの構成を示す回路図である。
図1に示すように、物理量センサー1は、第1の圧電振動子である圧電振動子10と、第2の圧電振動子である圧電振動子20と、第1の発振回路である発振回路30と、第2の発振回路である発振回路40と、位相比較器50と、ループフィルターであるローパスフィルター(LPF:Low-pass filter)60と、微分回路70と、位相遅延判定部80と、電圧発生部95と、比較器100と、排他的論理和回路(EXOR:Exclusive OR)110と、差動増幅回路120と、選択回路130と、から構成されている。
圧電振動子10及び圧電振動子20は、例えば図2に示すように物理量センサーの一種である加速度センサー2を構成している。加速度センサー2において、圧電振動子10及び圧電振動子20は、加速度に対する感度特性が逆になるよう各々の振動腕11,21の延出方向が正反対の方向となるように配置されている。
発振回路30は、圧電振動子10を発振させ第1の発振信号である発振信号O1を出力する。発振回路40は、圧電振動子20を発振させ第2の発振信号である発振信号O2を出力する。位相比較器50は、発振信号O1と発振信号O2との位相を比較した位相差信号aを出力する。LPF60は、位相差信号aから交流成分を取り除いたフィルター信号bを出力する。微分回路70は、フィルター信号bを微分した微分信号cを出力する。
位相遅延判定部80は、発振信号O1に対し発振信号O2の位相が進んでいるか否かを判定した判定信号dを出力する。発振信号O1に対し発振信号O2の位相が進んでいる場合は判定信号dをHレベル、発振信号O1に対し発振信号O2の位相が遅れている場合、は判定信号dをLレベル、とする。図3は、位相遅延判定部80の具体的な構成を示す回路図である。図3に示すように、位相遅延判定部80は、NAND回路81〜91と、インバーター92,93と、から構成されている。
NAND回路81は、一方の入力端子に発振信号O1が入力され、他方の入力端子にNAND回路82の出力信号が入力されている。NAND回路82は、第1入力端子にNAND回路81の出力信号が入力され、第2入力端子にNAND回路85の出力信号が入力され、第3入力端子にNAND回路89の出力信号が入力されている。
NAND回路83は、一方の入力端子に発振信号O2が入力され、他方の入力端子にNAND回路84の出力信号が入力されている。NAND回路84は、第1入力端子にNAND回路83の出力信号が入力され、第2入力端子にNAND回路87の出力信号が入力され、第3入力端子にNAND回路89の出力信号が入力されている。
NAND回路85は、一方の入力端子にNAND回路81の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路86の出力信号が入力されている。NAND回路86は、一方の入力端子にNAND回路85の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路89の出力信号が入力されている。
NAND回路87は、一方の入力端子にNAND回路83の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路88の出力信号が入力されている。NAND回路88は、一方の入力端子にNAND回路87の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路89の出力信号が入力されている。
NAND回路89は、第1入力端子にNAND回路85の出力信号が入力され、第2入力端子にNAND回路81の出力信号が入力され、第3入力端子にNAND回路83の出力信号が入力され、第4入力端子にNAND回路87の出力信号が入力されている。
NAND回路90は、一方の入力端子にインバーター92を介してNAND回路82の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路91の出力信号が入力され、出力端子から判定信号dが出力される。NAND回路91は、一方の入力端子にインバーター93を介してNAND回路84の出力信号が入力され、他方の入力端子にNAND回路90の出力信号が入力されている。
電圧発生部95は、電源電位Vccと接地電位との間に直列に接続された抵抗R1,R2で構成され、電源電位Vccを抵抗R1,R2で抵抗分割した所定の電位である基準電位Vrefを出力する。
比較器100は、微分信号cと基準電位Vrefとの電圧を比較し、微分信号cの電圧が基準電位Vrefの電圧よりも大きい場合はHレベルの比較信号eを出力し、微分信号cの電圧が基準電位Vrefの電圧よりも小さい場合はLレベルの比較信号eを出力する。
EXOR110は、判定信号dと比較信号eとを排他的論理和した制御信号fを出力する。
差動増幅回路120は、比較器122と、抵抗R3,R4,R5,R6と、から構成されている。差動増幅回路120は、−端子に抵抗R3を介して微分信号cが入力され、+端子に抵抗R5を介して電源電位Vccが入力され、出力端子が抵抗R4を介して−端子に接続され、+端子が抵抗R6を介して接地電位に接続されている。差動増幅回路120は、微分信号cと電源電位Vccとを差動増幅した差動増幅信号gを出力端子から出力する。
選択回路130は、a端子に微分信号cが入力され、b端子に差動増幅信号gが入力され、制御信号fがLレベルの時にa端子とc端子とを導通状態にし、制御信号fがHレベルの時にb端子とc端子とを導通状態にする。
<物理量センサーの動作>
次に、第1実施形態に係る物理量センサーの動作について、図4を参照して説明する。図4は、第1実施形態に係る物理量センサーの動作を示すタイミング図である。
次に、第1実施形態に係る物理量センサーの動作について、図4を参照して説明する。図4は、第1実施形態に係る物理量センサーの動作を示すタイミング図である。
図4では、時点t0の時は、物理量センサー1を搭載した移動体が例えば停止状態である。また、期間T1,T2では物理量センサー1を搭載した移動体が定加速(進行方向に対して0よりも大きく加速)している状態である。更に、期間T3と期間T4では物理量センサー1を搭載した移動体が定減速(進行方向に対して0よりも小さく加速)している状態である。そして更に、図4では、一例として圧電振動子20のみが加速度センサー素子である場合について説明したものであり、期間T1と期間T2では正の加速度によって圧電振動子20は発振信号O2の周波数が発振信号O1の周波数よりも例えば低くなるような影響を受け、期間T3,T4では負の加速度(減速)のによって圧電振動子20は発振信号O2の周波数が発振信号O1の周波数よりも高くなるような影響を受ける物理量センサーについて説明している。従って、期間T1,T2では発振信号O1に対して発振信号O2の位相が進むので判定信号dはHレベルであり、期間T3,T4では発振信号O1に対して発振信号O2の位相が遅れるので判定信号dはLレベルになる。
期間T1では、発振信号O1の波形の立ち上がりのタイミングと発振信号O2の波形の立ち上がりのタイミングとのズレ量が時間の経過と共に大きくなる一方、発振信号O1の波形の立ち上がりのタイミングと発振信号O2の波形の立ち下がりのタイミングとの差が次第に小さくなり、時点t1に達した時に一致する。そのため期間T1でのフィルター信号bは、時間の経過に伴い正の一次係数をもって高くなる電圧信号になり、接地(GND)電位から電源Vccの電位まで上昇する。
期間T1の微分信号cは基準電位Vrefよりも高い電位なので、比較信号eはHレベル、制御信号fはLレベルとなり、選択回路130は、a端子とc端子とが導通状態となり、微分信号cを出力信号OUTとして出力する。また、期間T2では、位相差信号aの波形は、期間T1の位相差信号aの波形に対して時点t1を境に対称な波形になり、更に、フィルター信号bは、時間の変化に対して負の一次係数もって線形に変化する電圧信号になる。このため、微分信号cは基準電位Vrefよりも低い電位となる。仮にこの微分信号cを出力信号OUTとしてしまうと、正の加速度運動を行っている移動体に対して、物理量センサーが減速している結果を出力することになる。そこで本実施形態ではこのようなエラー表示を起こさないよう、微分信号cに基づき比較器100がLレベルの比較信号eを出力し、これによりEXOR110がHレベルの制御信号fを出力することで、選択回路130はb端子とc端子とが導通状態となり、差動増幅信号gを出力信号OUTとして出力するよう制御される。
期間T3,T4では移動体が減速するとこれに伴い、発振信号O1に対して発振信号O2の位相が時間と共に遅れる。従って、発振信号O1の波形の立ち上がりのタイミングと発振信号O2の波形の立ち上がりのタイミングとのズレ量が時間の経過と共に大きくなる一方、発振信号O1の波形の立ち上がりのタイミングと発振信号O2の波形の立ち下がりのタイミングとの差が次第に小さくなり、図4に示す状態では時点t3で一致する。そのため、期間T3の位相差信号aの波形と期間T4の位相差信号aの波形とは時点t3を境に対称な波形となる。そして、フィルター信号aは、期間T3では時間の変化に対して正の一次係数もって線形に変化する電圧信号であるが、期間T4では時間の変化に対して負の一次係数もって線形に変化する電圧信号になる。
従って、微分信号cは、期間T4では減速状態を示す基準電位Vrefよりも低い電位の信号である一方、期間T3では加速状態を示す基準電位Vrefよりも高い電位の信号となる。そこで、期間T3では、判定信号dがLレベルであり、微分信号cがHレベルであるので制御信号fがHレベルになり、この結果、回路130は、b端子とc端子とが導通状態となり、減速状態を示す差動増幅信号gを出力信号OUTとして出力するよう制御される。期間T4では、判定信号dがLレベルであり、微分信号cがLレベルであるので制御信号fがLレベルになり、この結果、回路130は、a端子とc端子とが導通状態となり、減速状態を示す微分信号cを出力信号OUTとして出力するよう制御される。
なお、電圧発生部95の抵抗R1,R2の抵抗比と、差動増幅回路120の抵抗R5,R6の抵抗比とを等しく設計することにより、比較器122の+端子に印加される電圧が基準電圧Vrefと等しくなるので、加速した後に等速度で移動している場合の出力信号OUTは直線を保ち、減速後に等速度で移動している場合の出力信号OUTも直線を保つことができる。
以上に述べた本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
従来、微分信号cのみを物理量センサーの検知信号とした場合では、例えば加速状態では期間T1の範囲のみ、また減速状態では期間T4の範囲のみ正確な検知結果が得られたが、本実施形態では、加速状態では期間T1,T2、また減速状態では期間T3,T4に亘って得られた検波結果を利用することができる。従って、物理量センサーは、物理量の変化に対する検出信号の変化の直線領域が広いものとなる。
以上、物理量センサーの実施形態を説明したが、こうした実施の形態に何ら限定されるものではなく、趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることができる。以下、変形例を挙げて説明する。
(変形例1)物理量センサーの変形例1について説明する。図5は、変形例1に係る物理量センサーの構成を示す回路図である。図5に示すように、物理量センサー5は、微分回路70と選択回路130のa端子の間に差動増幅回路220を挿入してもよい。
差動増幅回路220は、比較器222と、抵抗R7,R8,R9,R10と、から構成されている。差動増幅回路220は、+端子に抵抗R7を介して微分信号cが入力され、−端子に抵抗R9を介して電源電位Vccが入力され、出力端子が抵抗R8を介して+端子に接続され、−端子が抵抗R10を介して接地電位に接続されている。差動増幅回路220は、微分信号cと電源電位Vccとを差動増幅した差動増幅信号hを出力端子から出力する。
1…物理量センサー、10…圧電振動子、11,21…振動腕、20…圧電振動子、30…発振回路、40…発振回路、50…位相比較器、60…LPF、70…微分回路、80…位相遅延判定部、81〜91…NAND回路、92,93…インバーター、95…電圧発生部、100…比較器、110…EXOR、120…差動増幅回路、122…比較器、130…選択回路、220…差動増幅回路、222…比較器。
Claims (1)
- 第1の圧電振動子と、
第2の圧電振動子と、
前記第1の圧電振動子を発振させ第1の発振信号を出力する第1の発振回路と、
前記第2の圧電振動子を発振させ第2の発振信号を出力する第2の発振回路と、
前記第1の発振信号と前記第2の発振信号との位相を比較した位相差信号を出力する位相比較器と、
前記位相差信号から交流成分を取り除いたフィルター信号を出力するループフィルターと、
前記フィルター信号を微分した微分信号を出力する微分回路と、
前記第1の発振信号に対し前記第2の発振信号の位相が進んでいるか否かを判定した判定信号を出力する位相遅延判定部と、
前記微分信号の電圧が電源電位を抵抗分割した所定の電圧より大きいか否かを判定した比較信号を出力する比較器と、
前記判定信号と前記比較信号とを排他的論理和した制御信号を出力する排他的論理和回路と、
前記微分信号と前記電源電位とを差動増幅した差動増幅信号を出力する差動増幅回路と、
前記制御信号に基づき前記微分信号または前記差動増幅信号のいずれかを選択して出力する選択回路と、
を含む、
ことを特徴とする物理量センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009057489A JP2010210460A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 物理量センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009057489A JP2010210460A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 物理量センサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010210460A true JP2010210460A (ja) | 2010-09-24 |
Family
ID=42970788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009057489A Withdrawn JP2010210460A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 物理量センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010210460A (ja) |
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2009
- 2009-03-11 JP JP2009057489A patent/JP2010210460A/ja not_active Withdrawn
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