JP2011103273A - エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 - Google Patents
エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011103273A JP2011103273A JP2009258663A JP2009258663A JP2011103273A JP 2011103273 A JP2011103273 A JP 2011103273A JP 2009258663 A JP2009258663 A JP 2009258663A JP 2009258663 A JP2009258663 A JP 2009258663A JP 2011103273 A JP2011103273 A JP 2011103273A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- spectrum
- electron
- deflecting
- energy filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタ8と、前記スペクトルを撮影する撮影手段10とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器30とを更に備え、前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段10で撮影するように構成する。
【選択図】図4
Description
(1)請求項1記載の発明は、試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタと、前記スペクトルを撮影する撮影手段とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器とを更に備え、前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段で撮影するようにしたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記エネルギーフィルタは磁気偏向マグネットを有し、その磁気偏向マグネットの対極面内に静電偏向板を配置するか、若しくは対極面を含むポールの一部を電気的に絶縁することによって静電偏向板とし、その静電偏向板によって入射電子をエネルギー分散方向と垂直方向に偏向するようにしたことを特徴とする。
(7)請求項7記載の発明は、前記エネルギーフィルタは磁気偏向マグネットを有し、その磁気偏向マグネットの対極面内に静電偏向板を配置するか、若しくは対極面を含むポールの一部を電気的に絶縁することによって静電偏向板とし、その静電偏向板によって入射電子をエネルギー分散方向と垂直方向に偏向するようにしたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、撮影されたスペクトルはエネルギー分散方向と垂直方向に信号を蓄積するように構成したので、CCD検出信号が飽和することはなく、ダイナミックレンジを向上させることができる。
1)CCD露光を開始する。
2)露光終了し、CCD読み出しと同期して偏向板に矩形の静電圧が印加される。
3)Ωフィルタを通過する電子はY方向に偏向され、S'に配置された絞りにより遮られることで、CCDカメラ10に対してシャッタとして機能する。
4)CCD読み出し終了と同期して偏向板の電圧印加を終える。1)〜4)までのプロセスは一回で終了することもあれば、100msec以下の時間スケールで変化するエネルギースペクトルを高速に、撮影・記録するために繰り返されることもある。
2 コンデンサレンズ
3 試料ホルダ
4 対物レンズ
5 中間レンズ
6 投影レンズ
7 観察チャンバ
8 アナライザ(エネルギーフィルタ)
10 CCDカメラ
11 制御装置
12 画像処理装置
13 メモリ
14 スキャンコイル
Claims (8)
- 試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタと、前記スペクトルを撮影する撮影手段とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、
前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、
前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器とを更に備え、
前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段で撮影するようにした
ことを特徴とするエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。 - 前記偏向手段は前記エネルギーフィルタに内蔵されていることを特徴とする請求項1記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
- 前記エネルギーフィルタは磁気偏向マグネットを有し、その磁気偏向マグネットの対極面内に静電偏向板を配置するか、若しくは対極面を含むポールの一部を電気的に絶縁することによって静電偏向板とし、その静電偏向板によって入射電子をエネルギー分散方向と垂直方向に偏向するようにしたことを特徴とする請求項2記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
- スペクトル撮影中に、前記静電偏向板よりなる静電偏向電極に鋸歯状波若しくは三角波の電気信号を与え、得られたスペクトルをエネルギー分散方向と垂直方向に偏向させ、撮影されたスペクトルの各ピクセルの強度信号をエネルギー分散方向と垂直方向に積算するようにしたことを特徴とする請求項3記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
- 電子線を試料上でライン状にスキャンさせる手段と、前記電子線スキャンによって試料から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタと、前記スペクトルを撮影する撮影手段とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、
前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、
前記電子線スキャンに同期して、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器とを更に備え、
前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段で撮影するようにした
ことを特徴とするエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。 - 前記偏向手段は前記エネルギーフィルタに内蔵されていることを特徴とする請求項5記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
- 前記エネルギーフィルタは磁気偏向マグネットを有し、その磁気偏向マグネットの対極面内に静電偏向板を配置するか、若しくは対極面を含むポールの一部を電気的に絶縁することによって静電偏向板とし、その静電偏向板によって入射電子をエネルギー分散方向と垂直方向に偏向するようにしたことを特徴とする請求項6記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
- 電子線を試料上でライン状にビームスキャンするに際し、ビームスキャンと同期して前記静電偏向板よりなる静電偏向電極に単調増加の電気信号を与えるようにしたことを特徴とする請求項7記載のエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009258663A JP2011103273A (ja) | 2009-11-12 | 2009-11-12 | エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009258663A JP2011103273A (ja) | 2009-11-12 | 2009-11-12 | エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011103273A true JP2011103273A (ja) | 2011-05-26 |
Family
ID=44193523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009258663A Pending JP2011103273A (ja) | 2009-11-12 | 2009-11-12 | エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011103273A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110455833A (zh) * | 2018-05-02 | 2019-11-15 | Fei公司 | 电子显微镜中的eels检测技术 |
EP3979295A4 (en) * | 2019-05-31 | 2023-03-15 | Hitachi High-Tech Corporation | BEAM DEVIATION, ABERRATION CORRECTOR, MONOCHROMATOR, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000133195A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 透過電子顕微鏡 |
-
2009
- 2009-11-12 JP JP2009258663A patent/JP2011103273A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000133195A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 透過電子顕微鏡 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110455833A (zh) * | 2018-05-02 | 2019-11-15 | Fei公司 | 电子显微镜中的eels检测技术 |
CN110455833B (zh) * | 2018-05-02 | 2023-12-12 | Fei 公司 | 电子显微镜中的eels检测技术 |
EP3979295A4 (en) * | 2019-05-31 | 2023-03-15 | Hitachi High-Tech Corporation | BEAM DEVIATION, ABERRATION CORRECTOR, MONOCHROMATOR, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3996774B2 (ja) | パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 | |
JP3867524B2 (ja) | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 | |
JP6876055B2 (ja) | マルチビーム走査型電子顕微鏡におけるノイズ緩和方法及びシステム | |
TW201721224A (zh) | 用於多波束掃描式電子顯微系統之聚焦調整之方法及系統 | |
US20230280293A1 (en) | System and method for aligning electron beams in multi-beam inspection apparatus | |
US20150136979A1 (en) | Charged Particle Beam Device | |
JP2006164861A (ja) | 走査干渉電子顕微鏡 | |
JP4512471B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡及び半導体検査システム | |
JP5153212B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2006153894A (ja) | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 | |
US20140197312A1 (en) | Electron microscope and sample observation method | |
JP2006260957A (ja) | 電子線装置 | |
JP7105647B2 (ja) | 透過型荷電粒子顕微鏡における回折パターン検出 | |
US7459680B2 (en) | Method of analysis using energy loss spectrometer and transmission electron microscope equipped therewith | |
JPH11345585A (ja) | 電子ビームによる検査装置および検査方法 | |
JP2011103273A (ja) | エネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置 | |
JP3780620B2 (ja) | 電子分光器及びそれを備えた透過型電子顕微鏡 | |
JP2007242252A (ja) | 質量分析装置 | |
JP4028864B2 (ja) | パターン欠陥検査方法および検査装置 | |
JP3950891B2 (ja) | パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 | |
CN108231513B (zh) | 用于操作显微镜的方法 | |
JP6163063B2 (ja) | 走査透過電子顕微鏡及びその収差測定方法 | |
JP4505674B2 (ja) | パターン検査方法 | |
CN106872559A (zh) | 一种超分辨生物分子质谱成像装置及其工作方法 | |
JP2007287561A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111110 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130820 |