JP6405271B2 - 電子分光装置および測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 61
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 36
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 13
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000001941 electron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
- G01N23/2273—Measuring photoelectron spectrum, e.g. electron spectroscopy for chemical analysis [ESCA] or X-ray photoelectron spectroscopy [XPS]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/0004—Imaging particle spectrometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/05—Arrangements for energy or mass analysis
- H01J2237/057—Energy or mass filtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24485—Energy spectrometers
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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Description
試料から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部と、
前記エネルギー分光部で分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレートと、
前記マイクロチャネルプレートで増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーンと、
前記蛍光スクリーンを撮影するカメラと、
前記カメラで撮影されたカメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める有効範囲算出部と、
を含み、
前記有効範囲算出部は、
前記エネルギー分光部において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数の前記カメラ画像を取得する処理と、
取得した複数の前記カメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する処理と、
複数の前記スペクトルに基づいて、前記カメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理と、
を行う。
前記有効範囲算出部は、前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理において、各前記スペクトルから前記カメラ画像上での最大輝度位置を特定し、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づき前記蛍光スクリーンの有効範囲を求めてもよい。
前記有効範囲算出部は、前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理において、各前記スペクトルの前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置について、第1軸を前記中心エネルギーとし第2軸を前記最大輝度位置としてプロットしてグラフを作成し、当該グラフから前記蛍光スクリーンの有効範囲を求めてもよい。
前記有効範囲算出部は、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づいて、前記カメラ画像上でのエネルギー軸を求める処理を行ってもよい。
試料から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部と、前記エネルギー分光部で分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレートと、前記マイクロチャネルプレートで増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーンと、前記蛍光スクリーンを撮影するカメラと、を含む電子分光装置において前記カメラで撮影されたカメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める測定方法であって、
前記エネルギー分光部において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数の前記カメラ画像を取得する工程と、
取得した複数の前記カメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する工程と、
複数の前記スペクトルに基づいて、前記カメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程と、
を含む。
に蛍光スクリーンの有効範囲を求める場合と比べて、カメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を正確に求めることができる。
前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程では、各前記スペクトルから前記カメラ画像上での最大輝度位置を特定し、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づき前記蛍光スクリーンの有効範囲を求めてもよい。
前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程では、各前記スペクトルの前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置について、第1軸を前記中心エネルギーとし第2軸を前記最大輝度位置としてプロットしてグラフを作成し、当該グラフから前記蛍光スクリーンの有効範囲を求めてもよい。
前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づいて、前記カメラ画像上でのエネルギー軸を求める工程をさらに含んでもよい。
まず、本実施形態に係る電子分光装置について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子分光装置100の構成を模式的に示す図である。ここでは、電子分光装置100が、X線を試料に照射することにより放出される電子をエネルギー分光するX線光電子分光装置である例について説明する。
リット22は、エネルギー分光部20に入射する光電子を制限する。
次に、本実施形態に係るカメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲の測定方法について説明する。図3は、本実施形態に係るカメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲の測定方法の一例を示すフローチャートである。電子分光装置100では、有効範囲算出部74がカメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理を行う。
リーンの有効範囲およびカメラ画像上でのエネルギー軸を求めることができる。
が、本発明に係る電子分光装置は、X線に限定されず、紫外線等の光を物質に照射することにより放出される電子をエネルギー分光する光電子分光装置であってもよい。また、本発明に係る電子分光装置は、電子線を物質に照射することにより放出されるオージェ電子をエネルギー分光するオージェ電子分光装置であってもよい。
Claims (8)
- 試料から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部と、
前記エネルギー分光部で分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレートと、
前記マイクロチャネルプレートで増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーンと、
前記蛍光スクリーンを撮影するカメラと、
前記カメラで撮影されたカメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める有効範囲算出部と、
を含み、
前記有効範囲算出部は、
前記エネルギー分光部において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数の前記カメラ画像を取得する処理と、
取得した複数の前記カメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する処理と、
複数の前記スペクトルに基づいて、前記カメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理と、
を行う、電子分光装置。 - 請求項1において、
前記有効範囲算出部は、前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理において、各前記スペクトルから前記カメラ画像上での最大輝度位置を特定し、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づき前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める、電子分光装置。 - 請求項2において、
前記有効範囲算出部は、前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理において、各前記スペクトルの前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置について、第1軸を前記中心エネルギーとし第2軸を前記最大輝度位置としてプロットしてグラフを作成し、当該グラフから前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める、電子分光装置。 - 請求項2または3において、
前記有効範囲算出部は、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づいて、前記カメラ画像上でのエネルギー軸を求める処理を行う、電子分光装置。 - 試料から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部と、前記エネルギー分光部で分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレートと、前記マイクロチャネルプレートで増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーンと、前記蛍光スクリーンを撮影するカメラと、を含む電子分光装置において前記カメラで撮影されたカメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める測定方法であって、
前記エネルギー分光部において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数の前記カメラ画像を取得する工程と、
取得した複数の前記カメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する工程と、
複数の前記スペクトルに基づいて、前記カメラ画像上における前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程と、
を含む、測定方法。 - 請求項5において、
前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程では、各前記スペクトルから前記カメラ画像上での最大輝度位置を特定し、前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づき前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める、測定方法。 - 請求項6において、
前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める工程では、各前記スペクトルの前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置について、第1軸を前記中心エネルギーとし第2軸を前記最大輝度位置としてプロットしてグラフを作成し、当該グラフから前記蛍光スクリーンの有効範囲を求める、測定方法。 - 請求項6または7において、
前記中心エネルギーおよび前記最大輝度位置に基づいて、前記カメラ画像上でのエネルギー軸を求める工程をさらに含む、測定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015049438A JP6405271B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 電子分光装置および測定方法 |
US15/064,954 US9613790B2 (en) | 2015-03-12 | 2016-03-09 | Electron spectrometer and measurement method |
EP16159727.3A EP3067916B1 (en) | 2015-03-12 | 2016-03-10 | Electron spectrometer and measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015049438A JP6405271B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 電子分光装置および測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016170015A JP2016170015A (ja) | 2016-09-23 |
JP6405271B2 true JP6405271B2 (ja) | 2018-10-17 |
Family
ID=55521639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015049438A Active JP6405271B2 (ja) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | 電子分光装置および測定方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9613790B2 (ja) |
EP (1) | EP3067916B1 (ja) |
JP (1) | JP6405271B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110753950B (zh) * | 2017-03-17 | 2023-11-03 | 科罗拉多大学董事会,法人团体 | 利用模拟接口的高速二维事件检测和成像 |
US10770262B1 (en) * | 2018-05-30 | 2020-09-08 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Apparatus, method and system for imaging and utilization of SEM charged particles |
JP2019215957A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 株式会社荏原製作所 | ビームベンダ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8612099D0 (en) * | 1986-05-19 | 1986-06-25 | Vg Instr Group | Spectrometer |
JPH04284344A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-08 | Jeol Ltd | 同心半球型電子エネルギー分光器による多重検出法 |
JP2000057987A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Toshiba Corp | 形状観察用検出装置及び形状観察方法 |
GB0225791D0 (en) * | 2002-11-05 | 2002-12-11 | Kratos Analytical Ltd | Charged particle spectrometer and detector therefor |
JP5314662B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2013-10-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線光電子分光装置およびx線光電子分光方法 |
DE14185601T1 (de) * | 2012-03-06 | 2015-05-21 | Vg Scienta Ab | Analysatoranordnung für Teilchenspektrometer |
JP6104756B2 (ja) * | 2013-08-16 | 2017-03-29 | 日本電子株式会社 | 電子分光装置 |
-
2015
- 2015-03-12 JP JP2015049438A patent/JP6405271B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-09 US US15/064,954 patent/US9613790B2/en active Active
- 2016-03-10 EP EP16159727.3A patent/EP3067916B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3067916A1 (en) | 2016-09-14 |
US20160268119A1 (en) | 2016-09-15 |
EP3067916B1 (en) | 2018-01-31 |
JP2016170015A (ja) | 2016-09-23 |
US9613790B2 (en) | 2017-04-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180824 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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